JP5628873B2 - パラレルリンクロボット - Google Patents

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Description

本発明は、位置較正作業を容易にするパラレルリンクロボットに関する。
ベースに3個のサーボモータを配置するとともに、各サーボモータの出力軸にそれぞれアーム(リンク)を連結し、アームの駆動によりベースの下方の3次元空間において操作ヘッド(可動部)を変位させるようにしたデルタ型のパラレルリンクロボットが知られている(例えば特許文献1参照)。この種のパラレルリンクロボットにおいては、操作ヘッドの位置精度を担保するため、予めアームを所定位置に移動して、サーボモータを較正する必要がある。特許文献1記載のパラレルリンクロボットでは、モータブラケットから原点ピンを突設するとともに、アームの基端部から基準ピンを突設し、基準ピンが原点ピンに当接した状態をリンクの原点位置として、位置較正作業を行うようにしている。
特許第4822558号公報
しかしながら、上記特許文献1記載のパラレルリンクロボットでは、アームの駆動により基準ピンを原点ピンに当接させる際、アームの駆動量を誤って大きくさせ過ぎるおそれがある。アームの駆動量を大きくさせ過ぎると、基準ピンと原点ピンとの間の当接力が過大となり、パラレルリンクロボットの損傷を招く。
本発明の一態様であるパラレルリンクロボットは、複数のアクチュエータを有する基部と、基部に対して移動可能な可動部と、一端部が複数のアクチュエータの各々に、回転軸を中心にして基部に対し回転可能に連結され、他端部が可動部に連結される複数のリンク部と、基部に取り付けられ、リンク部の回転位置を計測する治具と、を備える。基部は、基準平面を有し、リンク部は、回転軸に対して平行に延設された可動平面であって、リンク部が位置較正を行うための基準位置に回転したときに基準平面に対する位置関係が所定の位置関係となる可動平面を有し、治具は、基準平面に対する位置関係が既知である計測位置に配置された測定器であって、リンク部が基準位置に回転したときに可動平面に対向し、基準平面と前記可動平面との間の距離を計測する測定器を有し、測定器は、ダイヤルゲージであり、リンク部が基準位置に回転したときにその先端部が可動平面に当接して所定量押し込まれるように配置されている。
本発明によれば、位置較正を行うための基準位置にリンク部を回転させる際のリンク部の駆動量が大き過ぎる場合であっても、パラレルリンクロボットを構成する各部の損傷を防ぐことができる。
本発明の実施形態に係るパラレルリンクロボットの概略構成を示す斜視図。 図1の駆動リンクの取付部近傍の構成を示す斜視図であり、較正用治具が取り付けられた状態を示す図。 図1の駆動リンクの取付部近傍の構成を示す斜視図であり、較正用治具が取り付けられていない状態を示す図。 図2の治具の単体の構成を示す斜視図。 図4の治具を構成する支持部材の構成を示す斜視図。 図5のVI-VI線断面図。 図2の治具の取付状態を示す斜視図。 図2の治具を用いずに位置較正作業を行う例を示す図。
以下、図1〜図8を参照して本発明によるパラレルリンクロボットの一実施形態について説明する。図1は、本発明の実施形態に係るパラレルリンクロボット100の概略構成を示す斜視図である。図1に示すように、パラレルリンクロボット100は、基部1と、可動プレート2と、基部1と可動プレート2とを連結する3つのリンク部3とを有する。基部1は、基部プレート10と、基部プレート10に固定され、各リンク部3をそれぞれ駆動する3つのサーボモータ11を有する。
リンク部3とサーボモータ11は、基部1の中央の中心点1aを基準にして120度毎に配置され、パラレルリンクロボット100は、中心点1aに対して対称形状となっている。なお、以下では、便宜上、図示のように上下方向を定義するとともに、上下方向に垂直な方向を水平方向と呼ぶ。また、中心点1aを通って上下方向に延在する軸線L0から放射状に延びる方向を径方向と呼び、軸線L0を中心とした円の円周に沿った方向を周方向と呼ぶ。可動プレート2の下部には、図示しないエンドエフェクタの取付部材2aが設けられている。サーボモータ11は、基部プレート10の上面に固定されている。
