JP5589619B2 - 情報処理装置、ステージうねり補正方法、プログラム - Google Patents
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Description
これにより、ステージの載置面の撮影範囲毎のうねり補正値を良好に算出することができる。
平坦なダミースライドをステージの載置面に載置してうねり補正値を算出することで、観察対象物のうねり成分によるうねり補正値の計算結果への影響を緩和できる。これにより、ステージのうねり成分による合焦ずれをより効果的に低減して、より高質な観察画像を安定的に得ることができる。
<第1の実施形態>
[画像処理システムの構成]
図1は、本発明の一実施形態に係る画像処理システムを示す図である。同図に示すように、本実施形態における画像処理システム1は、顕微鏡10と、情報処理装置20とを備えている。
対物レンズ12A及び結像レンズ12Bは、上記照明灯13により得られた試料SPLの像を所定の倍率に拡大し、当該拡大像を光学センサ15の撮像面に結像させる。
照明灯13は、ステージ11の下方に設けられ、ステージ11に設けられた開口(図示せず)を介して、上記載置面に載置された試料SPLへ照明光を照射する。
発光制御部17は、情報処理装置20からの制御指令に基づいて照明灯13や光源14の露光時間や発光強度など、露光に関する制御を行う。
ステージ制御部18は、情報処理装置20からの制御指令に基づいてステージ11のXYZ軸方向への移動を制御する。
同図に示すように、情報処理装置20は、CPU(Central Processing Unit)201、ROM(Read Only Memory)202、RAM(Random Access Memory)203、操作入力インタフェース部204、表示インタフェース部205、顕微鏡インタフェース部206、記憶部207、これらを接続するバス208とを備える。
次に、本実施形態の画像処理システム1の動作を説明する。
なお、動作の説明は、
1.撮影対象領域に対する撮影範囲の移動
2.うねり補正テーブルの作成
3.うねり補正値の算出処理
4.うねり補正テーブルを用いた撮影処理
の順で行うこととする。
図3は、ステージ11の載置面の撮影対象領域に対する撮影範囲の移動を示す図である。
ステージ11の載置面の撮影対象領域は、通常、矩形である。ステージ11と光学系12は相対的にXYZ軸方向に移動可能であればよい。本実施形態では、光学系12が固定され、ステージ11がXYZ軸方向に移動可能な構成としたが、逆にステージ11が固定され、光学系12がXYZ軸方向に選択的に移動可能なように構成してもかまわない。
本実施形態の画像処理システム1では、
1.ステージ11の載置面の撮影範囲32毎のうねり補正値を求める処理、
2.撮影範囲32毎のうねり補正値を当該撮影範囲32の位置を特定するXY座標と対応付けてうねり補正テーブルに登録する処理、
3.試料の観察時、撮影範囲32毎にうねり補正テーブルを参照してステージ11のZ軸方向の高さ位置を補正する処理
が行われる。
図4はうねり補正テーブルの作成に関するフローチャートである。
うねり補正テーブルの作成にあたっては、ステージ11の平面形状のうねり成分のみに対する補正値が得られるように、平面度が非常に小さい半導体基板などの基板上に合焦用のマークが形成された平坦なダミースライドが撮影対象物としてステージ11の載置面に載置される。
うねり補正値は、より具体的には、ステージ11のZ軸方向の高さ位置を予め設定された初期の位置から予め決められた範囲内において段階的に切り替え、その都度撮影されたデジタル画像データをもとに合焦ずれに関する情報であるデフォーカス情報(合焦点のずれ量)を算出し、そのデフォーカス情報とステージ11のZ軸方向の高さ位置との相関から求められる。ここで、「予め決められた範囲」とは、予め想定されたステージ11のうねり量(Z軸方向での高さ位置の変位量)の正の最大値から負の最大値までの範囲のことであり、以下「合焦点探索範囲」と呼ぶこととする。合焦点探索範囲内で用いられる値のステップ幅は顕微鏡10の光学系12における被写界深度以下とする。
まず、うねり補正処理部23は、ステージ11のZ軸方向の高さ位置を合焦点探索範囲の初回用の値分だけ移動させるようにハードウェア制御部21を介してステージ制御部18を制御する(ステップS201)。合焦点探索範囲の初回用の値は、例えば、予め想定されたうねり量の正の最大値または負の最大値のいずれか一方に対応する。
同図に示すように、算出されたそれぞれのうねり補正値は、対応する領域の代表的なXY座標と対応付けられてうねり補正テーブルに登録される。ここで、領域の代表的なXY座標は、例えば、領域の中心座標などである。この例では、10[μm]×10[μm]の撮影範囲32毎のうねり補正値を算出した場合の例である。うねり補正値の単位も[μm]である。
