JP5547870B2 - 金属ヒ素の回収方法 - Google Patents
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- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 title claims description 50
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 50
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 108
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 claims description 4
- LULLIKNODDLMDQ-UHFFFAOYSA-N arsenic(3+) Chemical compound [As+3] LULLIKNODDLMDQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 31
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- GCPXMJHSNVMWNM-UHFFFAOYSA-N arsenous acid Chemical compound O[As](O)O GCPXMJHSNVMWNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 7
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IKWTVSLWAPBBKU-UHFFFAOYSA-N a1010_sial Chemical compound O=[As]O[As]=O IKWTVSLWAPBBKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960002594 arsenic trioxide Drugs 0.000 description 2
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011491 glass wool Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100348341 Caenorhabditis elegans gas-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100447658 Mus musculus Gas1 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001495 arsenic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000413 arsenic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GOLCXWYRSKYTSP-UHFFFAOYSA-N arsenic trioxide Inorganic materials O1[As]2O[As]1O2 GOLCXWYRSKYTSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
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Description
なお、本発明での金属ヒ素とは、灰色ヒ素、黄色ヒ素、黒色ヒ素の3種の同素体(変態)を包含するものとする。
一方、ヒ素は希少金属であり、このヒ素化合物が吸着された活性炭を廃棄物として廃棄処分にするのではなく、このものからヒ素を回収する技術が求められている。
また、特開2001−302243号公報には、金属酸化物などからなる除害剤を用いてアルシンなどの金属水素化ガスを除害処理し、この除害剤を酸で溶解し、不溶成分からヒ素を硫化物として回収する方法が開示されている。
さらに、アルシンを除害処理した活性炭からヒ素を回収する技術は知られていない。
また、水分含有不活性ガスと接触させることで、吸着熱により活性炭を自己発熱させるものでは、外部からの熱源が不要であり、エネルギーコストを削減することができる。
図1中符号1は、反応管を示す。この反応管1は、シリカ、アルミナ、ステンレス鋼などの耐熱材料からなるもので、その長手方向が水平に配置されている。この反応管1の一方の開口端は窒素などの不活性ガスの導入口2となっており、他方の開口端は反応後の生成ガスの導出口3となっている。
この反応管1の加熱領域Aの温度を測定するための温度センサ6が加熱領域Aのほぼ中間の管壁に取り付けられている。
さらに、反応管1の導出口3側の約半分の部分は、その管外壁が露出しており、外気により冷却される冷却領域Bとなっている。
まず、アルシンを除害処理した活性炭を反応管1の加熱領域Aに置く。
ここでの活性炭としては、アルシンを除害処理したものであればどのようなタイプのものでもよく、特に限定されない。
なお、活性炭で除害処理されたアルシンは活性炭の触媒作用により亜ヒ酸(三酸化二ヒ素)に変化し、この化学種の状態で活性炭に化学吸着されていると考えられる。
この加熱により、活性炭に化学吸着している亜ヒ酸が脱着し、還元して金属ヒ素に変化する。
冷却領域Bの長さが十分であれば、生成した金属ヒ素のほとんどがその内壁面に凝固し、導出口3から洩れることはほとんどない。
このようにして回収された金属ヒ素は、黒色を呈し、純度99.9%以上であり、そのまま工業原料として再利用できる品質である。
図2中符号11は、反応筒を示す。この反応筒11は、ステンレス鋼などからなるもので、その上部開口部には蓋12が設けられ、この蓋12には、ガス導入口13が形成されている。
反応筒11の長手方向のほぼ中間には目皿14が設けられ、下部開口部には、フィルター15が設けられ、外気に連通されている。
反応筒11の活性炭充填層16に相当する部分の外周部は、ガラスウールなどからなる断熱材18で包囲されている。この断熱材18は、必要に応じて取り付け、取り外し可能となっており、反応筒11の使用形態に対応して取り付けられ、あるいは取り外した状態とされる。
第1ステップでは、反応筒11を排ガス中のアルシンを吸着、除去する除害筒として機能させる。
すなわち、反応筒11から断熱材18を取り外した状態とし、活性炭充填層16が保温されないようにする。また、活性炭充填層16の活性炭は、未吸着の状態とされている。
この状態の反応筒11のガス導入口13から半導体製造設備から排出されたアルシンを含む排ガスを反応筒11内に導入する。
この状態では、活性炭充填層16の活性炭には、活性炭の触媒作用により亜ヒ酸に変化したアルシンが化学吸着されている。
ついで、反応筒11のガス導入口13から水分含有不活性ガスを反応筒11内に導入する。
