KR101492276B1 - 동적 컴포넌트-추적 시스템 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

복수의 툴에 걸친 플라즈마 프로세싱 툴 컴포넌트 관리를 용이하게 하기 위한 컴퓨터-구현 방법이 제공된다. 상기 방법은 제 1 툴과 관련된 제 1 데이터베이스에서 식별 및 사용 이력을 포함하는, 제 1 복수의 컴포넌트에 대한 제 1 컴포넌트 데이터를 수신하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은, 제 1 툴과는 상이한 제 2 툴과 관련된 제 2 데이터베이스에서 제 2 복수의 컴포넌트에 대한 제 2 컴포넌트 데이터를 수신하는 단계를 포함한다. 이 방법은, 제 1 컴포넌트 데이터 및 제 2 컴포넌트 데이터를 제 3 데이터베이스와 동기화하는 단계를 더 포함한다. 동기화하는 단계는, 제 1 및 제 2 데이터베이스와 제 3 데이터베이스 사이에서 제 1 및 제 2 복수의 컴포넌트들 중 적어도 하나의 컴포넌트의 사용을 조절하는 규칙들을 동기화하는 단계를 포함한다. 제 3 데이터베이스는 복수의 툴과 데이터를 교환하도록 커플링된다. 또한, 이 방법은, 교체, 분석, 및 유지보수 중 하나를 수행하기 전에 소정의 컴포넌트에 관한 규칙 및 사용 이력 데이터를 이용하여 정보를 획득하는 단계를 포함한다.
툴, 데이터베이스, 컴포넌트 식별, 사용 이력, 유지보수 스케줄링

Description

동적 컴포넌트-추적 시스템 및 그 방법{DYNAMIC COMPONENT-TRACKING SYSTEM AND METHODS THEREFOR}
발명의 배경
플라즈마 프로세싱의 진보는 반도체 산업의 성장을 제공해왔다. 회사들이 반도체 산업에서 경쟁적으로 지탱하도록 하기 위해, 회사들로 하여금 우수한 작업 조건의 플라즈마 프로세싱 시스템을 유지하게 하는 것은 중요하다. 그러나, 플라즈마 프로세싱 시스템을 보존하는 태스크는 여러 부분이 수반된 소정의 과제가 되었다.
플라즈마 프로세싱 시스템은 수많은 컴포넌트들로 구성될 수도 있다. 논의의 용이함을 위해, 용어 "컴포넌트" 는 플라즈마 프로세싱 시스템에서 원자 또는 복수-부품 어셈블리를 지칭하는 것으로 이용될 것이다. 따라서, 컴포넌트는 가스 라인만큼 간단할 수도 있고, 또는, 전체 프로세스 모듈만큼 복잡할 수도 있다. (프로세스 모듈과 같은) 복수-부품 컴포넌트는, (진공 시스템, 가스 시스템, 전력 공급 시스템 등과 같은) 다른 복수-부품 컴포넌트로부터 형성될 수도 있고, 차례로, 다른 복수-부품 또는 원자 컴포넌트들로부터 형성될 수 있다.
통상 플라즈마 프로세싱 시스템이 통상 수많은 컴포넌트들로 구성될 수도 있기 때문에, 겉보기에는 상이한 컴포넌트들 모두의 추적을 유지하는 간단한 태스크가 수동으로 수행되어야만 할 수도 있다. 그러나, 플라즈마 프로세싱 시스템과 관련된 다양한 컴포넌트 모두를 수동으로 추적하는 것은 인간의 실수를 일으키게 할 수도 있는 극히 장황한 프로세스가 될 경향이 있다. 일반적으로, 제조업자는 이 컴포넌트들에 관한 데이터가 유지될 수도 있는 복수의 스프레드시트를 가질 수도 있다. 몇몇 상황에서, 이 스프레드시트는 통상의 데이터베이스로 통합될 수도 있다. 그러나, 스프레드시트를 업데이트하고 데이터를 통합하는 프로세스는 귀중한 시간 및 인력을 요구할 수도 있다.
예를 들어, 가스 샤워헤드가 기판 프로세싱 시스템에 방금 설치된 상황을 고려한다. 정보는 스프레드시트에 수동으로 축적되고 입력될 수도 있다. 그후, 나중의 적시에, 스프레드시트상의 가스 샤워헤드에 관한 정보가 중앙 데이터베이스에서 업데이트될 수도 있다. 당업자에 의해 이해될 수 있는 바와 같이, 수동 방법은 인간의 실수를 일으키게 할 수도 있다. 일 예에서, 스프레드시트에 데이터를 카피한 후 중앙 스프레드시트로 전달하는 프로세스 도중에 오류가 나타날 수도 있다.
데이터를 중앙 데이터베이스로 기록하는 프로세스가 시간이 걸리기 때문에, 낡은 컴포넌트 (예를 들어, 컴포넌트가 그 사용 수명의 한계에 있음) 가 다른 머신에 설치되어 불행한 결과 (예를 들어, 수많은 결함이 있는 기판, 머신의 손상 등) 를 야기할 가능성이 발생할 수도 있다. 예를 들어, 플라즈마 클러스터 툴 A 가 가스 샤워헤드를 요구하는 상황을 고려한다. 툴 및 중앙 데이터베이스가 서로 상호작용하는 성능을 가지지 않기 때문에, 가스 샤워헤드에 관한 이력는 용이하게 이용가능하지 않을 수도 있다. 따라서, 기술자는 가스 샤워헤드의 이력을 전반 적으로 잘 알지 못하고 결함이 있는 가스 샤워헤드를 설치할 수도 있고, 이에 따라, 바람직하지 않은 결과 (예를 들어, 머신에 대한 손상 및/또는 프로세싱 도중인 기판에 대한 손상) 를 초래할 수도 있다.
전술한 바와 같이, 컴포넌트들을 보존하고 추적하는 종래의 방법에 몇몇 단점이 존재한다. 예를 들어, 플라즈마 프로세싱 시스템 및 그 컴포넌트들에 관한 데이터를 수동으로 수집하고 통합하는 방법은, 수동 방법이 일반적으로 인간의 중재에 기초하기 때문에, 비능률적이고 비효율적이다. 데이터를 빠르게 획득 및 공유하지 못하는 것은 컴포넌트들 및 툴들에 대해 불필요한 비용적 손실을 초래할 수도 있다. 또한, 제조업자들은, 적시의 데이터 부족이 유지보수 스케줄링을 곤란한 프로세스가 되게 하기 때문에, 높은 오너쉽 비용을 경험하게 할 수도 있다.
