JP5642436B2 - 電子デバイス、電子機器及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の電子デバイスは、ガラス、またはシリコン、またはアルミニウムで形成されたベースと、前記ベースの第1の面から前記第1の面と反対の面まで貫通する貫通電極と、前記ベースの前記第1の面及び前記貫通電極の前記第1の面側の面に形成された回路パターンと、前記ベースの前記第1の面と反対の面及び前記貫通電極の前記反対の面側の面に形成された電極パターンと、前記回路パターンに電気的に接続する電子部品と、前記ベースと接合し、前記ベースの前記第1の面との間に空洞部を形成するリッドと、前記ベースの端部に備えられ、前記ベースと前記リッドとを接合し、露出部を有する接合部と、前記回路パターンを覆う金属膜で形成された外部電極と、前記接合部の露出部を覆う金属膜から形成される腐食防止部と、を備えることを特徴とする。
また、前記外部電極と前記腐食防止部とが、少なくともニッケル、金のいずれかを含有する金属膜で形成されることを特徴とする。
また、前記回路パターン、前記電極パターン、及び前記接合部が同一の物質で形成されることを特徴とする。
また、前記電子部品が水晶振動子片であることを特徴とする。さらに、電子機器において、本発明の電子デバイスを用いたことを特徴とする。
また、前記接合工程において、前記リッドの前記接合部と接合する部分に前記接合部と拡散接合する金属膜が形成された前記リッドを用いることを特徴とする。
図2(a)は、ベース10に貫通孔を形成する工程である。貫通孔は、サンドブラスト、レーザー加工、ドリル加工、熱プレス加工等で製造する。ここで、ベース10がシリコンの場合、ベース10の熱酸化処理等により、酸化膜を形成する。また、ベース10がアルミニウムの場合、ベース10の化成処理、陽極酸化処理等により、酸化膜を形成する。これにより、シリコン、アルミニウムで形成したベース10部分に酸化膜が形成され、回路パターンを含む接続部がショートせず、電子デバイスとして使用することが可能になる。
10 ベース
20 貫通電極
30 回路パターン
40 接合部
41 接合補助部
50 電極パターン
60 電子部品
70 リッド
80 外部電極
90 腐食防止部
100 電子デバイス
110 ベース
120 金属ピン
130 電極
140 電子部品
150 封止材
160 キャップ
Claims (10)
- ガラス、またはシリコン、またはアルミニウムで形成されたベースと、
前記ベースの第1の面から前記第1の面と反対の面まで貫通する貫通電極と、
前記ベースの前記第1の面及び前記貫通電極の前記第1の面側の面に形成された回路パターンと、
前記ベースの前記第1の面と反対の面及び前記貫通電極の前記反対の面側の面に形成された電極パターンと、
前記回路パターンに電気的に接続する電子部品と、
前記ベースと接合し、前記ベースの前記第1の面との間に空洞部を形成するリッドと、
前記ベースの前記第1の面の端部に備えられ、前記ベースと前記リッドとを接合するとともに、露出部を有する接合部と、
前記電極パターンを覆う金属膜で形成された外部電極と、
前記接合部の露出部を覆う金属膜から形成される腐食防止部と、
を備え、
前記外部電極と前記腐食防止部とが、無電解めっきによって形成されることを特徴とする電子デバイス。 - 前記外部電極と前記腐食防止部とが、少なくともニッケル、金のいずれかを含有する金属膜で形成されることを特徴とする請求項1に記載の電子デバイス。
- 前記外部電極と前記腐食防止部とが同一の物質で形成されることを特徴とする請求項2に記載の電子デバイス。
- 前記回路パターン、前記電極パターン、及び前記接合部が同一の物質で形成されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記回路パターン、前記電極パターン、及び前記接合部が、アルミニウムで形成されることを特徴とする請求項4に記載の電子デバイス。
- 前記電子部品が水晶振動子片であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 請求項6に記載の電子デバイスを用いた電子機器。
- ベースに貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔に貫通電極を挿入して溶着する貫通電極形成工程と、
前記ベースの第1の面及び前記貫通電極の前記第1の面側の面に回路パターン及び接合部を形成する工程と、
前記ベースの前記第1の面と反対の面及び前記貫通電極の前記反対の面側の面に電極パターンを形成する工程と、
前記回路パターンと電子部品とを電気的に接続する電子部品接続工程と、
前記ベースと凹状に加工されたリッドとを接合部で接合する接合工程と、
接合された前記ベースと前記リッドを切断して個片化する個片化工程と、
前記電極パターンを金属膜で形成された外部電極で覆う外部電極形成工程と、
前記接合部の露出部を金属膜で形成された腐食防止部で覆う腐食防止部形成工程と、
を備えることを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記外部電極形成工程、及び前記腐食防止部形成工程は、無電解めっき法により同一工程で行うことを特徴とする請求項8に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記接合工程において、前記リッドの前記接合部と接合する部分に前記接合部と拡散接合する金属膜が形成された前記リッドを用いることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の電子デバイスの製造方法。
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