水分含有不活性ガスとは、窒素、アルゴンなどの不活性ガスに水分を水蒸気の状態で同伴させたもので、水分含有量としては、不活性ガスの温度での飽和水分量に近い量であることが、活性炭の吸着熱の発生量が大きくなって好ましい。
このため、水分含有不活性ガスの導入により、活性炭充填層16の活性炭は発熱し、活性炭充填層16の外側には断熱材18が存在するので、活性炭充填層16の温度が上昇する。そして、活性炭充填層16の温度が600〜800℃、好ましくは600〜700℃となるように温度センサ17で温度を監視しつつ、水分含有不活性ガスの導入量を制御する。
以上によって、活性炭に吸着されていた亜ヒ酸を高純度の金属ヒ素として回収できる。
(実施例1) −不活性ガス中に水分を添加せず加熱する場合−
アルシンを除害処理した活性炭0.5gを図1に示す反応管1の加熱領域Aに装入し、窒素ガスを1L/min流して窒素雰囲気を形成し、温度を400℃、500℃、600℃、700℃、800Cに保ちつつ、それぞれ2時間加熱した。
その後、冷却領域Bに凝固したヒ素生成物を捕集し、これに含まれる金属ヒ素濃度を測定した。
加熱温度が400℃では、冷却領域Bに凝固したヒ素生成物は白色であった。これは、400℃では活性炭より脱着した亜ヒ酸が還元せず、そのまま冷却領域Bで凝固したためである。
500℃では、冷却領域Bに凝固したヒ素生成物は灰白色と黒色の混合物であった。この温度付近では亜ヒ酸と金属ヒ素とが混合して析出することがわかる。
600℃以上では、冷却領域Bで凝固したヒ素生成物は黒色で、金属ヒ素が生成しており、その濃度は99.9%であった。
図2に示す活性炭充填層16を備えた反応筒11にアルシンを含む排ガスを流し、アルシンを除害した。
その後、断熱材18を設置して、バブリング装置にて水分を含有させた窒素ガス5L/minを流した。
反応筒11に設置した温度センサ17で活性炭充填層16の温度が上昇するのが確認できた。
その後、窒素ガスのみを流して温度センサー17で温度を監視しつつ、100℃以下まで冷却した後、内部を開放したところ、冷却領域Bの壁面に黒色の生成物が凝固しているのを確認した。この生成物の金属ヒ素濃度を測定した結果、99.9%であった。
Claims (2)
- アルシンの除害処理に用いた活性炭を水分含有不活性ガスと接触させて、水分の吸着熱により活性炭を自己発熱させて、金属ヒ素を回収することを特徴とする金属ヒ素の回収方法。
- 活性炭の温度が600〜800℃であることを特徴とする請求項1記載の金属ヒ素の回収方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008078289A JP5547870B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | 金属ヒ素の回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008078289A JP5547870B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | 金属ヒ素の回収方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009228106A JP2009228106A (ja) | 2009-10-08 |
JP5547870B2 true JP5547870B2 (ja) | 2014-07-16 |
Family
ID=41243828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008078289A Active JP5547870B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | 金属ヒ素の回収方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5547870B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104294053A (zh) * | 2014-11-01 | 2015-01-21 | 中南大学 | 一种从含砷烟尘还原挥发分离砷的方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101802516B1 (ko) * | 2010-09-01 | 2017-11-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치와 이의 구동방법 |
CN102489490B (zh) * | 2011-12-06 | 2013-12-04 | 江苏鹏飞集团股份有限公司 | 一种含砷废渣无害化处理的方法 |
JP2014111231A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Hitachi Ltd | 炭素被覆多孔体並びにこれを用いた水浄化用吸着槽及び水浄化システム |
CN110923457B (zh) * | 2019-12-27 | 2021-06-04 | 中国科学院电工研究所 | 一种高纯砷晶体的制备方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4932895A (ja) * | 1972-07-27 | 1974-03-26 | ||
JPS62213822A (ja) * | 1986-03-13 | 1987-09-19 | Showa Denko Kk | アルシン含有ガスの処理方法 |
JPS6354921A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-09 | Showa Denko Kk | アルシン含有ガスの処理方法および装置 |
JP4486215B2 (ja) * | 2000-04-24 | 2010-06-23 | 三井化学株式会社 | 除害剤の回収方法 |
JP4872316B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2012-02-08 | 三菱マテリアル株式会社 | セメント焼成プラントにおける有価元素の回収方法および回収システム |
-
2008
- 2008-03-25 JP JP2008078289A patent/JP5547870B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104294053A (zh) * | 2014-11-01 | 2015-01-21 | 中南大学 | 一种从含砷烟尘还原挥发分离砷的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009228106A (ja) | 2009-10-08 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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