JP2018169192A - 赤外線センサ - Google Patents

Abstract

【課題】 熱バランスの収束を早め、熱応答性を向上させると共に、検出側と補償側との温度差を増加させることができる赤外線センサを提供すること。【解決手段】 絶縁性フィルム２と、一対の第１の端子電極４Ａ及び第２の端子電極４Ｂと、第１の感熱素子５Ａと、第２の感熱素子５Ｂと、絶縁性フィルムの一方の面に形成された一対の第１のパターン配線６Ａ及び一対の第２のパターン配線６Ｂと、絶縁性フィルムの他方の面に設けられ第１の感熱素子に対向した受光領域と、絶縁性フィルムの他方の面に形成され受光領域を避けて少なくとも第２の感熱素子の直上を覆う赤外線反射膜８とを備え、赤外線反射膜が、少なくとも第２の感熱素子の直上の領域に形成された補償側反射部８ａと、受光領域の周囲を覆って形成されている受光領域枠部８ｂとを有し、絶縁性フィルムが、受光領域枠部の内側であって絶縁性フィルムの外周縁側に形成された外側孔部Ｓ１を有している。【選択図】図１

Description

本発明は、複写機やプリンタ等の加熱ローラの温度を測定することに好適で応答性に優れた赤外線センサに関する。

一般に、複写機やプリンタ等の画像形成装置に使用されている定着ローラ等の測定対象物の温度を測定するために、測定対象物に対向配置させ、その輻射熱を受けて温度を測定する赤外線センサが設置されている。
このような赤外線センサとしては、近年、薄い絶縁性フィルム上に感熱素子を形成した赤外線センサが開発されている。

例えば、特許文献１には、絶縁性フィルムと、該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子及び第２の感熱素子と、絶縁性フィルムの一方の面に形成され第１の感熱素子に接続された導電性の第１の配線膜及び第２の感熱素子に接続された導電性の第２の配線膜と、第２の感熱素子に対向して絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備えた赤外線センサが記載されている。
また、特許文献２には、絶縁性フィルムに、第１の感熱素子と第２の感熱素子との間に第１の感熱素子と第２の感熱素子との間を仕切る方向に延在する中間長孔部が形成された赤外線センサが記載されている。

特開２０１３−１６０６３５号公報 特開２０１２−２１１７８９号公報

上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、上記従来の赤外線センサの場合、センサの応答性能を向上させると、２つの感熱素子間の信号差が小さくなり、検出感度が低下してしまう場合があり、検出感度の向上が求められている。
上記特許文献２の技術では、スリット（中間長孔部）によって補償側の感熱素子と検出側の感熱素子との間の水平方向の熱伝達が抑制されて、２つの感熱素子間の温度差が形成され易くなる構造を採用しているため、応答性能の低下を抑制しつつ、検出感度を向上させている。しかしながら、環境温度に変化が生じた場合、例えば周囲空気の対流の影響を受けて受光側及び補償側の一方で温度が変化した場合、受光側と補償側との熱バランスの収束が遅くなってしまい熱応答性が低下してしまう不都合があった。

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、熱バランスの収束を早め、熱応答性を向上させると共に、検出側と補償側との温度差を増加させることができる赤外線センサを提供することを目的とする。

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明に係る赤外線センサは、絶縁性フィルムと、前記絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された一対の第１の端子電極及び一対の第２の端子電極と、前記絶縁性フィルムの一方の面に設けられた第１の感熱素子及び第２の感熱素子と、前記第１の感熱素子に一端が接続されていると共に一対の前記第１の端子電極に他端が接続され前記絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された一対の第１のパターン配線と、前記第２の感熱素子に一端が接続されていると共に一対の前記第２の端子電極に他端が接続され前記絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された一対の第２のパターン配線と、前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられ前記第１の感熱素子に対向した受光領域と、前記絶縁性フィルムの他方の面に形成され前記受光領域を避けて少なくとも前記第２の感熱素子の直上を覆う赤外線反射膜とを備え、前記赤外線反射膜が、少なくとも前記第２の感熱素子の直上の領域に形成された補償側反射部と、前記受光領域の周囲を覆って形成されている受光領域枠部とを有し、前記絶縁性フィルムが、前記受光領域枠部の内側であって前記絶縁性フィルムの外周縁側に形成された外側孔部を有していることを特徴とする。

