KR20190132999A - 적외선 센서 - Google Patents
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Abstract
열 밸런스의 수속을 빠르게 하여, 열 응답성을 향상시킬 수 있는 적외선 센서를 제공한다. 본 발명에 관련된 적외선 센서는, 절연성 필름 (2) 과, 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 제 1 감열 소자 (5A) 및 제 2 감열 소자 (5B) 와, 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 1 쌍의 제 1 배선 (6A) 과, 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 1 쌍의 제 2 배선 (6B) 과, 절연성 필름 타방의 면에 형성되고 제 1 감열 소자에 대향한 수광 영역과, 절연성 필름 타방의 면에 형성되고 수광 영역을 피하여 적어도 제 2 감열 소자의 바로 위를 덮는 적외선 반사막 (8) 과, 제 1 감열 소자에 접속되고 절연성 필름의 일방의 면에 패턴 형성된 전열막 (7) 을 구비하고, 전열막이, 적외선 반사막의 일부에 근접한 열 결합부 (C) 를 갖고 있다.
Description
본 발명은, 복사기나 프린터 등의 가열 롤러의 온도를 측정하는 것에 매우 적합하고 응답성이 우수한 적외선 센서에 관한 것이다.
일반적으로, 복사기나 프린터 등의 화상 형성 장치에 사용되고 있는 정착 롤러 등의 측정 대상물의 온도를 측정하기 위하여, 측정 대상물에 대향 배치시키고, 그 복사열을 받아 온도를 측정하는 적외선 센서가 설치되어 있다.
이와 같은 적외선 센서로는, 최근, 유연성이 우수함과 함께 전체를 얇게 할 수 있는 절연성 필름 상에 박막 서미스터를 형성한 필름형 적외선 센서가 개발되어 있다.
예를 들어, 특허문헌 1 에는, 절연성 필름과, 그 절연성 필름의 일방의 면에 서로 이간시켜 형성된 제 1 감열 소자 및 제 2 감열 소자와, 절연성 필름의 일방의 면에 형성되고 제 1 감열 소자에 접속된 도전성의 제 1 배선막 및 제 2 감열 소자에 접속된 도전성의 제 2 배선막과, 제 2 감열 소자에 대향하여 절연성 필름 타방의 면에 형성된 적외선 반사막을 구비한 적외선 센서가 기재되어 있다.
상기 종래의 기술에는, 이하의 과제가 남아 있다.
즉, 상기 종래의 적외선 센서의 경우, 환경 온도에 변화가 발생한 경우, 예를 들어 주위 공기의 대류의 영향을 받아 수광측 및 보상측의 일방에서 온도가 변화된 경우, 온도가 변화된 일방에서 열이 배선막을 통하여 단자 전극으로 달아나기 쉽기 때문에, 수광측과 보상측의 열 밸런스의 수속 (收束) 이 늦어져 열 응답성이 저하되는 문제가 있었다.
본 발명은, 상기 서술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 열 밸런스의 수속을 빠르게 하여, 열 응답성을 향상시킬 수 있는 적외선 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위하여 이하의 구성을 채용하였다. 즉, 제 1 발명에 관련된 적외선 센서는, 절연성 필름과, 상기 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 제 1 감열 소자 및 제 2 감열 소자와, 상기 제 1 감열 소자에 일단이 접속되고 상기 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 1 쌍의 제 1 배선과, 상기 제 2 감열 소자에 일단이 접속되고 상기 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 1 쌍의 제 2 배선과, 상기 절연성 필름 타방의 면에 형성되고 상기 제 1 감열 소자에 대향한 수광 영역과, 상기 절연성 필름 타방의 면에 형성되고 상기 수광 영역을 피하여 적어도 상기 제 2 감열 소자의 바로 위를 덮는 적외선 반사막과, 상기 제 1 감열 소자에 접속되고 상기 절연성 필름의 일방의 면에 패턴 형성된 전열막을 구비하고, 상기 전열막이, 상기 적외선 반사막의 일부에 근접한 열 결합부를 갖고 있는 것을 특징으로 한다.
