JP5535635B2 - 動的コンポーネントトラッキングシステムおよびそのための方法 - Google Patents
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Claims (16)
- 複数のツールにわたるプラズマ処理ツールコンポーネントの管理を容易にする、コンピュータが実施する方法であって、
第1の複数のコンポーネントのためのコンポーネント識別および使用履歴を含む、前記第1の複数のコンポーネントのための第1のコンポーネントデータを、前記複数のツールのうちの第1のツールに関連する第1のデータベースで受取ることと、
第2の複数のコンポーネントのためのコンポーネント識別および使用履歴を含む、前記第2の複数のコンポーネントのための第2のコンポーネントデータを、前記複数のツールのうちの第2のツールに関連する第2のデータベースで受取ることであって、前記第2のツールが前記第1のツールとは異なることと、
前記第1のコンポーネントデータおよび前記第2のコンポーネントデータを、第3のデータベースとネットワークを介して同期させることであって、前記同期させることは、前記第3のデータベースと、前記第1のデータベースおよび第2のデータベースの少なくとも一方との間で、前記第1の複数のコンポーネントと第2の複数のコンポーネントの少なくとも一方のコンポーネントの使用を管理し、前記第1から第3のデータベースに伝送される一連の規則に従って同期させることを含み、前記第3のデータベースは、前記複数のツールとデータをやりとりするように結合されていることと、
前記複数のツールのうちの1つにおいて、所定のコンポーネントに対して、交換、分析、およびメンテナンスのうちの1つを実行する前に、
前記一連の規則、および少なくとも前記第3のデータベースにおける使用履歴データを用いて、前記所定のコンポーネントに関する情報を取得することと、を含み、
前記第1のデータベース又は前記第2のデータベースがオフラインであり、前記第3のデータベースに接続されていない場合には、前記第1のデータベース又は前記第2のデータベースと、前記第3のデータベースが前記ツールに対する悪影響を最小限にするように同期されるまで、前記コンポーネントを交換するプロセスが中断され、
前記一連の規則は、第1のスキルレベルを有する第1のユーザのための第1のメンテナンスルールを指定し、前記一連の規則は、第2のスキルレベルを有する第2のユーザのための第2のメンテナンスルールを指定することを特徴とする方法。 - 前記情報を取得することは、前記所定のコンポーネントに対する前記メンテナンスに関する勧告を取得することを含む、請求項1に記載のコンピュータが実施する方法。
- 前記一連の規則は、前記複数のツールのうちの前記1つによって実行される第1のアプリケーションのための第1の使用規則を指定し、前記一連の規則は、前記複数のツールのうちの前記1つによって実行される第2のアプリケーションのための第2の使用規則を指定し、前記第1のアプリケーションは、エッチング、堆積、およびクリーニングのうちの1つであり、前記第2のアプリケーションは、前記エッチング、前記堆積、および前記クリーニングのうちの別の1つである、請求項1に記載のコンピュータが実施する方法。
- 前記所定のコンポーネントに類似するコンポーネントに関係する前記第3のデータベースにおける使用データに対して、パターン認識を実行することをさらに備える、請求項1に記載のコンピュータが実施する方法。
- 前記同期は、前記第1のツールがオンラインのときに自動的に行われる、請求項1に記載のコンピュータが実施する方法。
- 前記一連の規則および前記第3のデータベース内のデータを用いて、前記複数のツールにおけるコンポーネントに対して、メンテナンス予測を行うことをさらに備える、請求項1に記載のコンピュータが実施する方法。
- 前記一連の規則および前記第3のデータベース内のデータを用いて、前記複数のツールにおけるコンポーネントに対して、メンテナンスのスケジューリングを行うことをさらに備える、請求項1に記載のコンピュータが実施する方法。
- 前記一連の規則および前記第3のデータベース内のデータを用いて、前記複数のツールにおけるコンポーネントに対して、交換のスケジューリングを行うことをさらに備える、請求項1に記載のコンピュータが実施する方法。
- クロスツールデータベースを用いて、複数のツールにわたるプラズマ処理ツールコンポーネントの管理を容易にするコンピュータ可読コードを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
