JP5541401B2 - 熱伝導性シートの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 239000012765 fibrous filler Substances 0.000 claims description 77
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 30
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 24
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 24
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 23
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 20
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 20
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 17
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 10
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 9
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 9
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 claims description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 11
- -1 etc.) Substances 0.000 description 7
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 6
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 6
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 4
- WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- OHVLMTFVQDZYHP-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-2-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)C(CN1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)=O OHVLMTFVQDZYHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004953 Aliphatic polyamide Substances 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXOOCQBAIRXOGG-UHFFFAOYSA-N [B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[Al] Chemical compound [B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[Al] JXOOCQBAIRXOGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical class [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 1
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 229920003231 aliphatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229920006235 chlorinated polyethylene elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 229920005555 halobutyl Polymers 0.000 description 1
- 229920002681 hypalon Polymers 0.000 description 1
- 239000012784 inorganic fiber Substances 0.000 description 1
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003049 isoprene rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000004702 methyl esters Chemical class 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002285 poly(styrene-co-acrylonitrile) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920001470 polyketone Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000346 polystyrene-polyisoprene block-polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229920006345 thermoplastic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 description 1
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- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
工程(A)
繊維状フィラー及び球状フィラーをバインダ樹脂に分散させることにより熱伝導性シート形成用組成物を調製する工程;
工程(B)
調製された熱伝導性シート形成用組成物から成形体ブロックを形成する工程;
工程(C)
形成された成形体ブロックを所望の厚みにスライスしてシートを形成する工程;及び
工程(D)
形成されたシートのスライス面をプレスする工程であって、プレス後のシートの熱抵抗値がプレス前のシートの熱抵抗値よりも低下するようにプレスする工程
を有し、
前記工程(A)における繊維状フィラーが、8〜12μmの平均径と2〜50のアスペクト比とを有する炭素繊維であり、
前記熱伝導性シート形成用組成物中の繊維状フィラー及び球状フィラーの配合量が、それぞれ16〜40体積%及び30〜60体積%であり、
前記工程(C)で形成されたシートのプレス前の熱抵抗値(K・cm2/W)が、0.31〜1.00に調整されている製造方法を提供する。
前記熱伝導性シート形成用組成物は、繊維状フィラー及び球状フィラーをバインダ樹脂に分散させてなり、繊維状フィラーが、8〜12μmの平均径と2〜50のアスペクト比とを有する炭素繊維であり、前記熱伝導性シート形成用組成物中に繊維状フィラー及び球状フィラーが、それぞれ16〜40体積%及び30〜60体積%で配合され、
成形体ブロックにおける繊維状フィラーの配向ランダム率が、55〜95%の範囲に調整されており、それにより成形体ブロックから形成されたシートのプレス前の熱抵抗値(K・cm2/W)が、0.31〜1.00の範囲となっている熱伝導性シートを提供する。
まず、繊維状フィラーをバインダ樹脂に分散させることにより熱伝導性シート形成用組成物を調製する。
次に、調製された熱伝導性シート形成用組成物から、公知の成形方法により成形体ブロックを形成する。その際、繊維状フィラーが一定方向に配向してしまわないような成形方法を採用することが好ましい。特に、押出し成形法又は金型成形法により成形体ブロックを形成することが好ましい。