이 적외선 센서에서는, 전열막이, 적외선 반사막의 일부에 근접한 열 결합부를 갖고 있으므로, 열 결합부가 적외선 반사막의 일부와 열 결합함으로써 수광측과 보상측 사이에서 서로 환경 온도의 변화를 효율적으로 전달할 수 있고, 수광측과 보상측의 열 밸런스의 수속이 빨라져, 열 응답성이 향상된다. 즉, 절연성 필름이 얇기 때문에, 열 결합부를 통하여 일방의 면의 열이 빠르게 타방의 면의 적외선 반사막에 전달되고, 특히 적외선 반사막이 금속막인 경우, 높은 열전도성을 갖고 수광측과 보상측에서 서로 열을 전달하여 재빠르게 열 밸런스의 수속을 도모할 수 있다.
제 2 발명에 관련된 적외선 센서에서는, 제 1 발명에 있어서, 상기 열 결합부가, 상기 적외선 반사막의 일부에 대향하여 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 적외선 센서에서는, 열 결합부가, 적외선 반사막의 일부에 대향하여 형성되어 있기 때문에, 열 결합부가 얇은 절연성 필름을 통하여 적외선 반사막의 일부에 가장 근접하여, 높은 열 결합성을 얻을 수 있다.
제 3 발명에 관련된 적외선 센서에서는, 제 1 또는 제 2 발명에 있어서, 상기 열 결합부가, 상기 제 2 감열 소자의 근방에 배치된 보상측 근방 결합부를 갖고 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 적외선 센서에서는, 열 결합부가, 제 2 감열 소자의 근방에 배치된 보상측 근방 결합부를 갖고 있으므로, 보상측 근방 결합부가 제 2 감열 소자에 가까움으로써, 응답성이 보다 높아진다.
제 4 발명에 관련된 적외선 센서에서는, 제 1 내지 제 3 발명 중 어느 하나에 있어서, 상기 적외선 반사막이, 상기 절연성 필름의 외측 가장자리의 근방 영역으로까지 연장되고, 상기 열 결합부가, 상기 근방 영역의 상기 적외선 반사막의 일부에 근접한 외측 가장자리 근방 결합부를 갖고 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 적외선 센서에서는, 열 결합부가, 상기 근방 영역의 적외선 반사막의 일부에 근접한 외측 가장자리 근방 결합부를 갖고 있으므로, 외측 가장자리 근방 결합부에 의해 절연성 필름 외측 가장자리의 근방 영역으로부터도 열을 전달할 수 있다.
제 5 발명에 관련된 적외선 센서에서는, 제 1 내지 제 4 발명 중 어느 하나에 있어서, 상기 적외선 반사막이, 상기 수광 영역의 주위도 덮어 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 적외선 센서에서는, 적외선 반사막이, 수광 영역의 주위도 덮어 형성되어 있기 때문에, 열 결합부를 통하여 전달된 환경 온도의 변화가 수광 영역의 주위 전체에도 전달되어, 더욱 열 밸런스의 수속을 빠르게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 제 1 감열 소자측과 제 2 감열 소자측 사이의 공기 대류에 의한 온도 구배가 작아져, 2 개의 감열 소자의 응답 속도를 동등하게 하는 것이 가능해진다.
예를 들어, 제 2 감열 소자에 대향하는 영역에만 적외선 반사막이 형성되어 있는 경우, 주위 공기의 대류에 의해 제 2 감열 소자측으로부터 공기가 흘러 왔을 때, 제 2 감열 소자의 상방의 적외선 반사막이 차가워져 절연성 필름의 온도가 국소적으로 변화된다. 이에 대하여, 본 발명의 적외선 센서에서는, 적외선 반사막이 제 1 감열 소자에 대향하는 수광 영역의 주위도 덮어 형성되어 있기 때문에, 공기의 흐름에 의해 제 2 감열 소자측의 영역이 차가워져도 적외선 반사막의 열전도성에 의해 수광 영역의 주위의 온도도 내려가, 전체적으로 온도의 차분이 잘 발생하지 않게 되어, 주위 공기의 대류에 의한 영향을 잘 받지 않게 된다. 또한, 제 1 감열 소자의 상방의 수광 영역은 적외선 반사막으로 덮이지 않기 때문에, 측정 대상물로부터의 적외선의 수광을 방해하지 않는다.
