JP5640529B2 - 赤外線センサ及びこれを備えた回路基板 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1には、保持体に設置した樹脂フィルムと、該樹脂フィルムに設けられ保持体の導光部を介して赤外線を検知する赤外線検知用感熱素子と、樹脂フィルムに遮光状態に設けられ保持体の温度を検知する温度補償用感熱素子と、を備えた赤外線センサが提案されている。この赤外線センサでは、導光部の内側面に赤外線吸収膜を形成すると共に、樹脂フィルムにカーボンブラック等の赤外線吸収材料を含有させて赤外線の吸収を高めている。
すなわち、特許文献1及び2の赤外線センサでは、樹脂フィルムにカーボンブラック等の赤外線吸収材料を含有させると共に一方の感熱素子側を温度補償用に遮光する構造が採用されているが、赤外線吸収材料を含有した樹脂フィルムの熱伝導が高く、赤外線検知用と温度補償用との感熱素子間で温度差分が生じ難いという不都合があった。また、これら感熱素子間で温度差分を大きくするためには、感熱素子間の距離を大きくする必要があり、全体形状が大きくなってしまい、小型化が困難になる問題がある。さらに、温度補償用の感熱素子を遮光する構造をケース自体に設ける必要があるため、高価になってしまう。
また、特許文献2では、熱伝導の良い枠体を採用しているため、赤外線吸収膜からの熱も放熱されてしまい感度が劣化する不都合がある。また、リード線が接続された松葉型のため、サーミスタとリード線との間で熱の空間伝導が生じてしまう。
さらに、一方の感熱素子について赤外線を筐体で遮光する構造を採用しているが、赤外線を遮っているだけで遮蔽部分が赤外線を吸収してしまい、遮蔽部分の温度が変化してしまうことからリファレンスとして不完全となってしまう不都合があった。
すなわち、フィルムに赤外線吸収材料等を含有させていない低熱伝導性の絶縁性フィルムでも、赤外線反射膜によって第2の感熱素子の直上部分における赤外線を反射してその吸収を阻止することができ、赤外線を反射しない部分の直下にある第1の感熱素子との温度差分が得られ、第2の感熱素子を高いリファレンスとすることができる。
また、第1の感熱素子と第2の感熱素子との間の熱を伝導する媒体が、空気以外に絶縁性フィルムのみとなり、伝導する断面積が小さくなる。したがって、相互の感熱素子への熱が伝わり難くなり、干渉が少なくなって検出感度が向上する。このように第1の感熱素子と第2の感熱素子との熱結合が低いので、互いに近づけて配置することも可能になり、全体の小型化を図ることができる。さらに、枠体やケースによる遮光構造ではなく、赤外線反射膜によって赤外線を遮光しているので、安価に作製することができる。
さらに、赤外線反射膜が導電性材料で構成されていても、絶縁性フィルムを挟んで設置された第1の感熱素子及び第2の感熱素子との絶縁が確保されているので、膜の絶縁性を問わずに効率の良い材料の選択が可能になる。
このように、低熱伝導性の絶縁性フィルム上で互いに熱の影響が抑制された第1の感熱素子と第2の感熱素子とが、それぞれ絶縁性フィルムにおいて赤外線が照射される部分の直下と赤外線が反射される部分の直下との温度を測定する構造を有している。したがって、赤外線検知用とされる第1の感熱素子と温度補償用とされる第2の感熱素子との良好な温度差分を得られ、高感度化を図ることができる。
なお、絶縁性フィルム上であって第1の感熱素子の直上に赤外線吸収膜を形成しても構わない。この場合、さらに第1の感熱素子における赤外線吸収効果が向上して、第1の感熱素子と第2の感熱素子とのより良好な温度差分を得ることができる。
すなわち、この赤外線センサでは、第1の配線膜が、第1の感熱素子の周囲にまで配されて第2の配線膜よりも大きな面積で形成されているので、絶縁性フィルムの赤外線を吸収した部分からの熱収集を改善すると共に、絶縁性フィルムの赤外線反射膜が形成された部分と熱容量が近づくので、変動誤差を小さくすることができる。なお、第1の配線膜の面積及び形状は、絶縁性フィルムの赤外線反射膜が形成された部分と熱容量がほぼ等しくなるように設定することが好ましい。
すなわち、この赤外線センサでは、第2の配線膜が、第2の感熱素子の周囲にまで配されているので、絶縁性フィルムの一方の面側(センサ下面側)からの赤外線を第2の配線膜が反射又は遮光して、センサ下面からの赤外線が絶縁性フィルムの赤外線反射膜が形成された部分に与える影響を小さくすることができる。