발명의 개요
본 발명은, 일 실시형태에서, 복수의 툴들에 걸친 플라즈마 프로세싱 툴 컴포넌트 관리를 용이하게 하는 컴퓨터-구현 방법에 관한 것이다. 컴퓨터-구현 방법은, 복수의 툴들 중 제 1 툴과 관련된 제 1 데이터베이스에서, 제 1 복수의 컴포넌트들에 대한 컴포넌트 식별 및 사용 이력을 포함하는, 제 1 복수의 컴포넌트들에 대한 제 1 컴포넌트 데이터를 수신하는 단계를 포함한다. 컴퓨터-구현 방법은 또한 복수의 툴들 중 제 1 툴과는 상이한 제 2 툴과 관련된 제 2 데이터베이스에서, 제 2 복수의 컴포넌트들에 대한 컴포넌트 식별 및 사용 이력을 포함하는, 제 2 복수의 컴포넌트들에 대한 제 2 컴포넌트 데이터를 수신하는 단계를 포함한다. 컴퓨터-구현 방법은 제 1 컴포넌트 데이터 및 제 2 컴포넌트 데이터를 제 3 데이터베이스와 동기화하는 단계를 더 포함한다. 동기화하는 단계는, 제 1 데이터베이스 및 제 2 데이터베이스 중 적어도 하나와 제 3 데이터베이스 사이에서 제 1 복수의 컴포넌트들 및 제 2 복수의 컴포넌트들 중 적어도 하나의 컴포넌트의 사용을 조절하는 일 세트의 규칙을 동기화하는 단계를 포함한다. 제 3 데이터베이스는, 복수의 툴들과 데이터를 교환하도록 커플링된다. 또한, 컴퓨터-구현 방법은 복수의 툴들 중 하나의 툴에서 소정의 컴포넌트에 대한 교체, 분석, 및 유지보수 중 하나를 수행하기 전에 소정의 컴포넌트에 관한 정보를, 적어도 제 3 데이터베이스에서의 일 세트의 규칙들 및 사용 이력 데이터를 이용하여, 획득하는 단계를 더 포함한다.
다른 실시형태에서, 본 발명은 크로스-툴 데이터베이스 (cross-tool database) 를 이용하여 복수의 툴들에 걸친 플라즈마 프로세싱 툴 컴포넌트 관리를 용이하게 하는 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 제품에 관한 것이다. 이 제품은, 복수의 툴들 중 제 1 툴과 관련된 제 1 데이터베이스로부터, 제 1 복수의 컴포넌트들에 대한 컴포넌트 식별 및 사용 이력을 포함하는, 제 1 복수의 컴포넌트들에 대한 제 1 컴포넌트 데이터를 수신하는 컴퓨터 판독가능 코드를 포함한다.
또한, 이 제품은 복수의 툴들 중 제 1 툴과는 상이한 제 2 툴과 관련된 제 2 데이터베이스에서, 제 2 복수의 컴포넌트들에 대한 컴포넌트 식별 및 사용 이력을 포함하는, 제 2 복수의 컴포넌트들에 대한 제 2 컴포넌트 데이터를 수신하는 컴퓨터 판독가능 코드를 포함한다. 이 제품은, 제 1 컴포넌트 데이터와 제 2 컴포 넌트 데이터를 크로스-툴 데이터베이스와 동기화하는 컴퓨터 판독가능 코드를 더 포함한다. 이 동기화는, 제 1 데이터베이스 및 제 2 데이터베이스 중 적어도 하나와 크로스-툴 데이터베이스 사이에서, 제 1 복수의 컴포넌트들 및 제 2 복수의 컴포넌트들 중 적어도 하나의 컴포넌트의 사용을 조절하는 일 세트의 규칙들을 동기화하는 것을 포함하고, 크로스-툴 데이터베이스는 복수의 툴들에서 구현된 소프트웨어 에이전트들과 데이터를 교환하도록 커플링된다. 또한, 상기 제품은, 복수의 툴들 중 하나의 툴에서 소정의 컴포넌트에 대한 교체, 분석, 및 유지보수 중 하나를 수행하기 전에, 적어도 크로스-툴 데이터베이스에서의 사용 이력 데이터 및 일 세트의 규칙을 이용하여, 소정의 컴포넌트에 관한 소프트웨어 에이전트들 중 하나의 소프트웨어 에이전트에 정보를 제공하는 컴퓨터 판독가능 코드를 더 포함한다.
본 발명의 이러한 특징 및 다른 특징들은 이하의 도면과 관련하여 본 발명의 상세한 설명에서 이하 더욱 상세하게 설명될 것이다.
도면의 간단한 설명
본 발명은, 첨부된 도면의 도면들에서 한정의 방법이 아닌, 예시의 방법으로 도시되고, 첨부 도면에서의 동일한 참조 번호는 동일한 엘리먼트를 지칭한다.
도 1 은, 일 실시형태에서, 컴포넌트 추적 시스템의 간단한 블록도를 도시한다.
도 2 는, 일 실시형태에서, 관계형 데이터베이스의 간단한 예들을 도시한다. 일 실시형태에서, 관계형 데이터베이스는 하나 이상의 테이블 (202 및 230) 을 포함할 수도 있다.
도 3 은, 일 실시형태에서, 어떻게 동적 컴포넌트-추적 시스템이 컴포넌트 교체와 통합될 수 있는지를 도시하는 간단한 플로우차트를 도시한다.
도 4 는, 일 실시형태에서, 어떻게 동적 컴포넌트-추적 시스템이 단일 움직임을 예측하는데 사용될 수 있는지를 도시하는 간단한 플로우차트를 도시한다.
도 5 는, 일 실시형태에서, 어떻게 동적 컴포넌트-추적 시스템이 복수-부품 스케줄링을 수행하는데 사용될 수 있는지를 도시하는 간단한 플로우차트를 도시한다.
도 6 은, 일 실시형태에서, 어떻게 동적 컴포넌트-추적 시스템이 규칙-기반 유지보수를 구현하도록 사용될 수 있는지를 도시하는 간단한 플로우차트를 도시한다.
실시형태의 상세한 설명
본 발명은, 첨부된 도면에 도시된 바와 같이, 그 몇몇 실시형태를 참조하여 상세하게 설명될 것이다. 이하의 설명에서, 수많은 구체적인 세부사항이 본 발명의 전반적인 이해를 제공하기 위해 설명된다. 그러나, 당업자에게는 본 발명이 몇몇 또는 모든 구체적인 세부사항 없이도 실행될 수도 있다는 것이 명백하다. 다른 경우에서, 널리 공지된 프로세스 단계들 및/또는 구조들은 본 발명을 불필요하게 방해하지 않기 위해 상세하게 설명되지 않았다.
방법 및 기술을 포함하는 다양한 실시형태가 이하 설명된다. 또한, 본 발명이, 본 발명 기술의 실시형태들을 수행하기 위한 컴퓨터-판독가능 명령이 저장 된 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 제품들을 커버할 수도 있다는 것에 유의해야 한다. 컴퓨터 판독가능 매체는, 예를 들어, 컴퓨터 판독가능 코드를 저장하는 반도체, 자기, 광-자기, 광학, 또는 다른 형태의 컴퓨터 판독가능 매체를 포함할 수도 있다. 또한, 본 발명은, 본 발명의 실시형태를 실행하기 위한 장치들을 커버할 수도 있다. 이러한 장치는 본 발명의 실시형태에 관련되는 태스크들을 수행하기 위한 전용 및/또는 프로그래머블 회로를 포함할 수도 있다. 이러한 장치의 예는, 적절하게 프로그래밍되었을 때 범용 컴퓨터 및/또는 전용 컴퓨팅 디바이스를 포함하고, 본 발명의 실시형태들에 관련되는 다양한 태스크에 대해 채택된 컴퓨터/컴퓨팅 디바이스 및 전용/프로그래머블 회로의 조합을 포함할 수도 있다.
