JP2005095730A - フッ素化合物の分解処理剤および分解処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フッ素化合物を分解する分解処理剤が水酸化アルミニウムと周期律表第2A族元素の水酸化物を含有するものであり、フッ素化合物を含有するガスを加熱下で分解処理剤と接触させてフッ素化合物を分解する処理方法である。
【選択図】図1
Description
平均細孔直径50〜200Åの細孔を有する酸化アルミニウムが用いられており、AlとM(アルカリ土類金属)の原子数比(モル比と同じ)が0.05〜5である。
水酸化アルミニウム→非晶質の酸化アルミニウム→γアルミナ→αアルミナ
分解反応において、非晶質の酸化アルミニウムを触媒として使用する場合、高温安定相であるαアルミナでは化学反応性が低いため、γアルミナなどの中間相に留めるのが化学反応性を上げるためには必要で、よってγアルミナよりも非晶質の酸化アルミニウムの方がより活性が高いと考えられる。
水反応が短時間で終了し、また水酸化物の脱水分解によって生じる主として非晶質の酸化
アルミニウムの活性の高い界面が少なくなるため反応率が低下する。水酸化アルミニウム
の量が多過ぎると生成したフッ化水素を除去する2A族元素の水酸化物が不足し、フッ化
水素が流出する恐れがある。
とするには、水酸化アルミニウムと2A族元素の水酸化物を水酸化アルミニウムと2A族
元素の水酸化物のモル比が所定の値となるように配合し、ミキサーで乾式混合することに
より得られる。
満となると、HFを中和する2A族元素の酸化物(水酸化物)が環境によっては不足し、
HFが排出されるおそれが出てくる。一方、1:4より大きい範囲では水酸化アルミニウ
ムの脱水・触媒作用が早くに低下してしまう。また、水酸化アルミニウムと2A族元素の水
酸化物との接触頻度が少なくなり、非晶質のアルミニウム酸化物、水酸化物脱水面が触媒
となって、その表面上で起こるCF4ガスの分解反応に伴って生成するフッ化水素と2A族元素の酸化物(水酸化物)とが反応する機会が減少することによりフッ素化合物の分解性が劣化しやすくなる。これは、反応触媒となる水酸化アルミニウムの脱水分解によって生じる活性部が少なくなり、分解性が劣化するものと考えられるためである。
(2) M(OH)2→MO+H2O(2A族元素の水酸化物の加熱下での反応 M:2A族元素)
(3)CF4+2H2O→4HF+CO2
ここで活性点が触媒として働く、水をOHとHに分解と考えている。
すなわち、本発明によりフッ素化合物の分解を行う際は、フッ素化合物を含有するガス、を例えば300℃程度で加熱することで、上記(1)の反応のように分解処理剤における水酸化アルミニウムが非晶質(アモルファス)の酸化アルミニウム(a−Al2O3)と水蒸気となりはじめる。
先ず、水酸化アルミニウム(純度99%)粉末および、水酸化マグネシウム(純度99%)粉末または水酸化カルシウム(純度98%)粉末とを用いて、表1に示す如くモル比となるように配合し、ミキサーで乾式混合した。得られた混合粉体を一軸プレス成形することによって直径38mm×厚み2mmの成形体を作製し、それを破砕することにより分解処理剤を得た。
この分解処理剤を内径25mmのSUS製反応容器に49cc充填し、図1に示すような分解処理装置にセットした。
2:窒素ガス供給ライン
3:サンプリングポート
4:ガス導入管
5:反応容器
6:温度センサー
7:ヒーター
8:断熱材
9:温度コントローラー
10:分解処理剤
11:サンプリングポート
12:ガス排出管
Claims (8)
- フッ素化合物を加熱下で分解するための分解処理剤であって、水酸化アルミニウムと周期律表第2A族元素の水酸化物を含有することを特徴とするフッ素化合物の分解処理剤。
- 上記水酸化アルミニウムが、加熱下で主として非晶質の酸化アルミニウムとなることを特徴とする請求項1に記載のフッ素化合物の分解処理剤。
- 上記水酸化アルミニウムと2A族元素の水酸化物の含有量が、モル比で1:1〜1:4であることを特徴とする請求項1又は2に記載のフッ素化合物の分解処理剤。
- 上記水酸化アルミニウムが、ギブサイトであることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のフッ素化合物の分解処理剤。
- 上記フッ素化合物がCF4であることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のフッ素化合物の分解処理剤。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の分解処理剤を用いたフッ素化合物の分解処理方法であって、フッ素化合物を含有するガスを加熱下で上記分解処理剤と接触させてフッ素化合物を分解することを特徴とする分解処理方法。
- 上記水酸化アルミニウムが主として非晶質の酸化アルミニウムと水蒸気に分解することを特徴とする請求項6に記載の分解処理方法。
- 上記フッ素化合物を含有するガスを加熱下で上記分解処理剤と接触させ、
上記水酸化アルミニウムを主として非晶質の酸化アルミニウムと水蒸気に、2A族元素の水酸化物を2A族元素の酸化物と水蒸気にそれぞれ分解し、フッ素化合物を水蒸気と反応させることによってフッ化水素に変換した後、該フッ化水素を上記2A族元素の酸化物と反応させることで、2A族フッ化物および水蒸気に変換することを特徴とする請求項6又は7に記載の分解処理方法。
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CN113774460A (zh) * | 2021-09-30 | 2021-12-10 | 中山大学 | 一种钛合金等离子体电解氧化复合涂层的制备方法 |
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