본 발명에 의하면, 이하의 효과를 발휘한다.
즉, 본 발명에 관련된 적외선 센서에 의하면, 전열막이, 적외선 반사막의 일부에 근접한 열 결합부를 갖고 있으므로, 열 결합부를 통하여 수광측과 보상측의 상호에서 환경 온도의 변화를 효율적으로 전달할 수 있고, 수광측과 보상측의 열 밸런스의 수속이 빨라져, 열 응답성이 향상된다.
따라서, 본 발명의 적외선 센서에 의하면, 열 응답성이 높아, 복사기나 프린터 등의 가열 롤러의 온도 측정용으로서 바람직하다.
도 1 은 본 발명에 관련된 적외선 센서의 제 1 실시형태를 나타내는 평면도이다.
도 2 는 제 1 실시형태에 있어서, 적외선 센서를 나타내는 평면도 (a) 및 이면도 (b) 이다.
도 3 은 본 발명에 관련된 적외선 센서의 제 2 실시형태에 있어서, 감열 소자를 떼어낸 상태의 평면도이다.
도 4 는 본 발명에 관련된 적외선 센서의 제 3 실시형태에 있어서, 감열 소자를 떼어낸 상태의 평면도이다.
도 2 는 제 1 실시형태에 있어서, 적외선 센서를 나타내는 평면도 (a) 및 이면도 (b) 이다.
도 3 은 본 발명에 관련된 적외선 센서의 제 2 실시형태에 있어서, 감열 소자를 떼어낸 상태의 평면도이다.
도 4 는 본 발명에 관련된 적외선 센서의 제 3 실시형태에 있어서, 감열 소자를 떼어낸 상태의 평면도이다.
이하, 본 발명에 관련된 적외선 센서에 있어서의 제 1 실시형태를, 도 1 및 도 2 를 참조하면서 설명한다.
본 실시형태의 적외선 센서 (1) 는, 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 절연성 필름 (2) 과, 절연성 필름 (2) 의 일방의 면 (표면) 에 패턴 형성된 1 쌍의 제 1 단자 전극 (4A) 및 1 쌍의 제 2 단자 전극 (4B) 과, 절연성 필름 (2) 의 일방의 면에 형성된 제 1 감열 소자 (5A) 및 제 2 감열 소자 (5B) 와, 제 1 감열 소자 (5A) 에 일단이 접속되어 있음과 함께 1 쌍의 제 1 단자 전극 (4A) 에 타단이 접속되고 절연성 필름 (2) 의 일방의 면에 패턴 형성된 1 쌍의 제 1 배선 (6A) 과, 제 2 감열 소자 (5B) 에 일단이 접속되어 있음과 함께 1 쌍의 제 2 단자 전극 (4B) 에 타단이 접속되고 절연성 필름 (2) 의 일방의 면에 패턴 형성된 1 쌍의 제 2 배선 (6B) 과, 절연성 필름 (2) 의 타방의 면 (수광측의 면, 이면) 에 형성되고 제 1 감열 소자 (5A) 에 대향한 수광 영역 (D) 과, 절연성 필름 (2) 의 타방의 면에 형성되고 수광 영역 (D) 을 피하여 적어도 제 2 감열 소자 (5B) 의 바로 위를 덮는 적외선 반사막 (8) 을 구비하고 있다.
또, 본 실시형태의 적외선 센서 (1) 는, 제 1 배선 (6A) 과는 별도로 1 쌍의 제 1 접착 전극 (3A) 에 접속되고 절연성 필름 (2) 의 일방의 면에 절연성 필름 (2) 보다 열전도율이 높은 박막으로 제 1 접착 전극 (3A) 의 근방에 패턴 형성된 1 쌍의 전열막 (7) 을 구비하고 있다.
상기 전열막 (7) 은, 적외선 반사막 (8) 의 일부에 근접한 열 결합부 (C) 를 갖고 있다.
상기 1 쌍의 제 1 배선 (6A) 은, 일단에 제 1 감열 소자 (5A) 에 접속된 1 쌍의 제 1 접착 전극 (3A) 을 갖고 있다. 또, 상기 1 쌍의 제 2 배선 (6B) 은, 일단에 제 2 감열 소자 (5B) 에 접속된 1 쌍의 제 2 접착 전극 (3B) 을 갖고 있다.
