JP6743737B2 - 赤外線センサ - Google Patents
赤外線センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6743737B2 JP6743737B2 JP2017059006A JP2017059006A JP6743737B2 JP 6743737 B2 JP6743737 B2 JP 6743737B2 JP 2017059006 A JP2017059006 A JP 2017059006A JP 2017059006 A JP2017059006 A JP 2017059006A JP 6743737 B2 JP6743737 B2 JP 6743737B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- infrared
- infrared sensor
- insulating film
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 70
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 70
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 70
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 23
- 239000010408 film Substances 0.000 description 124
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 16
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 16
- 230000004044 response Effects 0.000 description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 5
- 239000003570 air Substances 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910020598 Co Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020637 Co-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002519 Co-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0252—Constructional arrangements for compensating for fluctuations caused by, e.g. temperature, or using cooling or temperature stabilization of parts of the device; Controlling the atmosphere inside a photometer; Purge systems, cleaning devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0022—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiation of moving bodies
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0831—Masks; Aperture plates; Spatial light modulators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/12—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
- G01J5/14—Electrical features thereof
- G01J5/16—Arrangements with respect to the cold junction; Compensating influence of ambient temperature or other variables
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0022—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiation of moving bodies
- G01J2005/0033—Wheel
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J2005/065—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by shielding
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J2005/066—Differential arrangement, i.e. sensitive/not sensitive
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
このような赤外線センサとしては、近年、柔軟性に優れると共に全体を薄くすることができる絶縁性フィルム上に薄膜サーミスタを形成したフィルム型赤外線センサが開発されている。
すなわち、上記従来の赤外線センサの場合、環境温度に変化が生じた場合、例えば周囲空気の対流の影響を受けて受光側及び補償側の一方で温度が変化した場合、温度が変化した一方で熱が配線膜を介して端子電極に逃げ易いため、受光側と補償側との熱バランスの収束が遅くなってしまい熱応答性が低下してしまう不都合があった。
すなわち、この赤外線センサでは、熱結合部が、赤外線反射膜の一部に対向して形成されているので、熱結合部が薄い絶縁性フィルムを介して赤外線反射膜の一部に最も近接し、高い熱結合性を得ることができる。
すなわち、この赤外線センサでは、熱結合部が、第2の感熱素子の近傍に配された補償側近傍結合部を有しているので、補償側近傍結合部が第2の感熱素子に近いことで、応答性がより高くなる。
すなわち、この赤外線センサでは、熱結合部が、前記近傍領域の赤外線反射膜の一部に近接した外縁近傍結合部を有しているので、外縁近傍結合部によって絶縁性フィルム外縁の近傍領域からも熱を伝えることができる。
すなわち、この赤外線センサでは、赤外線反射膜が、受光領域の周囲も覆って形成されているので、熱結合部を介して伝わった環境温度の変化が受光領域の周囲全体にも伝わり、さらに熱バランスの収束を早くすることが可能になる。したがって、第1の感熱素子側と第2の感熱素子側との間の空気対流による温度勾配が小さくなり、2つの感熱素子の応答速度を同等にすることが可能になる。
例えば、第2の感熱素子に対向する領域のみに赤外線反射膜が形成されている場合、周囲空気の対流により第2の感熱素子側から空気が流れてきたとき、第2の感熱素子の上方の赤外線反射膜が冷えて絶縁性フィルムの温度が局所的に変化してしまう。これに対し、本発明の赤外線センサでは、赤外線反射膜が第1の感熱素子に対向する受光領域の周囲も覆って形成されているため、空気の流れによって第2の感熱素子側の領域が冷えても赤外線反射膜の熱伝導性によって受光領域の周囲の温度も下がり、全体的に温度の差分が生じ難くなって、周囲空気の対流による影響を受け難くなる。なお、第1の感熱素子の上方の受光領域は赤外線反射膜で覆わないため、測定対象物からの赤外線の受光を妨げない。