この赤外線センサでは、赤外線反射膜が、受光領域枠部を有し、絶縁性フィルムが、受光領域枠部の内側であって絶縁性フィルムの外周縁側に形成された外側孔部を有しているので、受光領域枠部で素早く検出側と補償側との熱バランスの収束を図ることができると共に、受光領域の熱が絶縁性フィルムの外周縁側の受光領域枠部に伝わって外側や補償側に逃げることを抑制することができる。
すなわち、受光領域枠部が、受光領域の周囲を覆っているので、環境温度の変化が受光領域の周囲全体にも伝わり、熱バランスの収束を早くすることが可能になる。また、外側孔部は、受光領域と受光領域枠部との間の水平方向の熱伝達をその間で遮断し、検出側と補償側との温度差を大きくすることができる。したがって、第１の感熱素子側と第２の感熱素子側との間の空気対流による温度勾配が小さくなり、２つの感熱素子の応答速度を同等にすることが可能になると共に、検出側と補償側との温度差は増加し、高感度を得ることができる。

例えば、補償側反射部だけの場合、すなわち第２の感熱素子に対向する領域のみに赤外線反射膜が形成されている場合、周囲空気の対流により第２の感熱素子側から空気が流れてきたとき、第２の感熱素子の上方の赤外線反射膜が冷えて絶縁性フィルムの温度が局所的に変化してしまう。これに対し、本発明の赤外線センサでは、赤外線反射膜が第１の感熱素子に対向する受光領域の周囲も覆って形成されているため、空気の流れによって第２の感熱素子側の領域が冷えても赤外線反射膜の熱伝導性によって受光領域の周囲の温度も下がり、全体的に温度の差分が生じ難くなって、周囲空気の対流による影響を受け難くなる。なお、第１の感熱素子の上方の受光領域は赤外線反射膜で覆わないと共に外側孔部も受光領域の外周縁にあるため、測定対象物からの赤外線の受光を妨げない。
このように環境温度の変化に対しては、受光領域枠部により検出側と補償側との温度差を低減できると共に、測定対象物からの赤外線入射に対しては、外側孔部により受光領域と受光領域枠部との間の直接の熱伝導を抑制するため、検出側と補償側との温度差は増加し、高感度を得ることができる。

第２の発明に係る赤外線センサは、第１の発明において、前記外側孔部が、前記受光領域枠部に沿って延在したスリット状に形成されていることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、外側孔部が、受光領域枠部に沿って延在したスリット状に形成されているので、受光領域から外側に向かう熱を受光領域枠部に沿ったスリット状の外側孔部で効果的に遮断することができる。

第３の発明に係る赤外線センサは、第１の発明において、前記外側孔部が、前記受光領域枠部に沿って並んで複数形成されていることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、外側孔部が、受光領域枠部に沿って並んで複数形成されているので、受光領域から外側に向かう熱を受光領域枠部に沿って並んだ複数の外側孔部で効果的に遮断することができる。また、複数の外側孔部の個数や間隔に応じて、熱伝導性や絶縁性フィルムの剛性を調整することができる。

第４の発明に係る赤外線センサは、第１から第３の発明のいずれかにおいて、前記絶縁性フィルムが、前記受光領域側の前記補償側反射部に隣接した部分に形成された内側孔部を有していることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、絶縁性フィルムが、受光領域側の補償側反射部に隣接した部分に形成された内側孔部を有しているので、内側孔部により受光領域と補償側反射部との間の直接の熱伝導を抑制するため、検出側と補償側との温度差はより増加し、さらに高感度を得ることができる。

第５の発明に係る赤外線センサは、第１から第４の発明のいずれかにおいて、前記受光領域枠部が、前記第１のパターン配線の一部と近接して配されていることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、受光領域枠部が、第１のパターン配線の一部と近接して配されているので、受光領域枠部が第１のパターン配線の一部と熱結合することによって検出側と補償側との間で相互に環境温度の変化を効率的に伝えることができ、検出側と補償側との熱バランスの収束が早くなり、さらに熱応答性が向上する。なお、絶縁性フィルムが薄いため、一方の面の熱が早く他方の面の赤外線反射膜に伝わり、特に赤外線反射膜が金属膜である場合、高い熱伝導性を有して検出側と補償側とで相互に熱を伝えて素早く熱バランスの収束を図ることができる。

