JP2005330157A - シリカガラスルツボ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本シリカガラスルツボは、高純度透明シリカガラス層からなる内層2と、この内層2の外側に設けられ多気泡不透明シリカガラス層からなる外層3で構成され、内層2の上部1/3の上部分2aのOH基含有量は、その外側の外層3の上部分3aのOH基含有量より100ppm以上少なく、かつ、内層2の下部2/3の下部分2bのOH基含有量は、その外側の外層3の下部分3bのOH基含有量より100ppm以上多い。
【選択図】 図1
Description
2 内層
2a 上部分
2b 下部分
3 外層
3a 上部分
3b 下部分
Claims (1)
- 高純度透明シリカガラス層からなる内層と、この内層の外側に設けられ多気泡不透明シリカガラス層からなる外層で構成され、前記内層の上部1/3の上部分のOH基含有量は、その外側の前記外層の上部分のOH基含有量より100ppm以上少なく、かつ、前記内層の下部2/3の下部分のOH基含有量は、その外側の前記外層の下部分のOH基含有量より100ppm以上多いことを特徴とするシリカガラスルツボ。
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