본 발명의 실시형태에 따르면, 컴포넌트-추적 시스템이 네트워크 (예를 들어, 인터넷, 인트라넷 등) 내의 툴들 및/또는 컴포넌트들 사이에서 데이터 (예를 들어, 컴포넌트 데이터) 를 동적으로 공유하기 위한 메커니즘을 제공하는, 아키텍쳐 배열이 제공된다. 본 명세서에 설명된 바와 같이, 컴포넌트는 플라즈마 프로세싱 시스템 내의 원자 또는 복수-부품 어셈블리를 지칭한다. 컴포넌트의 예는 플라즈마 프로세싱 챔버, 소모품 (예를 들어, o-링, 가스 샤워헤드 등) 및 비소모품 (예를 들어, 펌프, 전극 등) 을 포함할 수도 있지만 이에 한정하지 않는다. 본 발명의 실시형태에서, 데이터는 중앙 데이터베이스 (예를 들어, 크로스-툴 데이터베이스) 에 저장될 수도 있다. 본 발명의 다른 실시형태에서, 컴포넌트에 관한 데이터는 툴 (예를 들어, 플라즈마 프로세싱 툴) 에 국부적으로 위치될 수도 있다.
이 명세서에서, 플라즈마 프로세싱 시스템을 이용하여 다양한 구현이 설명될 수도 있다. 그러나, 본 발명은 플라즈마 프로세싱 시스템에 제한하지 않고, 세정 시스템을 포함할 수도 있다. 대신에, 설명은 예로서 제공되고, 본 발명은 나타난 예에 의해 제한되지 않는다.
본 발명의 실시형태에서, 컴포넌트-추적 시스템은, 네트워크를 통해서 중앙 데이터베이스에 연결된, 적어도 하나의 툴을 포함하는 복수의 툴을 포함한다. 일 실시형태에서, 각각의 툴은 국부적으로 위치된 데이터베이스를 가질 수도 있다. 일 실시형태에서, 이 데이터베이스 (예를 들어, 중앙 데이터베이스 및/또는 로컬 툴 데이터베이스) 는 관계형 데이터베이스일 수도 있다. 각각의 툴 및 그 컴포넌트에 관한 데이터는 로컬 툴 데이터베이스 및 중앙 데이터베이스 모두에 저장될 수도 있다. 수집될 수도 있는 데이터는 식별 데이터, 유지보수 데이터, 및 사용 이력을 포함할 수도 있지만 이에 제한되지 않는다.
예를 들어, 정전척이 툴에 설치된 상황을 고려한다. 종래 기술에서, 정전척에 관한 데이터를 획득하기 위해, 오퍼레이터는 툴로부터 정전척에 관한 데이터를 물리적으로 검색할 수도 있다. 또한, 정보를 통합하기 위해, 오퍼레이터는 중앙 데이터베이스에 있는 정전척에 관해 수집된 데이터를 수동으로 입력할 수도 있다. 종래 기술에서, 툴들 사이에서 적시에 데이터를 효과적으로 공유하기 위한 능력은 요구되는 소정의 시간 및 인력의 양에 따라 제한될 수도 있다.
반대로, 컴포넌트-추적 시스템은 복수의 툴들과 중앙 데이터베이스 사이의 양방향 통신을 가능하게 하는 효과적이고 효율적인 방법을 제공할 수도 있다. 일 실시형태에서, 로컬 데이터베이스로부터 중앙 데이터베이스로의 데이터 전달은 자동으로 전송될 수도 있다. 다른 실시형태에서, 데이터의 전달은 오퍼레이터의 판단에 의해 수행될 수도 있다. 마찬가지로, 일 실시형태에서, 컴포넌트에 관한 데이터는 중앙 데이터베이스로부터 동적으로 검색될 수도 있다. 그후, 다른 실시형태에서, 툴이 오프라인인 경우, 데이터베이스는 툴이 온라인일 때 동기화될 수도 있다.
데이터베이스들 사이에서 데이터를 동적으로 공유하기 위한 능력은 오퍼레이터에게 툴에 부정적인 영향을 최소화할 수도 있는 지식을 갖추게 할 수도 있다. 일 예에서, 툴에서 노즐이 교체되어야만 한다. 일 실시형태에서, 노즐에 관한 식별 데이터는 그 툴에서의 사용자-인터페이스를 통해 입력될 수도 있다. 식별 데이터가 제공되면, 툴은 노즐에 관한 정보를 검색하기 위해 중앙 데이터베이스와 연결될 수도 있다. 노즐에 관해 사전에 저장된 데이터는 용이하게 액세스가능할 수도 있다.
검색된 데이터를 통해서, 툴에 의해 노즐의 호환성에 대한 통지 결정이 이루어질 수도 있다. 일 예에서, 노즐은 남은 유용한 수명이 오직 10 시간만을 갖는 것을 나타낼 수도 있지만, 다음 프로세싱은 유용한 수명이 적어도 15 시간인 노즐을 요구한다. 통지된 결정기로서, 오퍼레이터는 다른 노즐을 요청할 수도 있다. 다른 예에서, 노즐이 요구되기 전에, 오퍼레이터는 어떤 노즐이 그 툴에 가장 적당한지의 여부를 결정하기 위해 중앙 데이터베이스에 질의할 수도 있다.
일 실시형태에서, 데이터베이스는 규칙-기반 이벤트를 통합하는 지능 (intelligence) 을 포함할 수도 있다. 일 세트의 규칙 (즉, 하나 이상의 규칙) 은 컴포넌트 및/또는 툴에 특정될 수도 있다. 일 실시형태에서, 일 세트의 규칙은 로컬 툴에서 오퍼레이터에 의해 생성될 수도 있다. 다른 실시형태에서, 일 세트의 규칙은 이 분야의 전문가들에 의해 사전-정의될 수도 있다. 일 실시형태에서, 일 세트의 규칙은 유연할 수도 있고, 일 세트의 규칙에 대한 세분화 (granularity) 는 오퍼레이터들에 의존할 수도 있다. 일 예에서, 일 세트의 규칙은 상황에 따라서 상이하게 실행되도록 정의될 수도 있다.
생성되면, 일 세트의 규칙은 이 규칙들로 하여금 제조 설비를 통해서 균일하게 시행되도록 하는 다른 툴 데이터베이스들 및 중앙 데이터베이스에 보급될 수도 있다. 그 결과, 다양한 오퍼레이터들의 지식이 제조 설비 전반적으로 축적될 수도 있고 공유될 수도 있다. 또한, 규칙은 덜-숙련된 오퍼레이터들의 액션을 제어 또는 제한할 수도 있고, 이에 따라, 덜 숙련된 오퍼레이터들이 일 세트의 규칙으로부터 계속해서 '전문가' 가이드를 받으면서 독립적으로 일할 수 있게 한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 컴포넌트-추적 시스템은 리소스 관리 시스템으로서 기능할 수도 있다. 리소스 관리 시스템으로서, 컴포넌트-추적 시스템은 리소스 요건을 예측하도록 사용될 수도 있다. 일 예에서, 오퍼레이터는 중앙 데이터베이스에 저장된 데이터를 리뷰하고 다음 2 주 내에 교체될 필요가 있을 수도 있는 컴포넌트를 예측할 수도 있다. 일 실시형태에서, 조건이 충족될 때, 리포트가 자동으로 발생될 수도 있다.
또한, 컴포넌트-추적 시스템은 일 실시형태에서 유지보수를 스케줄링하는데 사용될 수도 있다. 일 예에서, 다음 2 주 내에 교체되는 것이 잠재적으로 필요한 것으로서 식별될 수도 있는 복수의 컴포넌트가 사전에 스케줄링될 수도 있어, 컴포넌트들로 하여금 요청된 유지보수의 준비에 필요한 위치에 수송되고 지시가 내려진다.
일 실시형태에서, 컴포넌트-추적 시스템은 패턴 인식을 수행하는 것을 가능하게 할 수도 있다. 일 예에서, 컴포넌트는 문제를 경험한 툴 내에 사전에 설치되었다. 컴포넌트가 다른 툴에 설치될 때, 동일한 문제가 발생할 수도 있다. 이 지식을 통해, 오퍼레이터는 컴포넌트가 문제의 원인이 될 수도 있다는 것을 결정할 수도 있고, 컴포넌트를 교체할 수도 있다는 것을 결정할 수도 있다. 패턴 인식을 수행하기 위한 능력은 오퍼레이터로 하여금 손상된 컴포넌트를 식별하고 제거하게 하여, 이에 따라, 전체적인 오너십 비용을 감소시킨다.
본 발명의 실시형태의 특징 및 이점은 이하의 도면 및 설명을 참조하여 더욱 잘 이해될 수도 있다. 도 1 은, 일 실시형태에서, 컴포넌트-추적 시스템의 간단한 블록도를 도시한다. 복수의 툴 (102, 104, 및 106) 은 네트워크를 통해서 중앙 데이터베이스 (108) 에 연결된다. 각각의 툴 (102, 104 및 106) 내에 툴 및 그 컴포넌트들과 관련된 데이터 (예를 들어, 컴포넌트 관련 데이터, 유지보수 관련 데이터, 및 사용 데이터) 를 저장되게 하는 데이터베이스 또는 메모리 저장소가 있다. 일 실시형태에서, 각각의 툴은 또한 사용자-인터페이스를 가질 수도 있고, 이는 사용자가 데이터를 입력가능하게 한다. 또한, 사용자-인터페이스는 중앙 데이터베이스 (108) 로의 액세스를 허용할 수도 있다.
툴 (102, 104, 및 106) 의 로컬 데이터베이스에 저장된 데이터는 중앙 데이터베이스 (108) 로 동적으로 전달될 수도 있다. 데이터의 전달은, 일 실시형태에서, 자동으로 또는 사용자의 판단에 의해 행해질 수도 있다. 예를 들어, 툴 (102 및 104) 모두가 프로세싱 기판인 경우를 고려한다. 툴 (102) 은, 프로세싱 도중에, 중앙 데이터베이스 (108) 를 자동으로 업데이트할 수도 있는 반면에, 툴 (104) 은 모든 프로세싱이 완료될 때까지 중앙 데이터베이스 (108) 를 업데이트하지 못할 수도 있다. 각각의 툴로부터 중앙 데이터베이스를 동적으로 빠르게 업데이트하는 능력은 수동 데이터 수집과 관련된 타이핑 에러를 실질적으로 제거할 수도 있다.
또한, 일 실시형태에서, 각각의 툴 (102, 104, 또는 106) 은 중앙 데이터베이스 (108) 로부터 데이터를 동적으로 검색할 수도 있다. 일 예에서, 노즐이 툴 (102) 에서 교체되어야만 한다. 교체 노즐을 설치하기 전에, 사용자는 중앙 데이터베이스 (108) 로부터 노즐에 관한 데이터를 검색하는 능력을 갖는다. 컴포넌트에 관한 관련 데이터에 액세스하는 능력은 잠재적인 손상이 발생하는 것을 예방할 수도 있다.
도 2 는, 일 실시형태에서, 관계형 데이터베이스의 간단한 예를 나타낸다. 일 실시형태에서, 관계형 데이터베이스는 하나 이상의 테이블 (202, 230, 및 250) 을 포함할 수도 있다. 테이블 (202) 은 컴포넌트 테이블의 일 예이고, 테이블 (230) 은 챔버 테이블의 일 예이고, 테이블 (250) 은 툴 테이블의 일 예이다.
테이블 (202) 은, 명칭 (204), 컴포넌트 식별 (206), 기대 수명 (208), 사용 데이터 (210), 마지막 세정 데이터 (212), 세정 기술 (214), 및 툴 위치 (216) 와 같은 복수의 필드를 포함할 수도 있지만, 이에 한정되지 않는다.
명칭 (204) 은 컴포넌트의 명칭을 지칭한다. 일 예에서, 테이블 (202) 에서의 컴포넌트는 정전척이다.
컴포넌트 식별 (206) 은 컴포넌트와 관련된 식별 번호를 지칭한다. 이 예에서, 정전척과 관련된 식별 번호는 3714 이다.
기대 수명 (208) 은 컴포넌트의 기대 수명을 지칭한다. 이 예에서, 정전척의 기대 수명은 1000RF 분이다.
사용 데이터 (210) 는 컴포넌트의 사용 이력을 지칭한다. 이 예에서, 정전척에 대한 1000RF 분 기대 수명 중에서 400 이 이미 소모되었다.
마지막 세정 데이터 (212) 는 컴포넌트가 세정되거나 또는 유지 보수된 마지막 시간을 지칭한다. 이 예에서, 정전척은 2006년 1월 1일 마지막으로 세정되었다.
세정 기술 (214) 은 컴포넌트에 대한 세정을 수행하는데 사용된 방법을 지칭한다. 이 예에서, 정전척은 플라즈마 세정 기술을 이용하여 세정되었다.
툴 위치 (216) 는 컴포넌트의 위치를 지칭한다. 이 예에서, 정전척은 TOOL01 에 현재 위치된다.
유사하게, 테이블 (230) 이 명칭 (232) 및 컴포넌트 식별 (234) 의 복수의 필드를 포함할 수도 있지만, 이에 한정되지 않는다. 명칭 (232) 은 컴포넌트의 명칭을 지칭할 수도 있다. 컴포넌트 식별 (234) 은 컴포넌트와 관련된 식별 번호를 지칭한다. 일 예에서, 테이블 (202) 의 일 컴포넌트는 3714 의 컴포넌트 식별을 갖는 정전척이다. 다른 예에서, 테이블 (202) 에서의 다른 컴포넌트는 5912 의 컴포넌트 식별을 갖는 샤워헤드이다.
테이블 (250) 은, 명칭 (252), 툴 식별 (254), 및 위치 (256) 의 복수의 필드를 포함할 수도 있지만, 이에 한정되지 않는다. 명칭 (252) 은 툴의 명칭을 지칭한다. 툴 식별 (254) 은 툴과 관련된 식별 번호를 지칭한다. 위치 (256) 는 툴을 하우징하는 장소를 지칭한다. 일 예에서, TOOL01 은 45612 의 식별 번호를 갖고, 프레몬트에 위치된다. 다른 예에서, TOOL02 은 34212 의 식별 번호를 갖고, 보스톤에 위치된다.
