JP2001304817A - 照明装置 - Google Patents
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- JP2001304817A JP2001304817A JP2000120508A JP2000120508A JP2001304817A JP 2001304817 A JP2001304817 A JP 2001304817A JP 2000120508 A JP2000120508 A JP 2000120508A JP 2000120508 A JP2000120508 A JP 2000120508A JP 2001304817 A JP2001304817 A JP 2001304817A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 種々の反射特性をもつマークを精度よく検出
できるように照明することが可能な照明装置を提供す
る。 【解決手段】 複数の照明光源１２により中央部に所定
形状の通過穴１５ａを有する拡散板１５を介して基板１
６上の基板マーク１６ａが照明される。基板マークは通
過穴を通過し垂直に入射する直射光で照明されるととも
に、斜めに入射する拡散光でも照明されるので、種々の
反射特性をもつ基板マークを効果的に照明でき、マーク
の認識精度を高めることができる。また、基板マークの
反射特性に合わせて複数の光源を選択的に点灯させるこ
とができるので、マークの認識精度を更に高めることが
できる。
できるように照明することが可能な照明装置を提供す
る。 【解決手段】 複数の照明光源１２により中央部に所定
形状の通過穴１５ａを有する拡散板１５を介して基板１
６上の基板マーク１６ａが照明される。基板マークは通
過穴を通過し垂直に入射する直射光で照明されるととも
に、斜めに入射する拡散光でも照明されるので、種々の
反射特性をもつ基板マークを効果的に照明でき、マーク
の認識精度を高めることができる。また、基板マークの
反射特性に合わせて複数の光源を選択的に点灯させるこ
とができるので、マークの認識精度を更に高めることが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、照明装置、更に詳
細には、電子部品が搭載される基板上に設けた位置認識
マークを照明する照明装置に関する。
細には、電子部品が搭載される基板上に設けた位置認識
マークを照明する照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品を回路基板上の所定位置に実装
する部品実装装置では、搭載位置での基板の位置が基準
位置からずれていると、正確な部品実装ができないの
で、基板上に位置認識マークを設け、この位置認識マー
クを撮像して画像解析し、このマークを認識して基板の
位置決めを行なっている。
する部品実装装置では、搭載位置での基板の位置が基準
位置からずれていると、正確な部品実装ができないの
で、基板上に位置認識マークを設け、この位置認識マー
クを撮像して画像解析し、このマークを認識して基板の
位置決めを行なっている。
【０００３】この基板マークを認識する場合、反射率の
高いきれいな面の銅メッキマークあるいは金メッキマー
クなど、あるいはマーク表面がハンダの凹凸のあるも
の、あるいは銅メッキでも乱反射性のものなど、種々の
反射特性をもったマークが存在し、これらを精度よく認
識する必要がある。この場合、反射率の高いマークを見
るにはマークを直接光で照明しその反射光を同軸で受光
する同軸落射照明方式がよく用いられ、また乱反射性の
表面をもつマークを検出するには、拡散光で照明してそ
の反射光を受光するのがよいと言われている。
高いきれいな面の銅メッキマークあるいは金メッキマー
クなど、あるいはマーク表面がハンダの凹凸のあるも
の、あるいは銅メッキでも乱反射性のものなど、種々の
反射特性をもったマークが存在し、これらを精度よく認
識する必要がある。この場合、反射率の高いマークを見
るにはマークを直接光で照明しその反射光を同軸で受光
する同軸落射照明方式がよく用いられ、また乱反射性の
表面をもつマークを検出するには、拡散光で照明してそ