各リンク部3は、それぞれ駆動リンク31と、一対の受動リンク32とを上下に有する。駆動リンク31は基部1から径方向外側に延在している。駆動リンク31の一端部は、サーボモータ11の出力軸11aに連結され、駆動リンク31は、出力軸11aの延長線である軸線L1を中心にして、軸線L0を含む鉛直面内で回転可能(回動可能)となっている。なお、サーボモータ11の出力軸11aには減速機13(図2)が連結され、駆動リンク31は減速機13を介してサーボモータ11の出力軸11aに連結されているが、この場合にも駆動リンク31が出力軸11aに連結されているとして図示する。
駆動リンク31の他端部には、一対の受動リンク32の一端部が球面軸受けを介してそれぞれ連結されている。一対の受動リンク32の他端部は、球面軸受けを介して可動プレート2にそれぞれ連結されている。これによりサーボモータ11の駆動により駆動リンク31および受動リンク32が鉛直面内で回転し、基部1の下方の三次元点空間で可動プレート2を任意の位置に変位させることができる。以上のパラレルリンクロボット100は、デルタ型パラレルリンクロボットと呼ばれる。
各サーボモータ11は、サーボモータ11の回転(回転量)を検出する回転検出器12(エンコーダ)を内蔵し、回転検出器12からの信号に基づきサーボモータ11の駆動が制御される。回転検出器12は、サーボモータ11の原点位置を基準にして信号を出力するが、作業時間の経過やモータ交換等に伴い、原点位置にずれが生じる。この場合には、可動プレート2の位置精度を担保するため、位置較正作業によりサーボモータ11を較正する必要がある。位置較正作業においては、駆動リンク31を予め定めた基準位置に回転(回動)させ、そのときの回転検出器12の位置信号によりサーボモータ11の原点位置を特定する。この位置較正作業を容易かつ精度よく行うため、本実施形態では、以下のように基部1に較正用治具5を取り付ける。
図2、図3は、駆動リンク31の取付部近傍の構成を示す斜視図であり、とくに図2は、較正用治具5が取り付けられた状態を示している。なお、図2,図3では、3つの駆動リンク31のうち、一の駆動リンク31の取付部近傍の構成を示しているが、他の駆動リンク31の取付部近傍の構成も図2、図3と同様である。図2,図3は、図1の構成を上下逆にして示している。
図3に示すように、駆動リンク31は、サーボモータ11(厳密には減速機13)の出力軸11aに連結される回転軸部311と、一対の受動リンク32が連結される連結部313と、回転軸部311から連結部313にかけて延在するロッド312とを有する。回転軸部311は、円柱形状を呈し、外周面311aの一部からロッド312が延在している。回転軸部311の端面は、出力軸11aが突出する減速機13のハウジング14の端面14aに対向し、駆動リンク31は、軸線L1を中心にして図3の矢印R1方向およびR2方向に回転可能となっている。なお、図2と図3とでは駆動リンク31の姿勢が異なっており、図3の姿勢から駆動リンク31をR2方向に回転させると、図2の姿勢となる。
図3に示すように、回転軸部311の外周面311a、より詳しくは外周面311aに連なるロッド312の基端部には、台形状断面の突起部33が設けられている。突起部33の表面には、軸線L1に平行に、かつロッド312の延在する方向に沿って平面(可動平面34)が形成されている。
ハウジング14の端面14aには、出力軸11aよりも下方において、上下一対の切り欠き14bが設けられ、これら切り欠き14bの間に、水平方向に対しやや傾斜して直方体形状の突起部15が形成されている。突起部15の上面および下面(厳密には斜め上面および斜め下面)には、切り欠き14bにより互いに平行な平面16,17が形成され、とくに下側の平面17は位置較正時の基準である基準平面となっている。基準平面17は、駆動リンク31を基準位置に回転させた際に、可動平面34と同一平面上に位置するように形成されている(図8参照)。なお、基準位置とは、位置較正時における駆動リンク31の基準となる位置であり、駆動リンク31が基準位置にあるときは、サーボモータ11は原点位置となる。
図2に示すように、位置較正時には、ハウジング14の突起部15に較正用治具5が取り付けられる。治具5は、ダイヤルゲージ51を有し、ダイヤルゲージ51の先端部を駆動リンク31の可動平面34に当接させ、そのときの指示値を目視しながら、駆動リンク31の回転位置を基準位置に調整する。
図4は、治具5単体の構成を示す斜視図である。なお、以下では、便宜上、図示のように互いに直交する方向をX方向、Y方向、Z方向と定義し、この定義に従い治具5の構成を説明する。