테이블이 관계형 데이터베이스의 일부이기 때문에, 3 개의 테이블은 2 개 이상의 테이블을 연결하는 키들을 공유할 수도 있다. 일 예에서, 테이블 (202) 은 컴포넌트 식별 (206) 및 컴포넌트 식별 (234) 을 통해서 테이블 (230) 에 관련될 수도 있다. 테이블 (202 및 250) 은 툴 위치 (216) 및 명칭 (252) 을 통해서 서로 관련될 수도 있다.
일 실시형태에서, 테이블들 각각 (예를 들어, 202, 230, 및 250) 은 중앙 데이터베이스에 상주할 수도 있다. 중앙 데이터베이스에 상주함으로써, 컴포넌트에 관한 데이터는 툴들에 걸쳐서 공유될 수도 있다. 그 결과, 다양한 컴포넌트들에 관한 데이터는 다양한 툴들과 중앙 데이터베이스 사이에서 용이하게 업로딩 및 다운로딩될 수도 있다.
일 실시형태에서, 테이블의 일부는 툴 데이터베이스에 상주할 수도 있다. 일 예에서, 정전척 3714 가 현재 TOOL01 에 상주한다. 또한, 중앙 데이터베이스에 저장될 수도 있는, 정전척에 관한 데이터는 로컬 툴 데이터베이스에 다운로딩될 수도 있다. 따라서, TOOL01 의 정전척 및 다른 컴포넌트에 관련된 테이블은 TOOL01 에 다운로딩될 수도 있다. 로컬 데이터베이스를 가짐으로써, 로컬 툴 데이터베이스가 네트워크에 연결되어있지 않더라도, TOOL01 은 다양한 컴포넌트에 대한 분석을 수행할 수 있을 수도 있다. 또한, 로컬 툴 데이터베이스는 네트워크에 연결되지어 있지 않을 수 있더라도, 다양한 컴포넌트들에 대한 변화는 수집 및 업데이트될 수도 있다. 로컬 툴 데이터베이스가 오프라인인 경우, 툴이 네트워크에 재-연결될 때 이 로컬 툴 데이터베이스는 중앙 데이터베이스와 동기화할 수도 있다.
그러나, 도 2 는 데이터베이스를 구현하는 하나의 방법의 간단한 예이다. 다른 더욱 정교한 방법이 사용될 수도 있다. 또한, 앞서 설명된 테이블 및 데이터 필드는, 어떻게 데이터베이스가 구성될 수도 있는지의 예 및 수집될 수도 있는 데이터 유형이다. 전술한 목록 및 설명은 본 발명을 제한하도록 의도되지 않는다.
동적 컴포넌트-추적 시스템은 수많은 기회를 제공할 수도 있다. 예를 들어, 더 많은 신뢰를 통해서 컴포넌트 교체가 수행될 수도 있다. 또한, 수집된 데이터는 곧 다가올 단일 액티비티를 예측하는데 사용될 수도 있다. 또한, 복수-부품 스케줄링은 데일리 오퍼레이션에 대한 혼란을 최소화하도록 조정될 수도 있다.
도 3 내지 도 6 은, 일 실시형태에서, 동적 컴포넌트-추적 시스템을 통해서 이용가능하도록 이루어진 상이한 기회의 예들을 도시하는 간단한 플로우차트이다.
도 3 은, 일 실시형태에서, 어떻게 동적 컴포넌트-추적 시스템이 컴포넌트 교체와 통합될 수 있는지를 도시하는 간단한 플로우차트를 나타낸다. 예를 들어, 정전척이 교체되는 상황을 고려한다. 제 1 단계 (302) 에서, 컴포넌트 (즉, 정전척) 가 교체되고 있다. 일 실시형태에서, 컴포넌트에 대한 분석이 수행되기 전에, 컴포넌트가 설치될 수도 있다. 다른 실시형태에서, 컴포넌트의 실제 설치는, 분석이 수행된 후에 수행될 수도 있다.
다음 단계 (304) 에서, 컴포넌트에 관한 데이터 (예를 들어, 식별 데이터) 는 툴 데이터베이스로 입력될 수도 있다. 일 실시형태에서, 툴은 데이터 입력을 가능하게 하는 사용자-인터페이스를 포함할 수도 있다. 다음 단계 (306) 에서, 로컬 툴 데이터베이스는 중앙 데이터베이스와 동기화된다. 일 실시형태에서, 중앙 데이터베이스에 저장된 컴포넌트에 관한 데이터는 로컬 툴 데이터베이스에 동적으로 다운로딩될 수도 있다. 다음으로, 로컬 툴 데이터베이스가 오프라인이고 중앙 데이터베이스에 연결되지 않은 경우, 사용자가 이용가능한 컴포넌트에 관한 적절한 정보를 가지고 있지 않을 수도 있기 때문에, 2 개의 데이터베이스들이 툴에 대한 부정적인 영향을 최소화하도록 동기화될 때까지, 컴포넌트를 교체하는 프로세스는 정지될 수도 있다. 일 실시형태에서, 사용자는 다운 시간이 연장되는 것을 예방하기 위해 컴포넌트 정보를 수동으로 입력할 수도 있다. 수동으로 -입력된 정보는, 툴이 중앙 데이터베이스에 재연결할 때, 중앙 데이터베이스와 동기화될 수도 있다.
다음 단계 (308) 에서, 이 방법은 컴포넌트 교체가 수용가능한지의 여부를 결정할 수도 있다. 일 실시형태에서, 컴포넌트가 로컬 툴에 수용가능한지의 여부를 결정하도록 규칙-기반 분석을 수행하기 위해 중앙 데이터베이스를 인에이블할 수도 있는 지능을 중앙 데이터베이스가 포함할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 로컬 툴 데이터베이스는 규칙-기반 분석을 수행할 수도 있다. 본 명세서에 설명된 바와 같이, 규칙-기반 분석은 일 세트의 사전정의된 기준에 기초할 수도 있는 분석을 지칭한다. 일 실시형태에서, 이 기준은 한 명 이상의 전문가에 의해 설정될 수도 있다. 또한, 다른 실시형태에서, 기준은 로컬 툴의 한 명 이상의 사용자에 의해 확립될 수도 있다.
일 예에서, 4 퍼센트 미만의 남은 기대 수명을 갖는 컴포넌트는 에칭 프로세스 도중에 사용되지 않을 수도 있다. 이 예에서, 컴포넌트가 오직 4 퍼센트 남은 추정 수명을 갖는 경우, 데이터베이스는 다음 단계 (310) 에서 경고를 발생할 수도 있다. 그러나, 그후, 다음 단계 (312) 에서 컴포넌트가 기준을 통과하는 경우, 데이터베이스는 수용가능 메세지를 발행할 수도 있다. 컴포넌트가 수용가능하다고 판단되면, 교체를 처리할 수도 있다. 일 실시형태에서, 규칙-기반 분석 도중에 하나 이상의 세트의 기준이 충족되어야만 할 수도 있다.