すなわち、この赤外線センサでは、絶縁性フィルムが、ポリイミド基板で形成され、赤外線反射膜、第1の配線膜及び第2の配線膜が銅箔で形成されているので、材料費が安い汎用的な両面フレキシブル基板を利用することができ、低コスト化を図ることができる。
すなわち、この赤外線センサでは、赤外線反射膜が、銅箔と、該銅箔上に積層された金メッキ膜と、で構成されているので、金メッキ膜が、銅箔の酸化防止膜として機能すると共に赤外線の反射率を向上させることができる。
すなわち、この赤外線センサでは、感熱素子が、Mn,CoおよびFeの金属酸化物を含有するセラミックス焼結体、すなわちMn−Co−Fe系材料で形成されたサーミスタ素子であるので、温度係数であるB定数が高いため、赤外線吸収膜の温度変化を感度良く検出することができる。また、Mn−Co−Cu系材料などの他のサーミスタ材料に比べ機械的強度も高いため、耐環境に対する信頼性も高い。
すなわち、この赤外線センサでは、セラミックス焼結体が、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有しているので、異方性もなく、また不純物層がないので、セラミックス焼結体内で電気特性のバラツキが小さく、複数の赤外線センサを用いる際に高精度な測定が可能になる。また、安定した結晶構造のため、耐環境に対する信頼性も高い。なお、セラミックス焼結体としては、立方晶スピネル相からなる単相の結晶構造が最も望ましい。
すなわち、この赤外線センサでは、第1の感熱素子と第2の感熱素子とが、セラミックス焼結体で形成された同一のウエハから得たサーミスタ素子の中から所定の許容誤差内の抵抗値で選別したものであるので、対となる第1の感熱素子と第2の感熱素子とでB定数の相対誤差が小さくなり、同時に温度を検出する両者の温度差分を高精度に検出することができる。また、第1の感熱素子と第2の感熱素子とについて、B定数の選別作業や抵抗値の調整工程が不要になると共に組み合わせの履歴管理なども不要になり、生産性を向上させることができる。
すなわち、この回路基板では、上記本発明の赤外線センサと、前記絶縁性フィルム上に形成された回路部と、を備えているので、赤外線センサと共にその制御回路等の回路部とが同一基板上に一体化されることで、全体の小型化及び低コスト化が可能になる。
すなわち、本発明に係る赤外線センサ及びこれを備えた回路基板によれば、第2の感熱素子に対向して絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜を備えているので、第1の感熱素子に対して赤外線の影響を抑制して高いリファレンスが得られる赤外線反射膜下の第2の感熱素子と、薄く熱伝導性の低い絶縁性フィルムと、によって、第1の感熱素子と第2の感熱素子との良好な温度差分を得ることができる。これにより、高感度化を図ることができると共に、小型かつ安価に作製可能である。
また、一対の第2の配線膜4Bは、線状に形成されており、その一端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された第2の接着電極5Bが接続されていると共に、他端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された第2の端子電極7Bが接続されている。
また、上記第1の端子電極7A及び第2の端子電極7Bは、外部の回路との接続を行うための電極である。
このため、高精度な検出を得るためには、B定数の選別工程を設けたり、抵抗値の調整工程が必要となる。例えば、調整用の電極部を設けて該電極部を部分的に切断して抵抗値を調整する等の調整工程が必要である。
これらの対策として、本実施形態の第1の感熱素子3Aと第2の感熱素子3Bとは、上記のようなセラミックス焼結体で形成された同一のウエハから得たサーミスタ素子の中から所定の許容誤差内の抵抗値で選別したものである。
このように、低熱伝導性の絶縁性フィルム2上で互いに熱の影響が抑制された第1の感熱素子3Aと第2の感熱素子3Bとが、それぞれ絶縁性フィルム2において赤外線が照射される部分の直下と赤外線が反射される部分の直下との温度を測定する構造を有している。したがって、赤外線検知用とされる第1の感熱素子3Aと温度補償用とされる第2の感熱素子3Bとの良好な温度差分を得られ、高感度化を図ることができる。
さらに、赤外線反射膜6が、銅箔8と、該銅箔8上に積層された金メッキ膜9と、で構成されているので、金メッキ膜9が、銅箔8の酸化防止膜として機能すると共に赤外線の反射率を向上させることができる。
