JP2004523809A - 製造施設サービスリクエスタをサービスプロバイダと関連付けるためのディスパッチング構成要素 - Google Patents

Abstract

サービスリクエスタをサービスプロバイダと動的に突き合わせる手順を提供することにより、製造施設の効率および生産性が向上する。加えて、本発明の実施形態では、要求されたサービスを現在提供することができるサービスプロバイダがサービスリクエスタと突き合わされることが想定される。具体的には、工程計画実行中に、通信またはメッセージが、サービスプロバイダによって送信され、現在提供することができるサービスの識別が容易となる。同様に、サービス要求がサービスリクエスタから送信される。その後で、サービスオファーとサービス要求が共に、要求サービスに関連する１つのディスパッチステーションに配置される。そこで、サービスリクエスタはサービスプロバイダとグループ化され、サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループが形成される。次いでサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループをランク付けし、ディスパッチに対するオプションとして提供することができる。ランク付けの後、単一のサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを自動的に選択し、ユーザ定義の実行規則に従って検証し、次いでサービス要求を実施するためにディスパッチすることができる。

Description

【０００１】
（発明の分野）
本発明は、概して製造自動化に関し、より詳細には、半導体デバイス製造用の自動化工程に関する。
【０００２】
（発明の背景）
半導体の製造は、厳密な製造要件や製造スケジュールの影響を受ける、極めて複雑で多段階の工程である。これらの製造工程は一般に、製造工程の様々な段階に関係する多数のツールを組み込んだ大規模な製造施設で実施される。
【０００３】
典型的な半導体デバイスは、例えば多数の酸化工程、エッチング工程、フォトリソグラフィ工程を含む複雑な手順を用いて製造される。このような工程またはサービスプランの一例を図１の工程１０に示す。工程１０の各ステップは一般に、高度な製造物制御および工程制御を必要とする。例えば、処理材料中の不純物および微粒子汚染は厳密に制御されなければならない。同様に、温度、圧力、ガス流速、処理時間間隔、入力スパッタパワーなどの制御処理パラメータも綿密に監視されなければならない。
【０００４】
複雑なことに、工程１０の各ステップは、入り組んで複雑な、他の数百の操作またはサブステップを必要とする可能性があり、その操作またはサブステップのいずれかが、１つまたは複数の先行するステップに大きく依存する可能性がある。例えば、フォトリソグラフィ手順の間、ウェハをマスクに対して精密に位置合せすることは重要である。位置合せ中のエラー、またはエッチングマスクのオーバレイ中のエラーにより、高密度に収容された相互接続の間に電気的短絡の欠陥が形成される可能性がある。したがって、製造工程中の各ステップを綿密に監視して、材料を注意深く調整し、タイミングを注意深く制御しなければならない。
【０００５】
この必要に対処するため、工程技術者および施設オペレータが製造工程全体を制御および管理することが可能となるように、自動化システムまたは半導体製造実行システム（ＭＥＳ）が導入された。通常は単一のユーザインターフェースを介してアクセスすることによって、これらのＭＥＳにより、ツールおよびロットデータを管理したり、サービスリクエスタやサービスプロバイダなどといった供給源を調整したり、サービスのディスパッチ（ｄｉｓｐａｔｃｈ）をスケジューリングしたりすることなどによって、プラント管理者が集中式に処理を自動化することが可能となった。
【０００６】
このシステムにより、施設内の様々なツールおよび材料をスケジューリングおよび調整することが可能となったが、このＭＥＳは静的であり、このＭＥＳには単純な製造作業だけしか含まれなかった。例えば、実行制御はほとんどまたは全く提供されず、その結果、処理において工程技術者またはオペレータの意思決定が必要であった。したがって、各工程技術者またはオペレータは、特定のサービスを必要とするロットまたは材料を、対応する操作を提供することができるツールまたは機械と突き合わせるなどの個々の動作を開始する必要があった。しかし、オペレータや技術者に対して意思決定の責任を負わせることにより、自動化するという目標が無意識のうちに阻まれてしまった。
【０００７】
さらに、このＭＥＳは、工程実施中の装置の状況や機械の可用性の問題を解決することができなかった。したがって、特定のツールの状況に関する緊急情報がしばしば隠され、または利用不能であった。ツールに関する予定外の保守またはオフライン時間によりプロセスフローが中断された。その結果、「ボトルネック」が頻繁に生じ、最終的には処理施設のウェハ製造歩留まりが低下した。
【０００８】
したがって、サービスプラン中にツールおよび材料などの施設リソースを監視し、リソースの状況および／または機械の状態に関する情報を提供することができる製造方式が求められている。同様に、サービスプラン実行中にこの情報を利用して、特定のサービスを現在提供することができるサービスプロバイダを、同じサービスを必要とするサービスリクエスタと動的に突き合わせ、または関連付けることができるプロセスが求められている。
【０００９】
（発明の概要）
本発明は、サービスリクエスタを、要求されたサービスを現在提供することができるサービスプロバイダと動的に突き合わせるシステム、方法、および媒体を提供することによって、製造施設の効率および生産性を向上させる。具体的には、まず、サービスプロバイダが１つまたは複数のサービスを提供することができることを示す通信またはメッセージが、サービスプロバイダによって送信される。次いで、個々のサービスプロバイダを監視することにより、提供することのできる各サービスが決定または識別される。例えば、現在提供を受けることができる実際のサービスの識別を容易にするために、サービスプロバイダの機械状態に対するどんな更新も監視される。サービスプロバイダから受信される通信と同様に、サービスリクエスタは、必要なサービスを要求するリクエストを送信する。その後で、提供されるサービスおよび要求されたサービスが、対応するサービスタイプ（例えばエッチング）に関連するディスパッチステーション内にリストされる。ディスパッチステーションでは、提供されるサービスおよび要求されたサービスがグループ化され、サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループが形成される（例えば、エッチングサービスの１つまたは複数のプロバイダと対になったエッチングを求める要求は、そのようなグループの一例である）。それから、サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループをランク付けし、ディスパッチに関するオプションとして提供することができる。次いで、単一のサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループが自動的に、半自動的に、または手動で選択され、ディスパッチしてサービス要求を実施する前に、ユーザ定義の実行規則に従って検証される。
【００１０】
（発明の詳細な説明）
図２に、本発明の様々な原理を応用し、使用するのに適した製造施設の一例を示す。ここで図２を参照すると、１つまたは複数のサービスプランを実施することによって半導体デバイスの製造で使用することができる自動化半導体製造施設２００が示されている。施設２００は、データバス２２０を介して互いに接続されたいくつかのリソースノード２０２と、いくつかのユーザインターフェース２２４と、コンピューティングメインサーバ２２８とを含む。各リソースノード２０２は、製造施設２００のリソース（すなわち以下で論じるように、サービスプロバイダまたはサービスリクエスタのどちらか）と関連し、リソースを監視するのに使用される。本発明で企図される実施形態では、リソースノード２０２は、それぞれのリソースに位置しまたはそれぞれのリソースと関連する、１つまたは複数のコンピュータプロセスまたはコンピューティングサーバによって実装することができる。一例を挙げれば、リソースノードは、例えばリソースに位置するコンピューティングプロセッサ内に実装されたハードウェアまたはソフトウェアを含むことができる。別の例では、リソースノードは、材料キャリアなどに書かれたバーコードデータなどの情報を読み取りまたは監視するのに使用される、コンピューティングプロセッサおよび／またはインターフェースを含むことができる。リソースノード２０２に関連するリソースは、典型的な半導体製造プラントで使用される様々な処理ツールおよび実体（ｅｎｔｉｔｙ）または材料ロットを含む。個々のリソースは、そのリソースがサービスを必要とするのか、それともサービスを実施することができるのかに応じてサービスプロバイダまたはサービスリクエスタのどちらかに分類することができる。例えば、リソースノード２０４は、多数のエッチング装置と関連付けることができる。エッチング装置がエッチングサービスを提供するとき、エッチング装置はサービスプロバイダである。一方、エッチャを保守または修理する予定のとき、エッチャはサービスリクエスタとなる。同様のことが、例示的施設２００の他のツール（例えば、酸化装置、フォトリソグラフィ装置、注入装置など）に関連するノード２０６、２０８、および２１０に対しても当てはまる。一方、ノード２１２および２１４は、上記で列挙したサービスプロバイダによって提供されるサービスなどのサービスを必要とする特定のロットまたは材料に関連する。この場合、上述のように、材料またはロットは一般に、例えばライトペンまたは他の類似の装置を介して収集されるロットに関する任意の情報と共にキャリアなどに格納される。
【００１１】
図２の実施形態を半導体製造施設で実装されるものとして示したが、本発明のコンセプトは、他の設定でも同様に使用することができる。例えば、本発明の工程および概念は、例えば自動車工場、食料または飲料の製造施設、家具工場などの他のどんな自動化製造施設でも実装することができる。
【００１２】
リソースノード２０２と、それに関連するリソースに加えて、製造施設２００は、いくつかのユーザインターフェース２２４も含む。このいくつかのユーザインターフェース２２４は、施設サービスプランの実行中に施設２００の様々な構成要素の状況を監視するのに使用することができるので有利である。同様に、以下で論じるように、ユーザインターフェース２２４は、例えば製造技術者またはオペレータがモデリングデータを入力し、特定のリソースを選択して、ある結果を達成するのに使用することもできる。
【００１３】
