JP2007237150A - 排ガスの触媒除害処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】PFCs,HFCs,HCFCs及びCFCsなどのハロゲンを含む地球温暖化ガスを低温にて効率良く除害する触媒と処理法を提供すること。
【解決手段】燐酸金属塩、硫酸金属塩、硝酸金属塩酸から選択される少なくとも1種の触媒を珪素酸化物やセラミックスからなる反応筒、反応容器に入れて地球温暖化ガスの赤外線吸収率を下げる除害処理を行う。
【解決手段】燐酸金属塩、硫酸金属塩、硝酸金属塩酸から選択される少なくとも1種の触媒を珪素酸化物やセラミックスからなる反応筒、反応容器に入れて地球温暖化ガスの赤外線吸収率を下げる除害処理を行う。
Description
本発明は、ハロゲンを含む地球温暖化ガス中で炭酸ガス温暖化係数の数千〜数万倍であるパーフルオロ化合物(PFCs)の中で、除害困難とされる4フッ化炭素(以下CF4と記す)を地球温暖化係数の低いガスに除害処理する方法に関する。
地球温暖化ガスの温暖化係数を低くして除害するために、燃焼ガスを用いる燃焼法(特開平成10年38245号公報)、高温熱分解や、プラズマ除害法等があり、除害剤にて、除害処理する方法(特開平7−116466号公報)等が挙げられる。
特に、PFCs中の4フッ化炭素(以下CF4と記す)は非常に安定なガスであり、特開2000−157837の触媒的除害法が検討されているが、CF4の分解除害に800℃の加熱が必要で、米国特許6023007でも700℃以上の加熱触媒で分解除害され、特開2001−162139で700℃の加熱触媒で68.5%の除害率と記されている。
特開平成10年38245号公報 特開平7−116466号公報 特開2000−157837号公報 米国特許6023007 特開2001−162139手続補正書
本発明の目的はフッ素化合物からなる地球温暖化ガスを低温で効率良く除害し、省エネルギーで長期間にわたる連続運転処理を可能とする地球温暖化ガスの処理触媒と処理法を提供することにある。
上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、触媒に金属酸化塩と反応筒や反応容器に珪素酸化物を用いる組み合わせで、PFCガスの中で除害が困難とされるCF4を、NOx発生を抑えて低温で地球温暖化係数の低いガスに除害処理し得ることを知見した。
処理触媒の調製方法は、原料水溶液塩の混合沈殿から水分を蒸発乾燥させて粉砕するか、或いはヘンシェルミキサーで酸化金属塩を造粒する。造粒物の乾燥温度は80℃〜200℃が良い。得られた乾燥体は1〜5mmの粒径に粒度を揃える。その後、250℃以上の条件で空気焼成する。好ましくは300℃以上600℃以下が良い。焼成時間は温度にもよるが1時間以上40時間程度で、好ましくは2時間以上24時間程度である。
処理触媒に金属を添加してもよく、触媒調製時だけでなく焼成後の金属酸化塩触媒にセリューム、イットリウム、希土類元素、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル等から選ばれた少なくとも1種の元素を添加し含有させても良い。添加金属塩は水酸化物、硝酸塩、塩化物、硫酸塩、リン酸塩などが好ましく。添加量は金属酸化塩に対し10重量%以下であり、好ましくは5重量%以下であり、0.05重量%以上である。
粒状触媒だけでなく、石英等の珪酸化合物製、ゼオライト、又はアルミナ、ムライト、マグネシア、ジルコニア、コージライト、炭化珪素、窒化珪素,窒化アルミ等のセラミックや活性炭、樹脂、セルロースからなる多孔質担体に触媒を担持させた状態で使用しても良い。
上記条件で作成した処理触媒を、石英等の珪酸化合物製、又はアルミナ、ムライト、マグネシア、ジルコニア、コージライト、炭化珪素、窒化珪素,窒化アルミ等のセラミック製又は樹脂、セルロース製からなる反応筒に充填し、その単数本、並列複数本を処理室或いは処理経路内に内包させる。
ステンレス等の金属製最外側反応筒を使用する場合、流入する被除害処理ガスが直に反応筒内側金属部に触れ無い様にコーティング材を施しても良く、また内包された触媒反応筒内を通過して触媒除害反応が起きる構造にしてもよい。