さらに、第1の感熱素子3Aおよび第2の感熱素子3Bのセラミックス焼結体が、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有しているので、異方性もなく、また不純物層がないので、セラミックス焼結体内で電気特性のバラツキが小さく、第1の感熱素子3Aと第2の感熱素子3Bとで高精度な測定が可能になる。また、安定した結晶構造のため、耐環境に対する信頼性も高い。
したがって、第3実施形態の回路基板30では、赤外線センサ1と、絶縁性フィルム32上に形成され第1の配線膜34A及び第2の配線膜34Bに接続された回路部35と、を備えているので、赤外線センサ1と共にその制御回路等の回路部35とが同一基板上に一体化されることで、全体の小型化及び低コスト化が可能になる。なお、絶縁性フィルム32上に赤外線センサ1と共に形成される回路部35は、赤外線センサ1の制御回路以外の回路であっても構わないと共に、回路基板30も赤外線センサ専用基板だけでなく、他の回路基板と共用した基板でも構わない。
これらの赤外線センサ装置48A〜48Cは、例えばバッテリーユニット、複写機、IHクッキングヒータ等における温度センサ等に採用される。
なお、実装基板43B,43Cでは、配線パターンの図示を省略している。
なお、この赤外線吸収膜は、第1の感熱素子よりも大きなサイズでこれを覆うように形成することが好ましい。
なお、感熱素子としては、上述したように薄膜サーミスタやチップサーミスタが用いられるが、サーミスタ以外に焦電素子等も採用可能である。
Claims (8)
- 絶縁性フィルムと、
該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子及び第2の感熱素子と、
前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第1の感熱素子に接続された導電性の一対の第1の配線膜及び前記第2の感熱素子に接続された導電性の一対の第2の配線膜と、
前記第2の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜と、を備え、
一対の前記第1の配線膜が、その間に前記第1の感熱素子を配して前記第1の感熱素子の周囲にまで配されて前記第2の配線膜よりも大きな面積で形成されていることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1に記載の赤外線センサにおいて、
前記第2の配線膜が、前記第2の感熱素子の周囲にまで配されていることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1又は2に記載の赤外線センサにおいて、
前記絶縁性フィルムが、ポリイミド基板で形成され、
前記赤外線反射膜、前記第1の配線膜及び前記第2の配線膜が銅箔で形成されていることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項3に記載の赤外線センサにおいて、
前記赤外線反射膜が、前記銅箔と、該銅箔上に積層された金メッキ膜と、で構成されていることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の赤外線センサにおいて、
前記感熱素子が、Mn,CoおよびFeの金属酸化物を含有するセラミックス焼結体で形成されたサーミスタ素子であることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項5に記載の赤外線センサにおいて、
前記セラミックス焼結体が、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有していることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の赤外線センサにおいて、
前記第1の感熱素子と前記第2の感熱素子とが、セラミックス焼結体で形成された同一のウエハから得たサーミスタ素子の中から所定の許容誤差内の抵抗値で選別したものであることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の赤外線センサと、
前記絶縁性フィルム上に形成された回路部と、を備えていることを特徴とする回路基板。
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