JP5511597B2 - 配線回路基板の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、厚み25μmのステンレスからなる金属支持層を用意し(図2(a)参照)、次いで、金属支持層の表面に、感光性ポリアミック酸樹脂のワニスを塗布し、乾燥後、露光および現像し、さらに加熱硬化することにより、厚み5μmのポリイミドからなるベース絶縁層を、上記したパターンで形成した(図2(b)参照)。
ベース絶縁層を粗化処理しなかった以外は、実施例1と同様にして、導体パターンの良否を検査し、回路付サスペンション基板を得た。得られた検査画像(図6参照)の画質を下記表1に示す。
入射光の波長を620nmに変更した以外は、実施例1と同様にして、導体パターンの良否を検査し、回路付サスペンション基板を得た。得られた検査画像(図7参照)の画質を下記表1に示す。
入射光を、傾斜光を含まないように(すなわち、光軸に沿う光のみ)照射した以外は、実施例1と同様にして、導体パターンの良否を検査し、回路付サスペンション基板を得た。得られた検査画像(図8参照)の画質を下記表1に示す。
入射光を、その光軸に対して0°超過50°以下の角度を形成する傾斜光を含むように集光させながら照射した以外は、実施例1と同様にして、導体パターンの良否を検査し、回路付サスペンション基板を得た。得られた検査画像(図9参照)の画質を下記表1に示す。
実施例および各比較例で得られた検査画像(図5〜図9参照)を観察し、導体パターンおよび欠陥部が鮮明に撮影されているか評価した。
○:導体パターンまたは欠陥部が鮮明であった。
△:導体パターンまたは欠陥部がやや不鮮明であった。
×:導体パターンまたは欠陥部がぼやけて判別しにくかった。
2 金属支持層
3 ベース絶縁層
4 導体パターン
21 検査装置
22 光源ユニット
23 カメラユニット
30 光軸
31 入射光
32 反射光
θ 角度
Claims (3)
- 金属支持層を準備する工程と、
前記金属支持層の上に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の表面を粗化する工程と、
前記絶縁層の上に導体パターンを形成する工程と、
前記絶縁層および前記導体パターンに入射する入射光を発光する発光部と、前記入射光が反射された反射光を受光する受光部とを備える検査装置を用いて、前記導体パターンの良否を検査する工程と
を備え、
前記入射光は、波長が435〜500nmであり、その光軸に対して0°超過30°以下の角度を形成するように傾斜する傾斜光を含んでいることを特徴とする、配線回路基板の製造方法。 - 算術平均粗さRa(JIS B 0601−1994)が0.15〜1μmとなるように、前記絶縁層の表面を粗化することを特徴とする、請求項1に記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記絶縁層に対する前記入射光の透過率が、30%以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の配線回路基板の製造方法。
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