第1の複数のコンポーネントのためのコンポーネント識別および使用履歴を含む、前記第1の複数のコンポーネントのための第1のコンポーネントデータを、前記複数のツールのうちの第1のツールに関連する第1のデータベースから受取るコンピュータ可読コードと、
第2の複数のコンポーネントのためのコンポーネント識別および使用履歴を含む、前記第2の複数のコンポーネントのための第2のコンポーネントデータを、前記複数のツールのうちの第2のツールに関連する第2のデータベースで受取るコンピュータ可読コードであって、前記第2のツールが前記第1のツールとは異なる、コンピュータ可読コードと、
前記第1のコンポーネントデータおよび前記第2のコンポーネントデータを、前記クロスツールデータベースとネットワークを介して同期させるコンピュータ可読コードであって、前記同期させることは、前記クロスツールデータベースと、前記第1のデータベースおよび前記第2のデータベースの少なくとも一方との間で、前記第1の複数のコンポーネントおよび前記第2の複数のコンポーネントの少なくとも一方のコンポーネントの使用を管理し、前記第1から第3のデータベースに伝送される一連の規則に従って同期させることを含み、前記クロスツールデータベースは、前記複数のツールで実施されるソフトウェアエージェントとデータをやりとりするように結合されている、コンピュータ可読コードと、
前記複数のツールのうちの1つにおいて、所定のコンポーネントに対して交換、分析、およびメンテナンスのうちの1つを実行する前に、前記所定のコンポーネントに関する情報を、前記一連の規則および少なくとも前記クロスツールデータベース内の使用履歴を用いて、前記ソフトウェアエージェントに提供するコンピュータ可読コードと、を記録しており、
前記第1のデータベース又は前記第2のデータベースがオフラインであり、前記クロスツールデータベースに接続されていない場合には、前記第1のデータベース又は前記第2のデータベースと、前記クロスツールデータベースが前記ツールに対する悪影響を最小限にするように同期されるまで、前記コンポーネントを交換するプロセスが中断され、
前記一連の規則は、第1のスキルレベルを有する第1のユーザのための第1のメンテナンスルールを指定し、前記一連の規則は、第2のスキルレベルを有する第2のユーザのための第2のメンテナンスルールを指定することを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 - 前記情報を取得することは、前記所定のコンポーネントに対する前記メンテナンスに関する勧告を取得することを含む、請求項9に記載の記録媒体。
- 前記一連の規則は、前記複数のツールのうちの前記1つによって実行される第1のアプリケーションのための第1の使用規則を指定し、前記一連の規則は、前記複数のツールのうちの前記1つによって実行される第2のアプリケーションのための第2の使用規則を指定し、前記第1のアプリケーションは、エッチング、堆積、およびクリーニングのうちの1つであり、前記第2のアプリケーションは、前記エッチング、前記堆積、および前記クリーニングのうちの別の1つである、請求項9に記載の記録媒体。
- 前記所定のコンポーネントに類似するコンポーネントに関係する前記クロスツールデータベースにおける使用データに対して、パターン認識を実行するコンピュータ可読コードをさらに備える、請求項9に記載の記録媒体。
- 前記同期は、前記第1のツールがオンラインのときに自動的に行われる、請求項9に記載の記録媒体。
- 前記一連の規則および前記クロスツールデータベース内のデータを用いて、前記複数のツールにおけるコンポーネントに対して、メンテナンス予測を実行するコンピュータ可読コードをさらに備える、請求項9に記載の記録媒体。
- 前記一連の規則および前記クロスツールデータベース内のデータを用いて、前記複数のツールにおけるコンポーネントに対して、メンテナンスのスケジューリングを行うコンピュータ可読コードをさらに備える、請求項9に記載の記録媒体。
- 前記一連の規則および前記クロスツールデータベース内のデータを用いて、前記複数のツールにおけるコンポーネントに対して、交換のスケジューリングを行うコンピュータ可読コードをさらに備える、請求項9に記載の記録媒体。
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