本発明の原理によれば、施設サービスプランの個々の操作またはサービスならびにリソースの操作または処理は、メインコンピューティングサーバ２２８（または複数のメインコンピューティングサーバ）で実装される１つまたは複数のコンピューティングプロセスによって調整される。その一例を図３に示す。ここで図３を参照すると、製造実行システム（ＭＥＳ）３１０が、メインコンピューティングサーバ２２８で実装されているものとして示されている。とりわけ、本発明の実施形態では、ＭＥＳ ３１０が、施設サービスプランを実施または完了するのに必要な各サービスおよび各リソースを自動化し、統合し、調整することを担うことが企図される。
【００１４】
図３に示す例示的実施形態では、ＭＥＳ ３１０は、いくつかのコンピューティング構成要素からなる。例えば、ＭＥＳ ３１０は、ディスパッチング構成要素３２０、作業管理構成要素３５０、装置管理構成要素３５５およびプロセスディレクタ構成要素３６０を含む。ディスパッチング構成要素３２０は、リソースコーディネータ構成要素３２５、ディスパッチ処理構成要素３３０、イベントマネージャ３３５、実行規則構成要素３４０およびサービス管理構成要素３４５を含む。ＭＥＳ ３１０の他の構成要素と共に、有利には、ディスパッチング構成要素３２０は、実行時の前の各サービスリクエスタと各サービスプロバイダを含む施設リソースのモデリングを容易にし、その後に、特定のサービスを要求するサービスリクエスタを要求されたサービスを現在提供することができるサービスプロバイダとを突き合わせる方式で施設サービスプランの実行を可能にする。
【００１５】
具体的には、サービスプランモデリング中（その例を以下で図５に関連して論じる）、プロセスディレクタ構成要素３６０は、ジョブに関するワークフローまたは事前プログラムしたステップのシーケンスを受諾するエディタとして働く。例えば、ある実施形態では、オペレータまたは技術者は、プロセスディレクタ構成要素３６０を使用して、そのようなモデリングデータのいずれかまたはすべてを入力する。例えば、プロセスディレクタ構成要素３６０は、例えば特定のツールの動作（すなわち材料または実体ジョブ）を制御するステップを受諾する。同様に、各ステップは、あるロットまたは材料に対して必要なサービス（すなわち材料またはロットジョブ）を対象とすることができる。同様に、各ステップは、個々のサービスを実施する各タスク（すなわち実行ジョブ）を含むことができる。次いで、実行時に、プロセスディレクタ構成要素３６０は、これらのワークフローまたはジョブを実行する。より具体的には、以下に論じるように、プロセスディレクタ構成要素３６０は、作業管理構成要素３５０または装置管理構成要素３５５からこれらのジョブを立ち上げる要求を受諾し、それによってサービス要求を実施する。
【００１６】
一方、装置管理構成要素３５５により、例えば特定のサービスプロバイダから供給を受けることができるサービス（例えば、特定のツールまたは機械）のリストをオペレータが定義することが可能となる。加えて、装置管理構成要素３５５は、各サービスを実施することができる条件または機械状態を定義するのにも使用される。例えば、モデリング中、オペレータは、あるエッチングサービスを特定のエッチャが提供するためには、エッチャは少なくとも２つの現在動作可能なチャンバを有さなければならないことを示す。これらのチャンバが動作可能でない場合、エッチャはエッチングサービスを提供することができない。次いで、実行時に、装置管理構成要素３５５を照会することにより、例えばあるサービスを提供する各サービスプロバイダの現在の可用性を得ることができる。加えて、やはり実行時に、（プロセスディレクタ構成要素３６０と共に）装置管理構成要素３５５を使用して、特定のサービスプロバイダに関するワークフローを立ち上げまたは開始することができる。
【００１７】
装置管理構成要素３５５と同様に、作業管理構成要素３５０もモデリング段階の間に使用される。しかし、サービスプロバイダのモデリングの代わりに、作業管理構成要素３５０は、サービスリクエスタ（例えば、特定の製品）を対象とする。例えば、モデリング中、作業管理構成要素３５０は、特定のロットまたは材料に関する属性を定義するのに使用される。したがって、チップなどの特定の製品に必要な各属性を作業管理構成要素３５０に入力することができる。
【００１８】
図３に示すように、ディスパッチング構成要素３２０は、例えば、様々な処理機能をそれぞれ担う５つの個々の構成要素からなる。例えば、サービス管理構成要素３４５は、施設の製造工程で使用されるサービスのリストをモデリングするのに使用される。これを行うためには、実行されたときに最終的な製品となるプランを実施するのに必要なサービスがサービス管理構成要素３４５に入力されることが想定される。例えば、任意の必要な順序またはシーケンス（すなわち任意の順次ステップ）を含む、特定の製品を製造するのに必要な各ステップが入力される。さらに、各ステップは、ある仕様または要件を満たすことが必要な条件付きステップとすることができる。例えば、工程が付着ステップに進むことを許可する前に、ある仕様を満たすまでエッチングサービスを反復する必要があるようにすることができる。加えて、実行規則構成要素３４０は、各サービスプランを管理するのに使用する１組の実行規則またはビジネス規則を実装する。より具体的には、効率を改善するためまたは他の何らかの類似の目的で、これらの実行規則を実装することができる。例えば、ある実行規則は、エッチングサービスを開始する前に、特定のエッチャを少なくとも３つのロットでロードすることを必要とすることができる。同様に、別の実行規則は、非テストロットに対してのみサービスを実施することを必要とすることができる。さらに別の例示的実行規則は、特定のロットに対して共通のツールレシピを必要とすることを含むことができる。これらの実行規則はまた、サービスを実施する好ましい方法を識別するために重み付けすることもできる。例えば、２つのチャンバを必要とする第２エッチャよりも、単一のチャンバだけを使用して特定のサービスを提供することができる第１エッチャで実施されるサービスを有することが好ましいことがある。この場合、そのサービスに関する実行規則は、第１エッチャに対してより高い重みまたはランク付けを置くことになる。これらの実施形態では、規則は、モデリング中に、例えばオペレータまたは技術者によってユーザインターフェース２２４などを介して入力される。実行時に、実行規則構成要素３４０は、（概要の段落で先に論じ、かつ以下でさらに論じるように）重み付けサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループからなるディスパッチリストを生成する。サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを選択するとき、実行規則構成要素３４０を使用して、選択したグループがすべての適用可能実行規則を満たしているかを、（以下でさらに述べるように）ＭＥＳ ３１０によって自動的にまたはオペレータによって手動で検証または保証する。
【００１９】
ディスパッチング構成要素３２０はまた、リソースコーディネータ構成要素３２５も含む。リソースコーディネータ構成要素３２５は、モデリング中、いくつかのユーザ定義のディスパッチステーションに関する情報を受け取る。例えば、ユーザは、施設２００内の特定の位置に位置するサービスプロバイダのすべてを含めるようにディスパッチステーションを定義したいと望むことがある。同様にして、ユーザは、いくつかの類似のツール（例えば、いくつかのエッチャ）を含めるようにディスパッチステーションを定義することがある。いずれにしても、これらのディスパッチステーションは、リソースコーディネータ構成要素３２５内に実装され、提供される各サービスまたは要求される各サービスに従ってサービスプロバイダとサービスリクエスタを突き合わせまたはグループ化することを容易にする。以下で議論するように、実行時に、リソースコーディネータ構成要素３２５は、現在提供することができるサービスおよび要求されたサービスをそれぞれ示す、サービスプロバイダおよびサービスリクエスタからの通信または要求を受け取る。提供されるサービスおよび要求されたサービスは、対応するディスパッチステーションに配置されまたはそれに関連付けられる。このディスパッチステーションへの追加時に、リソースコーディネータ構成要素３２５は、ディスパッチステーションが更新されたことを示すメッセージを発行する。次いで、ディスパッチステーションへの追加から、有効なリソースリクエスタ／リソースプロバイダグループが最終的に得られる場合、リソースコーディネータ構成要素３２５は、プロセスディレクタ構成要素３６０を起動することによって実行ジョブを立ち上げる。それが完了した後、リソースコーディネータ構成要素３２５は、そのディスパッチステーションから、完了したジョブに関連するリソースを解放する。
【００２０】
リソースコーディネータ構成要素３２５によって発行されるメッセージは、イベントマネージャ３３５またはイベントマネージャ３３５の特別なインスタンスによって監視される。メッセージを受け取ったとき、イベントマネージャ３３５は、ディスパッチ処理構成要素３３０を起動して、オプションまたは候補リソースのリストを求めてリソースコーディネータ構成要素３２５に照会する。次いで、イベントマネージャ３３５は、実行規則構成要素３４０にこのリストを渡し、実行規則構成要素３４０は、優先ランク付けしたディスパッチオプションのリストを生成する。以下で論じるように、これらのディスパッチオプションは、実行規則構成要素３４０によって実施される実行規則に従って重み付けされたディスパッチステーションからの各リソースリクエスタ／リソースプロバイダグループを構成する。優先ランク付けしたディスパッチオプションを求めて規則構成要素３４０に照会することに加えて、ディスパッチ処理構成要素３３０は、本発明の完全に自動的な実施形態で、検証およびディスパッチのために、ディスパッチリストからの第１ランクまたは最高ランクのオプションを自動的に選択する。さらに、以下で論じるように、半自動および手動の実施形態も可能である。前者の場合、ランク付けしたディスパッチオプションのリストは、例えばオペレータに提示され、オペレータは検証およびディスパッチのためのオプションを選択する。手動の実施形態では、オプションは、ディスパッチング構成要素３２０の援助なしにオペレータによって選択される。前述のように、各ジョブは実行規則構成要素３４０によって検証され、ディスパッチは、リソースコーディネータ構成要素３２５を呼び出すことによって開始する。
【００２１】
処理施設２００が図３のＭＥＳ ３１０と共に動作するものとして説明するが、他の代替方法も可能であることを理解されたい。この点で、図３の別個の処理構成要素の使用は単に便宜上の目的であること、および任意の数のコンピューティングプロセスも同様に容易に実装できることを理解されたい。例えば、図３の任意の単一の構成要素または構成要素の任意の組合せを、任意の１つまたは複数の類似のコンピューティングプロセスで置き換えることができる。例えば、リソースコーディネータ構成要素３２５およびプロセスディレクタ構成要素３６０の代わりに、単一のプロセスで置き換えることができる。同様に、イベントマネージャ３３５を２つの機能的に異なるプロセスで置き換えることができる。他の代替方法も可能である。さらに、本発明の範囲内で、図３の構成要素が、例えばあるタイプの分散コンピューティング環境などの物理的に異なるコンピューティングノードに常駐することも可能である。例えば、オフサイトに位置するシステム内に実行規則構成要素３４０を実装することが可能である。同様に、装置管理構成要素３５５はリソースノードで実装することができる。
