JP5619515B2 - 酸化セリウム系研磨剤及びガラス製ハードディスク基板の製造方法 - Google Patents
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Description
ここで、複合酸化希土類研磨材中に含まれる純粋な酸化希土化合物(酸化セリウム+酸化ランタン+酸化プラセオジム+酸化ネオジム)の割合は、TREO(Total Rare Earth Oxide)と呼ばれる。
本発明の目的は、環境負荷物質であるフッ素を実質的に含有せず、ハードディスク基板に用いられる加工性の悪いガラス基板に対しても、高い研磨速度で従来よりも表面粗さを小さくし、かつ研磨傷の発生を抑制することが可能な酸化セリウム系研磨剤を提供することにある。また、本発明の目的は、上記本発明の酸化セリウム系研磨剤を用いて、効率よくガラス製ハードディスク基板を製造する方法を提供することにある。
(1)総酸化希土類量(TREO)が95質量%以上であり、かつ当該TREOに対する酸化セリウム量が99質量%以上である。
(2)フッ素の含有量が0.05質量%以下である。
(3)粉末X線回折から算出される前記酸化セリウムの結晶子径が700〜1000Åである。
(4)平均粒子径(D50)が0.4〜0.8μmである。
(5)前記ガラス製ハードディスク基板のビッカース硬度が570Hv以上である。
[3] 前記ガラス製ハードディスク基板のビッカース硬度が620Hv以上である[2]に記載の酸化セリウム系研磨材。
[4] 前記ガラス製ハードディスク基板に含有される結晶の平均結晶サイズが20nm以下である[3]に記載の酸化セリウム系研磨材。
[6] 前記ガラス基板のビッカース硬度が600Hv以上である[5]に記載のガラス製ハードディスク基板の製造方法。
[7] 前記ガラス基板のビッカース硬度が620Hv以上である[6]に記載のガラス製ハードディスク基板の製造方法。
[8] 前記ガラス基板に含有される結晶の平均結晶サイズが20nm以下である[7]に記載のガラス製ハードディスク基板の製造方法。
本発明の酸化セリウム系研磨剤は、ガラス製ハードディスク基板の製造に用いられ、下記(1)〜(5)の要件を満たすものである。
総酸化希土類量は97質量%以上であることが好ましく、99質量%以上であることがより好ましい。また、TREOに対する酸化セリウム量は99.5質量%以上であることが好ましく、99.9質量%以上であることがより好ましい。
なお、TREO及び酸化セリウム量は、蛍光X線分析により測定することができる。また、「総酸化希土類」とは、酸化セリウム、酸化ランタン、酸化プラセオジム、酸化ネオジム等の希土類酸化物をいう。
なお、フッ素の含有量は、吸光光度法により測定することができる。
Dhkl=K×λ/(β×cosθ) … Scherrerの式
[Dhkl:結晶子径(Å、hklに垂直方向の結晶子の大きさ)、λ:測定X線波長(Å)、β:結晶の大きさによる回折線の広がり(ラジアン)、θ:回折線のブラッグ角(ラジアン)、K:定数(βとDの定数で異なる)]
D=0.9×1.54050/(β1/2×cosθ)
なお、平均粒子径は、レーザー回折型粒度分布測定機(日機装株式会社製マイクロトラックMT−3300)で測定された体積分布の累積値50%に相当する粒子径である。
平均粒径は、焼成前又は後に粉砕処理を施すことにより調整することができる。また、自然分級、フィルターでのろ過、液体サイクロン、遠心沈降機、遠心傾斜機(デカンター)等の湿式分級により所望の粒径範囲のものを分離して使用することも可能である。
本発明のガラス製ハードディスク基板の製造方法は、既述の本発明の研磨材を研磨布に供給しながら、ガラス基板を当該研磨布により研磨する研磨工程を含むものである。本発明の研磨材を使用することで、所望の表面粗さ(例えば、Ra:2.0〜5.0Å)を有するガラス製ハードディスク基板を効率よく作製することができる。
TREOが酸化物換算で50質量%であり、TREO中の酸化セリウム含有率(CeO2/TREO)が酸化物換算で99.9質量%である炭酸セリウムを用意した。この炭酸セリウム2kgを大気雰囲気下で、電気炉で900℃の温度で2時間焼成し、酸化セリウムとした。
このスラリー状研磨液をイオン交換水にて希釈し、粉体濃度を10質量%としてハードディスク用ガラス基板を研磨し、研磨状態の評価を行った。研磨条件は表1及び下記の通りである。また、結果を下記表3に示す。
研磨機 : 4ウエイタイプ9B型両面研磨機
加工物 : アモルファスガラス基板(ビッカース硬度570Hv)
加工物のサイズ : 65mmφハードディスクガラス基板(厚さ:0.635mm) 加工枚数 : 25枚×4バッチ
研磨パッド : 発泡ポリウレタンパッド(LP−77、ローデス製)
下定盤回転数 : 60rpm
研磨圧力 : 120g/cm2
研磨時間 : 30分
酸化セリウム系研磨剤を下記表1に示すように変更した以外は、参考例1と同様にして研磨状態の評価を行った。結果を下記表3に示す。
なお、平均粒子径については分級操作の条件を変更することで調整し、結晶子径については、焼成温度、焼成回数の条件を変更することで調整した。
加工物を、ビッカース硬度600Hvのアモルファスガラス基板に変更した以外は、[参考例1及び比較例1〜5]と同様にして研磨状態の評価を行った。結果を下記表3に示す。
加工物を、ビッカース硬度620Hvの結晶化ガラス基板(平均結晶サイズ10μm)に変更した以外は(表2参照)、[参考例1及び比較例1〜5]と同様にして研磨状態の評価を行った。結果を下記表4に示す。
加工物を、ビッカース硬度650Hvの結晶化ガラス基板(平均結晶サイズ7μm)に変更した以外は(表2参照)、[参考例1及び比較例1〜5]と同様にして研磨状態の評価を行った。結果を下記表4に示す。
Claims (3)
- 下記(1)〜(6)を満たし、結晶部と非晶部とを含む結晶化ガラス製ハードディスク基板製造用の酸化セリウム系研磨剤。
(1)総酸化希土類量(TREO)が95質量%以上であり、かつ当該TREOに対する酸化セリウム量が99質量%以上である。
(2)フッ素を含まない。
(3)粉末X線回折から算出される前記酸化セリウムの結晶子径が800〜900Åである。
(4)平均粒子径(D50)が0.45〜0.55μmである。
(5)前記ガラス製ハードディスク基板のビッカース硬度が620Hv以上である。
(6)前記ガラス製ハードディスク基板に含有される結晶の平均結晶サイズが3〜15nmである。 - 請求項1に記載の研磨材を研磨布に供給しながら、ビッカース硬度が620Hv以上のガラス基板を前記研磨布により研磨する研磨工程を含むガラス製ハードディスク基板の製造方法。
- 前記ガラス基板に含有される結晶の平均結晶サイズが20nm以下である請求項2に記載のガラス製ハードディスク基板の製造方法。
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