図4に示すように、治具5は、ハウジング14の突起部15に取り付けられる枠部材52と、枠部材52に取り付けられ、ダイヤルゲージ51を支持する支持部材53とを有する。枠部材52は、X方向に延在する細長の縦板部521と、縦板部521のX方向両端部からY方向に延在する一対の細長の横板部522,523とを有し、全体がコ字形状を呈する。一方の横板部522は、ハウジング14の上側の切り欠き14b(図7)に挿入されるものであり、他方の横板部523よりもY方向長さが短い。横板部523には、X方向に向けて一対のねじ孔524が開口され、各ねじ孔524にボルト55が螺合されている。縦板部521には、X方向に細長い長穴525が開口され、長穴525を一対のフランジ付きボルト56が貫通している。
図5は、支持部材53の構成を示す斜視図である。支持部材53は、XY方向に延在する矩形状の平板部531と、平板部531のX方向端部からYZ方向に延在する矩形状の平板部532とを有し、全体がL字形状を呈する。なお、平板部532は完全な矩形状ではなく、そのY方向端部に切り欠き533が設けられ、厳密にはL字形状となっている。
平板部532の中央部には、ダイヤルゲージ51の円筒部511が貫通する貫通孔536が開口されている。平板部531のきり欠き533側のY方向端面には、フランジ付きボルト56が螺合する一対のねじ穴534が設けられている。平板部531と平板部532とが交差する平板部531のX方向端面は、ボルト55の先端部が当接する当接面535となっている。平板部532には、貫通孔536を覆うように領域54aにゲージ固定部材54が装着される。
ゲージ固定部材54は、互いに平行な一対の薄板部541,542と、薄板部541,542同士を接続する薄板部543とを有し、全体がコ字形状を呈する。ゲージ固定部材54は、一対の薄板部541,542により平板部543を挟むように切り欠き533側からY方向に向けて取り付けられる。各薄板部541,542には、YZ方向同一位置に、ダイヤルゲージ51の円筒部511が貫通する貫通孔544が開口されている。薄板部543の中央部にはねじ穴545が設けられ、ねじ穴545にゲージ固定用ボルト57が螺合している。
ダイヤルゲージ51は、円筒部511から突出する可動部512を有する。可動部512は円筒部511に対して昇降可能であり、可動部512の昇降により目盛り513の指示値が変化する。図6は、ダイヤルゲージ51の取り付け状態を示す図5のVI-VI線断面図である。ダイヤルゲージ51を取り付ける場合、ゲージ固定部材54を平板部532の領域54aに取り付けた状態で、円筒部511を貫通孔536,544に挿入する。この挿入を容易にするため、貫通穴536,544の径は、ダイヤルゲージ51の円筒部511の外径よりも大きくなっている。
次いで、ゲージ固定用ボルト57を締め込み、ボルト57の先端部を平板部532の切り欠き533側の端面537に当接させる。これにより図6に示すように、ゲージ固定部材54がY方向(図のY1方向)に移動し、円筒部511がゲージ固定部材54の貫通孔544に押されてダイヤルゲージもY1方向に移動する。円筒部511が平板部532の貫通孔536に当接すると、円筒部511の移動が阻止される。これにより円筒部511が貫通孔511のY方向一端側の内周面と貫通孔536のY方向他端側の内周面との間に挟まれ、ダイヤルゲージ51が支持部材53に固定される。
このとき、ダイヤルゲージ51の可動部512の先端が、平板部531のYZ方向に延在する端面538(接触端面と呼ぶ)からX方向に所定量Δd(例えば3mm)だけ突出するように、ダイヤルゲージ51のX方向の取付位置が調整される。なお、ダイヤルゲージ51のX方向の位置調整を容易にするため、例えば円筒部511に段差部を設け、この段差部をゲージ固定部材54の薄板部541の表面に当接させることで、ダイヤルゲージ51を位置決めするようにしてもよい。ダイヤルゲージ51の位置を大まかに決定した後、ダイヤルゲージ51の先端部の接触端面538からの位置を実測し、その実測値を所定量Δdに設定してもよい。所定量Δdは、ダイヤルゲージ51のフルスケールよりも小さく、例えばフルスケールの50%程度である。