最後に、うねり補正テーブルを用いた撮影処理について説明する。
図7は、うねり補正テーブルを用いた撮影処理に関するフローチャートである。
なお、撮影処理直前のステージ11のZ軸方向の初期の高さ位置は上記基準の高さ位置にある。
本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更され得る。
10…顕微鏡
11…ステージ
12…光学系
12A…対物レンズ
13…照明灯
14…光源
15…光学センサ
16…光学センサ制御部
17…発光制御部
18…ステージ制御部
20…情報処理装置
21…ハードウェア制御部
22…センサ信号現像部
23…うねり補正処理部
24…うねり補正テーブル記憶部
25…画像出力部
31…撮影対象領域
32…撮影範囲
Claims (3)
- 撮影対象物を載置可能な載置面を有するステージと、前記載置面に載置された前記撮影対象物を撮像する対物レンズを含む撮像部とを具備し、前記ステージが前記対物レンズの光軸に対してそれぞれ直交しかつ互いに直交する第1の軸方向および第2の軸方向と前記光軸に沿った第3の軸方向に移動自在である顕微鏡が制御対象として接続される接続部と、
前記ステージの前記載置面の撮影対象領域における、当該載置面より小さい所定の撮影範囲毎の前記第3の軸方向の位置のずれを補正するための値を、前記ステージの前記載置面のうねり補正値として算出する算出部と、
前記算出された前記撮影範囲毎の前記うねり補正値を記憶する補正値記憶部と、
前記記憶された撮影範囲毎のうねり補正値をもとに、前記撮影対象物の撮影時の前記ステージと前記対物レンズとの相対的な距離を前記撮影範囲毎に補正する補正部と
を具備し、
前記算出部は、前記ステージの前記載置面に平坦なダミーの撮影対象物を載置させた状態で、前記ステージと前記対物レンズとの相対的な距離を、予め決められた範囲内で、前記撮像部における光学系の被写界深度以下のステップ幅で段階的に切り替え、その都度撮影された像をもとに合焦ずれ量を算出し、前記算出された合焦ずれ量が閾値以下であることを満足するときの前記距離から前記うねり補正値を求める
情報処理装置。 - 撮影対象物を載置可能な載置面を有するステージと、前記載置面に載置された前記撮影対象物を撮像する対物レンズを含む撮像部とを具備し、前記ステージが前記対物レンズの光軸に対してそれぞれ直交しかつ互いに直交する第1の軸方向および第2の軸方向と前記光軸に沿った第3の軸方向に移動自在である顕微鏡のステージうねり補正方法であって、
前記ステージの前記載置面の撮影対象領域における、当該載置面より小さい所定の撮影範囲毎の前記第3の軸方向の位置のずれを補正するための値を、前記ステージの前記載置面のうねり補正値として算出するため、前記ステージの前記載置面に平坦なダミーの撮影対象物を載置させた状態で、前記ステージと前記対物レンズとの相対的な距離を、予め決められた範囲内で、前記撮像部における光学系の被写界深度以下のステップ幅で段階的に切り替え、その都度撮影された像をもとに合焦ずれ量を算出し、前記算出された合焦ずれ量が閾値以下であることを満足するときの前記距離から前記うねり補正値を求め、
前記算出された前記撮影範囲毎の前記うねり補正値を記憶し、
前記記憶された撮影範囲毎のうねり補正値をもとに、前記撮影対象物の撮影時の前記ステージと前記対物レンズとの相対的な距離を前記撮影範囲毎に補正する
ステージのうねり補正方法。 - 撮影対象物を載置可能な載置面を有するステージと、前記載置面に載置された前記撮影対象物を撮像する対物レンズを含む撮像部とを具備し、前記ステージが前記対物レンズの光軸に対してそれぞれ直交しかつ互いに直交する第1の軸方向および第2の軸方向と前記光軸に沿った第3の軸方向に移動自在である顕微鏡を制御するコンピュータを動作させるプログラムであって、
前記ステージの前記載置面の撮影対象領域における、当該載置面より小さい所定の撮影範囲毎の前記第3の軸方向の位置のずれを補正するための値を、前記ステージの前記載置面のうねり補正値として算出するため、前記ステージの前記載置面に平坦なダミーの撮影対象物を載置させた状態で、前記ステージと前記対物レンズとの相対的な距離を、予め決められた範囲内で、前記撮像部における光学系の被写界深度以下のステップ幅で段階的に切り替え、その都度撮影された像をもとに合焦ずれ量を算出し、前記算出された合焦ずれ量が閾値以下であることを満足するときの前記距離から前記うねり補正値を求める算出部と、
前記算出された前記撮影範囲毎の前記うねり補正値を記憶する補正値記憶部と、
前記記憶された撮影範囲毎のうねり補正値をもとに、前記撮影対象物の撮影時の前記ステージと前記対物レンズとの相対的な距離を前記撮影範囲毎に補正する補正部として
前記コンピュータを動作させるプログラム。
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