JPWO2011135698A1 - 変形計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第一の干渉パターン像と、該第一の干渉パターン像に対する互いに異なる既知の位相シフト量を有する2枚以上の位相シフト像とを撮像手段により取得する工程と、
所定時間が経過したのちの第二の干渉パターン像を前記撮像手段により取得する工程と、
第一の干渉パターン像と2枚以上の前記位相シフト像とから第一の干渉パターンの位相を算出する工程と、
前記第一の干渉パターン像と、第一の干渉パターン像に対する前記位相シフト像と、前記第二の干渉パターン像とから、前記所定時間の間に生じる干渉パターン像の第一の位相変化量を計算手段により算出する工程と、
前記第一の干渉パターン像の位相と前記位相変化量と,
前記既知の位相シフト量に基づき第二の干渉パターン像に対する位相シフト像を算出する工程と、
前記第二の干渉パターン像と、2つ以上算出した第二の干渉パターン像に対する位相シフト像とに基づき、前記被測定物の変形量を算出する工程と、
を有することを特徴とする変形計測方法である。
以下に本発明の具体的な実施例について説明する。本発明は参照面からの反射光を参照光として用いるフィゾー型干渉計においても適用可能であるが、以下では、説明のため参照光を用いない光学系を例にあげる。
まず、静止状態におけるスペックル干渉パターンの像および、そのスペックル干渉パターンに対する位相シフト像を撮像する。本実施例では、位相シフト像は3枚取得した。互いに異なる既知の位相シフト量はそれぞれπ/2、π、3π/2とする。
次に変形過程のスペックル干渉パターンの像を撮像する。撮像周期は0.5秒に1枚のレートで実施する。ダンベル状のプレートである被測定物207は引張試験機によって、10μm/sの速度で、図3中x方向に100μmまで引き伸ばすため、スペックル干渉パターンの像Iは初期画像をn=0とするとn=20までの合計21枚取得する。
撮像した位相シフト像を用いてスペックル干渉パターンの像I0の位相θ0、振幅A、バイアスBを算出する方法を説明する。撮像された位相シフト像はそれぞれ、π/2、π、3π/2の位相シフト量を持ち、式2で表される。
次に、工程104−2について、位相変化量φを算出する方法を説明する。
前工程までに求められた位相θ0、振幅A、バイアスB、位相変化量φ1を用いて、次の時刻での干渉パターン像I1−0に対する位相シフト像I1−1、I1−2、及びI1−3を計算機上で算出することができる。計算機上で構築する位相シフト像は以下の式4で表される。θ1は、2秒後のスペックル干渉パターン像I1−0の位相を示す。2秒後の位相シフト像は以下の式で表わされる。
また、逐次得られた位相変化量を積算して、総変形量dnを導出することもできる。本実施例においては位相の1周期=2π分の変形量は、447.5nmであり、総変形量dn(ナノメートル)は式5のような式で表される。
209 撮像手段
Claims (2)
- 被測定物に光を照射することで生じる干渉パターンの位相変化量から前記被測定物の変形量を測定する変形計測方法において、
第一の干渉パターン像と、該第一の干渉パターン像に対する互いに異なる既知の位相シフト量を有する2枚以上の位相シフト像とを撮像手段により取得する工程と、
所定時間が経過したのちの第二の干渉パターン像を前記撮像手段により取得する工程と、
第一の干渉パターン像と2枚以上の前記位相シフト像とから第一の干渉パターンの位相を算出する工程と、
前記第一の干渉パターン像と、第一の干渉パターン像に対する前記位相シフト像と、前記第二の干渉パターン像とから、前記所定時間の間に生じる干渉パターン像の第一の位相変化量を計算手段により算出する工程と、
前記第一の干渉パターン像の位相と前記位相変化量と,
前記既知の位相シフト量に基づき第二の干渉パターン像に対する位相シフト像を算出する工程と、
前記第二の干渉パターン像と、2つ以上算出した第二の干渉パターン像に対する位相シフト像とに基づき、前記被測定物の変形量を算出する工程と、
を有することを特徴とする変形計測方法。 - 2つ以上の位相シフト像を算出する工程を複数の時刻で得られた干渉パターンに対して行い、積算した逐次得られた前記位相変化量に基づき、前記被測定物の特定の時刻からの総変形量を算出することを特徴とする請求項1記載の変形計測方法。
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