JP5649243B2 - 膨張黒鉛シート及びこの膨張黒鉛シートを用いた炭素質ルツボの保護方法並びに単結晶引き上げ装置 - Google Patents
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また、強度の向上した膨張黒鉛シートの要望は、黒鉛ルツボの内面を覆う中敷としての使用の場合以外にも、膨張黒鉛シートが使用される他の分野からも要望がなされていた。
本発明の他の目的は、引張強度の向上した膨張黒鉛シートを炭素質ルツボの中敷として使用することにより、作業時間が格段に低減し、しかも、シートを破損することなくルツボの内面に隙間なく覆うことが可能であると共に、ルツボの大型化にも適した炭素質ルツボの保護方法を提供することである。
本発明のさらに他の目的は、均一な加熱ができ、結晶欠陥の少ないシリコン単結晶を製造することができる単結晶引き上げ装置を提供することである。
上記構成であれば、炭素繊維からなる補強材により引張強度が向上した膨張黒鉛シートが構成される。
用語「炭素繊維同士が絡み合ってなる補強材」とは、例えば表面が毛羽立った炭素繊維同士が互いに絡み合った状態となって補強機能が発揮されるように構成されたものを意味する。このような構成により、引張強度が向上した膨張黒鉛シートが構成される。
ここで、用語「炭素質ルツボ」とは、黒鉛材料からなる黒鉛ルツボと、炭素繊維強化炭素複合材(所謂C/C材)からなるルツボ(以下、C/Cルツボと称する)の両者を含むルツボであって、それら黒鉛ルツボやC/Cルツボに熱分解炭素等の被覆や含浸が施されていてもよいことはいうまでもない。
上記の如く、本発明に係る膨張黒鉛シートを、石英ルツボと該石英ルツボが載置される炭素質ルツボとの間に介在させて炭素質ルツボの内面を覆う中敷に使用することにより、従来例の膨張黒鉛シートを炭素質ルツボの内面に敷設するのに比べて、本発明ではシートの破損にそれ程考慮を払う必要がなくなるので、格段に作業性が向上し、作業時間を大幅に低減することができる。また、本発明は、取り扱いが容易で、作業性も向上することから、ルツボが大型化しても、シートを破損することなく、しかも作業時間もそれ程かからずにルツボ内面に敷設することができる。
以下の実施の形態では、本発明に係る膨張黒鉛シートを、炭素質ルツボの内面を覆う中敷に適用した場合について説明する。
先ず、図1に示す単結晶引き上げ装置におけるルツボ概略構成を説明し、次いで本発明に係る膨張黒鉛シートについて説明する。
図1は単結晶引き上げ装置の要部断面図、図2はルツボの拡大断面図である。
図1に示すように、CZ装置は、石英ルツボ1を支持する炭素質ルツボ2、ヒーター3、アッパーリング4、インナーシールド5等によって構成されている。このように、CZ装置では、石英ルツボ1の周囲に配置されたヒーター3で石英ルツボ1内の原料を高温に加熱して原料融液6とし、この原料融液6を引き上げながら単結晶7を得る。
上記膨張黒鉛シート10は、図3に示すように、膨張黒鉛材料からなる基材11の片面に、炭素繊維からなる補強材12が積層状に形成されてなる。この補強材12は炭素繊維がメッシュ状に編み込まれて構成されており、この補強材12と基材11とは、接着剤により貼り合わされて一体化されている。このような炭素繊維がメッシュ状に編み込まれた補強材12を有することにより、膨張黒鉛シート10の引張強度が向上する。そのため、膨張黒鉛シート10を炭素質ルツボの中敷として使用すると、作業時間が格段に低減し、しかも、シートを破損することなくルツボの内面に隙間なく覆うことが可能であると共に、ルツボの大型化にも適したものとすることができる。
次いで、膨張黒鉛シート10の製造方法を、図4を参照しつつ説明する。
膨張黒鉛シート10の基材となる膨張黒鉛シート13は、膨張化黒鉛から製造されたシート状の材料であり、その代表例について説明すると以下の通りである。先ず、天然又は合成燐片状黒鉛やキッシュ黒鉛等を酸化剤で処理して、黒鉛粒子に層間化合物を形成せしめ、次いでこれを高温に加熱好ましくは急激に高温にさらして急膨張せしめる。この処理により黒鉛粒子の層間化合物のガス圧により、層平面直角方向に黒鉛粒子は拡大され通常100〜250倍程度に体積が急膨張するものである。この際使用される酸化剤としては層間化合物を形成せしめ得るものが使用され、例えば硫酸と硝酸との混酸、硫酸に硝酸ナトリウムや過マンガン酸カリ等の酸化剤を混合したものが例示できる。
次いで、膨張化黒鉛を適宜な手段、例えば圧縮又はロール圧延成形によってシート状に施して、嵩さ密度が0.1〜0.7Mg/m3の膨張黒鉛シート13を作製する。
次いで、上記複合材を2000℃以上のハロゲンガス雰囲気下で高純度化処理し、不純物の含有量が50ppm以下、好ましくは30ppm以下の本発明に係る膨張黒鉛シート10を作製する。
実施の形態2に係る膨張黒鉛シート10は、基材11と補強材12とを加圧により一体化したことを特徴とするものである。