【００２２】
図４を参照すると、本発明の実施形態では、いくつかのディスパッチステーション４１０をリソースコーディネータ構成要素３２５内に実装することが企図される。前述のように、各ディスパッチステーション４１０は１つまたは複数のサービスに関連し、作業を優先ランク付けする必要がある工場内の地点を表すことができる。各ディスパッチステーション４１０に関連するサービスは、例えば工程技術者またはオペレータによるモデリングステージ中に定義することができる。一例として、サービスは他の類似のサービスとグループ化することができる。したがって、いくつかのエッチングサービスを１つのディスパッチステーション内にグループ化することができる。同様に、いくつかの酸化サービスを第２の別個のディスパッチステーション内にグループ化することができる。別の例として、サービスを物理的位置に従ってグループ化することができる。したがって、施設２００内のある位置のリソースすべては、あるディスパッチステーション内に配置することができ、第２の位置のリソースすべては第２のディスパッチステーション内に配置することができる。
【００２３】
各ディスパッチステーション４１０は、サービスのリストを管理し、サービスごとのリソース（すなわち、サービスプロバイダおよび／またはサービスリクエスタ）のリストも管理することによって、サービス要求をサービスオファーと突き合わせる交換所または市場として働く。例えば、実行時に、リソースコーディネータ構成要素３２５が受け取るサービスオファーおよびサービス要求は、それらを突き合わせることができる適切なディスパッチステーション４１０と関連付けられる。図４に示すように、各ディスパッチステーション４１０はサービス４２０のリストを実装し、リスト上の各サービスは、リソースのリストを維持する。サービスオファーおよびサービス要求を受け取ったとき、それらは配置され、または適切なサービスと関連付けられる。したがって、サービスプロバイダまたはサービスリクエスタからのサービスオファーまたはサービス要求は、その提供されるサービスに関連する各ディスパッチステーション内の特定のサービスのリソースリスト中に配置される。
【００２４】
サービスプロバイダとサービスリクエスタとの合致は、それぞれ、合致したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを形成し、そのグループは、ディスパッチリスト４３０上に１つのディスパッチオプションとしてリストされる。例えば、エッチャ１０がロットＡ、ＢおよびＣに対してサービスＡを提供することができる場合、サービスＡに関するディスパッチリスト上の１つのディスパッチオプションは、エッチャ１０がロットＡ、Ｂ、およびＣによって要求されたサービスを提供できることを示す。同様に、エッチャ２０がロットＡ、Ｅ、Ｆ、Ｇに対して同じサービスを提供することができる場合、同じリスト上の第２のディスパッチオプションは、エッチャ２０がロットＡ、Ｅ、ＦおよびＧによって要求されたサービスを提供できることを示す。本発明によって企図される実施形態では、ディスパッチリストが選択され、実行ジョブが実行のために立ち上げられた場合、これらのサービスプロバイダおよびサービスリクエスタは、そのサービスが実行ジョブによって完了するまで、実行ジョブが立ち上げられたディスパッチステーションで特定のサービスに関するリソースリスト上にとどまる。その時に、リソースが解放される。
【００２５】
次に図５を参照すると、本発明で使用するモデリングステップの一例が図示されている。このステップの間、サービスプランに関する情報およびデータが入力される。例えば、施設のリソースに関するデータが作業管理構成要素３５０および装置管理構成要素３５５に入力される。具体的には、各ロットまたは材料を処理するのに必要な操作またはサービスが作業管理構成要素３５０に入力される（ステップ５０２）。同様に、ツールによって提供することができるサービス、ならびにそのサービスを提供することができる条件を含むツール規則または機械規則が装置管理構成要素３５５に入力される（ステップ５０６）。加えて、実行、材料、実体の各ジョブまたはワークフローがプロセスディレクタ構成要素３６０に入力される（ステップ５１０）。各ディスパッチステーション４１０に関連するサービスを含むディスパッチステーション情報がリソースコーディネータ構成要素３２５に入力される（ステップ５１４）。さらに、実行規則が規則構成要素３４０に入力される（ステップ５１８）。モデリングが完了した後、処理は、モデリングした材料またはツールのワークフロー（またはジョブ）の立上げに進む。
【００２６】
次に、図６〜９を参照しながら、あるサービスまたは操作の実行の一例を説明する。図６に示すように、材料ワークフローを立ち上げた後、特定のサービスを要求する要求が、ロットノード２１２から、プロセスディレクタ構成要素３６０を介して、リソースコーディネータ構成要素３２５に送られる（ステップ６０２）。１つまたは複数のサービスを提供するのに利用可能なことを示す同様の要求または通信が、ツールノード２０４から、プロセスディレクタ構成要素３６０を介して、リソースコーディネータ構成要素３２５に送られる（ステップ６０６）。この通信に加えて、ツールノード２０４はまた、その状況または機械の状態のどんな変化も装置マネージャ構成要素３５５にレポートする（ステップ６１０）。例えば、エッチャはこの時に、エッチャのチャンバのうちの１つが使用中であることをレポートすることがある。ツールノードのレポートを受け取った後、装置マネージャ構成要素３５５は、ツールによってリソースコーディネータ構成要素３２５に提供することができるサービスの更新後リストを提供する（ステップ６１４）。このようにすることにより、リソースコーディネータ構成要素３２５は、個々のツールによって現在提供することができる実際のサービスを識別する。この情報を使用して、リソースコーディネータ構成要素３２５は、各サービスを適切なディスパッチステーション（図示せず）に関連付けまたは配置する。他の実施形態では、通信は、参加すべきディスパッチステーションの表示を含むことができる。
【００２７】
図７に示すように、リソースをディスパッチステーションに加えた後、リソースコーディネータ構成要素３２５は、リソースイベントを発行する（ステップ７０２）。ディスパッチステーションの変化に加えて、リソースコーディネータ構成要素３２５はまた、処理の休止に応答してまたは処理が打ち切られた場合にもリソースイベントを発行する。同様に、実行ジョブが完了した後にディスパッチステーションからリソースが解放されたときにもリソースイベントを発行する。リソースコーディネータ構成要素の発行に加入するのはイベントマネージャ３３５である。発行を受け取ったとき、この例では、イベントマネージャ３３５が、実行ジョブを実行しようと試みてディスパッチ処理構成要素３３０を起動する（ステップ７０６）。イベントマネージャの呼出しに応答して、ディスパッチ処理構成要素３３０はまず、ディスパッチリストを求めてリソースコーディネータ構成要素３２５に照会する（ステップ７１０）。その後で、１つのディスパッチオプション（すなわち、サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループ）を選択する。以下で論じるように、オプションを選択するのに用いる方法は、自動モードを使用しているか又は半自動モード使用しているか或いは手動モードを使用しているかに依存する。どの方法を使用したとしても、次に、選択されたディスパッチオプションが実行規則構成要素３４０によって検証される（ステップ７１４）。前述のように、実行規則構成要素３４０は、選択されたディスパッチオプションが各サービス規則を確実に満たすようにする。
【００２８】
図８を参照すると、選択したディスパッチオプションを検証した後に、リソースコーディネータ構成要素３２５がプロセスディレクタ構成要素３６０を呼び出すことによって選択したオプションの実行ジョブをディスパッチする（ステップ８０４）。それから、プロセスディレクタ構成要素３６０は、例えば材料ハンドラを呼び出してロットまたは材料を機械に移動し、実行ジョブの実行を開始してサービス要求を実施することによってサービスの提供を実行する。サービスが完了した後、プロセスディレクタ構成要素３６０はリソースコーディネータ構成要素３２５に通知する（ステップ８０８）。それに応答して、リソースコーディネータ構成要素３２５は各リソースを解放してプロセスディレクタ構成要素３６０に返す（ステップ８１２）。さらに、完了したサービスに関連する各リソースが、実行ジョブを立ち上げたディスパッチステーションに関連するサービスのリソースリストから除去される。
【００２９】
次に、図９〜１２を参照しながら、本発明により企図される処理を説明する。まず概観として図９を参照すると、処理は、材料ジョブ、ツールジョブおよび実行ジョブに関するワークフローのモデリングから開始する（ステップ９０４）。その後で、ワークフローを実行する（ステップ９０８）。処理中または実行中、１つまたは複数の実行ジョブをディスパッチし、要求されたいくつかのサービスを実施する（ステップ９１２）。
【００３０】
図１０に、本発明のモデリングステージまたはプロセスを示す。ツールまたはサービスプロバイダから開始して、特定のリソースの提供を受けることができる各サービスが装置管理構成要素３５５に入力される（ステップ１０１０）。その後で、特定のリソースを各サービスに提供するために満たさなければならない条件が入力される（ステップ１０１２）。同様にして、各ロットまたは材料で必要なサービスが作業管理構成要素３５０に入力される（ステップ１０２０）。同様に、サービスプランで使用される各実行規則が規則構成要素３４０に入力される（ステップ１０３０）。上記で示したように、これらの実行規則の実行は、ジョブをディスパッチする前に準拠を要求することによって各サービスプランを管理するのに使用することができる。加えて、実行、材料および実体の各ジョブまたはワークフローと（ステップ１０４０）、各ステーション４１０に関連するサービスを含むディスパッチステーション情報（ステップ１０４２）も入力される。次いで、上記の情報が入力された後、モデリングは終了する。
【００３１】
