JP6270264B2 - 情報処理装置、情報処理方法、プログラム、測定装置、及び測定方法 - Google Patents
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Description
前記取得部は、前記ライン状の光の延在方向を第1の方向として、前記測定部が前記第1の方向に直交する第2の方向に移動しながら、かつ前記第1及び前記第2の方向にそれぞれ直交する第3の方向に往復移動しながら、前記対象物である基準平面に対して前記測定動作を実行することで得られた前記測定結果である往復測定結果を取得する。
前記生成部は、前記取得された往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報を生成する。
これにより測定範囲の全体における補正情報が生成可能となり高精度の形状測定が可能となる。
これにより高精度の形状測定を行うために必要な補正情報の算出が可能となる。
前記取得された往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報が生成される。
前記ライン状の光の延在方向を第1の方向として、前記測定部が前記第1の方向に直交する第2の方向に移動しながら、かつ前記第1及び前記第2の方向にそれぞれ直交する第3の方向に往復移動しながら、前記対象物である基準平面に対して前記測定動作を実行することで得られた前記測定結果である往復測定結果を取得するステップ。
前記取得された往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報を生成するステップ。
前記測定部は、対象物にライン状の光を照射する光源部と、前記対象物に照射された前記ライン状の光を撮影する撮像部とを有し、前記撮像部により撮影された画像を測定結果として出力する。
前記駆動部は、前記ライン状の光の延在方向を第1の方向として、前記測定部を前記第1の方向に直交する第2の方向と、前記第1及び前記第2の方向にそれぞれ直交する第3の方向とにそれぞれ移動させることが可能である。
前記取得部は、前記測定部が前記第2の方向に移動しながら、かつ前記第3の方向に往復移動しながら、前記対象物である基準平面に対して測定動作を実行することで得られた前記測定結果である往復測定結果を取得する。
前記生成部は、前記取得された往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報を生成する。
本技術を用いることで、シャインプルーフ光学系を用いることによる誤差も高い精度で補正することが可能となる。
ライン状に成形された光が対象物に照射される構成であっても本技術を用いることで有効な補正情報を生成することが可能である。
対象物に対してレーザ光がライン状に走査される構成であっても本技術を用いることで有効な補正情報を生成することが可能である。
前記実行ステップにより得られた測定結果である往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報が生成される。
前記生成された補正情報を用いて、前記測定部による測定結果をもとにした前記対象物の形状測定が実行される。
図1は、本発明の一実施形態に係る形状測定システムを示す概略図である。形状測定システム500は、形状測定装置100と、本発明に係る情報処理装置としてのPC(Personal Computer)150とを有する。情報処理装置として、他のコンピュータが用いられてもよい。
プローブの照射光学系から照射されるストライプ光を利用して測定を行うため、照射光学系が有する歪の影響(例えばレーザ光の曲がりや輝度むら等)が測定結果に混入してしまう。
歪を持った光学系で形状測定を行い、歪(測定誤差)を持ったデータから形状が推定されるため、測定結果(=補正情報)の精度が悪い。
本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
も可能である。また上記で記載した種々の効果は、あくまで例示であって限定されるもの
ではなく、また他の効果が発揮されてもよい。
L…レーザ
P…近似平面
W…ワーク
Δz…補正情報
A、B、C、D…端点
M…中間点
10…移動機構
20…照射光学系
30…受光光学系
40、240…光学式プローブ
50…光学系
60…基準平面
100…形状測定装置
150…PC
250…走査光学系
500…形状測定システム
Claims (10)
- 対象物にライン状の光を照射しその照射光を撮影する測定動作を実行する測定部から測定結果を取得することが可能な情報処理装置であって、
前記ライン状の光の延在方向を第1の方向として、前記測定部が前記第1の方向に直交する第2の方向に移動しながら、かつ前記第1及び前記第2の方向にそれぞれ直交する第3の方向に往復移動しながら、前記対象物である基準平面に対して前記測定動作を実行することで得られた前記測定結果である往復測定結果を取得する取得部と、