の反射光を受光するのがよいと言われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、各種基板を生
産する場合、種々の反射特性をもつマークも認識する必
要があり、どちらかの方式だけでは、マーク認識率が悪
く、基板を正確に位置決めできない、という欠点があっ
た。
産する場合、種々の反射特性をもつマークも認識する必
要があり、どちらかの方式だけでは、マーク認識率が悪
く、基板を正確に位置決めできない、という欠点があっ
た。
【０００５】また、マークを照明する光源としては、発
光輝度の経年変化の少ないＬＥＤ（発光ダイオード）が
用いられているが、照明の均一さを得るために視野角の
広いものが望ましく、コントラストの低いマークを見る
ためには明るいものが必要である。しかしながら、明る
く視野角の広いＬＥＤの入手が困難である、という問題
があった。
光輝度の経年変化の少ないＬＥＤ（発光ダイオード）が
用いられているが、照明の均一さを得るために視野角の
広いものが望ましく、コントラストの低いマークを見る
ためには明るいものが必要である。しかしながら、明る
く視野角の広いＬＥＤの入手が困難である、という問題
があった。
【０００６】従って、本発明は、このような問題点を解
決するためになされたもので、種々の反射特性をもつマ
ークを精度よく検出できるように照明することが可能な
照明装置を提供することをその課題とする。
決するためになされたもので、種々の反射特性をもつマ
ークを精度よく検出できるように照明することが可能な
照明装置を提供することをその課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、基板上のマークを照明する照明装置であ
って、中央部に所定形状の穴を有し、基板上部に配置さ
れる第１の拡散板と、複数の照明光源を格子状に配置し
た光源ユニットと、光源ユニットからの照明光を拡散さ
せる第２の拡散板と、第２の拡散板を通過した照明光を
反射させ基板にほぼ垂直に入射させるハーフミラーとを
設け、前記第１の拡散板の穴を通過する照明光並びに第
１の拡散板による拡散光でマークを照明するとともに、
マークからの反射光を前記ハーフミラーを介して受光で
きるようにした構成を採用している。
決するために、基板上のマークを照明する照明装置であ
って、中央部に所定形状の穴を有し、基板上部に配置さ
れる第１の拡散板と、複数の照明光源を格子状に配置し
た光源ユニットと、光源ユニットからの照明光を拡散さ
せる第２の拡散板と、第２の拡散板を通過した照明光を
反射させ基板にほぼ垂直に入射させるハーフミラーとを
設け、前記第１の拡散板の穴を通過する照明光並びに第
１の拡散板による拡散光でマークを照明するとともに、
マークからの反射光を前記ハーフミラーを介して受光で
きるようにした構成を採用している。
【０００８】このような構成では、基板マークは、拡散
板の穴を通過し垂直に入射する直射光で照明されるとと
もに、斜めに入射する拡散光でも照明されるので、種々
の反射特性をもつ基板マークを良好に照明でき、マーク
の認識精度を高めることができる。また、基板マークの
反射特性に合わせて複数の光源を選択的に点灯させる場
合には、マークの認識精度を更に高めることができる。
板の穴を通過し垂直に入射する直射光で照明されるとと
もに、斜めに入射する拡散光でも照明されるので、種々
の反射特性をもつ基板マークを良好に照明でき、マーク
の認識精度を高めることができる。また、基板マークの
反射特性に合わせて複数の光源を選択的に点灯させる場
合には、マークの認識精度を更に高めることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいて本発明を詳細に説明する。
づいて本発明を詳細に説明する。
【００１０】図１（Ａ）には、光源ユニット１０と照明
ユニット１１からなる照明装置が図示されており、光源
ユニット１０は、図１（Ｂ）に示すように、仮想的に９
個の領域１２ａ〜１２ｉに分割して格子状に配列した複
数の照明光源（例えば、発光ダイオード）１２を有して
いる。光源ユニット１０と照明ユニット１１間には、照
明光源１２からの照明光を拡散させ、均一な照明光を形