상기 열 결합부 (C) 는, 제 1 배선 (6A) 의 일부와 열 결합시키기 위한 부분으로서, 제 2 감열 소자 (5B) 의 근방까지 연장되어 제 2 감열 소자 (5B) 의 근방에 배치된 보상측 근방 결합부 (C1) 를 갖고 있다.
상기 적외선 반사막 (8) 은, 수광 영역 (D) 의 주위도 덮어 형성되어 있다.
1 쌍의 상기 제 1 배선 (6A) 은, 1 쌍의 제 1 접착 전극 (3A) 으로부터 제 2 감열 소자 (5B) 측과 역방향으로 연장되고, 그리고 복수 회 되접어 사행한 부분 (6a) 을 통하여 각각 대응하는 제 1 단자 전극 (4A) 에 도달하고 있다. 이와 같이 제 1 배선 (6A) 이 사행한 부분 (6a) 을 갖고 있으므로, 제 1 단자 전극 (4A) 까지의 열 저항을 크게 하는 것이 가능해진다.
또한, 제 2 배선 (6B) 은, 제 1 배선 (6A) 에 비해 짧은 거리로 연장되고, 제 2 단자 전극 (4B) 에 도달하고 있다.
상기 제 1 배선 (6A) 과 전열막 (7) 은, 서로 직접적으로는 접촉하고 있지 않고, 제 1 접착 전극 (3A) 을 개재하여 간접적으로 접속되어 있다.
상기 전열막 (7) 은, 제 1 배선 (6A) 보다 넓은 면적으로 형성되어 있다.
1 쌍의 전열막 (7) 은, 각각 제 2 감열 소자 (5B) 측으로 연장되어 있고, 제 2 감열 소자 (5B) 측의 단부가 적외선 반사막 (8) 의 근방까지 도달한 보상측 근방 결합부 (C1) 로 되어 있다.
또한, 보상측 근방 결합부 (C1) 의 열 저항이, 제 1 배선 (6A) 중 절연성 필름 (2) 의 검출측 단부에 배치된 부분, 즉 사행한 부분 (6a) 으로부터 제 1 단자 전극 (4A) 까지의 연장 부분 (6b) 의 열 저항보다 매우 크면, 연장 부분 (6b) 으로부터 제 1 단자 전극 (4A) 에 대한 열의 흐름이 지배적으로 되는 것에 반하여, 보상측 근방 결합부 (C1) 의 열 저항이, 연장 부분 (6b) 의 열 저항의 2 배보다 작거나 동일한 정도이면, 보상측 근방 결합부 (C1) 로부터 적외선 반사막 (8) 에 대한 양호한 열의 흐름이 얻어져, 열 밸런스의 고속 안정화를 도모할 수 있다. 따라서, 보상측 근방 결합부 (C1) 와 적외선 반사막 (8) 의 양호한 열 결합을 얻기 위하여,「보상측 근방 결합부 (C1) 의 열 저항 ≤ 연장 부분 (6b) 의 열 저항 × 2」가 되도록 설정하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 본 실시형태에서는, 상기 각 부의 열전도율, 두께, 폭 및 길이로부터 산출한 열 저항 (＝ 전열 경로의 전열 거리/(단면적 × 열전도율)) 의 비로서, 연장 부분 (6b) 이 1 인 데 반하여 보상측 근방 결합부 (C1) 가 약 1 (동일한 정도) 로 설정되어 있다.
또, 전열막 (7) 의 제 1 접착 전극 (3A) 에 대한 접속부와, 제 1 배선 (6A) 의 제 1 접착 전극 (3A) 에 대한 접속부는, 별도로 설정되어 있다.
상기 제 1 접착 전극 (3A) 및 제 2 접착 전극 (3B) 에는, 각각 대응하는 제 1 감열 소자 (5A) 및 제 2 감열 소자 (5B) 의 단자 전극이 솔더 등의 도전성 접착제로 접착되어 있다.
정방 형상으로 된 제 1 접착 전극 (3A) 의 4 변 중, 2 변에 병목부 (7a) 를 통하여 부분적으로 전열막 (7) 이 접속되어 있다.