すなわち、本発明に係る赤外線センサによれば、伝熱膜が、赤外線反射膜の一部に近接した熱結合部を有しているので、熱結合部を介して受光側と補償側との相互で環境温度の変化を効率的に伝えることができ、受光側と補償側との熱バランスの収束が早くなり、熱応答性が向上する。
したがって、本発明の赤外線センサによれば、熱応答性が高く、複写機やプリンタ等の加熱ローラの温度測定用として好適である。
上記一対の第1の配線6Aは、一端に第1の感熱素子5Aに接続された一対の第1の接着電極3Aを有している。また、上記一対の第2の配線6Bは、一端に第2の感熱素子5Bに接続された一対の第2の接着電極3Bを有している。
上記熱結合部Cは、第1の配線6Aの一部と熱結合させるための部分であり、第2の感熱素子5Bの近傍まで延在して第2の感熱素子5Bの近傍に配された補償側近傍結合部C1を有している。
上記赤外線反射膜8は、受光領域Dの周囲も覆って形成されている。
なお、第2の配線6Bは、第1の配線6Aに比べて短い距離で延在し、第2の端子電極4Bに達している。
上記伝熱膜7は、第1の配線6Aよりも広い面積で形成されている。
一対の伝熱膜7は、それぞれ第2の感熱素子5B側に延びており、第2の感熱素子5B側の端部が赤外線反射膜8の近傍まで達した補償側近傍結合部C1となっている。
上記第1の接着電極3A及び第2の接着電極3Bには、それぞれ対応する第1の感熱素子5A及び第2の感熱素子5Bの端子電極が半田等の導電性接着剤で接着されている。
なお、第1の端子電極4Aへの伝熱膜7の接続部分にくびれ部7aを形成しているので、くびれ部7aがサーマルランドとして機能し、ハンダ時に熱が必要以上に周囲に逃げてハンダが溶け難くなってハンダ不良となることを抑制することができる。
なお、図1において、裏面側の赤外線反射膜8を破線で図示している。また、図2の(a)(b)において、各端子電極、各配線、伝熱膜7及び赤外線反射膜8をハッチングで図示している。
上記一対の第1の端子電極4A及び一対の第2の端子電極4Bは、絶縁性フィルム2の角部近傍に配設されている。
この赤外線反射膜8は、絶縁性フィルム2よりも高い赤外線反射率を有する材料で形成され、上述したように、銅箔上に金メッキ膜が施されて形成されている。なお、金メッキ膜の他に、例えば鏡面のアルミニウム蒸着膜やアルミニウム箔等で形成しても構わない。
さらに、赤外線反射膜8が、受光領域Dの周囲も覆って形成されているので、熱結合部Cを介して伝わった環境温度の変化が受光領域Dの周囲全体にも伝わり、さらに熱バランスの収束を早くすることが可能になる。したがって、第1の感熱素子5A側と第2の感熱素子5B側との間の空気対流による温度勾配が小さくなり、2つの感熱素子の応答速度を同等にすることが可能になる。
すなわち、第2実施形態では、伝熱膜27が、第1実施形態よりも第2の感熱素子5B側に延びており、その第2の感熱素子5B側の端部が赤外線反射膜8の直下まで達して補償側近傍結合部C2となっている。
このように第3実施形態の赤外線センサ31では、熱結合部Cが、前記近傍領域の赤外線反射膜8の一部に近接した外縁近傍結合部C3を有しているので、外縁近傍結合部C3によって絶縁性フィルム2外縁の近傍領域からも熱を伝えることができる。
なお、補償側近傍結合部C1及び外縁近傍結合部C3を、第2実施形態のように、さらに延ばして赤外線反射膜8の一部に対向して形成しても構わない。
Claims (5)
- 絶縁性フィルムと、
前記絶縁性フィルムの一方の面に設けられた第1の感熱素子及び第2の感熱素子と、
前記第1の感熱素子に一端が接続され前記絶縁性フィルムの一方の面に形成された一対の第1の配線と、
前記第2の感熱素子に一端が接続され前記絶縁性フィルムの一方の面に形成された一対の第2の配線と、
前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられ前記第1の感熱素子に対向した受光領域と、
前記絶縁性フィルムの他方の面に形成され前記受光領域を避けて少なくとも前記第2の感熱素子の直上を覆う赤外線反射膜と、
前記第1の感熱素子に接続され前記絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された伝熱膜と、を備え、
前記伝熱膜が、前記赤外線反射膜の一部に近接した熱結合部を有していることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1に記載の赤外線センサにおいて、
前記熱結合部が、前記赤外線反射膜の一部に対向して形成されていることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1又は2に記載の赤外線センサにおいて、
前記熱結合部が、前記第2の感熱素子の近傍に配された補償側近傍結合部を有していることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の赤外線センサにおいて、
前記赤外線反射膜が、前記絶縁性フィルムの外縁の近傍領域にまで延在し、
前記熱結合部が、前記近傍領域の前記赤外線反射膜の一部に近接した外縁近傍結合部を有していることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の赤外線センサにおいて、
前記赤外線反射膜が、前記受光領域の周囲も覆って形成されていることを特徴とする赤外線センサ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017059006A JP6743737B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 赤外線センサ |
PCT/JP2018/010586 WO2018173973A1 (ja) | 2017-03-24 | 2018-03-16 | 赤外線センサ |
EP18772667.4A EP3605040B1 (en) | 2017-03-24 | 2018-03-16 | Infrared sensor |
KR1020197027164A KR102596590B1 (ko) | 2017-03-24 | 2018-03-16 | 적외선 센서 |
TW107109546A TW201903367A (zh) | 2017-03-24 | 2018-03-21 | 紅外線感測器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017059006A JP6743737B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 赤外線センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018162982A JP2018162982A (ja) | 2018-10-18 |
JP6743737B2 true JP6743737B2 (ja) | 2020-08-19 |
Family
ID=63586505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017059006A Active JP6743737B2 (ja) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 赤外線センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3605040B1 (ja) |
