JP5905264B2 - 電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
請求項1に記載の発明は、電子デバイスの製造方法であって、ガラス製のベース材の上下何れか一方の面へ、底面近傍に二山形状の窪みを備えた凹部を形成する工程と、前記凹部のうち少なくとも前記窪みをめっき層で覆うようにめっき処理を施す工程と、少なくとも前記凹部の底面が外部へ露出するように前記ベース材を研磨する工程と、前記凹部の底面に電子部品を実装する工程と、前記窪みが二山に分離する位置まで前記凹部の開口部側から前記ベース材を研磨し、当該分離された二山それぞれのめっき層で貫通電極を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の電子デバイスの製造方法において、前記めっき層はニッケル鉄合金の層からなることを特徴とする。
ところで、外部電極60の形成方法には、スパッタ法が一般的である。ただし、外部電極60は、めっき法を用いて形成してもよい。
また、外部電極60は、基板実装時の応力を緩和する銀ペースト等の導電性接着剤で形成することもできる。
次に、本実施形態に係る電子デバイス1の製造方法を図2を用いて説明する。図2は、ウェハーレベルで作製され、最後にダイシング等で切断されて得られる電子デバイスの製造方法を示す図である。なお、本実施形態に係る電子デバイス1は、これに限定されず、はじめから個別パッケージで形成されてもよい。
したがって、本発明は、電子部品と外部電極との導通を安定して保ち、且つ、容易に貫通電極を形成可能な電子デバイスの製造方法といえる。
10 ベース材
11 レジスト
13 ベース
20 めっき層
21 貫通電極
30 実装部
40 電子部品
50 カバー
60 外部電極
70 凹部
71 底面
72 凸部
73 窪み
100 電子デバイス
110 ベース
115 貫通孔
120 金属ピン
130 電極
140 電子部品
150 封止材
160 キャップ
170 低融点ガラス
180 酸化膜
Claims (5)
- ガラス製のベース材の上下何れか一方の面へ、底面近傍に二山形状の窪みを備えた凹部を形成する工程と、
前記凹部のうち少なくとも前記窪みをめっき層で覆うようにめっき処理を施す工程と、
少なくとも前記凹部の底面が外部へ露出するように前記ベース材を研磨する工程と、
前記凹部の底面に電子部品を実装する工程と、
前記窪みが二山に分離する位置まで前記凹部の開口部側から前記ベース材を研磨し、当該分離された二山それぞれのめっき層で貫通電極を形成する工程と、
を備えることを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記めっき処理を施す工程において、前記凹部全体をめっき層で覆うようにめっき処理が施されることを特徴とする請求項1に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記めっき層はニッケル鉄合金の層からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記電子部品を実装する工程の後、前記ベース材と接合可能であり、接合した状態で前記ベース材とともに外気と遮断された空洞部を形成するカバーを、前記ベースに接合して前記電子部品を前記空洞部に密封するカバー接合工程と、
前記貫通電極を形成する工程の後、前記ベース材の前記電子部品が実装された面と対向する面に、前記貫通電極と当接するように外部電極を形成する工程と、を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電子デバイスの製造方法。 - 1つの前記ベース材上に複数の電子デバイスを一括形成した後、前記電子デバイスを個片化する工程を備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電子デバイスの製造方法。
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