触媒反応筒を形成する金属材料として、金属表面にアルミナを析出するFe−Cr−Al合金等のAl含有合金系金属で反応筒、触媒反応容器を形成し、金属容器の金属及び金属成分が触媒除害反応を阻害しないようにしてもよい。
除害処理反応温度について、PFCsガスの種類によるが、高温処理を必要とし難除害とされるCF4ガスを従来分解温度より低温で除害処理が可能となり、CF4以外のPFCs(パーフルオロカーボン)ガス、からCFCs(クロロフルオロカーボン)、HCFCs(ハイドロクロロフルオロカーボン)やHFCs(ハイドロフルオロカーボン)の除害処理も、それぞれの従来除害温度より低温で可能となる。
次に本発明の供給ガス組成について述べる。PFCsガスの割合は0.01体積%〜20体積%が好ましい。更に好ましくは0.05体積%〜5体積%である。希釈キャリーガスとして空気、空気成分ガスを使う。
PFCsガスの分解処理に水素成分を必要とする反応では、水蒸気として供給する場合、地球温暖化ガスと希釈キャリーガスの混合気体に対して、供給水5体積%以上50体積%以下の水蒸気量を混合して触媒反応管に送り除害処理を行う。
産業分野では、地球温暖化係数の高いPFCsガスやHFCsガス等が液晶製造工程、半導体製造のCVD工程等でプロセスガス成分やエッチングガス成分、クリーニングガス成分として用いられている。
液晶(LCD)製造装置やCVD装置からの排出ガスはPFCsガス濃度が1%〜5%になるように窒素ガスで希釈され排出されており、PFCs、HFCsガスは1種類でなく数種が含まれていても分解除害は可能である。
本発明により低温でPFCsガスの分解除害が可能になり、触媒反応筒、反応容器等で使用されていた耐熱腐食材料のインコネル、モネル、ハステロイ等が不要になり、一般的な耐食材料が選択でき、又大掛かりな断熱材の必要が無くなり装置がシンプルな構造となり、コストダウンと小型化が可能である。
LCD製造装置やCVD装置からのプロセス排ガス、クリーニング排ガス、エッチング排気ガスには、SiH4、珪弗化(SiF4)物、WF6、SiO2等の有毒ガスや粉体成分や地球温暖化ガスのPFCsガスが混在している。
当該発明の地球温暖化ガス除害装置の前段に設置された排ガススクラバーで排ガス中の有毒ガスと触媒毒を除害し、除害仕切れなかったPFCsガスを含む排ガスを本発明の触媒反応容器に入れると、省エネルギーで効率の良い除害処理が可能になる。
触媒反応筒内の温度を測定・制御するための計器を備え、触媒反応筒外部に加熱用ヒーターを設け、或いは誘導加熱用コイルを設けて誘導加熱体を昇温して、電気的に触媒反応温度を上げる事で触媒剤の除害寿命を延長できる。
該地球温暖化ガスの除害度の測定方法は排出されるPFCsガスをFT−IR(フーリエ変換赤外分光分析計)で監視する事が好ましく、触媒処理剤の劣化状況を知る事で、効率的な処理剤の交換又は供給が可能となる。
以下に本発明の実施例を示すが、何ら本発明を限定するものではない。
当該実施例では、主にFT−IRで地球温暖化ガス分析をおこない、補足的にガスクロマトグラフィー分析を併用し、難分解ガスとされるCF4で触媒分解の分析を行う。
触媒反応管への流入ガスとして、100%濃度のCF4を20sccm量と500sccm量の窒素ガスと100sccm量の水蒸気の混合ガスをAとする。
触媒反応管への流入ガスとして、100%濃度のCF4を20sccm量と500sccm量の窒素ガスの混合ガスをBとする。
触媒反応管から出た全ての排ガスは水スクラバーで水溶性ガスを吸収した後、FT−IRで吸光分析する。
触媒反応管として金属管を用いた実施例は本発明との比較例として記載したものである。
実施例1、粒径2〜3mmの燐酸アルミ触媒5gを、内径7mmのステンレス(SUS304)管、又は内径7mmのアルミ管に入れ触媒反応管とし、A又はBガス処理を行う。
実施例2、粒径2〜3mmの燐酸アルミ触媒5gを、内径9mmの石英管、アルミナ管、ムライト管入れ触媒反応管とし、Bガス処理を行う。
実施例3、粒径2〜3mmの燐酸アルミ触媒5gを、内径9mm塩ビチューブ、内径9mmシリコ−ンチューブに入れ触媒反応管とし、Bガス処理を行う。
実施例4、粒径0.5〜2mmの石英ガラス粉砕触媒5gと粒径2〜3mmのシリカゲル球5gを内径9mmシリコ−ンチューブに入れ触媒反応管とし、Bガス処理を行う。