モデリングが完了した後、ワークフローを開始することができる。図１１を参照すると、実体／ツール／サービスプロバイダワークフローまたはジョブの一例がステップ１１１０〜１１１４に示されている。より具体的には、このワークフローはツールに、ディスパッチステーションに参加し１つまたは複数のサービスを提供するように指示する（ステップ１１１０）。以下で論じるように、次いでツールまたはサービスプロバイダが１つまたは複数のサービスリクエスタと突き合わされ、最終的に解放される前にサービスが提供される（ステップ１１２０〜１１３８）。解放された後、ツールワークフローは、保守を行う予定があるかどうかをチェックする（ステップ１１１２）。保守を行う予定がない場合、ツールワークフローはステップ１１１０に戻り、再度ディスパッチステーションに参加してサービスを提供するようにツールに指示する。このワークフローは終了するまで反復される。しかし、保守を行う予定である場合、ツールはディスパッチステーションに参加し保守要求を行う（ステップ１１１４）。その点で、ツールまたはサービスプロバイダは、ロットまたはサービスリクエスタとなり、ツールワークフローではなく材料またはロットのワークフローが後に続く。
【００３２】
材料／ロット／サービスリクエスタワークフローまたはジョブの一例をステップ１１５０〜１１５４に示す。初めに、ロットまたは材料は、次に必要な操作またはサービスを求めて作業管理構成要素３５０に照会する（ステップ１１５０）。次に必要なサービスまたは操作を識別した後、材料またはロットが、必要なサービスを求めてリソースコーディネータ構成要素３２５に要求するように指示される（ステップ１１５２）。それから、以下で論じるように、材料またはロットがサービスプロバイダ、場合によっては他のサービスリクエスタと突き合わされ、最終的に解放される前にサービスを受信する（ステップ１１２２〜１１３８を参照）。リソースコーディネータ構成要素３２５がロットまたは材料を解放した後、材料ワークフローはプランが完了したかどうかをチェックする（ステップ１１５４）。プランが完了した場合、処理は終了する。しかし、プランが完了していない場合、材料に関する処理は続行し、完了する前に必要な残りのサービスが提供される。
【００３３】
サービスを提供するように指示を受けた後（ステップ１１１０）、ツールは、その時点でサービスを提供するのにツールが利用可能であることをリソースコーディネータ構成要素３２５に示す（ステップ１１２０）。次いで、上記で論じたように、リソースコーディネータ構成要素３２５は、装置管理構成要素３５５から現在受けることのできるサービスをツールの状況に従って決定し識別する。その後で、提供を受けることができるサービスがそのサービスに関連する各ディスパッチステーションに配置される（ステップ１１２４）。
【００３４】
同様に、サービスを要求するように指示を受けた後、ロットは、リソースコーディネータ構成要素３２５に要求を送信する（ステップ１１２２）。その後で、要求が、要求したサービスに関連する各ディスパッチステーションに配置される（ステップ１１２６）。
【００３５】
それから、各サービス要求がサービスオファーと突き合わされ、いくつかのディスパッチオプションまたはサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループが形成される（ステップ１１２８）。さらに、単一のグループが、任意の数のサービスリクエスタおよび／またはサービスプロバイダを含むことができることに留意されたい。例えば、単一のエッチャは、要求されたエッチングサービスを３つの個々のロットに提供することができる。次いで、このサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループは、４つのリソースからなる。その後で、ディスパッチオプションまたはサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループが実行規則構成要素３４０の実行規則に従ってランク付けされる（ステップ１１３０）。
【００３６】
前述のように、次いで１つのディスパッチオプションが、システムによって自動的に又はオペレータと共に半自動的に或いはオペレータによって手動で選択され、次いで実行規則構成要素３４０を使用して検証される（ステップ１１３２）。検証の後、実行ジョブが開始され（ステップ１１３４）、実行ジョブが立ち上げられたディスパッチステーションからサービスプロバイダ／サービスリクエスタが解放される（ステップ１１３８）前に完了する（ステップ１１３６）。
【００３７】
次に、図１２を参照しながら前述のディスパッチモードを説明する。初めに、プロセスは、実行ジョブを手動でディスパッチすべきか又は半自動的にディスパッチすべきか或いは自動的にディスパッチすべきかを識別または判定する（ステップ１２０４）。ディスパッチを手動で行うべき場合、工程技術者またはオペレータは、特定のサービスを実施するために使用するツールを、システムの援助を受けることなく、例えばユーザインターフェース２２４を介して手動で選択する（ステップ１２０８）。ディスパッチが半自動である場合、重み付けされたディスパッチオプションがオペレータに提示され、次いでオペレータは、利用可能なオプションに基づいて選択する（ステップ１２２４）。ディスパッチが自動または完全に自動である場合、最高ランクのオプションが、ディスパッチ処理構成要素３３０によって自動的に選択される（ステップ１２３０）。さらに、いくつかのオプションが等しくランク付けされる場合、ディスパッチ処理構成要素３３０は、先入れ先出しの方針（ＦＩＦＯ）または他の類似の方法に従ってオプションを選択する。オプションを選択した後、実行規則構成要素３４０は、選択したオプションを検証し確実にプロセス規則に準拠するようにする（ステップ１２４０）。
【００３８】
本明細書で示される流れ図は例示的なものであることを理解されたい。本発明の精神から逸脱することなく、これらの図に対する変形形態が存在することができる。例えば、各ステップを異なる順序で実施することができ、あるいはステップを追加、削除または変更することができる。したがって、具体的に記載されているのでなければ、頭記の特許請求の範囲内で本発明を実施することができることを理解されたい。
【００３９】
図１３に、図２のメインコンピューティングサーバ２２８の内部ハードウェアの一例のブロック図を示す。バス１３５６は、システム２２８の他の各構成要素を相互接続するメイン情報ハイウェイとして働く。ＣＰＵ １３５８は、本発明のプロセスおよび他のプログラムを実行するのに必要な計算および論理演算を実施する、システムの中央演算処理装置である。読取り専用メモリ（ＲＯＭ）１３６０およびランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）１３６２は、システムのメインメモリを構成する。ディスクコントローラ１３６４は、１つまたは複数のディスクドライブとシステムバス１３５６とをインターフェースする。これらのディスクドライブは、例えばフロッピィディスクドライブ１３７０、あるいはＣＤ−ＲＯＭまたはＤＶＤ（デジタルビデオディスク）ドライブ１３６６、あるいは内蔵または外付けハードドライブ１３６８である。これらの様々なディスクドライブやディスクコントローラは任意選択の装置である。
【００４０】
ディスプレイインターフェース１３７２は、ディスプレイ１３４８とインターフェースし、バス１３５６からの情報をディスプレイ１３４８上に表示することを可能にする。ディスプレイ１３４８もまた任意選択のアクセサリである。例えば、ディスプレイ１３４８を置換または省略することができる。前述のシステムの他の構成要素などの外部装置との通信は、例えば通信ポート１３７４を使用して行われる。例えば、ポート１３７４は、図２のバス／ネットワーク２２０とインターフェースすることができる。外部装置と通信ポート１３７４との間の移送媒体として、光ファイバおよび／または電気ケーブルおよび／または導体および／または光通信（例えば赤外線など）および／またはワイヤレス通信（無線周波数（ＲＦ）など）を使用することができる。周辺インターフェース１３５４は、キーボード１３５０およびマウス１３５２とインターフェースし、入力データをバス１３５６に通信することを可能にする。これらの構成要素に加えて、システム２２８は、任意選択で、赤外線送信機１３７８および／または赤外線受信機１３７６も含むことができる。コンピュータシステムを、赤外線信号伝送を介してデータを送信／受信する１つまたは複数の処理構成要素／ステーションと共に使用するとき、赤外線送信機が任意選択で使用される。赤外線送信機または赤外線受信機を使用する代わりに、コンピュータシステムは、任意選択で低出力無線送信機１３８０および／または低出力無線受信機１３８２を使用することもできる。低出力無線送信機は、製造工程の構成要素が受信する信号を送信し、低出力無線受信機を介して構成要素から信号を受信する。低出力無線送信機および／または受信機は当業界で標準の装置である。
【００４１】
図１３のシステム２２８を、単一のプロセッサ、単一のハードディスクドライブおよび単一のローカルメモリを有するものとして示したが、システム２２８は、多数のプロセッサまたは記憶装置あるいはプロセッサまたは記憶装置の任意の組合せを任意選択で適切に備える。例えば、システム２２８は、高度な計算機、ハンドヘルドコンピュータ、ラップトップ／ノートブックコンピュータ、ミニコンピュータ、メインフレームコンピュータおよびスーパコンピュータならびにそれらの処理システムネットワークの組合せを含む、本発明の原理に従って動作可能などんな適切な処理システムによっても置き換えることができ、またはそのような処理システムと組み合わせることができる。
【００４２】
図１４は、コンピュータ可読コードまたは命令を格納するために使用可能な例示的コンピュータ可読メモリ媒体１４８４の図である。一例として、媒体１４８４は、図１３に示すディスクドライブと共に使用することができる。通常、フロッピィディスク又はＣＤ−ＲＯＭ或いはデジタルビデオディスクなどのメモリ媒体は、例えば１バイト言語用のマルチバイトロケールや、上記のシステムを制御して本明細書で述べる機能をコンピュータが実施することを可能にするプログラム情報を含む。あるいは、図１３に示すＲＯＭ １３６０および／またはＲＡＭ １３６２はまた、中央演算処理装置１３５８に当該のプロセスに関連する演算を実行するよう指令するのに使用するプログラム情報を格納するのにも使用することができる。情報を格納する適切なコンピュータ可読媒体の他の例には、磁気記憶装置、電子記憶装置または光（ホログラフィックを含む）記憶装置、それらの何らかの組合せなどが含まれる。
【００４３】
一般には、本発明の実施形態の様々な構成要素は、ハードウェア、ソフトウェアまたはそれらの組合せとして実装できることに留意されたい。そのような実施形態では、様々な構成要素およびステップが、ハードウェアおよび／またはソフトウェアとして実装され本発明の機能が実施される。現在利用可能なまたは将来開発されるどんなコンピュータソフトウェア言語および／またはハードウェア構成要素も、本発明のこのような実施形態で利用することができる。例えば、前述の機能の少なくとも一部は、Ｖｉｓｕａｌ Ｂａｓｉｃ、Ｃ、Ｃ＋＋、または使用するプロセッサに鑑みて適切な任意のアセンブリ言語を使用して実装することができる。Ｊａｖａ（登録商標）などのインタプリタ環境で書き、複数の宛先に向けて様々なユーザに移送することもできる。
