JP2011089897A - 形状測定装置及び形状データの位置合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】段差部分のデータ欠損の影響を抑えて、安定した精度の高い測定結果を得る。
【解決手段】ワーク4の基準軸方向の各位置における高さを検出してワーク4の断面形状を測定する測定手段1〜8と、測定手段1〜8で同一のワーク4の断面形状を繰り返し測定して得られた複数の断面形状の測定データを合成する演算手段10とを備える。演算手段10は、断面形状の測定データの合成に際して、合成する測定データ間の基準軸及び高さ方向のずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいて、合成する断面形状の測定データを基準軸方向及び高さ方法に位置合わせする。
【選択図】図1
【解決手段】ワーク4の基準軸方向の各位置における高さを検出してワーク4の断面形状を測定する測定手段1〜8と、測定手段1〜8で同一のワーク4の断面形状を繰り返し測定して得られた複数の断面形状の測定データを合成する演算手段10とを備える。演算手段10は、断面形状の測定データの合成に際して、合成する測定データ間の基準軸及び高さ方向のずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいて、合成する断面形状の測定データを基準軸方向及び高さ方法に位置合わせする。
【選択図】図1
Description
本発明は、形状測定機、画像測定機、三次元測定機等で得られた形状データ(プロファイルデータ)の位置合わせ方法及びその方法を使用した形状測定装置に関する。
従来、光学系を用いて非接触で被測定物の三次元形状を測定する種々の形状測定装置が知られている。例えば、マイクロマシンやLSI等の微細な段差を有する被測定物の三次元計測が可能な形状測定装置としては、白色干渉計等が知られている。この白色干渉計は、白色光源から被測定物に照射され、被測定物から反射された白色光と、白色光源から参照面に照射され、参照面から反射された白色光とを干渉させると共に、参照面を光軸方向に移動させて最も干渉光強度の大きい参照面位置を検出し、この参照面位置に基づいて被測定物の光軸方向の高さを計測するものである(特許文献1)。
しかしながら、上述した従来の形状測定装置では、ICパッケージの線幅測定のように、段差のある被測定物を測定すると、段差部分のデータは欠損が生じやすいという問題がある。このようにデータ欠損が生じると、安定した精度の高い測定結果が得られない。
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、段差部分のデータ欠損の影響を抑えて、安定した精度の高い測定結果を得ることができる形状測定装置を提供することを目的とする。
本発明に係る形状測定装置は、被測定物の基準軸方向の各位置における高さを検出して前記被測定物の断面形状を測定する測定手段と、前記測定手段で同一の被測定物の形状を繰り返し測定して得られた複数の形状測定データを合成して合成形状測定データを算出する演算手段とを備え、前記演算手段は、前記形状測定データの合成に際して、前記形状測定データの前記合成形状測定データに対する前記基準軸及び高さ方向のずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいて前記形状測定データを前記基準軸方向及び高さ方法に位置合わせすることを特徴とする。
また、本発明に係る形状データの位置合わせ方法は、被測定物の基準軸方向の各位置における高さのデータからなる形状測定データILと合成形状測定データIRとの間で、基準軸方向のピクセルのずらし量(整数)をd、基準軸方向のサブピクセルのずらし量(実数)をΔd、高さ方向のずらし量をΔzとして、
を基本とする2次元線形連立方程式を解いてΔd及びΔzを求める演算を、所定の収束条件を満たすまで繰り返し実行することにより、基準軸方向及び高さ方向のずれ量を算出し、算出された基準軸方向及び高さ方向のずれ量分だけ前記形状測定データをずらして前記合成測定データと位置合わせすることを特徴とする。
本発明によれば、段差部分のデータ欠損の影響を抑えて、安定した精度の高い測定結果を得ることができる。
次に、本発明の一実施形態に係る形状測定装置及び形状測定方法について詳細に説明する。
図1は、本実施形態に係る形状測定装置である白色干渉計の構成を示す図である。なお、ここでは、マイケルソン型の干渉計を示すが、ミラウ型等、他の等光路干渉計を用いることもできる。また、画像測定装置等、他の光学測定装置と併用したものでも良い。