次に、形成された成形体ブロックをスライスしてシートを形成する。この成形体ブロックとそれをスライスして得たシートにおける繊維フィラーの配向度合いは、ほぼ同じと見なすことができる。また、スライスにより得られるシートの表面(スライス面)には、繊維上フィラーが露出する。スライスする方法としては特に制限はなく、成形体ブロックの大きさや機械的強度により公知のスライス装置(好ましくは超音波カッタ)の中から適宜選択することができる。成形体ブロックのスライス方向としては、成形方法が押出し成形方法である場合には、押出し方向に配向しているものもあるために押出し方向に対して60〜120度、より好ましくは70〜100度の方向である。特に好ましくは90度(垂直)の方向である。
次に、得られたシートのスライス面をプレスする。これにより熱伝導性シートが得られる。プレスの方法としては、平盤と表面が平坦なプレスヘッドとからなる一対のプレス装置を使用することができる。また、ピンチロールでプレスしてもよい。
前記熱伝導性シート形成用組成物は、繊維状フィラー及び球状フィラーをバインダ樹脂に分散させてなり、繊維状フィラーが、8〜12μmの平均径と2〜50のアスペクト比とを有する炭素繊維であり、前記熱伝導性シート形成用組成物中に繊維状フィラー及び球状フィラーが、それぞれ16〜40体積%及び30〜60体積%で配合され、
成形体ブロックにおける繊維状フィラーの配向ランダム率が、55〜95%の範囲に調整されており、それにより成形体ブロックから形成されたシートのプレス前の熱抵抗値(K・cm2/W)が、0.31〜1.00の範囲となっている熱伝導性シート。”
である。
シリコーンA液(ビニル基を有するオルガノポリシロキサン)17体積%と、シリコーンB液(ヒドロジェンシリル基を有するオルガノポリシロキサン)16体積%と、アルミナ粒子(平均粒子径3μm)22体積%と、球状の窒化アルミニウム(平均粒子径1μm)22体積%と、ピッチ系炭素繊維(平均長軸長150μm、平均軸径8μm)23体積%とを均一に混合することにより熱伝導性シート形成用シリコーン樹脂組成物を調製した。質量部で換算すると、シリコーン樹脂100質量部に対し、ピッチ系炭素繊維153質量部を混合して熱伝導性シート形成用シリコーン樹脂組成物を調製した。
実施例の成形体ブロックのスライス厚、プレス条件(圧力、温度)を表1に示すように
変更すること以外、実施例1と同様の操作で熱伝導性シートを得た。また、プレス前、プ
レス後のシート厚と圧縮率とを表1に示す。
プレスを行わないこと以外は、実施例1と同様の操作で熱伝導性シートを得た。
実施例の成形体ブロックのスライス厚、プレス条件(圧力、温度)、ピッチ系炭素繊維の平均長軸長(μm)と平均軸径(μm)とを表1に示すように変更し、また、プレス時にスペーサー(作成したいシートの厚みと同じ厚みを有する25cm角のステンレススチール板に10cm角の穴を4箇所設けたもの)を使用し、更に、実施例41、42についてはシリコーン樹脂100質量部に炭素繊維240質量部を混合し、実施例43〜46についてはシリコーン樹脂100質量部に炭素繊維150質量部を混合すること以外、実施例1と同様の操作で熱伝導性シートを得た。プレス前、プレス前後のシート厚と圧縮率とを表1に示す。
得られた熱伝導性シートに対し、1kgf/cm2の荷重をかけながら、それぞれの熱抵抗[(K/W)並びに(K・cm2/W)]をASTM−D5470に準拠した熱抵抗測定装置を用いて測定した。得られた結果を表1に示す。実用上、熱抵抗は、プレス前のシート厚が0.1mm以上0.2mm未満のときには0.4K/W(1.256(K・cm2/W))以下、シート厚が0.2mm以上0.6mm未満のときには0.130K/W(0.41(K・cm2/W))以下、シート厚が0.6mm以上1.0mm未満のときには0.140K/W(0.44(K・cm2/W))以下、シート厚が1.0mm以上3.0mm未満のときには0.5K/W(1.57(K・cm2/W))以下であることが望まれる。
Claims (14)
- 熱伝導性シートの製造方法であって、以下の工程(A)〜(D):
工程(A)
繊維状フィラー及び球状フィラーをバインダ樹脂に分散させることにより熱伝導性シート形成用組成物を調製する工程;
工程(B)
調製された熱伝導性シート形成用組成物から成形体ブロックを形成する工程;
工程(C)
形成された成形体ブロックを所望の厚みにスライスしてシートを形成する工程;及び
工程(D)
形成されたシートのスライス面をプレスする工程であって、プレス後のシートの熱抵抗値がプレス前のシートの熱抵抗値よりも低下するようにプレスする工程
を有し、
前記工程(A)における繊維状フィラーが、8〜12μmの平均径と2〜50のアスペクト比とを有する炭素繊維であり、
前記熱伝導性シート形成用組成物中の繊維状フィラー及び球状フィラーの配合量が、それぞれ16〜40体積%及び30〜60体積%であり、
前記工程(C)で形成されたシートのプレス前の熱抵抗値(K・cm2/W)が、0.31〜1.00に調整されている製造方法。
- 工程(B)において、押出し成形法又は金型形成法により成形体ブロックを形成する請求項1記載の製造方法。
- 工程(A)におけるバインダ樹脂が、シリコーン樹脂である請求項1又は2記載の製造方法。
- 工程(C)で形成されたシートの厚みが0.65mm未満の場合に、当該シートのプレス前の熱抵抗値(K・cm2/W)が0.31を超え0.47未満の範囲に調整されている請求項1〜3のいずれに記載の製造方法。
- 工程(C)で形成されたシートの厚みが0.65mm以上3mm以下の場合に、当該シートのプレス前の熱抵抗値(K・cm2/W)が、0.47を超え1.00未満の範囲に調整されている請求項1〜3のいずれかに記載の製造不法。
- 工程(D)において、シートにかかる圧力が1〜8kgf/cm2の圧力でプレスする請求項1〜5のいずれかに記載の製造方法。
- 工程(D)において、スペーサーを使用した場合、0.1〜30MPaの設定圧力でプレスする請求項1〜5のいずれかに記載の製造方法。
- 工程(D)において、プレスをバインダ樹脂のガラス転移温度以上に加熱しながら行う請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法。
- 工程(D)において、シートの圧縮率が2〜15%となるようにプレスを行う請求項1〜8のいずれかに記載の製造方法。
- 工程(D)において、プレス後にシートの表面光沢度(グロス値)が0.1以上となるようにプレスを行う請求項1〜9のいずれかに記載の製造方法。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の製造方法により得られた熱伝導性シート。
- 工程(B)で成型された成形体ブロックにおける繊維状フィラーの配向ランダム率が、55〜95%である請求項11記載の熱伝導性シート。
- 発熱体と放熱体と、それらの間に配された請求項11または12記載の熱伝導性シートとからなるサーマルデバイス。
- 熱伝導性シート形成用組成物からなる成形体ブロックから形成されたシートをプレスしてなる熱伝導性シートにおいて、
前記熱伝導性シート形成用組成物は、繊維状フィラー及び球状フィラーをバインダ樹脂に分散させてなり、繊維状フィラーが、8〜12μmの平均径と2〜50のアスペクト比とを有する炭素繊維であり、前記熱伝導性シート形成用組成物中に繊維状フィラー及び球状フィラーが、それぞれ16〜40体積%及び30〜60体積%で配合され、
成形体ブロックにおける繊維状フィラーの配向ランダム率が、55〜95%の範囲に調整されており、それにより成形体ブロックから形成されたシートのプレス前の熱抵抗値(K・cm2/W)が、0.31〜1.00の範囲となっている熱伝導性シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013142549A JP5541401B2 (ja) | 2012-07-07 | 2013-07-08 | 熱伝導性シートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012153146 | 2012-07-07 | ||
