JP5638293B2 - 四端子型インピーダンス測定装置 - Google Patents
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Description
2 測定対象体
2a 一方の端子
2b 他方の端子
3 信号生成部
4 電流測定部
5 電圧測定部
6 処理部
21a 第1演算増幅器
21b 第1抵抗
22a 第2演算増幅器
22b 第2抵抗
23 電圧検出回路
Hc Hi側電流供給端子
Hp Hi側電圧検出端子
I1 検査電流
Lc Lo側電流供給端子
Lp Lo側電圧検出端子
V3 両端間電圧
V4 第1電圧信号
V5 第2電圧信号
Z インピーダンス
Claims (5)
- 測定対象体の一方の端子に接触する高電位側電流供給端子を介して当該測定対象体に供給する交流信号を生成する信号生成部と、
前記交流信号の供給に起因して前記測定対象体に流れる検査電流を前記測定対象体の他方の端子に接触する低電位側電流供給端子を介して入力すると共に当該検査電流を測定する電流測定部と、
前記一方の端子に接続される高電位側電圧検出端子および前記他方の端子に接続される低電位側電圧検出端子を介して前記測定対象体の両端間電圧を測定する電圧測定部と、
前記検査電流および前記両端間電圧に基づいて前記測定対象体のインピーダンスを算出する処理部とを備えた四端子型インピーダンス測定装置であって、
前記電圧測定部は、
非反転入力端子が前記高電位側電圧検出端子に接続されると共に第1抵抗を介して基準電位に接続されて、当該高電位側電圧検出端子に発生する電圧を増幅して第1電圧信号として出力する第1演算増幅器と、
非反転入力端子が前記低電位側電圧検出端子に接続されると共に第2抵抗を介して前記基準電位に接続されて、当該低電位側電圧検出端子に発生する電圧を増幅して第2電圧信号として出力する第2演算増幅器と、
前記第1電圧信号および前記第2電圧信号の差分電圧を検出して前記両端間電圧を示す電圧信号として出力する電圧検出回路とを有し、
前記第1抵抗は、前記第1演算増幅器の入力バイアス電流が当該第1抵抗にのみ流れた際に当該第1抵抗に当該第1演算増幅器の正側電源電圧に近い電圧を発生させて前記第1電圧信号を飽和状態に移行させる抵抗値に規定され、
前記第2抵抗は、前記第2演算増幅器の入力バイアス電流が当該第2抵抗にのみ流れた際に当該第2抵抗に当該第2演算増幅器の正側電源電圧に近い電圧を発生させて前記第2電圧信号を飽和状態に移行させる抵抗値に規定され、
前記処理部は、前記検査電流の電流値および前記電圧検出回路から出力される前記電圧信号の電圧値に基づいて、前記高電位側電流供給端子および前記低電位側電流供給端子の少なくとも一方が前記測定対象体に非接触の状態か否か、および前記高電位側電圧検出端子および前記低電位側電圧検出端子の少なくとも一方が前記測定対象体に非接触の状態か否かを判別する四端子型インピーダンス測定装置。 - 前記処理部は、前記検査電流の電流値が予め規定した電流値以下のときに、前記高電位側電流供給端子および前記低電位側電流供給端子の少なくとも一方が前記測定対象体に非接触の状態にあると判別する請求項1記載の四端子型インピーダンス測定装置。
- 前記処理部は、前記電圧検出回路から出力される前記電圧信号の電圧値が予め規定した電圧範囲を外れたときに、前記高電位側電圧検出端子および前記低電位側電圧検出端子のいずれか一方が前記測定対象体に非接触の状態にあると判別する請求項1または2記載の四端子型インピーダンス測定装置。
- 前記処理部は、前記検査電流の電流値および前記電圧検出回路から出力される前記電圧信号の電圧値に基づいてインピーダンスを算出すると共に、当該インピーダンスと予め規定したしきい値とを比較して、当該インピーダンスが当該しきい値を下回るときに、前記高電位側電圧検出端子および前記低電位側電圧検出端子の双方が前記測定対象体に非接触の状態にあると判別する請求項1または2記載の四端子型インピーダンス測定装置。
- 前記第1電圧信号と予め規定したしきい値とを比較して比較結果を示す第1比較信号を出力する第1比較部と、
前記第2電圧信号と予め規定したしきい値とを比較して比較結果を示す第2比較信号を出力する第2比較部とを有し、
前記処理部は、前記第1比較信号および前記第2比較信号に基づいて、前記高電位側電圧検出端子および前記低電位側電圧検出端子のいずれが前記測定対象体における対応する前記端子に非接触の状態か否かを判別する請求項1または2記載の四端子型インピーダンス測定装置。
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