JP (1) | JP6743737B2 (ja) |
KR (1) | KR102596590B1 (ja) |
TW (1) | TW201903367A (ja) |
WO (1) | WO2018173973A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020067348A (ja) * | 2018-10-24 | 2020-04-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサ |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5640529B2 (ja) * | 2009-10-17 | 2014-12-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサ及びこれを備えた回路基板 |
JP5696831B2 (ja) * | 2010-09-23 | 2015-04-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサ |
JP5736906B2 (ja) * | 2011-03-30 | 2015-06-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサ |
JP2013072821A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-22 | Mitsubishi Materials Corp | 赤外線センサ |
JP2013113732A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Mitsubishi Materials Corp | 赤外線センサ及びこれを備えた誘導加熱調理器 |
JP5892368B2 (ja) * | 2012-02-01 | 2016-03-23 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサ |
JP6131520B2 (ja) | 2012-02-06 | 2017-05-24 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサ装置 |
JP6476596B2 (ja) * | 2014-05-28 | 2019-03-06 | Tdk株式会社 | 温度センサ |
GB2527348A (en) * | 2014-06-19 | 2015-12-23 | Melexis Technologies Nv | Infrared sensor with sensor temperature compensation |
JP6354465B2 (ja) * | 2014-09-01 | 2018-07-11 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサおよび赤外線センサの感度調整方法 |
US10605651B2 (en) * | 2016-01-29 | 2020-03-31 | Mitsubishi Materials Corporation | Infrared sensor |
JP6677925B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2020-04-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサ |
-
2017
- 2017-03-24 JP JP2017059006A patent/JP6743737B2/ja active Active
-
2018
- 2018-03-16 KR KR1020197027164A patent/KR102596590B1/ko active IP Right Grant
- 2018-03-16 EP EP18772667.4A patent/EP3605040B1/en active Active
- 2018-03-16 WO PCT/JP2018/010586 patent/WO2018173973A1/ja active Application Filing
- 2018-03-21 TW TW107109546A patent/TW201903367A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3605040A1 (en) | 2020-02-05 |
WO2018173973A1 (ja) | 2018-09-27 |
EP3605040B1 (en) | 2023-12-06 |
JP2018162982A (ja) | 2018-10-18 |
KR20190132999A (ko) | 2019-11-29 |
EP3605040A4 (en) | 2020-12-16 |
KR102596590B1 (ko) | 2023-10-31 |
TW201903367A (zh) | 2019-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2011078004A1 (ja) | 赤外線センサ | |
TWI568997B (zh) | Infrared sensor | |
WO2017131151A1 (ja) | 赤外線センサ | |
JP6743737B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP4483521B2 (ja) | 非接触温度センサ | |
WO2017131166A1 (ja) | 赤外線センサ | |
JP6860812B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP6743741B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP2018169191A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2018169192A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2020148469A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2017181031A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2013072821A (ja) | 赤外線センサ | |
JP7124725B2 (ja) | 温度センサ及びその製造方法 | |
JP2018159559A (ja) | 赤外線センサ | |
WO2020084811A1 (ja) | 赤外線センサ | |
JP2019128178A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2020060464A (ja) | 赤外線センサ及びその製造方法 | |
JP2019148449A (ja) | 赤外線センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200630 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6743737 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |