JP5514893B2 - ゲートバルブのシール構造 - Google Patents
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Description
図1の本ゲートバルブGVは、シート状部材Wを挟み込んでシールするゲートバルブであって、押付け面1を有する押付け部材2と、押付け面1に対向する受け面3を有する受け部材4と、受け面3に一端を開口したゲート5と、押付け面1と受け面3との間に介在し、ゲート5の開口端周囲の隙間をシールする環状の第一シール材6と、押付け面1を受け面3に押し付けた状態(図2参照)で見て第一シール材6に隣接する第二シール材7と、押付け面1を受け面3に押し付けた時に、その押付け面1、受け面3、第一及び第二シール材6、7、並びにゲート5に通されたシート状部材Wによって囲まれる空間8(図2及び図3参照)と、この空間8に連通する差動排気通路9と、を有している。そして、前記空間8は、差動排気通路9を通じて排気されることにより、シート状部材W周囲の微小隙間G(図7参照)を差動排気でシールする差動排気シールの差圧室になる。
押付け部材2の押付け面1と受け部材4の受け面3は、いずれも、図1のように、シート状部材Wの部材面W1又はW2と概平行な平面1A、3A、及びそのシート状部材Wの部材面W1又はW2に対して傾斜した平面1B、3Bを有し、かつ、それぞれの概平行な平面1A、3Aどうしが互いに対向し、それぞれの傾斜した平面1B、3Bどうしが互いに対向するようになっている。
ゲート5は、受け部材4の後面から受け面3の傾斜した平面3Bに向かって水平に穿設した孔からなり、低圧室(例えば高真空室)と高圧室(例えば大気圧室)等のように圧力差のある二つの室を結ぶ通路として機能する。一方の室に位置するシート状部材Wは、このゲート5を通過することにより他方の室へ進むことができる。他方の室から一方の室へ進む場合も同様である。また、受け面3に開口しているゲート5の一端は、受け面3の概平行な平面3Aに対して段差無くフラットに連続するように形成してある。
第一シール材6は、先端が曲面になっている市販のOリング(図4参照)からなり、先に説明したシール溝10に嵌め込むことで、押付け面1の傾斜した平面1Bに取り付けてある。これにより、第一シール材6はゲート5に通されたシート状部材Wの部材面W1又はW2に対して傾斜するように設けている。そして、本ゲートバルブGVでは、図2のように押付け面1を受け面3に押し付けた時、そのように傾斜している第一シール材6の上部がシート状部材Wの一方の部材面W1に当接するように構成してある。なお、前記シール溝10にシール材を塗布する方法で第一シール材6を成形することもできる。
第二シール材7は、ゴム等のような弾性部材からなり、先に説明したシール溝11に嵌め込むことで、第一シール材6に隣接して同じ押付け面1の概平行な平面1Aに取り付けてある。これにより、第二シール材7はシート状部材Wの部材面W1又はW2に対して概平行になるように設けている。そして、本ゲートバルブGVでは、図2のように押付け面1を受け面3に押し付けた時、そのように概平行になっている第二シール材7もシート状部材Wの一方の部材面W1に当接するように構成してある。なお、前記シール溝11にシール材を塗布する方法で第二シール材7を成形することもできる。
差動排気通路9は、図1、図5に示したように、受け部材4に形成した排気溝9Aと排気孔9Bにより構成されている。
次に、上記の如く構成された図1のゲートバルブGVの動作について説明する。
図2のようにゲート5にシート状部材Wを通した状態で押付け面1を受け面3に押し付けると、押付け面1と受け面3と第一及び第二シール材6、7とシート状部材Wとにより囲まれる図3の空間8ができ、この空間8に差動排気通路9が連通し、図示しない排気ポンプが作動する。
図8は第二シール材7の他の実施形態を示したものである。同図の第二シール材7は第一シール材6より少し大径の市販のOリングを第一シール材6の外側に配置した構造になっている。この構造の第二シール材7でも図3の空間8と同様の空間を形成することができ、かかる空間が差動排気通路9によって排気されることにより差動排気シールの差圧室として機能するので、図1のゲートバルブGVと同様にコンパクトな機器構成でシール性能が向上する。尚、図示は省略するが、第一シール材6より少し小径の市販のOリングを第三シール材として第一シール材6の内側に配置する構成でも、図3の空間8と同様の空間を形成することができる。
1A 押付け面の概平行な平面
1B 押付け面の傾斜した平面
2 押付け部材
3 受け面
3A 受け面の概平行な平面
3B 受け面の傾斜した平面
3C 境界部
4 受け部材
5 ゲート
6 第一シール材
7 第二シール材
8 空間(差圧室)
9 差動排気通路
10、11 シール溝
12 昇降軸
13 シール材間隙
GV ゲートバルブ
G シート状部材の幅方向両側の微小隙間
W シート状部材
W1 シート状部材の一方の部材面
W2 シート状部材の他方の部材面
Claims (3)
- シート状部材を挟み込んでシールするゲートバルブのシール構造であって、
押付け面を有する押付け部材と、
前記押付け面に対向する受け面を有する受け部材と、
前記受け面に一端を開口したゲートと、
前記受け面と押付け面との間に介在し、前記ゲートの開口端周囲の隙間をシールする環状の第一シール材と、
前記押付け面を受け面に押し付けた状態で見て前記第一シール材に隣接する第二シール材と、
前記押付け面を前記受け面に押し付けた時に、その押付け面、受け面、前記第一及び第二シール材、並びに前記ゲートに通されたシート状部材によって囲まれる空間と、
前記空間に連通する差動排気通路と、を有し、
前記押付け面と受け面は、ゲートに通されたシート状部材の部材面と概平行な面、及びその部材面に対して傾斜した面を有し、かつ、それぞれの概平行な面どうしが対向し、それぞれの傾斜した面どうしが対向するようになっていて、
前記第一シール材は、押付け面又は受け面の傾斜した面に取り付けてあり、
前記第二シール材は、押付け面又は受け面の概平行な面に取り付けてあり、
前記差動排気通路は、
前記ゲートに通されたシート状部材の一方の部材面又は他方の部材面と対向する前記空間内の前記押し付け面又は前記受け面に形成した排気溝と、
前記排気溝に一端を開口した排気孔と、からなり、
前記空間は、前記差動排気通路を通じて排気されることにより、シート状部材周囲の微小隙間を差動排気でシールする差動排気シールの差圧室になること
を特徴とするゲートバルブのシール構造。 - 前記傾斜した面は平面であること
を特徴とする請求項1に記載のゲートバルブのシール構造。 - 前記第一シール材は受け面に取り付け、前記第二シール材はその第一シール材に隣接して同じ受け面に取り付けてあること
を特徴とする請求項1に記載のゲートバルブのシール構造。
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