또한, 제 1 단자 전극 (4A) 에 대한 전열막 (7) 의 접속 부분에 병목부 (7a) 를 형성하고 있기 때문에, 병목부 (7a) 가 서멀 랜드로서 기능하고, 솔더시에 열이 필요 이상으로 주위로 달아나 솔더가 잘 녹지 않게 되어 솔더 불량이 되는 것을 억제할 수 있다.
본 실시형태에서는, 적외선의 수광면 바로 아래에 배치된 제 1 감열 소자 (5A) 가 적외선의 검출용 소자로 되고, 적외선 반사막 (8) 바로 아래에 배치된 제 2 감열 소자 (5B) 가 보상용 소자로 되어 있다.
또한, 도 1 에 있어서, 이면측의 적외선 반사막 (8) 을 파선으로 도시하고 있다. 또, 도 2 의 (a) (b) 에 있어서, 각 단자 전극, 각 배선, 전열막 (7) 및 적외선 반사막 (8) 을 해칭으로 도시하고 있다.
상기 절연성 필름 (2) 은, 폴리이미드 수지 시트로 대략 장방 형상으로 형성되고, 적외선 반사막 (8), 각 배선, 각 단자 전극, 각 접착 전극 및 전열막 (7) 이 동박으로 형성되어 있다. 즉, 이것들은, 절연성 필름 (2) 으로 되는 폴리이미드 기판의 양면에, 적외선 반사막 (8), 각 배선, 각 단자 전극, 각 접착 전극 및 전열막 (7) 이 동박으로 패턴 형성된 양면 플렉시블 기판에 의해 제조된 것이다.
상기 1 쌍의 제 1 단자 전극 (4A) 및 1 쌍의 제 2 단자 전극 (4B) 은, 절연성 필름 (2) 의 모서리부 근방에 배치 형성되어 있다.
상기 적외선 반사막 (8) 은, 상기 서술한 동박과, 그 동박 상에 적층된 금도금막으로 구성되어 있다.
이 적외선 반사막 (8) 은, 절연성 필름 (2) 보다 높은 적외선 반사율을 갖는 재료로 형성되고, 상기 서술한 바와 같이, 동박 상에 금도금막이 실시되어 형성되어 있다. 또한, 금도금막 외에, 예를 들어 경면의 알루미늄 증착막이나 알루미늄박 등으로 형성해도 상관없다.
상기 제 1 감열 소자 (5A) 및 제 2 감열 소자 (5B) 는, 양 단부에 단자 전극 (도시 생략) 이 형성된 칩 서미스터이다. 이 서미스터로는, NTC 형, PTC 형, CTR 형 등의 서미스터가 있지만, 본 실시형태에서는, 제 1 감열 소자 (5A) 및 제 2 감열 소자 (5B) 로서, 예를 들어 NTC 형 서미스터를 채용하고 있다. 이 서미스터는, Mn-Co-Cu 계 재료, Mn-Co-Fe 계 재료 등의 서미스터 재료로 형성되어 있다.
이와 같이 본 실시형태의 적외선 센서 (1) 에서는, 전열막 (7) 이, 적외선 반사막 (8) 의 일부에 근접한 열 결합부 (C) 를 갖고 있으므로, 열 결합부 (C) 가 적외선 반사막 (8) 의 일부와 열 결합함으로써 수광측과 보상측 사이에서 서로 환경 온도의 변화를 효율적으로 전달할 수 있고, 수광측과 보상측의 열 밸런스의 수속이 빨라져, 열 응답성이 향상된다. 즉, 절연성 필름 (2) 이 얇기 때문에, 열 결합부 (C) 를 통하여 일방의 면의 열이 빠르게 타방의 면의 적외선 반사막 (8) 에 전달되고, 특히 적외선 반사막 (8) 이 금속막인 경우, 높은 열전도성을 갖고 수광측과 보상측에서 서로 열을 전달하여 재빠르게 열 밸런스의 수속을 도모할 수 있다.