本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る赤外線センサによれば、赤外線反射膜が、受光領域枠部を有し、絶縁性フィルムが、受光領域枠部の内側であって絶縁性フィルムの外周縁側に形成された外側孔部を有しているので、受光領域枠部で素早く検出側と補償側との熱バランスの収束を図ることができると共に、受光領域の熱が絶縁性フィルムの外周縁側の受光領域枠部に伝わって外側や補償側に逃げることを抑制することができる。
したがって、本発明の赤外線センサによれば、熱応答性が高いと共に感度が高く、複写機やプリンタ等の加熱ローラの温度測定用として好適である。

本発明に係る赤外線センサの第１実施形態を示す平面図（ａ）及び裏面図（ｂ）である。 第１実施形態の赤外線センサにおいて、裏面側の赤外線反射膜も破線で図示した平面図である。 本発明に係る赤外線センサの第２実施形態を示す裏面図である。 本発明に係る赤外線センサの第３実施形態を示す裏面図である。 本発明に係る赤外線センサの第４実施形態を示す平面図（ａ）及び裏面図（ｂ）である。 本発明に係る赤外線センサの第５実施形態を示す裏面図である。

以下、本発明に係る赤外線センサにおける第１実施形態を、図１及び図２を参照しながら説明する。

本実施形態の赤外線センサ１は、図１及び図２に示すように、絶縁性フィルム２と、絶縁性フィルム２の一方の面（表面）にパターン形成された一対の第１の端子電極４Ａ及び一対の第２の端子電極４Ｂと、絶縁性フィルム２の一方の面に設けられた第１の感熱素子５Ａ及び第２の感熱素子５Ｂと、第１の感熱素子５Ａに一端が接続されていると共に一対の第１の端子電極４Ａに他端が接続され絶縁性フィルム２の一方の面にパターン形成された一対の第１のパターン配線６Ａと、第２の感熱素子５Ｂに一端が接続されていると共に一対の第２の端子電極４Ｂに他端が接続され絶縁性フィルム２の一方の面にパターン形成された一対の第２のパターン配線６Ｂと、絶縁性フィルム２の他方の面（受光側の面、裏面）に設けられ第１の感熱素子５Ａに対向した受光領域Ｄと、絶縁性フィルム２の他方の面に形成され受光領域Ｄを避けて少なくとも第２の感熱素子５Ｂの直上を覆う赤外線反射膜８とを備えている。

上記赤外線反射膜８は、少なくとも第２の感熱素子５Ｂの直上の領域に形成された補償側反射部８ａと、受光領域Ｄの周囲を覆って形成されている受光領域枠部８ｂとを有している。
上記絶縁性フィルム２は、受光領域枠部８ｂの内側であって絶縁性フィルム２の外周縁側に形成された外側孔部Ｓ１を有している。すなわち、絶縁性フィルム２の長手方向に沿って、一対の外側孔部Ｓ１が受光領域Ｄを挟んで延在している。なお、これら外側孔部Ｓ１は、補償側に近い位置、すなわち補償側反射部８ａ近傍から受光領域枠部８ｂにおける上記長手方向の中間部近くまで延在している。

また、絶縁性フィルム２は、受光領域Ｄ側の補償側反射部８ａに隣接した部分に形成された内側孔部Ｓ２を有している。すなわち、受光領域Ｄと補償側反射部８ａとの間に、両者を仕切る方向にスリット状に延在した２つの内側孔部Ｓ２が形成されている。

上記受光領域枠部８ｂは、第１のパターン配線６Ａの一部と近接して配されている。
すなわち、受光領域枠部８ｂは、第１のパターン配線６Ａの一部に厚さ方向で対向した熱結合部Ｃを有している。
この熱結合部Ｃは、第１のパターン配線６Ａの一部と熱結合させるための部分である。

上記一対の第１のパターン配線６Ａは、一端に第１の感熱素子５Ａに接続された一対の第１の接着電極３Ａを有している。また、上記一対の第２のパターン配線６Ｂは、一端に第２の感熱素子５Ｂに接続された一対の第２の接着電極３Ｂを有している。