동적 컴포넌트-추적 시스템을 통해서, 컴포넌트 교체는 확신을 가지고 수행될 수도 있다. 교체되는 컴포넌트로 인해 툴에 부주의하게 손상을 입히는 위험 이 현저하게 감소될 수도 있다. 또한, 컴포넌트 및 로컬 툴의 사용 이력는 오퍼레이터로 하여금 통지된 결정기를 용이하게 이용가능하게 한다. 또한, 중앙 데이터베이스 및/또는 로컬 툴 데이터베이스의 지능에 규칙-기반 분석이 설계될 수도 있기 때문에, 전문적 의견 및 지식의 레벨은 현저하게 감소될 수도 있다.
도 4 는, 일 실시형태에서, 어떻게 동적 컴포넌트-추적 시스템이 단일 액티비티를 예측하는데 이용될 수 있는지를 도시하는 간단한 플로우차트이다. TOOL01 이 다음 2 주 내에 세정될 필요가 있는 상황을 고려한다. 제 1 단계 (402) 에서, 이벤트-기반 리포트가 트리거될 수도 있다. 일 실시형태에서, 특정 이벤트/기준 (예를 들어, 마지막 세정 이후의 특정 시간 범위) 이 시작될 때, 리포트가 일 세트의 오퍼레이터에 발생되고 송신될 수도 있다. 이러한 지식을 가짐으로써, 툴의 세정은 사전에 스케줄링될 수도 있다. 다음 단계 (404) 에서, 컴포넌트 및/또는 툴에 대한 유지보수가 수행될 수도 있다. 이 예에서, TOOL01 은 세정될 필요가 있다. TOOL01 은 세정이 수행되는 것이 스케줄링될 수도 있다. 다음 단계 (406) 에서, 유지보수에 관한 데이터는 로컬 툴 데이터베이스로 입력될 수도 있다. 일 예에서, 시간 및 세정 기술은 사용자-인터페이스를 통해서 로컬 툴 데이터베이스로 입력될 수도 있다. 다음 단계 (408) 에서, 로컬 툴 데이터베이스는 중앙 데이터베이스와 동기화될 수도 있다. 일 실시형태에서, 툴이 네트워크에 연결된 경우에 자동으로 동기화가 발생할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 동기화는 오퍼레이터의 판단에 따라서 발생할 수도 있다.
동적 컴포넌트-추적 시스템을 통해, 예측이 용이하게 수행되어 오퍼레이터로 하여금 곧 다가올 유지보수 이벤트 (예를 들어, 세정) 를 스케줄링하게 할 수도 있다. 또한, 유지보수 이벤트에 관한 데이터는 빠르고 효율적인 방법으로 로컬 툴 데이터베이스 및 중앙 데이터베이스 모두에서 업데이트될 수도 있다. 이 방법은, 정보 손실을 현저하게 감소시키고, 다양한 툴들 사이에서의 분석 성능을 현저하게 증가시켰다.
도 5 는, 일 실시형태에서, 어떻게 동적 컴포넌트-추적 시스템이 복수-부품 스케줄링을 수행하는데 사용되는지를 나타내는 간단한 플로우차트이다. 예를 들어, TOOL01 의 컴포넌트가 다음 2 주 내에 교체될 필요가 있는 상황을 고려한다. 또한, TOOL01, TOOL03, 및 TOOL09 의 o-링도 또한 교체될 필요가 있다.
도 4 의 단계 (402) 와 유사하게, 제 1 단계 (502) 에서, 이벤트-기반 리포트가 트리거될 수도 있다. 일 실시형태에서, 특정 이벤트/기준이 트리거될 때, 리포트가 일 세트의 오퍼레이터에 발생 및 송신될 수도 있다. 이러한 지식을 가짐으로써, 곧 다가올 이벤트에 대해 준비하기 위해 오퍼레이터에 의한 액션이 취해질 수도 있다.
다음 단계 (504) 에서, 요청된 유지보수에 대한 준비에서 컴포넌트가 필요한 다양한 위치에 컴포넌트로 지시가 내려지고 전달될 수도 있다. 데이터를 공유하는 능력은 대량 구매를 가능하게 할 수도 있고, 이에 따라 컴포넌트 비용을 감소시킬 수도 있다. 이 예에서, 복수의 o-링이 다음 몇 주 내에 교체될 필요가 있기 때문에, 오퍼레이터로 하여금 대량 구매에 이용가능할 수도 있는 임의의 할인 혜택을 취하게 하는 대량 주문이 이루어질 수도 있다. 또한, 툴들에 걸쳐서 데 이터를 공유하는 능력은, 오퍼레이터로 하여금 컴포넌트들이 사전에 툴을 유지하는데 불필요한 지연을 예방하기 위해 필요한 다양한 위치에 컴포넌트들에 지시가 내려지고 전달하게 할 수도 있다. 이 예에서, 무겁고 및/또는 큰 컴포넌트가 사전에 그 위치로 전달되어야만 할 수도 있다.
다음 단계 (506) 에서, 노동력이 스케줄링될 수도 있다. 툴들에 걸쳐 데이터를 공유하는 능력은 오퍼레이터로 하여금 곧 다가올 요청된 유지보수 이벤트를 식별하도록 할 수도 있다. 따라서, 제한될 수도 있는 노동력이 스케줄링되어, 이에 따라, 지연되지 않고 처리될 곧 다가올 요청된 유지보수 이벤트를 허용할 수도 있다.
다음 단계 (508) 에서, 제조 설비의 오너쉽을 최대화하고 데일리 오퍼레이션에 대한 혼란을 예방하기 위해 롤링 스케줄이 구현될 수도 있다. 일 예에서, 오퍼레이터는, 3 개의 툴의 o-링이 교체되어야만 할 수도 있다는 것을 인지하지 못할 수도 있다. 3 개의 툴이 모두 동시에 파손되는 경우, 컴포넌트들이 교체될 때까지 모두가 동작불가할 수도 있기 때문에, 데일리 오퍼레이션에 대한 주요 혼란이 발생할 수도 있다. 또한, 컴포넌트가 이용가능하지 않은 경우, 컴포넌트에 지시가 내려질 수 있을 때까지 툴들은 동작불가한 상태로 유지될 수도 있다. 또한, 노동력이 이용가능하지 않은 경우, 노동력이 교체를 수행하기 위해 이용가능할 때까지, 툴들은 동작불가할 수도 있다.
다음 단계 (510) 에서, 유지보수 이벤트에 관한 데이터가 로컬 툴 데이터베이스로 입력될 수도 있다. 일 예에서, 유지보수 이벤트가 오프라인으로 수동으 로 수행되는 경우, 데이터는 로컬 툴 데이터베이스에 수동으로 입력되어야만 할 수도 있다. 다른 예에서, 유지보수 이벤트가 온라인으로 수행되는 경우, 데이터는 로컬 툴 데이터베이스로 자동으로 업데이트될 수도 있다. 다음 단계 (512) 에서, 로컬 툴 데이터베이스는 중앙 데이터베이스와 동기화할 수도 있다. 일 실시형태에서, 툴이 네트워크에 연결될 경우, 자동으로 동기화가 발생할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 동기화는 오퍼레이터의 판단에 의해 발생할 수도 있다.