또, 열 결합부 (C) 가, 제 2 감열 소자 (5B) 의 근방에 배치된 보상측 근방 결합부 (C1) 를 갖고 있으므로, 보상측 근방 결합부 (C1) 가 제 2 감열 소자 (5B) 에 가까움으로써, 응답성이 보다 높아진다.
또한, 적외선 반사막 (8) 이, 수광 영역 (D) 의 주위도 덮어 형성되어 있기 때문에, 열 결합부 (C) 를 통하여 전달된 환경 온도의 변화가 수광 영역 (D) 의 주위 전체에도 전달되어, 더욱 열 밸런스의 수속을 빠르게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 제 1 감열 소자 (5A) 측과 제 2 감열 소자 (5B) 측 사이의 공기 대류에 의한 온도 구배가 작아져, 2 개의 감열 소자의 응답 속도를 동등하게 하는 것이 가능해진다.
다음으로, 본 발명에 관련된 적외선 센서의 제 2 및 제 3 실시형태에 대해, 도 3 및 도 4 를 참조하여 이하에 설명한다. 또한, 이하의 각 실시형태의 설명에 있어서, 상기 실시형태에 있어서 설명한 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명은 생략한다. 또, 도 3 및 도 4 에서는, 절연성 필름 (2) 의 타방의 면에 형성한 적외선 반사막 (8) 을 파선으로 나타내고 있다.
제 2 실시형태와 제 1 실시형태의 상이한 점은, 제 1 실시형태에서는, 열 결합부 (C) 의 보상측 근방 결합부 (C1) 가 적외선 반사막 (8) 의 근방에 있지만, 평면 방향으로 약간 떨어져 있는 데 반하여, 제 2 실시형태의 적외선 센서 (21) 에서는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 열 결합부 (C) 의 보상측 근방 결합부 (C2) 가, 적외선 반사막 (8) 의 일부에 대향하여 형성되어 있는 점이다.
즉, 제 2 실시형태에서는, 전열막 (27) 이, 제 1 실시형태보다 제 2 감열 소자 (5B) 측으로 연장되어 있고, 그 제 2 감열 소자 (5B) 측의 단부가 적외선 반사막 (8) 의 바로 아래까지 도달하여 보상측 근방 결합부 (C2) 로 되어 있다.
이와 같이 제 2 실시형태의 적외선 센서 (21) 에서는, 열 결합부 (C) 의 보상측 근방 결합부 (C2) 가, 적외선 반사막 (8) 의 일부에 대향하여 형성되어 있기 때문에, 보상측 근방 결합부 (C2) 가 얇은 절연성 필름 (2) 을 개재하여 적외선 반사막 (8) 의 일부에 가장 근접하여, 높은 열 결합성을 얻을 수 있다.
다음으로, 제 3 실시형태와 제 1 실시형태의 상이한 점은, 제 1 실시형태에서는, 열 결합부 (C) 가, 1 쌍의 보상측 근방 결합부 (C1) 뿐인 데 반하여, 제 3 실시형태의 적외선 센서 (31) 에서는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 열 결합부 (C) 가, 1 쌍의 보상측 근방 결합부 (C1) 뿐만 아니라, 절연성 필름 (2) 의 외측 가장자리의 근방 영역에 배치된 적외선 반사막 (8) 의 일부에 근접한 1 쌍의 외측 가장자리 근방 결합부 (C3) 도 갖고 있는 점이다.
즉, 제 3 실시형태에서는, 수광 영역 (D) 을 둘러싸 띠상으로 연장된 적외선 반사막 (8) 중 절연성 필름 (2) 의 1 쌍의 장변의 근방까지 전열막 (37) 의 일부가 연장되어 있고, 그 단부가 외측 가장자리 근방 결합부 (C3) 로 되어 있다.
이와 같이 제 3 실시형태의 적외선 센서 (31) 에서는, 열 결합부 (C) 가, 상기 근방 영역의 적외선 반사막 (8) 의 일부에 근접한 외측 가장자리 근방 결합부 (C3) 를 갖고 있으므로, 외측 가장자리 근방 결합부 (C3) 에 의해 절연성 필름 (2) 외측 가장자리의 근방 영역으로부터도 열을 전달할 수 있다.