【００４４】
上述の本発明の特定の実施形態は、本発明の一般的原理の単なる例に過ぎないことも一般に理解されたい。当業者は、前述の原理の組に適合する様々な修正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
従来技術の半導体製造工程を示す図である。
【図２】
本発明の様々な態様および原理を実装し、利用するのに適した製造施設の一例を示す図である。
【図３】
図２のコンピューティングシステム内に実装され、本発明の様々な概念を実施するのに利用可能な様々なコンピューティングプロセスを示すブロック図の一例を示す図である。
【図４】
本発明のリソースコーディネータ構成要素内に実装された１組のディスパッチステーションの一例を示す図である。
【図５】
図２の製造施設に関するサービスプランをモデリングするのに使用されるモデリング手順の一例を示す図である。
【図６】
図２の製造施設での実行時にサービスをディスパッチし、実行するのに使用されるプロセスの一例を示す図である。
【図７】
図２の製造施設での実行時にサービスをディスパッチし、実行するのに使用されるプロセスの一例を示す図である。
【図８】
図２の製造施設での実行時にサービスをディスパッチし、実行するのに使用されるプロセスの一例を示す図である。
【図９】
図２の製造施設でサービスをモデリングし、ディスパッチし、実行するのに使用される処理ルーチンを記述する流れ図である。
【図１０】
図９のルーチンで実装されるモデリングプロセスを記述する流れ図である。
【図１１】
本発明の原理に従ってサービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせるのに使用されるプロセスを記述する流れ図である。
【図１２】
本発明の原理に従ってディスパッチオプションを選択するのに使用されるいくつかのディスパッチモードを記述する流れ図である。
【図１３】
図２の製造施設で利用可能なコンピューティングシステムの一例のブロック図表現である。
【図１４】
本発明の、コンピュータで実装されるプロセスを格納するのに使用することができるメモリ媒体の一例を示す図である。

Claims (62)

1. サービスプロバイダを複数のサービスリクエスタのうちの１つと関連付ける方法であって、
   （１）前記サービスプロバイダから通信を受信するステップであって、前記通信は、前記サービスプロバイダによって実施することができる１つまたは複数のサービスを示すリストを含むステップと、
   （２）前記サービスプロバイダによって提供される各サービスを１つまたは複数のディスパッチステーションに関連付けるステップと、
   （３）前記複数のサービスリクエスタのそれぞれからサービス要求を受信するステップと、
   （４）前記各サービス要求を、前記１つまたは複数のディスパッチステーションに割り当てるステップと、
   （５）前記１つまたは複数のディスパッチステーションのうちの１つを使用して、前記複数のサービスリクエスタのうちの１つを前記サービスプロバイダと突き合わせるステップであって、前記１つまたは複数のディスパッチステーションのうちの前記１つが前記要求されたサービスを提供することができる前記サービスプロバイダと関連しており、それによって合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループが形成されるステップとを含むことを特徴とする方法。
2. 他のランク付けされ合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループと比較するのに使用するために、１つまたは複数の実行規則に従って、前記合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループにランクを付けるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. ディスパッチステーションに、サービスオファーを関連付けまたはサービス要求を割り当てた後、リソースイベントを発行するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
4. （６）ディスパッチステーションに、サービスオファーを関連付けまたはサービス要求を割り当てた後、サービスをディスパッチすることを試みるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
5. 前記ステップ（２）の各ディスパッチステーションは各サービスに対応するサービスのリストを含み、各サービスはサービスの前記リストと関連付けられ、サービスの前記リスト中の各エントリはリソースのリストを含み、リソースの前記リスト中の各エントリは１つまたは複数のサービスプロバイダまたはサービスリクエスタと関連付けることができることを特徴とする請求項１に記載の方法。
6. リソースのリスト中にリストされるサービスプロバイダおよびサービスリクエスタは、合致したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの少なくとも一部を構成することを特徴とする請求項５に記載の方法。
7. 製造施設工程計画を実行する方法であって、前記製造施設は、サービスを提供するサービスプロバイダとサービスを要求するサービスリクエスタとを含む複数のリソースを備え、前記製造施設はまた、サービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせる１つまたは複数のディスパッチステーションも実装し、
   （１）前記工程計画をモデリングするステップであって、
   （ａ）前記工程計画に必要なサービスのリスト、
   （ｂ）前記リソースプロバイダが提供することができる前記各サービスリソースと、前記各サービスを提供することができる条件とを識別するプロバイダ情報、
   （ｃ）前記１つまたは複数のディスパッチステーションのそれぞれに関連するサービスのリストを含むディスパッチステーション情報、および、
   （ｄ）前記工程計画の実行を管理する実行規則のリスト、を生成することを含むステップと、
   （２）前記工程計画に必要な前記サービスを実施することによって前記工程計画を実行するステップであって、
   （ａ）前記リソースプロバイダ情報によって決定される、前記サービスプロバイダが現在提供することのできる各サービスを、対応するディスパッチステーションと関連付けるステップと、
   （ｂ）前記サービスリクエスタによって要求される各サービスを、対応するディスパッチステーションと関連付けるステップと、
   （ｃ）サービスを要求するサービスリクエスタを、同じサービスを提供することができるサービスプロバイダとグループ化することにより、各ディスパッチステーション内に合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成するステップと、
   （ｄ）前記実行規則に従って各サービスを実施するために、１つの合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを識別するステップと、
   （ｅ）前記１つの合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループによる前記実行規則の準拠を検証するステップと、
   （ｆ）合致した各サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループをディスパッチするステップとを含むステップを備えることを特徴とする方法。
8. 各ディスパッチステーションに関連するサービスの前記リストは、ユーザ定義されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 前記ステップ（２）は、ディスパッチングの後、（ｇ）合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループの各サービスを、対応するディスパッチステーションから関連付け解除するステップをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
10. サービスリクエスタをサービスプロバイダと関連付ける方法であって、
    （１）複数のリソースのそれぞれから通信を受信するステップであって、各リソースは、サービスリクエスタまたはサービスプロバイダのどちらかを含み、各通信もまた、提供されるサービスまたは要求されるサービスの一方を含むステップと、
    （２）各リソースを、前記リソースによって提供または要求されるサービスに関連する複数のディスパッチステーションの各ディスパッチステーションに関連付けるステップと、
    （３）前記提供されるサービスおよび前記要求されるサービスに従って、サービスリクエスタを前記１つまたは複数のディスパッチステーションのそれぞれのサービスプロバイダと突き合わせ、それによって１つまたは複数の合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成するステップとを含むことを特徴とする方法。
11. 前記ステップ（１）の前記通信は、前記リソースとの関連付けに関する１つまたは複数のディスパッチステーションの表示をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
12. 複数のサービスプロバイダと複数のサービスリクエスタを備える製造施設内のリソースを調整する方法であって、
    （１）前記サービスプロバイダが現在提供することのできるサービスと、前記サービスリクエスタによって要求されるサービスとを含むサービスプロバイダ情報およびサービスリクエスタ情報を受信するステップと、
    （２）前記サービスプロバイダが現在提供することのできる前記サービスと、前記サービスリクエスタによって要求される前記サービスとに従って、サービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせ、１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを形成するステップと、
    （３）選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを識別するステップと、
    （４）前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの１つまたは複数の実行規則の準拠を検証するステップと、
    （５）前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループが前記１つまたは複数の実行規則に準拠している場合、前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループに関するワークフローを立ち上げるステップとを含むことを特徴とする方法。