光源1は、例えばハロゲンランプ、キセノンランプ、水銀ランプ、メタルハライドランプ、LED等の広帯域スペクトルを有する白色光源である。光源1から出射された白色光は、コリメータレンズ2でコリメートされ、ビームスプリッタ3で2方向に分割される。一方の分割光は、被測定対象であるワーク4の測定面に照射され、他方の分割光は、参照板5の参照面に照射される。測定面及び参照面からそれぞれ反射された白色光は、ビームスプリッタ3で合成され、その際の干渉光が結像レンズ7を介してCCDカメラ8で撮像される。
参照板5は、ピエゾ素子のような駆動手段6によって光軸方向に移動走査され、各走査位置での干渉像がCCDカメラ8によりサンプリングされ、画像メモリ9に記憶される。演算処理部10は、ワーク4の測定面の各位置での干渉光の強度とエンコーダ14から入力される参照板5の走査位置とに基づいて、ワーク4の測定面の形状測定データ(以下、「面データ」と呼ぶ。)を求め、この面データから断面データ(以下、「プロファイルデータ」と呼ぶ。)を抽出する。入力部11は、演算処理部10に計測に必要なデータを入力する。出力部12は、演算処理部10で求められた測定結果を出力する。また、表示部13は、入力操作に必要な情報及び測定結果を表示する。
次に、この白色干渉計によるプロファイル測定方法について説明する。
図2は、演算処理部10での測定処理を示すフローチャートである。演算処理部10での処理は、ワーク4の測定面の評価対象領域の面データを計測する工程(S1)、計測された面データからプロファイルデータを抽出する工程(S2)、前回の測定までに得られたプロファイルデータに、今回の測定で得られたプロファイルデータを位置合わせする工程(S3)、及び前回の測定までに得られたプロファィルデータに、位置合わせした今回のプロファィルデータを合成する工程(S4)を、所定回数繰り返す処理である。以下、各工程について詳細に説明する。
(1)評価対象領域の面データ計測処理(S1)及びプロファイルデータの抽出処理(S2)
光源1からの白色光は、ワーク4の測定面と参照板5の参照面で反射され、ビームスプリッタ3で合成される。そのときの干渉強度は、参照板5をピエゾ素子6で光軸方向に移動走査することにより変化する。可干渉性の少ない白色光を使用することで、干渉縞の発生する範囲を狭くすることができる。これにより、例えば、図3に示すように、参照面の移動走査により発生する測定面の各位置での干渉光強度の変化は、測定面の高さ(Z方向位置)に応じた位相で発生するので、測定面の各位置での干渉光強度の変化のピーク値が観測される参照面の走査位置を、測定面の対応する部位の高さとして求めることができる。
光源1からの白色光は、ワーク4の測定面と参照板5の参照面で反射され、ビームスプリッタ3で合成される。そのときの干渉強度は、参照板5をピエゾ素子6で光軸方向に移動走査することにより変化する。可干渉性の少ない白色光を使用することで、干渉縞の発生する範囲を狭くすることができる。これにより、例えば、図3に示すように、参照面の移動走査により発生する測定面の各位置での干渉光強度の変化は、測定面の高さ(Z方向位置)に応じた位相で発生するので、測定面の各位置での干渉光強度の変化のピーク値が観測される参照面の走査位置を、測定面の対応する部位の高さとして求めることができる。
図4は、各位置での干渉光強度の変化から、そのピーク位置を求める処理の一例を説明するための図である。この処理では、参照面を移動走査して得られた干渉光強度列に対して、所定の幾何要素(例えば、直線又は曲線)Aを当てはめる。或いは、求められた干渉光強度列に対して平滑化して幾何要素(例えば、直線又は曲線)Aを得る。次に、得られた幾何要素Aをそれぞれ強度軸のプラス方向とマイナス方向にシフトさせて、スレッショルドレベルB,Cを設定する。このスレッショルドレベルを超える干渉光強度をピーク位置候補点として求める。そして、ピーク位置候補点が最も密集している領域の重心をピーク位置Pとして求める。このような処理により、処理点数を削減して高速でピーク位置Pを求めることが出来る。上述のように求められたピーク位置Pがその測定点における高さ(Z値)に相当する。測定面の各位置でのZ値を求めることで、ワーク4の面データを求めることができる。この面データの任意方向のデータを抽出することで、ある断面におけるプロファイルデータを求めることができる(S2)。
(2)プロファイルデータの位置合わせ(S3)
ところで、ICチップの線幅測定のような、段差のあるワーク4を白色干渉計で測定すると、段差部分のデータはデータの欠損が発生しやすい。そのため、線幅測定に十分なデータ点数を得られない、あるいは、繰り返し測定において安定した線幅値が得られないといった問題を起こす。
ところで、ICチップの線幅測定のような、段差のあるワーク4を白色干渉計で測定すると、段差部分のデータはデータの欠損が発生しやすい。そのため、線幅測定に十分なデータ点数を得られない、あるいは、繰り返し測定において安定した線幅値が得られないといった問題を起こす。