次に、較正用治具5を用いた位置較正作業の手順について説明する。位置較正作業を行う場合には、まず、駆動リンク31の回転により、図3に示すように駆動リンク31の突起部33をハウジング14の突起部15の上方に退避させる。そして、上述したようにダイヤルゲージ51を支持部材53に位置決めして取り付けた後、ハウジング14の突起部15に治具5を取り付ける。図7は、治具5の取付状態を示す斜視図である。なお、図7では、図2とは異なり、駆動リンク31の図示を省略している。
治具5を取り付ける場合、まず、フランジ付きボルト56により枠部材52に支持部材53を仮止めする。すなわち、フランジ付きボルト56を長穴525に沿って移動可能とした状態で、枠部材52に支持部材53を取り付ける。この状態で、支持部材53の平板部532を駆動リンク31側に向けて、上側の切り欠き14bに枠部材52の横板部522を挿入し、横板部522の内側端面を突起部15の平面16に当接させる。そして、ボルト55を締め込んで、横板部522と支持部材53の接触端面538との間隔を狭め、接触端面538を突起部15の基準平面17に当接させる。
これによりボルト55の軸力により枠部材52(横板部522)と支持部材53(平板部531)との間に突起部15が挟まれる。その後、フランジ付きボルト56を締め込み、支持部材53を枠部材52に固定する。以上で、治具5の取付が終了する。治具5が取り付けられた状態では、ダイヤルゲージ51の先端部(可動部512の先端)が回転軸部311の外周面311を向いている。このとき、ハウジング14の基準平面17と治具5の接触面538は同一面上に位置するため、ダイヤルゲージ51の先端部は、基準平面17から所定量Δdだけ突出している。なお、この場合のダイヤルゲージ51の位置を計測位置と呼ぶ。
この状態で、駆動リンク31を図3のR2方向に徐々に回転させる。駆動リンク31の回転により、突起部33の可動平面34がダイヤルゲージ51に接近する。図2に示すように、可動平面34がダイヤルゲージ51の先端部に接触すると、可動平面34により可動部512が押し込まれ、ダイヤルゲージ51の目盛り513の指示値が変化する。目盛り513を目視しながら駆動リンク31をR2方向に回転し、指示値が所定値Δdになると、駆動リンク31の回転を停止する。
駆動リンク31をR2方向に回転させ過ぎて、指示値が所定値Δdを超えると、駆動リンク31を逆方向(図3のR1方向)に回転させ、指示値を所定値Δdに合わせる。ダイヤルゲージ51の押し込み量には余裕があるため、駆動リンク31をR2方向に回転させ過ぎた場合であっても、治具5の損傷を防止できる。指示値は、基準平面17と可動平面34との間の距離に応じて変化し、指示値が所定値Δdになった状態では、基準平面17と可動平面34とは、両者間の距離が0である同一平面上に位置し、駆動リンク31は基準位置にある。
このとき、オペレータは、スイッチ操作等により、駆動リンク31が基準位置にあることを制御回路(不図示)に教示する。これにより、制御回路は回転検出器12から出力される位置信号を読み込み、サーボモータ11の原点位置を特定する。以上の位置較正作業は、例えば全てのサーボモータ11について行われる。位置較正作業が終了すると、ボルト55,56を緩め、ハウジング14から治具5を取り外す。
以上では、治具5を用いた位置較正作業について説明したが、治具5を用いずに位置較正作業を行うこともできる。図8は、治具5を用いずに行う位置較正作業を説明する図である。この場合、基準平面17と可動平面34の位置関係を目視で確認しながら、図8に示すように基準平面17と可動平面34とが同一平面上に位置するように、駆動リンク31を回転させる。そして、基準平面17と可動平面34とが同一平面上に位置したとき、すなわち、駆動リンク31を基準位置に移動させたときの回転検出器12から出力される位置信号により、サーボモータ11の原点位置を特定する。
この場合、基準平面17がハウジング14の駆動リンク31側の端部に形成され、基準平面17と可動平面34とが回転軸L1方向に並んで配置されているため、基準平面17と可動平面34とが同一平面上にあるか否かを容易に判断できる。なお、基準平面17と可動平面34とをまたぐように平面17,34上に平板状のゲージを当て、ゲージと各平面17,34との隙間を比較して、平面17,34が同一平面上にあるか否かを判断することもできる。
本実施形態によれば以下のような作用効果を奏することができる。