実施例5、粒径2〜3mmのセリューム燐酸アルミ触媒5gを、内径9mmのステンレス管に入れ触媒反応管とし、A又はBガス処理を行う。
実施例6、粒径2〜3mmのセリューム燐酸アルミ触媒5gを、内径9mmの石英管に入れ触媒反応管とし、A又はBガス処理を行う。
実施例7、粒径2〜3mmの硫酸アルミ触媒5gを、内径7mmのステンレス管に入れ触媒反応管とし、A又はBガス処理を行う。
実施例8、粒径2〜3mmの硫酸アルミ触媒5gを、内径9mmの石英管に入れ触媒反応管とし、A又はBガス処理を行う。
触媒反応管を出たガスは水スクラバーで水洗処理した後、全ての実施例にてFT−IRの赤外吸光分析をおこない、排出ガスCF4除害率をFT−IRで測定した。
実施例2に関して、CF4に対する希釈キャリーガスの窒素ガスに変えて酸素ガス、Arガスを用いた場合、希釈キャリーガスを止めてCF4のみの場合の転換率をFT−IRで測定した結果を表2に示す。
Claims (7)
- ハロゲン系の地球温暖化ガスと空気、空気成分、水蒸気の1又は複数を混合した気体を触媒分解するに当たり、金属酸化塩触媒を1又は並列に複数設けた石英等の珪酸化合物製、又はアルミナ、ムライト、マグネシア、ジルコニア、コージライト、炭化珪素、窒化珪素,窒化アルミ等のセラミック製又は樹脂、セルロース製からなる反応筒に充填し、それらを単数、並列複数本で処理室或いは処理経路内に内包させて地球温暖化ガスの地球温暖化係数を下げる事を特徴とする除害処理の方法。
- 金属酸化塩を石英等の珪酸化合物製、ゼオライト、又はアルミナ、ムライト、マグネシア、ジルコニア、コージライト、炭化珪素、窒化珪素,窒化アルミ等のセラミックや活性炭、樹脂、セルロースからなる多孔質担体に担持させた触媒を石英等の珪酸化合物製、又はアルミナ、ムライト、マグネシア、ジルコニア、コージライト、炭化珪素、窒化珪素,窒化アルミ等のセラミック製又は樹脂、セルロース製からなる反応筒に充填し、その単数本、並列複数本を処理室或いは処理経路内に内包させてハロゲン系の地球温暖化ガスの地球温暖化係数を下げる事を特徴とする除害処理の方法。
- 金属酸化塩には、燐酸金属塩、硫酸金属塩、硝酸金属塩のうちの1又は複数を用いる事を特徴とする請求項1、請求項2に記載のハロゲン系の地球温暖化ガスの地球温暖化係数を下げる除害処理の方法。
- 請求項3の金属酸化塩の金属には、アルミニウム、銅、亜鉛、マグネシューム、アルカリ土類金属、チタン、ジルコニウム、ランタン、セリューム、イットリウム、希土類金属、バナジウム、ニオブ、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル等の少なくとも1種の元素を用いる事を特徴とするハロゲン系の地球温暖化ガスの地球温暖化係数を下げる除害処理の方法。
- ハロゲン系の地球温暖化ガスと空気、空気成分をなすガス、水蒸気の1又は複数を混合した気体にあって、ハロゲン系の地球温暖化ガス量が20体積%以下である事を特徴とするハロゲン系の地球温暖化ガスの地球温暖化係数を下げる除害処理の方法。
- ハロゲン系の地球温暖化ガスと空気、空気成分をなすガス、水蒸気の1又は複数を混合した気体にあって、水蒸気濃度を5体債%以上50体積%以下にすることを特徴とする請求項1から請求項5に記載の何れか1つに記載の地球温暖化ガス除害処理の方法。
- 反応温度を20℃以上600℃以下にしたことを特徴とする請求項1から請求項6に記載の地球温暖化ガス除害処理の方法。
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US20120052586A1 (en) * | 2010-08-27 | 2012-03-01 | Sjong Angele | Hydrofluorocarbon elimination device |
CN114950339A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-08-30 | 常州诚鉺正环保技术有限公司 | 一种含氟气体用吸附剂及其制备方法 |
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