JP2012153146 | 2012-07-07 | ||
JP2013142549A JP5541401B2 (ja) | 2012-07-07 | 2013-07-08 | 熱伝導性シートの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014031502A JP2014031502A (ja) | 2014-02-20 |
JP5541401B2 true JP5541401B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=49915978
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013141259A Active JP5541400B2 (ja) | 2012-07-07 | 2013-07-05 | 熱伝導性シートの製造方法 |
JP2013142549A Active JP5541401B2 (ja) | 2012-07-07 | 2013-07-08 | 熱伝導性シートの製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013141259A Active JP5541400B2 (ja) | 2012-07-07 | 2013-07-05 | 熱伝導性シートの製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10336929B2 (ja) |
EP (4) | EP2871205B1 (ja) |
JP (2) | JP5541400B2 (ja) |
CN (2) | CN103748146B (ja) |
HK (2) | HK1192575A1 (ja) |
TW (7) | TWI686434B (ja) |
WO (2) | WO2014010521A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6295238B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2018-03-14 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導シート、熱伝導シートの製造方法、放熱部材及び半導体装置 |
WO2016068157A1 (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-06 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導シート、熱伝導シートの製造方法、放熱部材及び半導体装置 |
JP6178389B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2017-08-09 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導シートの製造方法、熱伝導シート、及び半導体装置 |
CN104918468B (zh) * | 2015-06-29 | 2018-06-19 | 华为技术有限公司 | 导热片和电子设备 |
CN105427950A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-03-23 | 四川省众能新材料技术开发有限公司 | 一种用于融冰型导线的碳纤维芯棒及其制造方法 |
CN106928725A (zh) * | 2015-12-31 | 2017-07-07 | 蓝星有机硅(上海)有限公司 | 导电的可固化的有机硅橡胶 |
US11296007B2 (en) | 2016-01-14 | 2022-04-05 | Dexerials Corporation | Thermal conducting sheet, method for manufacturing thermal conducting sheet, heat dissipation member, and semiconductor device |
JP6259064B2 (ja) * | 2016-01-14 | 2018-01-10 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導シート、熱伝導シートの製造方法、放熱部材及び半導体装置 |
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-
2013
- 2013-07-05 EP EP13816807.5A patent/EP2871205B1/en active Active
- 2013-07-05 CN CN201380002856.6A patent/CN103748146B/zh active Active
- 2013-07-05 WO PCT/JP2013/068478 patent/WO2014010521A1/ja active Application Filing
- 2013-07-05 TW TW106117174A patent/TWI686434B/zh active
- 2013-07-05 TW TW104106473A patent/TWI589626B/zh active
- 2013-07-05 TW TW102124311A patent/TWI486387B/zh active
- 2013-07-05 JP JP2013141259A patent/JP5541400B2/ja active Active
- 2013-07-05 TW TW109102498A patent/TWI707897B/zh active
- 2013-07-05 TW TW108133353A patent/TW201945450A/zh unknown
- 2013-07-05 US US14/404,741 patent/US10336929B2/en active Active
- 2013-07-05 EP EP20190473.7A patent/EP3757154A1/en active Pending
- 2013-07-08 EP EP16002337.0A patent/EP3147314B1/en active Active
- 2013-07-08 TW TW105105424A patent/TWI646131B/zh active
- 2013-07-08 CN CN201380002853.2A patent/CN103764733B/zh active Active
- 2013-07-08 US US14/402,195 patent/US9944840B2/en active Active
- 2013-07-08 TW TW102124477A patent/TWI585130B/zh active
- 2013-07-08 WO PCT/JP2013/068667 patent/WO2014010563A1/ja active Application Filing
- 2013-07-08 JP JP2013142549A patent/JP5541401B2/ja active Active
- 2013-07-08 EP EP13816405.8A patent/EP2871204B1/en active Active
-
2014
- 2014-06-17 HK HK14105718.4A patent/HK1192575A1/zh unknown
- 2014-10-08 HK HK14110001.0A patent/HK1196630A1/xx unknown
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140205 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20140218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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