(1)本実施形態のパラレルリンクロボット100は、3つのサーボモータ11を有する基部1と、基部1に対して移動可能な可動プレート2と、一端部が各サーボモータ11にそれぞれ回転軸L1を中心にして基部1に対し回転可能に連結され、他端部が可動プレート2に連結される3つのリンク部3と、基部1に取り付けられ、リンク部3(駆動リンク31)の回転位置を計測する位置較正用治具5とを備える。そして、基部1は、基準平面17を有し、リンク部3は、位置較正を行うための基準位置に回転したときに基準平面17に対して同一平面上となる可動平面34を有し、治具5は、リンク部3が基準位置に回転したときに可動平面34に対向するダイヤルゲージ51を有し、ダイヤルゲージ51により基準平面17と可動平面34との間の距離を計測しながら、両平面17,34が同一平面上である基準位置に駆動リンク31を回転させるようにした。これにより駆動リンク31を基準位置に回転させる際に、駆動リンク31の回転量が大きくなり過ぎたとしても、ダイヤルゲージ51が多め(但し、フルスケール以下)に押し込まれるだけで済む。したがって、治具5等の損傷を防ぐことができ、位置較正作業を容易に行うことができる。すなわち、駆動リンク31が基準位置を超えて回転することが許容されるので、駆動リンク31の回転速度を大きくすることができ、位置較正作業の効率が向上する。
(2)治具5にダイヤルゲージ51を取り付け、駆動リンク31が基準位置に回転したときに、ダイヤルゲージ51の先端部が可動平面34に当接してダイヤルゲージ51が所定量Δd押し込まれるようにダイヤルゲージ51を配置した。これによりダイヤルゲージ51の目盛り513を見ながら駆動リンク31を精度よく基準位置に回転させることができ、位置較正作業を精度よく行うことができる。また、ダイヤルゲージ51を用いることで、安価な構成で位置較正作業を行うことができる。
(3)基準平面17と可動平面34を、駆動リンク31が基準位置に回転したときに互いに同一平面上に位置するように形成した。これにより治具5がない場合であっても、駆動リンク31を基準位置に移動することができ、位置較正作業が可能である。
(4)ダイヤルゲージ51を支持する支持部材53の接触平面538を基準平面17に当接させ、治具5を突起部15に取り付けるようにした。これにより、接触平面538からのダイヤルゲージ51先端部の突出量Δdが基準平面17からの突出量Δdと等しくなり、基準平面17に対するダイヤルゲージ51の位置を容易に調整することができる。
(5)ボルト55,56の締め込みにより枠部材52と支持部材53の端面で突起部15を挟み込んで、治具5を突起部15に着脱可能に取り付けるようにした。したがって、位置較正作業時以外において突起部15から治具5を取り外すことで、治具5がパラレルリンクロボット100の動作の妨げとなることを防止でき、パラレルリンクロボット100の動作範囲に拘わらず、治具5の取付位置を自由に設定することができる。例えばパラレルリンクロボット100の通常動作の範囲内に、駆動リンク31の基準位置を設定することができる。これにより、全ての駆動リンク31に対し治具5を取り付け、全ての駆動リンク5を同時に基準位置に移動させることができる。したがって、全てのサーボモータ11の位置較正を一度に行うことができ、位置較正作業が一層容易となる。
(6)枠部材52と支持部材53とで突起部15を挟み込んで、治具5をハウジング14に取り付けるようにしたので、ハウジング14に治具取付用のボルト穴を加工する必要がなく、治具5の取付が容易である。
(変形例)
本実施形態では、ダイヤルゲージ51を有する治具5をハウジング14に取り付け、ダイヤルゲージ51によりリンク部3(駆動リンク31)の回転位置を計測し、駆動リンク31を位置較正作業時の基準位置に回転させるようにしたが、駆動リンク31の回転位置を計測する治具5の構成はこれに限らない。例えば、測定器としてダイヤルゲージ51の代わりにレーザ距離計を設け、レーザ距離計により基準平面17と可動平面34との間の距離を計測するようにしてもよい。すなわち、駆動リンク31が基準位置に回転したときに可動平面34に対向し、基準平面17と可動平面34との間の距離を計測する測定器を有するのであれば、治具の構成はいかなるものでもよい。上記実施形態では、治具5の取付状態において、ダイヤルゲージ51の先端部を基準平面17から所定量Δdだけ突出させるようにしたが、基準平面17に対する位置関係が既知である計測位置に配置するのであれば、測定器の配置は上述したものに限らない。