また、本実施形態の赤外線センサ１は、第１のパターン配線６Ａとは別に一対の第１の接着電極３Ａに接続され絶縁性フィルム２の一方の面に絶縁性フィルム２よりも熱伝導率が高い薄膜で第１の接着電極３Ａの近傍にパターン形成された一対の伝熱膜７を備えている。

第１のパターン配線６Ａは、第２の感熱素子５Ｂの近傍まで延在している。また、受光領域枠部８ｂの熱結合部Ｃが、第１のパターン配線６Ａのうち第２の感熱素子５Ｂの近傍に延在した部分に対向した補償側近傍結合部Ｃ１を有している。
また、第１のパターン配線６Ａは、さらに絶縁性フィルム２の外縁の近傍領域にまで延在している。また、受光領域枠部８ｂの熱結合部Ｃが、前記近傍領域の第１のパターン配線６Ａに対向した外縁近傍結合部Ｃ２を有している。

このように一対の上記第１のパターン配線６Ａは、一対の第１の接着電極３Ａから一対の第１の端子電極４Ａ側とは反対側に向けて延在し、さらに一対の伝熱膜７の外周の一部に沿って延在してからそれぞれ対応する第１の端子電極４Ａに達している。
すなわち、第１のパターン配線６Ａは、まず第１の接着電極３Ａから第２の感熱素子５Ｂに向けて一対の伝熱膜７の間を延在し、そして一対の伝熱膜７の端部近傍で絶縁性フィルム２の短辺に沿った方向であって長辺に向けて延在している。この延在部分に対向するように受光領域枠部８ｂの一部が対向して形成され、補償側近傍結合部Ｃ１とされている。さらに、第１のパターン配線６Ａは、伝熱膜７の外側を絶縁性フィルム２の長辺に沿って第１の端子電極４Ａまで延在している。この延在部分に対向して絶縁性フィルム２の外縁の近傍に受光領域枠部８ｂが延在しており、この部分が外縁近傍結合部Ｃ２とされている。
なお、第２のパターン配線６Ｂは、第１のパターン配線６Ａに比べて短い距離で延在し、第２の端子電極４Ｂに達している。

上記第１のパターン配線６Ａと伝熱膜７とは、互いに直接的には接触しておらず、第１の接着電極３Ａを介して間接的に接続している。
上記伝熱膜７は、第１のパターン配線６Ａよりも広い面積で形成されている。
上記第１の接着電極３Ａ及び第２の接着電極３Ｂには、それぞれ対応する第１の感熱素子５Ａ及び第２の感熱素子５Ｂの端子電極が半田等の導電性接着剤で接着されている。

上記受光領域枠部８ｂは、一対の伝熱膜７の直上を避けるようにして形成されている。
このように本実施形態では、赤外線の受光面直下に配された第１の感熱素子５Ａが赤外線の検出用素子とされ、赤外線反射膜８直下に配された第２の感熱素子５Ｂが補償用素子とされている。
なお、図２において、裏面側の赤外線反射膜８を破線で図示している。また、図１の（ａ）（ｂ）において、各端子電極、各パターン配線、伝熱膜７及び赤外線反射膜８をハッチングで図示している。

上記絶縁性フィルム２は、ポリイミド樹脂シートで略長方形状に形成され、赤外線反射膜８、各パターン配線、各端子電極、各接着電極及び伝熱膜７が銅箔で形成されている。すなわち、これらは、絶縁性フィルム２とされるポリイミド基板の両面に、赤外線反射膜８、各パターン配線、各端子電極、各接着電極及び伝熱膜７が銅箔でパターン形成された両面フレキシブル基板によって作製されたものである。
上記一対の第１の端子電極４Ａ及び一対の第２の端子電極４Ｂは、絶縁性フィルム２の角部近傍に配設されている。

上記赤外線反射膜８は、上述した銅箔と、該銅箔上に積層された金メッキ膜とで構成されている。
この赤外線反射膜８は、絶縁性フィルム２よりも高い赤外線反射率を有する材料で形成され、上述したように、銅箔上に金メッキ膜が施されて形成されている。なお、金メッキ膜の他に、例えば鏡面のアルミニウム蒸着膜やアルミニウム箔等で形成しても構わない。