上記構成の膨張黒鉛シート10は、以下の方法により作製される。即ち、実施の形態1と同様の方法で作製された基材となる膨張黒鉛シート13と、実施の形態1と同様の方法で作製された炭素繊維シート14とを積層して、ロール又はプレスにより、基材となる膨張黒鉛シート13と炭素繊維シート14とを嵩さ密度が1.0〜2.0Mg/m3になるまで加圧して膨張黒鉛シート13と炭素繊維シート14が複合化された複合材を作製した。次いで、この複合材を2000℃以上のハロゲンガス雰囲気下で高純度化処理し、不純物の含有量が50ppm以下、好ましくは30ppm以下の本発明に係る膨張黒鉛シート10を作製した。
実施の形態3に係る膨張黒鉛シート10Aにおける補強材15は、図5に示すように、炭素繊維同士が絡み合って構成されていることを特徴とするものである。即ち、炭素繊維は上記のようにメッシュ状に編み込まれた構造でなくても、炭素繊維同士が絡み合って構成されていれば、強度の向上が図れるからである。
次いで、この複合材を2000℃以上のハロゲンガス雰囲気下で高純度化処理し、不純物の含有量が50ppm以下、好ましくは30ppm以下の本発明に係る膨張黒鉛シート10Aを作製した。
(1)上記実施の形態1及び実施の形態2では、基材となる膨張黒鉛シート13の片面に炭素繊維シート14を設けたけれども、基材となる膨張黒鉛シート13の両面に炭素繊維シート14を設けるようにしてもよい。このようにすれば、シート強度が更に向上するので、ルツボの中敷としてより適している。
上記実施の形態1と同様の方法で本発明に係る膨張黒鉛シート(以下、本発明膨張黒鉛シートA1と称する。)を作製し、引張試験(インストロン社製の材料試験機4301型使用)を行ったので、その結果を表1に示す。なお、引張試験では試料(20×100mm)を8.3×10-2mm/sの均一な速度で引張応力を負荷した際の破断荷重から算出した。
上記実施の形態2と同様の方法で本発明に係る膨張黒鉛シート(以下、本発明膨張黒鉛シートA2と称する。)を作製し、上記実施例1と同様の引張試験を行ったので、その結果を表1に示す。
上記実施の形態3と同様の方法で本発明に係る膨張黒鉛シート(以下、本発明膨張黒鉛シートA3と称する。)を作製し、上記実施例1と同様の引張試験を行ったので、その結果を表1に示す。
酸化処理した天然鱗状黒鉛を精選し、高温膨張化処理させた後に膨張化黒鉛の不純物を灰分50ppm以下に除去した後、この膨張化黒鉛を適宜な手段、例えば圧縮又はロール成形によってシート状に施して、炭素繊維で複合化されていない一般的な高純度膨張黒鉛シート(比較膨張黒鉛シートZと称する。)を作製し、上記実施例1と同様の引張試験を行ったので、その結果を表1に示す。
表1より明らかなように、引張強度は、本発明膨張黒鉛シートA1,A2,A3のいずれもが比較膨張黒鉛シートZより良好であることが分かる。このような結果が得られたのは、炭素繊維により引張強度が向上したことによるものと考えられる。このことから、本発明膨張黒鉛シートを黒鉛ルツボの中敷として用いるのに適していることが認められる。
なお、引張強度は、本発明膨張黒鉛シートA1,A2の方が本発明膨張黒鉛シートA3より良好であることが分かる。このような結果が得られたのは、炭素繊維がメッシュ状に編み込まれたものが、引張強度に優れていることによるものと考えられる。
3:ヒーター 4:アッパーリング
5:インナーシールド 6:原料融液
7:単結晶 10,10A:本発明に係る膨張黒鉛シート
11:基材 12,15:補強材
13:基材となる膨張黒鉛シート 14:炭素繊維シート
Claims (6)
- 膨張化処理により得られて綿状となっている未成形の膨張黒鉛材料と、毛羽立った炭素繊維同士が互いに絡み合った状態の補強材とを、プレス成型又はロール圧延処理により複合化させ、前記膨張黒鉛材料と前記炭素繊維の毛羽立ちとが絡み合わされてシート状に成形されていることを特徴とする膨張黒鉛シート。
- 前記補強材は、長さ3mm以上、直径0.1mm以上の炭素繊維を用いて形成されたものである請求項1記載の膨張黒鉛シート。
- 前記複合化は、前記膨張黒鉛材料と前記補強材との混合物をプレス成型又はロール圧延処理することで行われたものである請求項1又は2に記載の膨張黒鉛シート。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の膨張黒鉛シートを、石英ルツボと該石英ルツボが載置される炭素質ルツボとの間に介在させて炭素質ルツボの内面を覆う中敷に使用することを特徴とする炭素質ルツボの保護方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の膨張黒鉛シートを用いた単結晶引き上げ装置。
- 請求項4に記載の保護方法を使用した単結晶引き上げ装置。
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