JP5509659B2 - 薄膜トランジスタ及びその製造方法並びに画像表示装置 - Google Patents
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- 実質的に透明な基板と、
前記基板上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の同一層に隔離して形成されたキャパシタ電極と、
前記ゲート電極及び前記キャパシタ電極を覆うように形成された実質的に透明なゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成された実質的に透明な半導体層と、
前記半導体層に跨って形成されたソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極または前記ドレイン電極上に貫通孔を設けて形成された実質的に透明な層間絶縁層と、
前記ソース電極または前記ドレイン電極のいずれかにより延在された電極領域に電気的に接続された画素電極と、を備え、
前記ゲート電極、前記キャパシタ電極、前記ソース電極、前記ドレイン電極のいずれか一つの電極が導電性着色材料により形成され、前記導電性着色材料で形成されている電極以外の電極は全て実質的に透明な材料により形成されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 実質的に透明な基板と、
前記基板上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の同一層に隔離して形成されたキャパシタ電極と、
前記ゲート電極及び前記キャパシタ電極を覆うように形成された実質的に透明なゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成された実質的に透明な半導体層と、
前記半導体層に跨って形成されたソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極または前記ドレイン電極上に貫通孔を設けて形成された実質的に透明な層間絶縁層と、
前記ソース電極または前記ドレイン電極のいずれかにより延在された電極領域に電気的に接続された画素電極と、を備え、
前記ゲート電極、前記キャパシタ電極、前記ソース電極、前記ドレイン電極のいずれか一つの電極の上部または下部が導電性着色材料により形成され、前記導電性着色材料で形成されている電極以外の電極は全て実質的に透明な材料により形成されていることを特徴とする薄膜トランジタ。 - 前記半導体層が金属酸化物を主成分とする材料からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記半導体層が有機物を主成分とする材料からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記半導体層上を覆うように実質的に透明な材料で形成された保護膜を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の薄膜トランジスタ。
- 実質的に透明な基板を準備し、
前記基板上にゲート電極を形成し、
前記ゲート電極の同一層に隔離してキャパシタ電極を形成し、
前記ゲート電極及び前記キャパシタ電極を覆うように実質的に透明なゲート絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜上に実質的に透明な半導体層を形成し、
前記半導体層に跨って形成されたソース電極及びドレイン電極を形成し、
前記ソース電極または前記ドレイン電極上に実質的に透明な層間絶縁層を貫通孔を設けて形成し、
前記ソース電極または前記ドレイン電極のいずれかにより延在された電極領域に電気的に接続された画素電極を形成し、
前記ゲート電極、前記キャパシタ電極、前記ソース電極、前記ドレイン電極のいずれか一つの電極を導電性着色材料により形成して、前記導電性着色材料で形成する電極以外の電極は全て実質的に透明な材料により形成することを特徴とする薄膜トランジスタの製造
方法。 - 実質的に透明な基板を準備し、
前記基板上にゲート電極を形成し、
前記ゲート電極の同一層に隔離してキャパシタ電極を形成し、
前記ゲート電極及び前記キャパシタ電極を覆うように実質的に透明なゲート絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜上に実質的に透明な半導体層を形成し、
前記半導体層に跨って形成されたソース電極及びドレイン電極を形成し、
前記ソース電極または前記ドレイン電極上に実質的に透明な層間絶縁層を貫通孔を設けて形成し、
前記ソース電極または前記ドレイン電極のいずれかにより延在された電極領域に電気的に接続された画素電極を形成し、
前記ゲート電極、前記キャパシタ電極、前記ソース電極、前記ドレイン電極のいずれか一つの電極の上部または下部を導電性着色材料により形成して、前記導電性着色材料で形成する電極以外の電極は全て実質的に透明な材料により形成することを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記半導体層が金属酸化物を主成分とする材料からなることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記半導体層が有機物を主成分とする材料からなることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記半導体層上を覆うように実質的に透明な材料で形成された保護膜を備えることを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタアレイを備えたことを特徴とする画像表示装置。
- 前記画像表示装置が電子ペーパ、液晶ディスプレイまたは有機エレクトロルミネッセンスのいずれかであることを特徴とする請求項11に記載の画像表示装置。
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