成するための拡散板１３が配置され、拡散板１３を通過
した照明光は照明ユニット１１の筐体開口部１１ａを通
過して４５度の角度で内部に配置されたハーフミラー１
４により下方に反射される。
ユニット１１からなる照明装置が図示されており、光源
ユニット１０は、図１（Ｂ）に示すように、仮想的に９
個の領域１２ａ〜１２ｉに分割して格子状に配列した複
数の照明光源（例えば、発光ダイオード）１２を有して
いる。光源ユニット１０と照明ユニット１１間には、照
明光源１２からの照明光を拡散させ、均一な照明光を形
成するための拡散板１３が配置され、拡散板１３を通過
した照明光は照明ユニット１１の筐体開口部１１ａを通
過して４５度の角度で内部に配置されたハーフミラー１
４により下方に反射される。
【００１１】照明ユニット１１の筐体下方部には、拡散
板１５が配置され、この拡散板１５の中央部は通過穴１
５ａとなっており、この通過穴１５ａの形状は、照明ユ
ニットの中央の領域１２ｅに配置された照明光源からの
光を通過させる形状になっている。
板１５が配置され、この拡散板１５の中央部は通過穴１
５ａとなっており、この通過穴１５ａの形状は、照明ユ
ニットの中央の領域１２ｅに配置された照明光源からの
光を通過させる形状になっている。
【００１２】照明ユニット１１の下方部には、基板マー
ク１６ａを上面に設けた基板１６が配置される。照明光
で照明されたマーク１６ａからの反射光は拡散板１５の
通過穴１５ａを通過してハーフミラー１４を透過し、照
明ユニット１１の筐体開口部１１ｂを介してレンズ１７
ａを備えた撮像カメラ（ＣＣＤカメラ）１７で受光され
る。
ク１６ａを上面に設けた基板１６が配置される。照明光
で照明されたマーク１６ａからの反射光は拡散板１５の
通過穴１５ａを通過してハーフミラー１４を透過し、照
明ユニット１１の筐体開口部１１ｂを介してレンズ１７
ａを備えた撮像カメラ（ＣＣＤカメラ）１７で受光され
る。
【００１３】光源ユニット１０、照明ユニット１１、拡
散板１３並びに撮像カメラ１７は、一体となって基板１
６の平面方向に移動でき（あるいは基板１６が移動でき
る）、基板マーク１６ａが拡散板１５の通過穴１５ａの
ほぼ中央にくるように移動できるように構成されてい
る。
散板１３並びに撮像カメラ１７は、一体となって基板１
６の平面方向に移動でき（あるいは基板１６が移動でき
る）、基板マーク１６ａが拡散板１５の通過穴１５ａの
ほぼ中央にくるように移動できるように構成されてい
る。
【００１４】このような構成において、基板１６を位置
決めないし位置合わせするときは、光源ユニット１０、
照明ユニット１１、拡散板１３並びに撮像カメラ１７を
一体的に基板１６の平面方向に移動させるか、あるいは
基板１６を照明装置の方に移動させる。基板１６には、
通常複数の基板マーク１６ａが設けられており、その一
つが照明ユニット１１の下方部のほぼ中央に位置するよ
うなところに移動したとき、光源ユニット１０の全ての
照明光源１２が点灯される。
決めないし位置合わせするときは、光源ユニット１０、
照明ユニット１１、拡散板１３並びに撮像カメラ１７を
一体的に基板１６の平面方向に移動させるか、あるいは
基板１６を照明装置の方に移動させる。基板１６には、
通常複数の基板マーク１６ａが設けられており、その一
つが照明ユニット１１の下方部のほぼ中央に位置するよ
うなところに移動したとき、光源ユニット１０の全ての
照明光源１２が点灯される。
【００１５】照明光源１２はＬＥＤ（発光ダイオード）
で構成されており、指向性の強い光を発光するが、拡散
板１３によって拡散されるので、拡散板１３を通過した
照明光は比較的均一な光束になってハーフミラー１４に
より下方に反射される。照明光源１２のうち領域１２ｅ
に位置する照明光源は、拡散板１５の通過穴１５ａを通
過して直射光としてほぼ垂直に基板マーク１６ａに入射
する。また、通過穴１５ａ以外の部分に入射する光束
は、拡散板１５を通過することにより拡散光となって、
基板マーク１６ａを斜めから照明する。
で構成されており、指向性の強い光を発光するが、拡散
板１３によって拡散されるので、拡散板１３を通過した
照明光は比較的均一な光束になってハーフミラー１４に
より下方に反射される。照明光源１２のうち領域１２ｅ