前記取得された往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報を生成する生成部と
を具備する情報処理装置。 - 請求項1に記載の情報処理装置であって、
前記取得部は、前記測定部が前記第2の方向における測定範囲において一方の端点から他方の端点まで移動しながら、かつ前記第3の方向における測定範囲において一方の端点から他方の端点に到達したのち前記一方の端点に戻るように往復移動しながら実行された前記測定動作による前記往復測定結果を取得する
情報処理装置。 - 請求項1又は2に記載の情報処理装置であって、
前記取得部は、前記測定部が前記第1の方向に直交する平面上においてV字又は逆V字を描くように移動しながら実行された前記測定動作による前記往復測定結果を取得する
情報処理装置。 - 対象物にライン状の光を照射しその照射光を撮影する測定動作を実行する測定部から測定結果を取得することが可能なコンピュータによる情報処理方法であって、
前記ライン状の光の延在方向を第1の方向として、前記測定部が前記第1の方向に直交する第2の方向に移動しながら、かつ前記第1及び前記第2の方向にそれぞれ直交する第3の方向に往復移動しながら、前記対象物である基準平面に対して前記測定動作を実行することで得られた前記測定結果である往復測定結果を取得し、
前記取得された往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報を生成する
情報処理方法。 - 対象物にライン状の光を照射しその照射光を撮影する測定動作を実行する測定部から測定結果を取得することが可能なコンピュータに、
前記ライン状の光の延在方向を第1の方向として、前記測定部が前記第1の方向に直交する第2の方向に移動しながら、かつ前記第1及び前記第2の方向にそれぞれ直交する第3の方向に往復移動しながら、前記対象物である基準平面に対して前記測定動作を実行することで得られた前記測定結果である往復測定結果を取得するステップと、
前記取得された往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報を生成するステップと
を実行させるプログラム。 - 対象物にライン状の光を照射する光源部と、前記対象物に照射された前記ライン状の光を撮影する撮像部とを有し、前記撮像部により撮影された画像を測定結果として出力する測定部と、
前記ライン状の光の延在方向を第1の方向として、前記測定部を前記第1の方向に直交する第2の方向と、前記第1及び前記第2の方向にそれぞれ直交する第3の方向とにそれぞれ移動させることが可能な駆動部と、
前記測定部が前記第2の方向に移動しながら、かつ前記第3の方向に往復移動しながら、前記対象物である基準平面に対して測定動作を実行することで得られた前記測定結果である往復測定結果を取得する取得部と、
前記取得された往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報を生成する生成部と
を具備する測定装置。 - 請求項6に記載の測定装置であって、
前記光源部及び前記撮像部は、シャインプルーフの原理に基づいて構成される
測定装置。 - 請求項6又は7に記載の測定装置であって、
前記光源部は、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光をライン状に成形する成形光学系とを有する
測定装置。 - 請求項6又は7に記載の測定装置であって、
前記光源部は、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光をライン状に走査可能な走査光学系とを有する
測定装置。 - 対象物にライン状の光を照射しその照射光を撮影する測定動作を実行する測定部に、前記ライン状の光の延在方向を第1の方向として、前記第1の方向に直交する第2の方向に移動させながら、かつ前記第1及び前記第2の方向にそれぞれ直交する第3の方向に往復移動させながら、前記対象物である基準平面に対して前記測定動作を実行させ、
前記実行ステップにより得られた測定結果である往復測定結果をもとに算出された算出形状を平面に近似した近似平面と、前記算出形状とをもとに、前記対象物の形状測定に関する補正情報を生成し、
前記生成された補正情報を用いて、前記測定部による測定結果をもとにした前記対象物の形状測定を実行する
測定方法。
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JP2014019168A JP6270264B2 (ja) | 2014-02-04 | 2014-02-04 | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム、測定装置、及び測定方法 |
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