단일 이벤트에 대한 예측과 유사하게, 툴들에 걸쳐 데이터를 공유하는 능력은 복수-부품 스케줄링에 대한 예측이 용이하게 수행되도록 허용하여 오퍼레이터로 하여금 곧 다가올 일련의 유지보수 이벤트를 스케줄링하게 한다. 또한, 컴포넌트 및 노동력이 사전에 요청되어 리소스가 이용가능하지 않게 되는 위험을 최소화하고 데일리 오퍼레이션에 대한 불필요한 혼란을 예방할 수도 있다. 또한, 유지보수 이벤트에 관한 데이터는 로컬 툴 데이터베이스 및 중앙 데이터베이스에서 효과적으로 업데이트될 수도 있다.
도 6 은, 일 실시형태에서, 어떻게 동적 컴포넌트-추적 시스템이 규칙-기반 유지보수를 구현하는데 사용되는지를 나타내는 간단한 플로우차트이다. 제 1 단계 (602) 에서, 오퍼레이터는 로컬 툴 데이터베이스에서 컴포넌트 및/또는 툴을 유지 및/또는 설치하는 일 세트의 규칙을 지정할 수도 있다. 다음 단계 (604) 에서, 이 규칙은 중앙 데이터베이스로 보급될 수도 있고, 차례로, 그 일 세트의 규칙을 다른 툴 데이터베이스에 보급할 수도 있다. 다음 단계 (606) 에서, 규칙 은, 컴포넌트의 위치에 관계없이, 그 컴포넌트에 대한 이벤트시에 균일하게 시행될 수도 있다.
예를 들어, TOOL01 에서의 컴포넌트가 손상되고, 기대 수명이 1000RF 분에서 600RF 분으로 감소된 상황을 고려한다. 오퍼레이터는 로컬 툴 데이터베이스에서 컴포넌트에 대한 규칙을 지정할 수도 있다. 로컬 툴 데이터베이스는 중앙 데이터베이스로 보급될 수도 있다. 2 달 후에, 다른 오퍼레이터는 다른 툴 (예를 들어, TOOL02) 에 손상된 컴포넌트를 설치할 수도 있다고 가정한다. 그 손상된 컴포넌트를 설치 및/또는 활용하기 전에, (TOOL02 에 대한) 로컬 툴 데이터베이스는 중앙 데이터베이스와 동기화될 수도 있다. 동기화시에, TOOL01 에 확립된 규칙은 TOOL02 에 대한 로컬 툴 데이터베이스에 다운로딩될 수도 있다. 그 결과, 규칙이 TOOL01 에서 처음 생성되었다고 해도, 그 규칙이 TOOL02 에서 국부적으로 시행될 수도 있다. 보급에 의해, 규칙은 다양한 데이터베이스들 사이에서 지식을 공유할 수 있는 네트워크를 통해서 빠르고 균일하게 공유될 수도 있다.
일 실시형태에서, 규칙은 상이한 기준에 따라서 확립될 수도 있다. 예를 들어, 손상된 컴포넌트가 산화공정 도중에 사용되는 경우 600RF 분의 추정 수명을 가질 수도 있는 경우를 고려한다. 그러나, 손상된 컴포넌트는, 그 컴포넌트가 에칭 공정 도중에 사용되는 경우, 400RF 분의 추정 수명만을 가질 수도 있다.
규칙의 세분화가 오퍼레이터에 의존한다. 규칙이 사전정의될 수도 있기 때문에, 로컬 툴에서 오퍼레이터에 의해 요청된 스킬 및 지식이 현저하게 감소될 수도 있다.
본 발명의 실시형태로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 동적 컴포넌트-추적 시스템은 데이터를 수집하고 보급하는 더욱 포괄적인 방법을 제공한다. 이제, 데이터는 최소의 시간차 및 최소의 인간에 의한 실수를 갖는 제조 설비를 통해서 효과적이고 효율적으로 공유될 수도 있다. 또한, 사전계획이 더욱 나은 리소스 관리를 가능하게 할 수도 있기 때문에, 비용 및 혼란이 현저하게 감소될 수도 있다. 그 결과, 컴포넌트 추적은 더욱 지식을 갖춘 노동인원을 요구하지 않고 더욱 정교한 기초에 따라 수행될 수도 있다.
본 발명이 몇몇 실시형태들과 관련하여 설명되지만, 본 발명의 범위에 포함된 변형, 치환, 및 동등물이 있다. 또한, 제목, 개요, 및 요약서가 편의를 위해 본 명세서에 제공되는 것이며, 본 명세서의 청구범위를 파악하는데 이용되어서는 안된다. 또한, 본 출원에서, 일 세트의 "n" 은 그 세트에서 하나 이상의 "n" 을 지칭한다. 또한, 본 발명의 방법 및 장치를 구현하는 수많은 대안적인 방법이 있다는 것이 명시된다. 따라서, 이하 첨부된 청구범위는 본 발명의 진정한 사상 및 범위에 포함된 이러한 변형, 치환 및 동등물을 모두 포함하는 것으로서 해석되도록 의도된다.

Claims (18)

  1. 복수의 툴들에 걸친 플라즈마 프로세싱 툴 컴포넌트 관리를 용이하게 하기 위한 컴퓨터-구현 방법으로서,
    상기 복수의 툴들 중 제 1 툴과 관련된 제 1 데이터베이스에서, 제 1 복수의 컴포넌트들에 대한 플라즈마 프로세싱 시스템 컴포넌트 식별 및 플라즈마 프로세싱 시스템 사용 이력을 포함하는, 상기 제 1 복수의 컴포넌트들에 대한 제 1 컴포넌트 데이터를 수신하는 단계;
    상기 복수의 툴들 중 상기 제 1 툴과는 상이한 제 2 툴과 관련된 제 2 데이터베이스에서, 제 2 복수의 컴포넌트들에 대한 플라즈마 프로세싱 시스템 컴포넌트 식별 및 플라즈마 프로세싱 시스템 사용 이력을 포함하는, 상기 제 2 복수의 컴포넌트들에 대한 제 2 컴포넌트 데이터를 수신하는 단계;
    상기 제 1 컴포넌트 데이터 및 상기 제 2 컴포넌트 데이터를 제 3 데이터베이스와 동기화하는 단계로서, 상기 동기화는 상기 제 1 데이터베이스 및 상기 제 2 데이터베이스 중 적어도 하나와 상기 제 3 데이터베이스 사이에서 상기 제 1 복수의 컴포넌트들 및 상기 제 2 복수의 컴포넌트들 중 적어도 하나의 플라즈마 프로세싱 시스템 컴포넌트의 사용을 조절하는 일 세트의 규칙들을 동기화하는 것을 포함하고, 상기 제 3 데이터베이스는 상기 복수의 툴들과 데이터를 교환하도록 커플링되는, 상기 동기화하는 단계; 및
    상기 복수의 툴들 중 하나의 툴에서 소정의 컴포넌트에 대한 교체, 분석, 및 유지보수 (maintenance) 중 하나를 수행하기 전에, 적어도 상기 제 3 데이터베이스에서 상기 일 세트의 규칙들 및 사용 이력 데이터를 이용하여, 상기 소정의 컴포넌트에 관한 정보를 획득하는 단계를 포함하는, 컴퓨터-구현 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 정보를 획득하는 단계는, 상기 소정의 컴포넌트에 대한 상기 유지보수에 관한 추천 (recommendation) 을 획득하는 단계를 포함하는, 컴퓨터-구현 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 일 세트의 규칙들은 상기 복수의 툴들 중 상기 하나의 툴에 의해 실행되는 제 1 어플리케이션에 대한 제 1 사용 규칙을 지정하고,
    상기 일 세트의 규칙들은 상기 복수의 툴들 중 상기 하나의 툴에 의해 실행되는 제 2 어플리케이션에 대한 제 2 사용 규칙을 지정하며,
    상기 제 1 어플리케이션은 에칭, 증착 및 세정 중 하나이고,