に位置する照明光源は、拡散板１５の通過穴１５ａを通
過して直射光としてほぼ垂直に基板マーク１６ａに入射
する。また、通過穴１５ａ以外の部分に入射する光束
は、拡散板１５を通過することにより拡散光となって、
基板マーク１６ａを斜めから照明する。
【００１６】このように基板マーク１６ａは、通過穴１
５ａを通過する直射光により正面から照明されるととも
に、拡散板１５を通過する拡散光により斜めから照明さ
れるので、例えば、基板マークが反射率の高いマークの
場合には、中央の通過穴１５ａを通る直射光によるマー
ク表面での反射光が撮像カメラ１７に多く到達し、マー
クをよく認識でき、一方、乱反射性の表面をもつマーク
の場合は、拡散板１５から斜めに照射される拡散光の反
射光が撮像カメラ１７に多く到達し、同様にマークを良
好に認識できるようになる。
５ａを通過する直射光により正面から照明されるととも
に、拡散板１５を通過する拡散光により斜めから照明さ
れるので、例えば、基板マークが反射率の高いマークの
場合には、中央の通過穴１５ａを通る直射光によるマー
ク表面での反射光が撮像カメラ１７に多く到達し、マー
クをよく認識でき、一方、乱反射性の表面をもつマーク
の場合は、拡散板１５から斜めに照射される拡散光の反
射光が撮像カメラ１７に多く到達し、同様にマークを良
好に認識できるようになる。
【００１７】また、視野角の狭い（指向性の強い）ＬＥ
Ｄのような光源を使用するような場合でも、拡散板１３
で一度拡散されてからハーフミラー１４で下方に反射さ
れるので、マーク全体に均一に光が当たるようになり、
基板マークの認識精度を高めることができる。
Ｄのような光源を使用するような場合でも、拡散板１３
で一度拡散されてからハーフミラー１４で下方に反射さ
れるので、マーク全体に均一に光が当たるようになり、
基板マークの認識精度を高めることができる。
【００１８】上記実施形態では、基板マーク認識時、全
ての照明光源１２が点灯されたが、基板マークが、反射
率の高いきれいな面の銅メッキの基板マーク、あるいは
金メッキの基板マークでは、認識に問題はないが、基板
上の配線パターンの保護コーティング等が、マーク自身
の反射率よりも高い反射率の場合、マーク以外の部分も
光り、マークの認識率が悪くなってしまう。
ての照明光源１２が点灯されたが、基板マークが、反射
率の高いきれいな面の銅メッキの基板マーク、あるいは
金メッキの基板マークでは、認識に問題はないが、基板
上の配線パターンの保護コーティング等が、マーク自身
の反射率よりも高い反射率の場合、マーク以外の部分も
光り、マークの認識率が悪くなってしまう。
【００１９】例えば、図２（Ａ）に示したように、マー
ク１６ａの上を半田レジストなどのコーティング材が覆
っている場合、通過穴１５ａを通る直射光でマークが照
明されると、マーク上のコーティング面２０が光るため
マーク外形が大きく見えたり、また図２（Ｃ）に示した
ように、マーク１６ａのそばまで半田レジストコーティ
ングなどある場合も同様にマーク周辺のコーティング面
２０が光り、マークとのコントラストが取り難くなる。
その時、直射光領域のＬＥＤを点灯しなかったり、点灯
しても拡散光領域のＬＥＤより暗くすることにより、直
射光のコーティング面の反射光を抑え、マークの外の外
周部が光ったり、マーク周辺の光を少なくすることがで
き、マーク外形が大きく見える現象をなくしたり、マー
クのコントラストを改善したりすることができる。
ク１６ａの上を半田レジストなどのコーティング材が覆
っている場合、通過穴１５ａを通る直射光でマークが照
明されると、マーク上のコーティング面２０が光るため
マーク外形が大きく見えたり、また図２（Ｃ）に示した
ように、マーク１６ａのそばまで半田レジストコーティ
ングなどある場合も同様にマーク周辺のコーティング面
２０が光り、マークとのコントラストが取り難くなる。
その時、直射光領域のＬＥＤを点灯しなかったり、点灯
しても拡散光領域のＬＥＤより暗くすることにより、直
射光のコーティング面の反射光を抑え、マークの外の外
周部が光ったり、マーク周辺の光を少なくすることがで
き、マーク外形が大きく見える現象をなくしたり、マー
クのコントラストを改善したりすることができる。
【００２０】そのために、本発明では、照明光源１２を