上記第１の感熱素子５Ａ及び第２の感熱素子５Ｂは、両端部に端子電極（図示略）が形成されたチップサーミスタである。このサーミスタとしては、ＮＴＣ型、ＰＴＣ型、ＣＴＲ型等のサーミスタがあるが、本実施形態では、第１の感熱素子５Ａ及び第２の感熱素子５Ｂとして、例えばＮＴＣ型サーミスタを採用している。このサーミスタは、Ｍｎ−Ｃｏ−Ｃｕ系材料、Ｍｎ−Ｃｏ−Ｆｅ系材料等のサーミスタ材料で形成されている。

このように本実施形態の赤外線センサ１では、赤外線反射膜８が、受光領域枠部８ｂを有し、絶縁性フィルム２が、受光領域枠部８ｂの内側であって絶縁性フィルム２の外周縁側に形成された外側孔部Ｓ１を有しているので、受光領域枠部８ｂで素早く検出側と補償側との熱バランスの収束を図ることができると共に、受光領域Ｄの熱が絶縁性フィルム２の外周縁側の受光領域枠部８ｂに伝わって外側や補償側に逃げることを抑制することができる。

すなわち、受光領域枠部８ｂが、受光領域Ｄの周囲を覆っているので、環境温度の変化が受光領域Ｄの周囲全体にも伝わり、熱バランスの収束を早くすることが可能になる。また、外側孔部Ｓ１は、受光領域Ｄと受光領域枠部８ｂとの間の水平方向の熱伝達をその間で遮断し、検出側と補償側との温度差を大きくすることができる。したがって、第１の感熱素子５Ａ側と第２の感熱素子５Ｂ側との間の空気対流による温度勾配が小さくなり、２つの感熱素子の応答速度を同等にすることが可能になると共に、検出側と補償側との温度差は増加し、高感度を得ることができる。

また、外側孔部Ｓ１が、受光領域枠部８ｂに沿って延在したスリット状に形成されているので、受光領域Ｄから外側に向かう熱を受光領域枠部８ｂに沿ったスリット状の外側孔部Ｓ１で効果的に遮断することができる。
また、絶縁性フィルム２が、受光領域Ｄ側の補償側反射部８ａに隣接した部分に形成された内側孔部Ｓ２を有しているので、内側孔部Ｓ２により受光領域Ｄと補償側反射部８ａとの間の直接の熱伝導を抑制するため、検出側と補償側との温度差はより増加し、さらに高感度を得ることができる。

さらに、受光領域枠部８ｂが、第１のパターン配線６Ａの一部と近接して配されているので、受光領域枠部８ｂが第１のパターン配線６Ａの一部と熱結合することによって検出側と補償側との間で相互に環境温度の変化を効率的に伝えることができ、検出側と補償側との熱バランスの収束が早くなり、さらに熱応答性が向上する。なお、絶縁性フィルム２が薄いため、一方の面の熱が早く他方の面の赤外線反射膜８に伝わり、特に赤外線反射膜８が金属膜である場合、高い熱伝導性を有して検出側と補償側とで相互に熱を伝えて素早く熱バランスの収束を図ることができる。

次に、本発明に係る赤外線センサの第２から第５実施形態について、図３から図６を参照して以下に説明する。なお、以下の実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。

第２実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、絶縁性フィルム２に、スリット状に延在した外側孔部Ｓ１及び内側孔部Ｓ２が形成されているが、第２実施形態の赤外線センサ２１では、円形状の小孔である外側孔部Ｓ３が、赤外線反射膜２８の受光領域枠部２８ｂに沿って並んで複数形成されている点である。また、第２実施形態では、円形状の小孔である内側孔部Ｓ４が、補償側反射部２８ａに隣接して複数並んで形成されている点でも、第１実施形態と異なっている。

このように第２実施形態の赤外線センサ２１では、外側孔部Ｓ３が、受光領域枠部２８ｂに沿って並んで複数形成されているので、受光領域Ｄから外側に向かう熱を受光領域枠部２８ｂに沿って並んだ複数の外側孔部Ｓ１で効果的に遮断することができる。また、複数並んだ内側孔部Ｓ４により受光領域Ｄと補償側反射部２８ａとの間の直接の熱伝導を抑制するため、検出側と補償側との温度差はより増加し、さらに高感度を得ることができる。
さらに、複数の外側孔部Ｓ３及び内側孔部Ｓ４の個数や間隔に応じて、熱伝導性や絶縁性フィルム２の剛性を調整することができる。