可動リンク31に突起部33を設け、突起部33の表面に可動平面34を形成したが、回転軸L1に対して平行に延設され、可動リンク31が基準位置に回転したときに基準平面17に対して所定の位置関係となるのであれば、可動平面34の構成はいかなるものでもよい。したがって、位置較正作業時に基準平面17とは異なる平面上に可動平面34が位置するように可動平面34を形成してもよい。例えば、基準位置において、可動平面34が基準平面17から所定量だけ上方または下方に位置するようにしてもよい。ハウジング14の突起部15に基準平面17を形成し、この基準平面17を用いて突起部15に治具5を取り付けるようにしたが、治具取付部の構成は上述したものに限らない。ハウジング14ではなく、基部プレート10に治具取付部を設けるようにしてもよい。基準平面17を駆動リンク31の軸線L1と平行に延在するように形成したが、軸線L1に対して傾いて形成してもよい。上記実施形態では、ダイヤルゲージ51を支持する支持部材53と支持部材53の一部を囲む枠部材52とでハウジング14の突起部15を挟み込み、支持部材53の接触平面538を基準平面17に接触させて治具5を突起部15に取り付けるようにしたが、測定器を支持する支持部の構成は上述したものに限らない。
上記実施形態では、リンク部3を駆動するアクチュエータとしてサーボモータ11を用いたが、他のアクチュエータを用いることもできる。駆動リンク31と一対の受動リンク32とを有するリンク部3を3つ設けてパラレルリンクロボット100を構成したが、一端部が複数のアクチュエータの各々に、回転軸L1を中心にして基部1に対し回転可能に連結され、他端部が可動プレート2に連結されるのであれば、複数のリンク部3の構成は上述したものに限らない。可動部としての可動プレート2の構成も上述したものに限らない。上記実施形態では、治具5をボルト55,56によって基部1に着脱可能に取り付けたが、治具5がロボット100の通常動作の妨げとならない位置(通常動作の範囲外)に取り付けられるのであれば、治具5を基部1に固定的に取り付けてもよい。
以上の説明はあくまで一例であり、本発明の特徴を損なわない限り、上述した実施形態および変形例により本発明が限定されるものではない。上記実施形態および変形例の構成要素には、発明の同一性を維持しつつ置換可能かつ置換自明なものが含まれる。すなわち、本発明の技術的思想の範囲内で考えられる他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。また、上記実施形態と変形例の1つまたは複数を任意に組み合わせることも可能である。
1 基部
2 可動プレート
3 リンク部
5 位置較正用治具
17 基準平面
34 可動平面
51 ダイヤルゲージ
52 枠部材
53 支持部材
L1 回転軸

Claims (3)

  1. 複数のアクチュエータを有する基部と、
    前記基部に対して移動可能な可動部と、
    一端部が前記複数のアクチュエータの各々に、回転軸を中心にして前記基部に対し回転可能に連結され、他端部が前記可動部に連結される複数のリンク部と、
    前記基部に取り付けられ、前記リンク部の回転位置を計測する治具と、を備え、
    前記基部は、基準平面を有し、
    前記リンク部は、前記回転軸に対して平行に延設された可動平面であって、前記リンク部が位置較正を行うための基準位置に回転したときに前記基準平面に対する位置関係が所定の位置関係となる可動平面を有し、
    前記治具は、前記基準平面に対する位置関係が既知である計測位置に配置された測定器であって、前記リンク部が前記基準位置に回転したときに前記可動平面に対向し、前記基準平面と前記可動平面との間の距離を計測する測定器を有し、
    前記測定器は、ダイヤルゲージであり、前記リンク部が前記基準位置に回転したときにその先端部が前記可動平面に当接して所定量押し込まれるように配置されていることを特徴とするパラレルリンクロボット。
  2. 請求項1に記載のパラレルリンクロボットにおいて、
    前記基準平面と前記可動平面は、前記リンク部が前記基準位置に回転したときに互いに同一平面上に位置するように形成されていることを特徴とするパラレルリンクロボット。
  3. 請求項1または2に記載のパラレルリンクロボットにおいて、
    前記治具は、前記基準平面に接触して着脱可能に取り付けられ、前記測定器を支持する支持部を有することを特徴とするパラレルリンクロボット。
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