JP5618409B2 - シリカガラスルツボ - Google Patents
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Description
一方、シリカガラスルツボの最外周面を気泡含有層で構成することで、シリコン融液の放熱を抑制して保温効果を高め、加熱状態の均一性および熱効率を向上し、シリカガラスルツボを周囲から加熱する際に熱の分散を促し局所的な昇温を防止するとともに、単結晶引き上げ中におけるルツボ強度維持を図っている。
前記シリカガラスルツボの壁は、内側から順に透明層及び気泡含有層を備え、
前記直胴部の上端と下端の中間部分において、前記透明層の厚さに対する前記気泡含有層の厚さの比が0.7〜1.4である。
上記光学検出手段による測定結果は画像処理装置に取り込まれ、この画像から次のように気泡含有率が算出される。
P(%)=(S2/S1)×100
により面積気泡含有率P(%)を算出する。さらに、気泡をほぼ球状だとみなし、気泡の体積V2を算出し、前述の基準面積S1については、画像を撮像した深さとS1から基準体積V1を求めることで、
P(%)=(V2/V1)×100
により、体積比による体積気泡含有率P(vol%)を算出する。
この体積気泡含有率を本発明においては、気泡含有率として定義する。
また、シリカガラスルツボ10の最外周面10bを気泡含有層12で構成することで、シリコン融液Mの放熱を抑制して保温効果を高めると共に、シリカガラスルツボ10を周囲から加熱する際に熱分散を促し、局所的な昇温を防止する。
前記直胴部の上端と下端の中間部分(図1中のW1部)において、透明層11の厚さは、4mm以上8mm以下であり、気泡含有層12の厚さは、5mm以上8mm以下であることが好ましい。このような範囲内である場合、透明層11と気泡含有層12の両方が適切な厚さとなり、本発明の効果がよりよく発揮されるからである。
前記湾曲部と前記直胴部との境界部(図1中のRW部)において、透明層11の厚さは、9mm以上11mm以下であり、気泡含有層12の厚さは、2mm以上4mm以下であることが好ましい。回転モールド法によってルツボを製造する場合、湾曲部と直胴部との境界部において透明層の厚さが厚くなりやすいので、上記範囲の厚さのルツボは、製造が容易であるという利点がある。
前記底部と湾曲部との境界部(図1中のBR部)において、透明層11の厚さは、2mm以上5mm以下であり、気泡含有層12の厚さは、7mm以上8.5mm以下であることが好ましい。回転モールド法によってルツボを製造する場合、底部と湾曲部との境界部において透明層sの厚さが厚くなりやすいので、上記範囲の厚さのルツボは、製造が容易であるという利点がある。
これらの厚さを示した各部分の間では、各層の厚さは、なめらかに変化する。
合成シリカ粉を熔融して得られたガラスでは、光透過率を測定すると、波長200nm程度までの紫外線を良く透過し、紫外線光学用途に用いられている四塩化ケイ素を原料とした合成シリカガラスに近い特性であると考えられる。
合成シリカ粉を熔融して得られたガラスでは、波長245nmの紫外線で励起して得られる蛍光スペクトルを測定すると、天然シリカ粉の熔融品のような蛍光ピークは見られない。
本発明に係る実施例を以下に列記する。まず、図5に示す形状のサンプルを、実際のシリカガラスルツボから切り出した。それぞれのサンプルの採取部位は、図1に示すW2,W1,RW,R,BR,Bとした。なお、部位W2,W1は、シリカガラスルツボの側壁を成す円筒形部分、RWは湾曲開始部分(湾曲部上端)、Rは湾曲部中間位置部分、BRは底面に向けて曲率が緩やかになる湾曲部と底部との境界部分、Bは底部中心である。なお、曲率半径で規定される湾曲部の境界部と測定位置RW,R,BWは、底部中心から開口上端に至る径方向でルツボ内面に沿った方向において湾曲部全体の寸法の10%程度の誤差を含むものである。また、結果を示す各図中において、透明層のサンプルはT、気泡含有層のサンプルはF、透明層と気泡含有層の2層サンプルはT+Fで示す。これら各サンプルについて、体積膨張率、比重減少量、気泡含有率などに関して測定を行った。
気泡含有率={(真比重−測定値)/真比重}×100 但し、真比重=2.20
本発明のシリカガラスルツボAと、従来のシリカガラスルツボB(口径24インチ;61cm)を用意した。シリカガラスルツボA及びBでの透明層及び気泡含有層の厚さは、それぞれ、表1に示す通りである。透明層の気泡含有率は、底部の中心で約0.005%、底部と湾曲部の境界部で約0.1%、直胴部の上端と下端の中間部分から上端までの範囲で約0.05%であった。透明層の気泡の平均直径は、約80μmであった。また、気泡含有層の気泡含有率は約0.5%であり、気泡の平均直径は、約150μmであった。
表2に示す厚さの透明層及び気泡含有層を有するシリカガラスルツボ1〜5を作製した。シリカガラスルツボ3及び5は、それぞれ、実施例2のシリカガラスA及びBに対応している。透明層及び気泡含有層での気泡含有率は、実施例2と同様である。これらのシリカガラスルツボを用いてシリコン単結晶の引き上げを行い、得られた単結晶の結晶性の評価を行った。結晶性の評価は、(シリコン単結晶の直胴部の質量)/(引上げ直前にルツボに充填されているポリシリコンの質量)の値(単結晶率)に基づいて行った。その結果を表2に示す。表2における評価基準は、以下の通りである。
◎:単結晶率が0.80以上〜0.99未満
○:単結晶率が0.70以上〜0.80未満
△:単結晶率が0.60以上〜0.70未満
×:単結晶率が0.60未満
Claims (5)
- 鉛直方向に広がる略円筒形の直胴部と、湾曲した底部と、前記直胴部と前記底部をなめらかに接続する湾曲部とを有するシリカガラスルツボであって、
前記シリカガラスルツボの壁は、内側から順に透明層及び気泡含有層を備え、
前記直胴部の上端と下端の中間部分において、前記透明層の厚さに対する前記気泡含有層の厚さの比が1〜1.4であり、
前記湾曲部の上端と下端の中間部分において、前記透明層は前記気泡含有層よりも厚く、
前記湾曲部において、前記透明層の厚さに対する前記気泡含有層の厚さの比Δ1:Δ2が、2.25:1〜10:1であり、
前記透明層の気泡含有率は、前記底部の中心で0.01%以下、前記底部と前記湾曲部との境界部で0.2%未満、前記直胴部の上端と下端の中間部分から上端までの範囲で0.1%以下であり、
前記透明層に含有される気泡の平均直径は、100μm未満である、
シリカガラスルツボ。 - 前記気泡含有層は、気泡含有率が0.2%以上1%以下である請求項1に記載のシリカガラスルツボ。
- 前記気泡含有層に含有される気泡の平均直径は、20μm以上200μm以下である請求項1又は2に記載のシリカガラスルツボ。
- 前記シリカガラスルツボの前記直胴部の上端と下端の中間部分における、熱による体積膨張率は10%以下である請求項1〜3の何れか1つに記載のシリカガラスルツボ。
- 前記透明層は、合成シリカと天然シリカの少なくとも一方から構成され、前記気泡含有層は天然シリカから構成される請求項1〜4の何れか1つに記載のシリカガラスルツボ。
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