次に、第３実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、外側孔部Ｓ１が受光領域枠部８ｂを内側から一部を削るようにくい込んで形成され、補償側反射部８ａ近傍から受光領域枠部８ｂにおける上記長手方向の中間部近くまで延在しているのに対し、第３実施形態の赤外線センサ３１では、図４に示すように、外側孔部Ｓ１’が赤外線反射膜３８の受光領域枠部３８ｂにくい込まず、補償側反射部３８ａ近傍から受光領域枠部３８ｂにおける上記長手方向の略全長にわたって延在している点である。
したがって、第３実施形態の赤外線センサ３１では、長く延在した外側孔部Ｓ１’により、受光領域Ｄの熱が絶縁性フィルム２の外周縁側の受光領域枠部３８ｂに伝わって外側や補償側に逃げることをより抑制することができる。

次に、第４実施形態と第３実施形態との異なる点は、第３実施形態では、第１のパターン配線６Ａが第１の接着電極３Ａから第２の感熱素子５Ｂ側に向けて延在し、さらに伝熱膜７の外側を介して第１の端子電極４Ａに達しているのに対し、第４実施形態の赤外線センサ４１では、図５に示すように、一対の第１のパターン配線４６Ａが一対の第１の接着電極３Ａから第１実施形態と逆方向に延在し、そして複数回折り返して蛇行した部分４６ａを介してそれぞれ対応する第１の端子電極４Ａに達している点である。

すなわち、第４実施形態では、第１のパターン配線４６Ａが蛇行した部分４６ａを有しているので、第１の端子電極４Ａまでの熱抵抗を大きくすることが可能になる。したがって、第３実施形態のように第１のパターン配線６Ａを、一旦、第２の感熱素子５Ｂ側に向けて延在させると共に伝熱膜７の外側を迂回して配さなくても長く延在させることができ、第１の端子電極４Ａへ流れる熱を抑制することが可能になる。
なお、第４実施形態では、赤外線反射膜４８の受光領域枠部４８ｂが第１の端子電極４Ａの近傍で第１のパターン配線４６Ａと厚さ方向で対向して近接しており、この部分で互いに熱結合されている。

また、第４実施形態では、第１のパターン配線４６Ａが第２の端子電極４Ｂ側に延在していないため、伝熱膜４７と第２の端子電極４Ｂとの間に第３実施形態よりも幅広に形成されたスリット状の内側孔部Ｓ４が設けられている。
したがって、第４実施形態の赤外線センサ４１では、幅広の内側孔部Ｓ４により、第３実施形態よりも受光領域Ｄと補償側反射部４８ａとの間の水平方向の熱伝達をその間でより遮断し、検出側と補償側との温度差をより大きくすることができる。

次に、第５実施形態と第４実施形態との異なる点は、第４実施形態では、外側孔部Ｓ３及び内側孔部Ｓ４がどちらもスリット状の孔部であるのに対し、第５実施形態の赤外線センサ５１では、図６に示すように、外側孔部Ｓ５及び内側孔部Ｓ６が、第２実施形態と同様に、どちらも円形状の小孔である点である。すなわち、第５実施形態では、外側孔部Ｓ５が赤外線反射膜５８の受光領域枠部５８ｂに沿って並んで複数形成されていると共に、内側孔部Ｓ６が、補償側反射部５８ａの受光領域Ｄ側に複数並んで形成されている。なお、第５実施形態では、内側孔部Ｓ６が、２列に並んで配されている。

このように第５実施形態の赤外線センサ５１では、外側孔部Ｓ５が、受光領域枠部５８ｂに沿って並んで複数形成されているので、第２実施形態と同様に、受光領域Ｄから外側に向かう熱を受光領域枠部５８ｂに沿って並んだ複数の外側孔部Ｓ５で効果的に遮断することができる。また、複数並んだ内側孔部Ｓ６により受光領域Ｄと補償側反射部５８ａとの間の直接の熱伝導を抑制するため、検出側と補償側との温度差はより増加し、さらに高感度を得ることができる。
さらに、複数の外側孔部Ｓ５及び内側孔部Ｓ６の個数や間隔に応じて、熱伝導性や絶縁性フィルム２の剛性を調整することができる。

なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記実施形態では、第１の感熱素子が赤外線を直接吸収した絶縁性フィルムから伝導される熱を検出しているが、第１の感熱素子の直上であって絶縁性フィルムの一方の面上に絶縁性フィルムよりも赤外線吸収性が高い赤外線吸収膜を形成しても構わない。この場合、さらに第１の感熱素子における赤外線吸収効果が向上して、第１の感熱素子と第２の感熱素子とのより良好な温度差分を得ることができる。すなわち、この赤外線吸収膜によって測定対象物からの輻射による赤外線を吸収するようにし、赤外線を吸収し発熱した赤外線吸収膜から絶縁性フィルムを介した熱伝導によって、直下の第１の感熱素子の温度が変化するようにしてもよい。

また、上記第２実施形態では、丸形状の複数の外側孔部Ｓ３及び内側孔部Ｓ４が一列に並んで形成されているが、複数の外側孔部Ｓ３及び内側孔部Ｓ４を複数列に並べて形成しても構わない。また、複数の外側孔部Ｓ３及び内側孔部Ｓ４を千鳥配置等で並べても構わない。
さらに、上記各実施形態の外側孔部は、受光領域枠部の内側であって受光領域の外側に形成しているが、受光感度に影響を大きく与えない程度に受光領域内に形成しても構わない。

１，２１，３１，４１，５１…赤外線センサ、２…絶縁性フィルム、３Ａ…第１の接着電極、３Ｂ…第２の接着電極、４Ａ…第１の端子電極、４Ｂ…第２の端子電極、５Ａ…第１の感熱素子、５Ｂ…第２の感熱素子、６Ａ，４６Ａ…第１のパターン配線、６Ｂ，４６Ｂ…第２のパターン配線、８，２８，３８，４８，５８…赤外線反射膜、８ａ，２８ａ，３８ａ，４８ａ，５８ａ…補償側反射部、８ｂ，２８ｂ，３８ｂ，４８ｂ，５８ｂ…受光領域枠部、Ｄ…受光領域、Ｓ１，Ｓ１’，Ｓ３，Ｓ５…外側孔部、Ｓ２，Ｓ４，Ｓ６…内側孔部

Claims (5)

1. 絶縁性フィルムと、
   前記絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された一対の第１の端子電極及び一対の第２の端子電極と、
   前記絶縁性フィルムの一方の面に設けられた第１の感熱素子及び第２の感熱素子と、
   前記第１の感熱素子に一端が接続されていると共に一対の前記第１の端子電極に他端が接続され前記絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された一対の第１のパターン配線と、
   前記第２の感熱素子に一端が接続されていると共に一対の前記第２の端子電極に他端が接続され前記絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された一対の第２のパターン配線と、
   前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられ前記第１の感熱素子に対向した受光領域と、
   前記絶縁性フィルムの他方の面に形成され前記受光領域を避けて少なくとも前記第２の感熱素子の直上を覆う赤外線反射膜とを備え、
   前記赤外線反射膜が、少なくとも前記第２の感熱素子の直上の領域に形成された補償側反射部と、前記受光領域の周囲を覆って形成されている受光領域枠部とを有し、
   前記絶縁性フィルムが、前記受光領域枠部の内側であって前記絶縁性フィルムの外周縁側に形成された外側孔部を有していることを特徴とする赤外線センサ。
2. 請求項１に記載の赤外線センサにおいて、
   前記外側孔部が、前記受光領域枠部に沿って延在したスリット状に形成されていることを特徴とする赤外線センサ。
3. 請求項１に記載の赤外線センサにおいて、
   前記外側孔部が、前記受光領域枠部に沿って並んで複数形成されていることを特徴とする赤外線センサ。
4. 請求項１から３のいずれか一項に記載の赤外線センサにおいて、
   前記絶縁性フィルムが、前記受光領域側の前記補償側反射部に隣接した部分に形成された内側孔部を有していることを特徴とする赤外線センサ。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の赤外線センサにおいて、
   前記受光領域枠部が、前記第１のパターン配線の一部と近接して配されていることを特徴とする赤外線センサ。

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