そこで、本実施形態においては、ある領域を評価対象領域とし、線幅測定に必要な断面データを複数取得し、合成することで、段差の欠損部分を減らし、繰り返し測定においても安定した線幅値が得られるようにすることとした(S4)。
しかし、ワーク4は水平に置かれているとは限らないので、複数断面の合成に先立ち、取り出した複数断面の位置あわせが不可欠となる。この場合、処理対象となる断面の数が多いほど、欠損部分が減るため望ましい。したがって、ワークによっては断面数が相当数になる可能性があり、位置合わせの処理にも工夫が必要になる。この種の位置合わせの手法としては、最短距離を使ったベストフィット処理が知られているが、この処理では、演算量が多いため、生産ラインでのリアルタイム処理を実現するにはやや困難である。そこで、ステレオマッチングの手法を拡張し、高速なプロファイルデータ間の位置合わせ処理を実現した。
以下、この位置合わせ処理について説明する。
[基本原理]
一般に2画像間のステレオマッチング処理では、1方のデータをIL、もう1方のデータをIRとし、ILを移動してIRに合わせる場合、dをピクセルのずらし量(整数)とし、Δdをサブピクセルのずらし量(実数)とすると、Taylor展開を使って、
一般に2画像間のステレオマッチング処理では、1方のデータをIL、もう1方のデータをIRとし、ILを移動してIRに合わせる場合、dをピクセルのずらし量(整数)とし、Δdをサブピクセルのずらし量(実数)とすると、Taylor展開を使って、
(1)
と近似することができる。
と近似することができる。
ここで、評価量φを
(2)
と定義すれば、(1)式より、
と定義すれば、(1)式より、
(3)
であるから、
であるから、
(4)
を満足するΔdを求めればよい。
を満足するΔdを求めればよい。
上記の方法では、X方向の位置あわせは可能であるが、Z方向の位置あわせはできない。そこで上式おいて、Z方向の値ILをIL+ΔZと置いて、Z方向も同時に位置あわせすることを考える。この場合、
(5)
を満足するΔd、ΔZを求めればよい。式(5)は、単純な2次元の線形連立方程式を解く問題に帰着されるので、計算負荷は非常に軽い。実際の問題に適応する場合には、 (5)を繰り返し解いて、移動量を更新しながら最終的な解を求めていけばよい。
を満足するΔd、ΔZを求めればよい。式(5)は、単純な2次元の線形連立方程式を解く問題に帰着されるので、計算負荷は非常に軽い。実際の問題に適応する場合には、 (5)を繰り返し解いて、移動量を更新しながら最終的な解を求めていけばよい。
[X方向の離散化(サンプリング)を考慮した実用的なアルゴリズム]
通常の測定においては、X方向に一定のサンプリング間隔でZ値データをサンプリングするため、(5)式を解く際、X方向移動量をサンプリング間隔で除算した答えの整数分と余りの実数分を考慮しながら計算すると精度良く解が求められる。
通常の測定においては、X方向に一定のサンプリング間隔でZ値データをサンプリングするため、(5)式を解く際、X方向移動量をサンプリング間隔で除算した答えの整数分と余りの実数分を考慮しながら計算すると精度良く解が求められる。
図5は、実際のX方向移動量及びZ方向移動量を求める処理を示すフローチャートである。
まず、繰り返し回数mに初期値である“1”を代入する(S11)。
今、繰り返しm回目におけるX方向移動量、Z方向移動量をそれぞれ、υ(m)、ν(m)と表現することにし、それらの初期値を設定する(S12)。初期値は、例えば、2つのプロファイルデータの重心位置が一致するように設定しても良いし、ある特定のデータ点(例えばプロファイルデータのピーク値等)が一致するように設定するようにしても良い。また、それほどずれていない2つのデータを対象とする場合には、初期値=0とすることで済ますことも可能である。
次に、X方向移動量υ(m)及びZ方向移動量ν(m)の繰り返し演算の各演算サイクルにおける各軸方向移動量の修正量Δυ(m+1)、Δν(m+1)を次のように算出する(S13)。
X方向移動量υ(m)をサンプリング間隔で除算した答えの整数分をυ(m) d、余りの実数分をυ(m) Δdとし、さらに、より一般的にデータ点の重みを、IL側をwL、IR側をwRとして考慮すると(5)式は、
(6)
となるから、修正量Δυ(m+1)、Δν(m+1)は、
となるから、修正量Δυ(m+1)、Δν(m+1)は、
(7)
を解くことで求めることができる。なお、測定データに適用する場合、微分は差分に置換えて計算すればよい。修正量Δυ(m+1)、Δν(m+1)が求まったら、
を解くことで求めることができる。なお、測定データに適用する場合、微分は差分に置換えて計算すればよい。修正量Δυ(m+1)、Δν(m+1)が求まったら、
(8)
により各軸方向移動量を更新し(S15)、m←m+1として(S16)、Δυ(m+1)、Δν(m+1)が十分小さくなるまで、逐次更新していけば最終解にたどりつく(S14,S17)。
