JP5493152B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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Description
次に、本発明の第1実施形態に係る形状測定装置及び形状測定方法について詳細に説明する。
第1の実施形態の様な方法では、各画素の信号処理は、完全に独立しており、それぞれ個別に処理を実行することが可能である。したがって、例えば複数のCPUに各画素における演算処理を割り当てた場合、演算処理速度は急激に向上する。理想的には画素数分のCPUを用い、各CPUに特定の画素を割り当てることが望ましい。この場合、各画素に対する処理を完全に並列化する事が可能となる。更に、前述のリアルタイム処理をあわせれば、リアルタイム並列処理が容易に実現する。
第1の実施形態においては検出信号を数2のように表していたが、本実施形態においては数3とあらわす。この場合、Aは信号振幅、Φは信号位相であり、それぞれ数4及び数5のように表される。
第1の実施形態では中心周波数ω成分が一つの例を示したが、使用する光源1の波長成分に合わせて中心周波数ω成分を複数種類用いるようにしても良い。すなわち、干渉光強度列は実際には、数2や数3のように単一の周波数ωではなく、周波数に分布がある。従って、下記の数6の様な式を用いる事で、より正確な推定が可能となる。リアルタイム性を考慮すると現実的には、数6で3成分程度の計算を行うのが望ましい。これにより、最大振幅位置が推定できると同時に、各周波数成分における位相も測定する事が出来る。前述の通り干渉光強度列は複数の周波数の波を含んでいるが、最大振幅位置では、各周波数成分における位相が一致するという特徴を持っている。従って、数6による推定法によれば、振幅だけでなく位相情報も用いたさらに高精度な推定が可能となる。
Claims (3)
- 広帯域スペクトルを有する光源と、
この光源からの光を被測定対象と参照面とに導くと共に、前記被測定対象及び参照面から反射された光を合成し、前記光源から前記被測定対象までの第1光路長と前記光源から前記参照面までの第2光路長との光路長差によって変化する前記被測定対象の測定面内の各測定位置に対応した干渉光強度を示す干渉光強度分布画像を生成する光学系と、
前記光学系から出力される前記干渉光強度分布画像を撮像する撮像手段と、
前記第1光路長と第2光路長の光路長差を変化させる光路長差変更手段と、
前記撮像手段で撮像され前記光路長差の変化に伴って変化する干渉光強度分布画像を順次記憶する画像記憶手段と、
前記画像記憶手段に記憶された前記干渉光強度分布画像の各測定位置における前記光路長差の変化に伴う干渉光強度の変化を示す干渉光強度列から、そのピーク値を求め、このピーク値を前記測定対象の各測定位置における光軸方向の位置として求める演算手段と
を備えた形状測定装置において、
前記演算手段は、
前記干渉光強度列の中心周波数による複数の周期信号及び直流信号を発生させる複数の信号発生手段と、
前記複数の信号発生手段から出力された信号のそれぞれに重み付けをして出力する重み付け手段と、
前記周期信号について前記重み付け手段から出力された信号を加算して検出信号として出力する第1の信号加算手段と、
前記直流信号について前記重み付け手段から出力された信号と前記検出信号とを加算する第2の信号加算手段と、
前記干渉強度列から前記第2の信号加算手段の出力を減算して誤差信号を出力する信号減算手段と、
前記誤差信号に基づいて前記重み付け手段の重みを調整する適応アルゴリズム部とを有する適応信号処理ブロックと、
前記検出信号のピーク位置を検出するピーク検出ブロックと
を有する事を特徴とする形状測定装置。 - 前記適応アルゴリズム部はRLS(Recursive Least Square)法によるアルゴリズムを実行する
事を特徴とする請求項1記載の形状測定装置。 - 前記ピーク検出ブロックは、
前記検出信号の2乗値を出力する2乗手段と、
前記2乗手段からの出力信号を積分して出力する積分手段と、
前記積分手段からの出力信号を平滑化し、微分して出力する平滑化微分手段と、
前記平滑化微分回路からの出力信号から前記ピーク位置を検出するピーク位置検出手段と
を有する事を特徴とする請求項1または2記載の形状測定装置。
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