図１（Ｂ）に図示したように、例えば９個の領域１２ａ
〜１２ｉに分割し、この領域の照明光源を図３に示した
ように、制御回路（ＣＰＵ）３０を介して選択的に点灯
させたりあるいは照明強度を制御するようにする。
図１（Ｂ）に図示したように、例えば９個の領域１２ａ
〜１２ｉに分割し、この領域の照明光源を図３に示した
ように、制御回路（ＣＰＵ）３０を介して選択的に点灯
させたりあるいは照明強度を制御するようにする。
【００２１】図３において、照明光源１２の各領域１２
ａ〜１２ｉのそれぞれの光源は各領域に対応した電流制
御回路３４にそれぞれ接続されており、インターフェー
ス３２を介して制御回路３０により領域ごとにその光源
がオンオフされ、ないしはその照明強度が調節される。
制御回路３０には、同様にインターフェース３２を介し
て操作パネル３３が接続され、各領域に対応した９個の
スイッチからなるスイッチ群３３ａにより光源を点灯さ
せることができ、またボリューム３３ｂにより強度を調
節することができる。また、モニタ３１がインターフェ
ース３２を介して制御回路３０に接続され、このモニタ
には、撮像カメラ１７の撮影画像が表示できるようにな
っている。
ａ〜１２ｉのそれぞれの光源は各領域に対応した電流制
御回路３４にそれぞれ接続されており、インターフェー
ス３２を介して制御回路３０により領域ごとにその光源
がオンオフされ、ないしはその照明強度が調節される。
制御回路３０には、同様にインターフェース３２を介し
て操作パネル３３が接続され、各領域に対応した９個の
スイッチからなるスイッチ群３３ａにより光源を点灯さ
せることができ、またボリューム３３ｂにより強度を調
節することができる。また、モニタ３１がインターフェ
ース３２を介して制御回路３０に接続され、このモニタ
には、撮像カメラ１７の撮影画像が表示できるようにな
っている。
【００２２】以下に、基板の反射特性に応じて照明光源
を選択的に点灯させる方法を図４に示す流れに沿って説
明する。
を選択的に点灯させる方法を図４に示す流れに沿って説
明する。
【００２３】まず、スイッチ群３３ａの全てのスイッチ
をオンにして最初全ての領域の照明光源（ＬＥＤ）を点
灯させる（ステップＳ１）。使用者がモニタ３１をみな
がらマーク画像の画質、例えばコントラストが良好であ
ると判断した場合は（ステップＳ２の肯定）、全領域の
光源を点灯させる（ステップＳ３）。これは、最初に述
べた照明光源の点灯を選択しない場合と同じになる。な
お、このとき、あるいは以下で説明する場合は、ボリュ
ーム３１ｂは絞ることなく、照明強度は所定の強度（最
大強度）になっているとする。
をオンにして最初全ての領域の照明光源（ＬＥＤ）を点
灯させる（ステップＳ１）。使用者がモニタ３１をみな
がらマーク画像の画質、例えばコントラストが良好であ
ると判断した場合は（ステップＳ２の肯定）、全領域の
光源を点灯させる（ステップＳ３）。これは、最初に述
べた照明光源の点灯を選択しない場合と同じになる。な
お、このとき、あるいは以下で説明する場合は、ボリュ
ーム３１ｂは絞ることなく、照明強度は所定の強度（最
大強度）になっているとする。
【００２４】一方、コントラストが良好でないと判断さ
れた場合は、正反射領域１２ｅの光源を対応したスイッ
チをオンにすることにより点灯させる（ステップＳ
４）。同様に、モニタ３１を見てコントラストが良好か
否かを判断し（ステップＳ５）、良好であれば、正反射
領域１２ｅの光源を点灯し（ステップＳ６）、そうでな
い場合は、全拡散光領域の光源、すなわち領域１２ｅ以
外の領域の光源を対応したスイッチをオンすることによ
り点灯し（ステップＳ７）、同様にコントラストが良好
か否かを判断する（ステップＳ８）。良好であれば、全
拡散光領域の光源を点灯し（ステップＳ９）、そうでな
い場合は、今度は拡散光領域中の縦領域、すなわち領域
１２ａ、１２ｄ、１２ｇ並びに１２ｃ、１２ｆ、１２ｉ
を対応したスイッチをオンすることにより点灯し（ステ
ップＳ１０）、コントラストが良好であれば（ステップ
Ｓ１１）、同縦領域の光源を点灯し（ステップＳ１
２）、良好でなければ、今度は拡散領域中の横領域、す
なわち領域１２ａ、１２ｂ、１２ｃ並びに１２ｇ、１２