13. 前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループは、前記１つまたは複数の実行規則に従って前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループをランク付けし、最高ランクのグループを自動的に選択することによって識別されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
14. 前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループは、前記１つまたは複数の実行規則に従ってランク付けされた前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループのリストからユーザが選択することを可能にすることによって識別されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
15. 複数のサービスプロバイダサーバであって、各サービスプロバイダサーバは、１つのサービスプロバイダを監視し、１つまたは複数のサービスを提供するのに前記１つのサービスプロバイダが利用可能であることを示す通信を送信することができるサービスプロバイダサーバと、
    複数のサービスリクエスタサーバであって、各サービスリクエスタサーバは、１つのサービスリクエスタを監視し、前記１つのサービスリクエスタによって要求されるサービスを示すサービス要求を送信することができるサービスリクエスタサーバと、
    サービスリクエスタをサービスプロバイダと関連付けるリソースコーディネータであって、前記サービスプロバイダが現在実施することのできるサービスのリストを含む通信を各サービスプロバイダサーバから受信して各サービスリクエスタサーバからサービス要求を受信するプロセッサを備え、１つまたは複数のサービスリクエスタおよびサービスプロバイダに関連付けることができる１つまたは複数のディスパッチステーションを実装するメモリも備えるリソースコーディネータとを備える製造リソース調整システムであって、
    前記プロセッサは、各サービスリクエスタによって提供される各サービスをディスパッチステーションと関連付け、かつ、各サービスリクエスタの要求した各サービスを、前記要求したサービスを現在提供することができるサービスプロバイダと関連するすべてのディスパッチステーションと関連付け、それによって１つまたは複数の合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成することを特徴とする製造リソース調整システム。
16. 前記１つまたは複数のランク付けされ合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを互いに比較するのに使用するために、１つまたは複数の実行規則に従って、前記合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループにランクを適用する規則構成要素をさらに備えていることを特徴とする請求項１５に記載のシステム。
17. 前記プロセッサは、ディスパッチステーションにサービスオファーを関連付けまたはサービス要求を割り当てた後、リソースイベントを発行することを特徴とする請求項１５に記載のシステム。
18. 前記プロセッサは、ディスパッチステーションにサービスオファーを関連付けまたはサービス要求を割り当てた後、サービスをディスパッチすることを試みることを特徴とする請求項１５に記載のシステム。
19. 各ディスパッチステーションは、各サービスに対応するサービスのリストを含み、各サービスはサービスの前記リストと関連付けられ、サービスの前記リスト中の各エントリはリソースのリストを含み、リソースの前記リスト中の各エントリは１つまたは複数のサービスプロバイダまたはサービスリクエスタと関連付けることができることを特徴とする請求項１５に記載のシステム。
20. リソースのリスト中にリストされるサービスプロバイダおよびサービスリクエスタは、合致したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの少なくとも一部を構成することを特徴とする請求項１９に記載のシステム。
21. 製造施設工程計画を実行するシステムであって、
    サービスを提供するサービスプロバイダと、サービスを要求するサービスリクエスタとを含む複数のリソースと、
    １つまたは複数のディスパッチステーションを実装するコンピューティングプロセッサであって、各ディスパッチステーションは、サービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせるように実装され、
    前記工程計画を実行するのに必要なサービスのリストと、前記リソースプロバイダが提供することのできる各サービスおよび各サービスを提供することができる条件を識別するリソースプロバイダ情報と、各ディスパッチステーションに関連するサービスのリストを含むディスパッチステーション情報と、前記工程計画の実行を管理する実行規則のリストと、を生成するモデリング構成要素と、
    前記工程計画に必要な各サービスを実施することによって前記工程計画を実行するディスパッチング構成要素とを備えるプロセッサを備え、前記ディスパッチング構成要素は、
    前記リソースプロバイダ情報によって決定される、前記サービスプロバイダが現在提供することのできる各サービスを、対応するディスパッチステーションと関連付け、
    前記サービスリクエスタによって要求される各サービスを、対応するディスパッチステーションと関連付け、
    サービスを要求するサービスリクエスタを、同じサービスを提供することができるサービスプロバイダとグループ化することにより、各ディスパッチステーション内に合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成し、
    前記実行規則に従って各サービスを実施するために、１つの合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを識別し、
    前記１つの合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループによる前記実行規則の準拠を検証し、
    合致した各サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループをディスパッチすることによって前記工程計画を実行することを特徴とするシステム。
22. 各ディスパッチステーションに関連するサービスの前記リストは、ユーザ定義されることを特徴とする請求項２１に記載のシステム。
23. 前記ディスパッチング構成要素はさらに、ディスパッチングの後、合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループの各サービスを対応するディスパッチステーションから関連付け解除することを特徴とする請求項２１に記載のシステム。
24. 複数のリソースサーバであって、各リソースサーバは１つのリソースに関連し、各リソースはサービスリクエスタまたはサービスプロバイダのどちらかを含み、前記各リソースサーバは、要求されるサービスまたは提供されるサービスを含む通信を送信することができるリソースサーバと、
    サービスリクエスタをサービスプロバイダと関連付けるリソースコーディネータであって、前記リソースコーディネータは、前記リソースサーバから前記通信を受信するプロセッサと、複数のディスパッチステーションを実装するメモリとを備え、各ディスパッチステーションは１つまたは複数のサービスと関連するリソースコーディネータを備える製造リソース調整システムであって、
    前記通信の受信時に、前記プロセッサは、各リソースを対応するディスパッチステーションと関連付け、前記提供されるサービスおよび前記要求されるサービスに従って、サービスリクエスタを前記各ディスパッチステーション中のサービスプロバイダと突き合わせ、それによって１つまたは複数の合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成することを特徴とする製造リソース調整システム。
25. 前記通信は、前記リソースとの関連付けに関する１つまたは複数のディスパッチステーションの表示をさらに含むことを特徴とする請求項２４に記載のシステム。
26. サービスプロバイダが現在提供することのできるサービスを含むサービスプロバイダ情報と、前記サービスリクエスタによって要求されるサービスを含むサービスリクエスタ情報とを受信することができるコンピューティングプロセッサと、
    前記サービスプロバイダが現在提供することができる前記サービスと、前記サービスリクエスタによって要求される前記サービスとに従ってサービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせ、それによって１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを形成する１つまたは複数のディスパッチステーションを実装するメモリとを備えるコーディネータ構成要素であって、
    選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを識別し、前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの１つまたは複数の実行規則の準拠を検証する際に、前記プロセッサは、前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループに関するワークフローを立ち上げることを特徴とするコーディネータ構成要素。
27. 前記プロセッサは、前記１つまたは複数の実行規則に従って前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループをランク付けし、最高ランクのグループを自動的に選択することによって、前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを識別することを特徴とする請求項２６に記載の構成要素。
28. 前記プロセッサは、前記１つまたは複数の実行規則に従ってランク付けされた前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループのリストからユーザが選択することを可能にすることによって、前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを識別することを特徴とする請求項２６に記載の構成要素。