또, 열 결합부 (C) 가, 1 쌍의 보상측 근방 결합부 (C1) 와 1 쌍의 외측 가장자리 근방 결합부 (C3) 를 갖고 있음으로써, 제 1 실시형태보다 많은 지점에서 열 결합을 도모할 수 있다.
또한, 보상측 근방 결합부 (C1) 및 외측 가장자리 근방 결합부 (C3) 를, 제 2 실시형태와 같이, 더욱 연장시켜 적외선 반사막 (8) 의 일부에 대향하여 형성해도 상관없다.
또한, 본 발명의 기술 범위는 상기 각 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지의 변경을 추가하는 것이 가능하다.
예를 들어, 상기 각 실시형태에서는, 제 1 감열 소자가 적외선을 직접 흡수한 절연성 필름으로부터 전도되는 열을 검출하고 있지만, 제 1 감열 소자의 바로 위이며 절연성 필름의 일방의 면 상에 절연성 필름보다 적외선 흡수성이 높은 적외선 흡수막을 형성해도 상관없다. 이 경우, 추가로 제 1 감열 소자에 있어서의 적외선 흡수 효과가 향상되어, 제 1 감열 소자와 제 2 감열 소자의 보다 양호한 온도 차분을 얻을 수 있다. 즉, 이 적외선 흡수막에 의해 측정 대상물로부터의 복사에 의한 적외선을 흡수하도록 하고, 적외선을 흡수하여 발열된 적외선 흡수막으로부터 절연성 필름을 개재한 열전도에 의해, 바로 아래의 제 1 감열 소자의 온도가 변화하도록 해도 된다.
1, 21, 31 : 적외선 센서
2 : 절연성 필름
3A : 제 1 접착 전극
3B : 제 2 접착 전극
4A : 제 1 단자 전극
4B : 제 2 단자 전극
5A : 제 1 감열 소자
5B : 제 2 감열 소자
6A : 제 1 배선
6B : 제 2 배선
7, 27, 37 : 전열막
8 : 적외선 반사막
C : 열 결합부
C1, C2 : 보상측 근방 결합부
C3 : 외측 가장자리 근방 결합부
D : 수광 영역
2 : 절연성 필름
3A : 제 1 접착 전극
3B : 제 2 접착 전극
4A : 제 1 단자 전극
4B : 제 2 단자 전극
5A : 제 1 감열 소자
5B : 제 2 감열 소자
6A : 제 1 배선
6B : 제 2 배선
7, 27, 37 : 전열막
8 : 적외선 반사막
C : 열 결합부
C1, C2 : 보상측 근방 결합부
C3 : 외측 가장자리 근방 결합부
D : 수광 영역
Claims (5)
- 절연성 필름과,
상기 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 제 1 감열 소자 및 제 2 감열 소자와,
상기 제 1 감열 소자에 일단이 접속되고 상기 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 1 쌍의 제 1 배선과,
상기 제 2 감열 소자에 일단이 접속되고 상기 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 1 쌍의 제 2 배선과,
상기 절연성 필름의 타방의 면에 형성되고 상기 제 1 감열 소자에 대향한 수광 영역과,
상기 절연성 필름의 타방의 면에 형성되고 상기 수광 영역을 피하여 적어도 상기 제 2 감열 소자의 바로 위를 덮는 적외선 반사막과,
상기 제 1 감열 소자에 접속되고 상기 절연성 필름의 일방의 면에 패턴 형성된 전열막을 구비하고,
상기 전열막이, 상기 적외선 반사막의 일부에 근접한 열 결합부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 적외선 센서. - 제 1 항에 있어서,
상기 열 결합부가, 상기 적외선 반사막의 일부에 대향하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 센서. - 제 1 항에 있어서,
상기 열 결합부가, 상기 제 2 감열 소자의 근방에 배치된 보상측 근방 결합부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 적외선 센서. - 제 1 항에 있어서,
상기 적외선 반사막이, 상기 절연성 필름의 외측 가장자리의 근방 영역으로까지 연장되고,
상기 열 결합부가, 상기 근방 영역의 상기 적외선 반사막의 일부에 근접한 외측 가장자리 근방 결합부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 적외선 센서. - 제 1 항에 있어서,
상기 적외선 반사막이, 상기 수광 영역의 주위도 덮어 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 센서.
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