    상기 제 2 어플리케이션은 상기 에칭, 상기 증착 및 상기 세정 중 다른 하나인, 컴퓨터-구현 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 소정의 컴포넌트와 유사한 컴포넌트들에 관련되는 상기 제 3 데이터베이스에서의 사용 데이터에 대한 패턴 인식을 수행하는 단계를 더 포함하는, 컴퓨터-구현 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 동기화는, 상기 제 1 툴이 온라인일 때 자동으로 발생하는, 컴퓨터-구현 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 일 세트의 규칙들은 제 1 스킬 레벨을 갖는 제 1 사용자에 대한 제 1 유지보수 규칙을 지정하고,
    상기 일 세트의 규칙들은 제 2 스킬 레벨을 갖는 제 2 사용자에 대한 제 2 유지보수 규칙을 지정하는, 컴퓨터-구현 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 데이터베이스에서 상기 일 세트의 규칙들 및 데이터를 이용하여 상기 복수의 툴들에서의 컴포넌트들에 대한 유지보수 예측을 수행하는 단계를 더 포함하는, 컴퓨터-구현 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 데이터베이스에서 상기 일 세트의 규칙들 및 데이터를 이용하여 상기 복수의 툴들에서의 컴포넌트들에 대한 유지보수 스케줄링을 수행하는 단계를 더 포함하는, 컴퓨터-구현 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 데이터베이스에서 상기 일 세트의 규칙들 및 데이터를 이용하여 상기 복수의 툴들에서의 컴포넌트들에 대한 교체 스케줄링을 수행하는 단계를 더 포함하는, 컴퓨터-구현 방법.
  10. 크로스-툴 데이터베이스를 이용하여 복수의 툴들에 걸친 플라즈마 프로세싱 툴 컴포넌트 관리를 용이하게 하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체로서,
    상기 복수의 툴들 중 제 1 툴과 관련된 제 1 데이터베이스로부터, 제 1 복수의 컴포넌트들에 대한 플라즈마 프로세싱 시스템 컴포넌트 식별 및 플라즈마 프로세싱 시스템 사용 이력을 포함하는, 상기 제 1 복수의 컴포넌트들에 대한 제 1 컴포넌트 데이터를 수신하는 컴퓨터 판독가능 코드;
    상기 복수의 툴들 중 상기 제 1 툴과는 상이한 제 2 툴과 관련된 제 2 데이터베이스에서, 제 2 복수의 컴포넌트들에 대한 플라즈마 프로세싱 시스템 컴포넌트 식별 및 플라즈마 프로세싱 시스템 사용 이력을 포함하는, 상기 제 2 복수의 컴포넌트들에 대한 제 2 컴포넌트 데이터를 수신하는 컴퓨터 판독가능 코드;
    상기 제 1 컴포넌트 데이터 및 상기 제 2 컴포넌트 데이터를 상기 크로스-툴 데이터베이스와 동기화하는 컴퓨터 판독가능 코드로서, 상기 동기화는 상기 제 1 데이터베이스 및 상기 제 2 데이터베이스 중 적어도 하나와 상기 크로스-툴 데이터베이스 사이에서 상기 제 1 복수의 컴포넌트들 및 상기 제 2 복수의 컴포넌트들 중 적어도 하나의 플라즈마 프로세싱 시스템 컴포넌트의 사용을 조절하는 일 세트의 규칙들을 동기화하는 것을 포함하고, 상기 크로스-툴 데이터베이스는 상기 복수의 툴들에서 구현된 소프트웨어 에이전트들과 데이터를 교환하도록 커플링되는, 상기 동기화하는 컴퓨터 판독가능 코드; 및
    상기 복수의 툴들 중 하나의 툴에서 소정의 컴포넌트에 대한 교체, 분석, 및 유지보수 중 하나를 수행하기 전에, 적어도 상기 크로스-툴 데이터베이스에서 상기 일 세트의 규칙들 및 사용 이력 데이터를 이용하여, 상기 소정의 컴포넌트에 관한 정보를 상기 소프트웨어 에이전트들 중 하나의 소프트웨어 에이전트에 제공하는 컴퓨터 판독가능 코드를 포함하는, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 정보를 제공하는 것은, 상기 소정의 컴포넌트의 상기 유지보수에 관한 추천 (recommendation) 을 획득하는 것을 포함하는, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 일 세트의 규칙들은 상기 복수의 툴들 중 상기 하나의 툴에 의해 실행되는 제 1 어플리케이션에 대한 제 1 사용 규칙을 지정하고,
    상기 일 세트의 규칙들은 상기 복수의 툴들 중 상기 하나의 툴에 의해 실행되는 제 2 어플리케이션에 대한 제 2 사용 규칙을 지정하며,
    상기 제 1 어플리케이션은 에칭, 증착 및 세정 중 하나이고,
    상기 제 2 어플리케이션은 상기 에칭, 상기 증착 및 상기 세정 중 다른 하나인, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 소정의 컴포넌트와 유사한 컴포넌트들에 관련되는 상기 크로스-툴 데이터베이스에서의 사용 데이터에 대한 패턴 인식을 수행하는 컴퓨터 판독가능 코드를 더 포함하는, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 동기화는, 상기 제 1 툴이 온라인일 때 자동으로 발생하는, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  15. 제 10 항에 있어서,
    상기 일 세트의 규칙들은 제 1 스킬 레벨을 갖는 제 1 사용자에 대한 제 1 유지보수 규칙을 지정하고,
    상기 일 세트의 규칙들은 제 2 스킬 레벨을 갖는 제 2 사용자에 대한 제 2 유지보수 규칙을 지정하는, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 크로스-툴 데이터베이스에서 상기 일 세트의 규칙들 및 데이터를 이용하여 상기 복수의 툴들에서의 컴포넌트들에 대한 유지보수 예측을 수행하는 컴퓨터 판독가능 코드를 더 포함하는, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 크로스-툴 데이터베이스에서 상기 일 세트의 규칙들 및 데이터를 이용하여 상기 복수의 툴들에서의 컴포넌트들에 대한 유지보수 스케줄링을 수행하는 컴퓨터 판독가능 코드를 더 포함하는, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  18. 제 10 항에 있어서,
    상기 크로스-툴 데이터베이스에서 상기 일 세트의 규칙들 및 데이터를 이용하여 상기 복수의 툴들에서의 컴포넌트들에 대한 교체 스케줄링을 수행하는 컴퓨터 판독가능 코드를 더 포함하는, 컴퓨터 판독가능 코드를 갖는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
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