29. サービスリクエスタをサービスプロバイダと関連付ける装置であって、
    複数のサービスプロバイダのそれぞれから通信を受信する手段であって、各通信は対応するサービスプロバイダによって現在実施することができる１つまたは複数のサービスのリストを含む手段と、
    前記複数のサービスプロバイダによって提供される各サービスを１つまたは複数のディスパッチステーションに関連付ける手段と、
    複数のサービスリクエスタのそれぞれからサービス要求を受信する手段と、
    各サービス要求を、前記要求されたサービスを提供することができる１つまたは複数のサービスプロバイダと関連する１つまたは複数のディスパッチステーションに割り当てる手段と、
    前記サービスリクエスタを、前記要求されたサービスを提供することができる１つまたは複数のサービスプロバイダと関連する前記１つまたは複数のディスパッチステーション内の各サービスプロバイダと突き合わせ、それによって１つまたは複数の合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成する手段とを備えていることを特徴とする装置。
30. １つまたは複数の実行規則に従って、前記合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループにランクを適用する手段と、前記１つまたは複数のランク付けされ合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを互いに比較する手段とをさらに備えていることを特徴とする請求項２９に記載の装置。
31. ディスパッチステーションにサービスオファーを関連付けまたはサービス要求を割り当てた後、リソースイベントを発行する手段をさらに備えていることを特徴とする請求項２９に記載の装置。
32. ディスパッチステーションにサービスオファーを関連付けまたはサービス要求を割り当てた後、サービスをディスパッチすることを試みる手段をさらに備えていることを特徴とする請求項２９に記載の装置。
33. 各ディスパッチステーションは、各サービスに対応するサービスのリストを含み、各サービスはサービスの前記リストと関連付けられ、サービスの前記リスト中の各エントリはリソースのリストを含み、リソースの前記リスト中の各エントリは１つまたは複数のサービスプロバイダまたはサービスリクエスタと関連付けることができることを特徴とする請求項２９に記載の装置。
34. リソースのリスト中にリストされるサービスプロバイダおよびサービスリクエスタは、合致したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの少なくとも一部を構成することを特徴とする請求項３３に記載の装置。
35. 製造施設工程計画を実行する装置であって、前記製造施設は、サービスを提供するサービスプロバイダと、サービスを要求するサービスリクエスタとを含む複数のリソースを備え、前記製造施設はまた、サービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせる１つまたは複数のディスパッチステーションも実装し、
    前記工程計画に必要なサービスのリストと、前記リソースプロバイダが提供することのできる各サービスおよび各サービスを提供することができる条件を識別するリソースプロバイダ情報と、各ディスパッチステーションに関連するサービスのリストを含むディスパッチステーション情報と、前記工程計画の実行を管理する実行規則のリストとを生成することを含む、前記工程計画をモデリングする手段と、
    前記工程計画に必要な各サービスを実施することによって前記工程計画を実行する手段であって、
    前記リソースプロバイダ情報によって決定される、前記サービスプロバイダが現在提供することのできる各サービスを、対応するディスパッチステーションと関連付ける手段と、
    前記サービスリクエスタによって要求される各サービスを、対応するディスパッチステーションと関連付ける手段と、
    サービスを要求するサービスリクエスタを、同じサービスを提供することができるサービスプロバイダとグループ化することにより、各ディスパッチステーション内に合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成する手段と、
    前記実行規則に従って各サービスを実施するために、１つの合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを識別する手段と、
    前記１つの合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループによる前記実行規則の準拠を検証する手段と、
    合致した各サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループをディスパッチする手段とを含む手段とを備えていることを特徴とする装置。
36. 各ディスパッチステーションに関連するサービスの前記リストは、ユーザ定義されることを特徴とする請求項３５に記載の装置。
37. ディスパッチングの後、合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループの各サービスを、対応するディスパッチステーションから関連付け解除する手段をさらに備えていることを特徴とする請求項３５に記載の装置。
38. サービスリクエスタをサービスプロバイダと関連付ける装置であって、
    複数のリソースのそれぞれから通信を受信する手段であって、各リソースは、サービスリクエスタまたはサービスプロバイダのどちらかを含み、各通信もまた、提供されるサービスまたは要求されるサービスの一方を含む手段と、
    各リソースを、前記リソースによって提供または要求されるサービスに関連する複数のディスパッチステーションの各ディスパッチステーションに関連付ける手段と、
    前記提供されるサービスおよび前記要求されるサービスに従って、サービスリクエスタを、前記１つまたは複数のディスパッチステーションのそれぞれのサービスプロバイダと突き合わせ、それによって１つまたは複数の合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成する手段とを備えていることを特徴とする装置。
39. 前記通信は、前記リソースとの関連付けに関する１つまたは複数のディスパッチステーションの表示をさらに含むことを特徴とする請求項３８に記載の装置。
40. 複数のサービスプロバイダと複数のサービスリクエスタを備える製造施設内のリソースを調整する装置であって、
    前記サービスプロバイダが現在提供することのできるサービスと、前記サービスリクエスタによって要求されるサービスとを含むサービスプロバイダ情報およびサービスリクエスタ情報を受信する手段と、
    前記サービスプロバイダが現在提供することのできる前記サービスと、前記サービスリクエスタによって要求される前記サービスとに従って、サービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせ、１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを形成する手段と、
    選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを識別する手段と、
    前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの、１つまたは複数の実行規則の準拠を検証する手段と、
    前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループが前記１つまたは複数の実行規則に準拠している場合、前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループに関するワークフローを立ち上げる手段とを備えていることを特徴とする装置。
41. 前記識別する手段は、前記１つまたは複数の実行規則に従って前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループをランク付けする手段と、最高ランクのグループを自動的に選択する手段とをさらに備えていることを特徴とする請求項４０に記載の装置。
42. 前記識別する手段は、前記１つまたは複数の実行規則に従って、前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループをランク付けする手段と、ランク付けされた前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループのリストからユーザが選択することを可能にする手段とをさらに備えていることを特徴とする請求項４０に記載の装置。
43. コンピュータ可読媒体上に実施された、サービスリクエスタをサービスプロバイダと関連付けるためのコンピュータプログラムであって、
    複数のサービスプロバイダのそれぞれから通信を受信するためのコンピュータ可読命令であって、各通信は、対応するサービスプロバイダによって現在実施することができる１つまたは複数のサービスのリストを含むコンピュータ可読命令と、
    前記複数のサービスプロバイダによって提供される各サービスを、１つまたは複数のディスパッチステーションに関連付けるためのコンピュータ可読命令と、
    複数のサービスリクエスタのそれぞれから、サービス要求を受信するためのコンピュータ可読命令と、
    各サービス要求を、前記要求されたサービスを提供することができる１つまたは複数のサービスプロバイダと関連する１つまたは複数のディスパッチステーションに割り当てるためのコンピュータ可読命令と、
    前記サービスリクエスタを、前記要求されたサービスを提供することができる１つまたは複数のサービスプロバイダと関連する前記１つまたは複数のディスパッチステーション内の各サービスプロバイダと突き合わせ、それによって１つまたは複数の合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成するためのコンピュータ可読命令とを含むことを特徴とするコンピュータプログラム。
44. １つまたは複数の実行規則に従って、前記合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループにランクを適用するためのコンピュータ可読命令と、前記１つまたは複数のランク付けされ合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを互いに比較するためのコンピュータ可読命令とをさらに含むことを特徴とする請求項４３に記載のコンピュータプログラム。
45. ディスパッチステーションにサービスオファーを関連付け、またはサービス要求を割り当てた後、リソースイベントを発行するためのコンピュータ可読命令をさらに含むことを特徴とする請求項４３に記載のコンピュータプログラム。
