JP5639757B2 - ガス処理方法 - Google Patents
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Description
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施形態では、反応塔にヒータを設けてガスの加熱を行ったが、例えば反応管を電気炉中に設置して加熱を行うことも可能である。
(2)フッ素含有化合物ガス処理剤は、炭酸カリウムの他に、SiF4の分解を阻害しない範囲で添加剤等を含んでいても構わない。
(3)上記実施形態では、SiF4の分解を例にとり説明したが、本発明によれば、四フッ化炭素、および六フッ化硫黄も同様に処理することができる。また、HFC(ハイドロフルオロカーボン)についても同様に処理可能である。
11…SiF4反応管(フッ素含有化合物反応容器)
15…発熱部(熱源)
Claims (1)
- 四フッ化ケイ素を含むガスの処理方法であって、
炭酸カリウムの顆粒を充填したフッ素含有化合物反応容器中に前記四フッ化ケイ素を含むガスを加熱しつつ通気させて前記四フッ化ケイ素を分解してSiO 2 とKFとを生成させるフッ素含有化合物分解工程と、
前記フッ素含有化合物分解工程において前記ガスを通気した後の前記フッ素含有化合物反応容器の内容物を水に溶解後、水溶液と沈殿物とを分離することにより、水に溶解したKFと沈殿物として残るSiO 2 とを分離する分離工程とを含む、ガス処理方法。
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