ｈ、１２ｉを対応したスイッチをオンすることにより点
灯し（ステップＳ１３）、コントラストが良好であれば
（ステップＳ１４）、同横領域の光源を点灯し（ステッ
プＳ１５）、良好でなければ、よりコントラストの良い
領域を求める（ステップＳ１６）。
れた場合は、正反射領域１２ｅの光源を対応したスイッ
チをオンにすることにより点灯させる（ステップＳ
４）。同様に、モニタ３１を見てコントラストが良好か
否かを判断し（ステップＳ５）、良好であれば、正反射
領域１２ｅの光源を点灯し（ステップＳ６）、そうでな
い場合は、全拡散光領域の光源、すなわち領域１２ｅ以
外の領域の光源を対応したスイッチをオンすることによ
り点灯し（ステップＳ７）、同様にコントラストが良好
か否かを判断する（ステップＳ８）。良好であれば、全
拡散光領域の光源を点灯し（ステップＳ９）、そうでな
い場合は、今度は拡散光領域中の縦領域、すなわち領域
１２ａ、１２ｄ、１２ｇ並びに１２ｃ、１２ｆ、１２ｉ
を対応したスイッチをオンすることにより点灯し（ステ
ップＳ１０）、コントラストが良好であれば（ステップ
Ｓ１１）、同縦領域の光源を点灯し（ステップＳ１
２）、良好でなければ、今度は拡散領域中の横領域、す
なわち領域１２ａ、１２ｂ、１２ｃ並びに１２ｇ、１２
ｈ、１２ｉを対応したスイッチをオンすることにより点
灯し（ステップＳ１３）、コントラストが良好であれば
（ステップＳ１４）、同横領域の光源を点灯し（ステッ
プＳ１５）、良好でなければ、よりコントラストの良い
領域を求める（ステップＳ１６）。
【００２５】このように、反射率の高いきれいな面の銅
メッキあるいは金メッキなど種々の反射特性を有するマ
ークでも複数の照明光源を選択的に点灯させることによ
りマークの認識精度を高めることができる。また、マー
ク又は基板表面に反射の異方性がある場合、反射の方向
性に合わせて縦領域あるいは横領域のみの光源を点灯さ
せることにより、マークの認識率を向上させることがで
きる。
メッキあるいは金メッキなど種々の反射特性を有するマ
ークでも複数の照明光源を選択的に点灯させることによ
りマークの認識精度を高めることができる。また、マー
ク又は基板表面に反射の異方性がある場合、反射の方向
性に合わせて縦領域あるいは横領域のみの光源を点灯さ
せることにより、マークの認識率を向上させることがで
きる。
【００２６】また、正反射に寄与する照明光源（領域１
２ｅの光源）、すなわち直射光領域の照明光源を点灯さ
せないか、あるいは、点灯しても、ボリューム３３ｂ並
びに電流制御回路３４を介して拡散光に寄与する照明光
源（領域１２ｅ以外の光源）、すなわち拡散光領域の照
明光源より暗くすることにより、直射光のコーティング
面の反射光を抑えることができる。これにより、図２
（Ｂ）、（Ｃ）に示したように、直射光を減光してマー
クの外の外周部が光ったり、マーク周辺の光を少なくす
ることができ、またマーク外形が大きく見える現象をな
くしたり、マークのコントラストを改善したりすること
ができる。
２ｅの光源）、すなわち直射光領域の照明光源を点灯さ
せないか、あるいは、点灯しても、ボリューム３３ｂ並
びに電流制御回路３４を介して拡散光に寄与する照明光
源（領域１２ｅ以外の光源）、すなわち拡散光領域の照
明光源より暗くすることにより、直射光のコーティング
面の反射光を抑えることができる。これにより、図２
（Ｂ）、（Ｃ）に示したように、直射光を減光してマー
クの外の外周部が光ったり、マーク周辺の光を少なくす
ることができ、またマーク外形が大きく見える現象をな
くしたり、マークのコントラストを改善したりすること
ができる。
【００２７】なお、ボリューム３３ｂを用いて電流制御
回路３４を介して光源の照明強度を調節する場合、図３
に示した例では、点灯している光源の照明強度が共通に
調節されることになるが、点灯している各領域ごとにそ
の照明強度を個々に調節するようにすることもできる。
回路３４を介して光源の照明強度を調節する場合、図３
に示した例では、点灯している光源の照明強度が共通に
調節されることになるが、点灯している各領域ごとにそ
の照明強度を個々に調節するようにすることもできる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、基板