により各軸方向移動量を更新し(S15)、m←m+1として(S16)、Δυ(m+1)、Δν(m+1)が十分小さくなるまで、逐次更新していけば最終解にたどりつく(S14,S17)。
(3)プロファイルデータの合成(S4)
プロファイルデータの合成処理(S4)では、新たに求められたプロファイルデータを、上記の処理により求められたX方向移動量υ(m)及びZ方向移動量ν(m)だけX方向及びZ方向にずらして、その前に合成されているプロファイルデータと合成する。
プロファイルデータの合成処理(S4)では、新たに求められたプロファイルデータを、上記の処理により求められたX方向移動量υ(m)及びZ方向移動量ν(m)だけX方向及びZ方向にずらして、その前に合成されているプロファイルデータと合成する。
図6(a)は、元のプロファイルデータDに対して、新たに求められたプロファイルデータEがX方向及びZ方向にずれている状態を示し、図6(b)は、上記方法によりプロファイルデータEをE′のようにX方向及びZ方向にずらして元のプロファイルデータDに重ねた様子を示している。
この図のように、上記のステレオマッチング処理によって、高速に且つ精度良くプロファイルデータを重ねることができるので、段差部分のデータ欠損の影響を抑えて、安定した精度の高い測定結果を得ることができる。
この点を更に詳細に説明する。プロファイルデータのマッチングとして、従来、最短距離等を求めるベストフィット処理が知られているが、ベストフィット処理では、例えば設計値と該当箇所の測定データ、又は同じ位置を測定した測定データ間というように、本質的に同一のものを比較・位置あわせしようとするため、設計値との最短距離計算やデータ間の対応付けなど、複雑で高度な処理を必要とした。
一方、ステレオマッチングを利用したプロファイルデータ間のデータ位置合わせは、基本的には被測定物が同一である画像計測データを対象とし、ピクセルのX方向のみを対象とした処理であった(参考文献:奥富、金出、統計的モデルに基づく適応型ウィンドウによるステレオマッチング−1次元信号を用いた解析と実験、電子情報通信学会誌 D-11,Vol.J74-D-11,No.6,pp669-677,1991)。そのため、限定された目的においてのみ使用されている。
本実施形態では、画像計測データに限らず、同じピッチで測定された2つのプロファイルデータ間の位置合わせを、X方向及びZ方向の両方向を対象とするよう理論的拡張を試み、簡便で高速な処理を可能とした。
なお、以上の実施形態では、白色干渉計に本発明を適用した例について説明したが、画像計測装置、レーザー変位計等、他の形状測定装置にも適用可能であることは言うまでもない。
1…光源、2…コリメータレンズ、3…ビームスプリッタ、4…ワーク、5…参照板、6…駆動手段、7…結像レンズ、8…CCDカメラ、9…画像メモリ、10…演算処理部、11…入力部、12…出力部、13…表示部、14…エンコーダ。
Claims (3)
- 被測定物の基準軸方向の各位置における高さを検出して前記被測定物の断面形状を測定する測定手段と、
前記測定手段で同一の被測定物の形状を繰り返し測定して得られた複数の形状測定データを合成して合成形状測定データを算出する演算手段とを備え、
前記演算手段は、前記形状測定データの合成に際して、前記形状測定データの前記合成形状測定データに対する前記基準軸及び高さ方向のずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいて前記形状測定データを前記基準軸方向及び高さ方法に位置合わせする
ことを特徴とする形状測定装置。 - 前記演算手段は、
形状測定データILと合成形状測定データIRとの間で、基準軸方向のピクセルのずらし量(整数)をd、基準軸方向のサブピクセルのずらし量(実数)をΔd、高さ方向のずらし量をΔzとして、
を基本とする2次元線形連立方程式を解いてΔd及びΔzを求める演算を、所定の収束条件を満たすまで繰り返し実行することにより、基準軸方向及び高さ方向のずれ量を算出する
ことを特徴とする請求項1記載の形状測定装置。 - 被測定物の基準軸方向の各位置における高さのデータからなる形状測定データILと合成形状測定データIRとの間で、基準軸方向のピクセルのずらし量(整数)をd、基準軸方向のサブピクセルのずらし量(実数)をΔd、高さ方向のずらし量をΔzとして、
を基本とする2次元線形連立方程式を解いてΔd及びΔzを求める演算を、所定の収束条件を満たすまで繰り返し実行することにより、基準軸方向及び高さ方向のずれ量を算出し、
算出された基準軸方向及び高さ方向のずれ量分だけ前記形状測定データをずらして前記合成測定データと位置合わせする
ことを特徴とする形状データの位置合わせ方法。
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