46. ディスパッチステーションにサービスオファーを関連付け、またはサービス要求を割り当てた後、サービスをディスパッチすることを試みるコンピュータ可読命令をさらに含むことを特徴とする請求項４３に記載のコンピュータプログラム。
47. 各ディスパッチステーションは、各サービスに対応するサービスのリストを含み、各サービスはサービスのリストと前記関連付けられ、サービスの前記リスト中の各エントリはリソースのリストを含み、リソースの前記リスト中の各エントリは、１つまたは複数のサービスプロバイダまたはサービスリクエスタと関連付けることができることを特徴とする請求項４３に記載のコンピュータプログラム。
48. リソースのリスト中にリストされるサービスプロバイダおよびサービスリクエスタは、合致したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの少なくとも一部を構成することを特徴とする請求項４７に記載のコンピュータプログラム。
49. コンピュータ可読媒体上に実施された、製造施設工程計画を実行するためのコンピュータプログラムであって、前記製造施設は、サービスを提供するサービスプロバイダと、サービスを要求するサービスリクエスタとを含む複数のリソースを備え、前記製造施設はまた、サービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせる１つまたは複数のディスパッチステーションも実装し、
    前記工程計画に必要なサービスのリストと、前記リソースプロバイダが提供することのできる各サービス、および各サービスを提供することができる条件を識別するリソースプロバイダ情報と、各ディスパッチステーションに関連するサービスのリストを含むディスパッチステーション情報と、前記工程計画の実行を管理する実行規則のリストとを生成することを含む、前記工程計画をモデリングするためのコンピュータ可読命令と、
    前記工程計画に必要な各サービスを実施することによって前記工程計画を実行するためのコンピュータ可読命令であって、
    前記リソースプロバイダ情報によって決定される、前記サービスプロバイダが現在提供することのできる各サービスを、対応するディスパッチステーションと関連付けるためのコンピュータ可読命令と、
    前記サービスリクエスタによって要求される各サービスを、対応するディスパッチステーションと関連付けるためのコンピュータ可読命令と、
    サービスを要求するサービスリクエスタを、同じサービスを提供することができるサービスプロバイダとグループ化することにより、各ディスパッチステーション内に合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成するためのコンピュータ可読命令と、
    前記実行規則に従って各サービスを実施するために、１つの合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを識別するためのコンピュータ可読命令と、
    前記１つの合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループによる前記実行規則の準拠を検証するためのコンピュータ可読命令と、
    合致した各サービスリクエスタ／サービスプロバイダグループをディスパッチするためのコンピュータ可読命令とを含むコンピュータ可読命令とを含むことを特徴とするコンピュータプログラム。
50. 各ディスパッチステーションに関連するサービスの前記リストは、ユーザ定義されることを特徴とする請求項４９に記載のコンピュータプログラム。
51. ディスパッチングの後、合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループの各サービスを、対応するディスパッチステーションから関連付け解除するためのコンピュータ可読命令をさらに含むことを特徴とする請求項４９に記載のコンピュータプログラム。
52. コンピュータ可読媒体上に実施され、サービスリクエスタをサービスプロバイダと関連付けるためのコンピュータプログラムであって、
    複数のリソースのそれぞれから通信を受信するためのコンピュータ可読命令であって、各リソースは、サービスリクエスタまたはサービスプロバイダのどちらかを含み、各通信もまた、提供されるサービスまたは要求されるサービスの一方を含むコンピュータ可読命令と、
    各リソースを、前記リソースによって提供または要求されるサービスに関連する複数のディスパッチステーションの各ディスパッチステーションに関連付けるためのコンピュータ可読命令と、
    前記提供されるサービスおよび前記要求されるサービスに従って、サービスリクエスタを、前記１つまたは複数のディスパッチステーションのそれぞれのサービスプロバイダと突き合わせ、それによって１つまたは複数の合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを形成するためのコンピュータ可読命令とを含むことを特徴とするコンピュータプログラム。
53. 前記通信は、前記リソースとの関連付けに関する１つまたは複数のディスパッチステーションの表示をさらに含むことを特徴とする請求項５２に記載のコンピュータプログラム。
54. コンピュータ可読媒体上に実施され、複数のサービスプロバイダと複数のサービスリクエスタを備える製造施設内のリソースを調整するためのコンピュータプログラムであって、
    前記サービスプロバイダが現在提供することのできるサービスと、前記サービスリクエスタによって要求されるサービスとを含むサービスプロバイダ情報およびサービスリクエスタ情報を受信するためのコンピュータ可読命令と、
    前記サービスプロバイダが現在提供することのできる前記サービスと、前記サービスリクエスタによって要求される前記サービスとに従って、サービスリクエスタをサービスプロバイダと突き合わせ、１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを形成するためのコンピュータ可読命令と、
    選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループを識別するためのコンピュータ可読命令と、
    前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの、１つまたは複数の実行規則の準拠を検証するためのコンピュータ可読命令と、
    前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループが前記１つまたは複数の実行規則に準拠している場合、前記選択したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループに関するワークフローを立ち上げるためのコンピュータ可読命令とを含むことを特徴とするコンピュータプログラム。
55. 前記１つまたは複数の実行規則に従って前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループをランク付けするためのコンピュータ可読命令と、最高ランクのグループを自動的に選択するためのコンピュータ可読命令とをさらに含むことを特徴とする請求項５４に記載のコンピュータプログラム。
56. 前記１つまたは複数の実行規則に従って、前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループをランク付けするためのコンピュータ可読命令と、ランク付けされた前記１つまたは複数のサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループのリストからユーザが選択することを可能にするコンピュータ可読命令とをさらに含むことを特徴とする請求項５４に記載のコンピュータプログラム。
57. （１）サービスプロバイダから通信を受信するステップであって、前記通信は、前記サービスプロバイダによって実施することができる１つまたは複数のサービスを示すリストを含むステップと、
    （２）前記サービスプロバイダによって提供される各サービスを１つまたは複数のディスパッチステーションに関連付けるステップと、
    （３）複数のサービスリクエスタのそれぞれからサービス要求を受信するステップと、
    （４）前記各サービス要求を、前記１つまたは複数のディスパッチステーションに割り当てるステップと、
    （５）前記１つまたは複数のディスパッチステーションのうちの１つを使用して、前記複数のサービスリクエスタのうちの１つを、前記サービスプロバイダと突き合わせるステップであって、前記１つまたは複数のディスパッチステーションのうちの前記１つが、前記要求されたサービスを提供することができる前記サービスプロバイダと関連しており、それによって合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループが形成されるステップとを実施することによって、サービスプロバイダを複数のサービスリクエスタのうちの１つと関連付けるためのコンピュータプログラムを含むことを特徴とするコンピュータ可読媒体。
58. （６）前記１つまたは複数のランク付けされ合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループを互いに比較するのに使用するために、１つまたは複数の実行規則に従って、前記合致したサービスリクエスタ／サービスプロバイダグループにランクを適用するステップをさらに含むことを特徴とする請求項５７に記載のコンピュータ可読媒体。
59. （６）ディスパッチステーションにサービスオファーを関連付け、またはサービス要求を割り当てた後、リソースイベントを発行するステップをさらに含むことを特徴とする請求項５７に記載のコンピュータ可読媒体。
60. （６）ディスパッチステーションにサービスオファーを関連付け、またはサービス要求を割り当てた後、サービスをディスパッチすることを試みるステップをさらに含むことを特徴とする請求項５７に記載のコンピュータ可読媒体。
61. 各ディスパッチステーションは、各サービスに対応するサービスのリストを含み、各サービスはサービスの前記リストと関連付けられ、サービスの前記リスト中の各エントリはリソースのリストを含み、リソースの前記リスト中の各エントリは、１つまたは複数のサービスプロバイダまたはサービスリクエスタと関連付けることができることを特徴とする請求項５７に記載のコンピュータ可読媒体。
62. リソースのリスト中にリストされるサービスプロバイダおよびサービスリクエスタは、合致したサービスプロバイダ／サービスリクエスタグループの少なくとも一部を構成することを特徴とする請求項６１に記載のコンピュータ可読媒体。

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