マークを垂直に入射する直射光で照明するとともに、斜
めに入射する拡散光で照明するようにしているので、種
々の反射特性をもつ基板マークを良好に照明でき、マー
クの認識精度を高めることができる。
マークを垂直に入射する直射光で照明するとともに、斜
めに入射する拡散光で照明するようにしているので、種
々の反射特性をもつ基板マークを良好に照明でき、マー
クの認識精度を高めることができる。
【００２９】また、基板マークの反射特性に応じて照明
光源を選択的に点灯できるので、種々の反射特性をもつ
基板マークを更に良好に照明でき、同様にマークの認識
精度を高めることができる。
光源を選択的に点灯できるので、種々の反射特性をもつ
基板マークを更に良好に照明でき、同様にマークの認識
精度を高めることができる。
【図１】（Ａ）は照明装置の概略構成を示した構成図、
（Ｂ）は照明光源の配列を示した配列図である。
（Ｂ）は照明光源の配列を示した配列図である。
【図２】基板のコーティング面がマーク照明に及ぼす影
響を説明した説明図である。
響を説明した説明図である。
【図３】照明光源を選択的に点灯させる構成を示したブ
ロック図である。
ロック図である。
【図４】照明光源を選択的に点灯させる流れを示したフ
ローチャート図である。
ローチャート図である。
１０ 光源ユニット １１ 照明ユニット １２ 照明光源 １３ 拡散板 １４ ハーフミラー １５ 拡散板 １５ａ 通過穴 １６ 基板 １６ａ 基板マーク １７ 撮像カメラ
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA01 AA20 BB01 BB27 CC01 DD09 FF04 FF42 GG07 GG15 HH02 HH12 HH13 HH14 JJ03 JJ09 JJ26 LL00 LL04 LL49 NN02 PP03 PP12 SS02 SS13 TT02 5E313 AA02 AA11 CC04 EE02 EE03 EE24 FF32
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上のマークを照明する照明装置であ
って、 中央部に所定形状の穴を有し、基板上部に配置される第
１の拡散板と、 複数の照明光源を格子状に配置した光源ユニットと、 光源ユニットからの照明光を拡散させる第２の拡散板
と、 第２の拡散板を通過した照明光を反射させ基板にほぼ垂
直に入射させるハーフミラーとを設け、 前記第１の拡散板の穴を通過する照明光並びに第１の拡
散板による拡散光でマークを照明するとともに、マーク
からの反射光を前記ハーフミラーを介して受光できるよ
うに構成したことを特徴とする照明装置。 - 【請求項２】 前記マークの反射特性に合わせて前記複
数の照明光源のうち所定の照明光源を選択的に点灯でき
ることを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000120508A JP2001304817A (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000120508A JP2001304817A (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001304817A true JP2001304817A (ja) | 2001-10-31 |
Family
ID=18631305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000120508A Pending JP2001304817A (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001304817A (ja) |
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- 2000-04-21 JP JP2000120508A patent/JP2001304817A/ja active Pending
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