JP5492351B1 - 巻回装置、巻回方法、検査装置及び構造物製造方法 - Google Patents

巻回装置、巻回方法、検査装置及び構造物製造方法 Download PDF

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Abstract

光源ユニットからの放射光を、第1シートと第2シートとの側面部(204e)に照射される測定光と、参照面(311)に照射される参照光とに分割する分割部(303)と、前記参照面で反射した前記参照光と、前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部(314)と、前記検出部で検出した前記干渉光に基づいて前記第1シートと前記第2シートとの位置を検出する位置検出部(314)と、前記位置検出部で検出された前記位置に基づいて前記捲回体の良否を判定する判定部(100c)と、を備える巻回装置を提供する。

Description

本発明は、巻回装置、巻回方法、検査装置及び構造物製造方法に関する。
リチウムイオン電池の電極又はフィルムコンデンサのような帯状のシート材を巻回して形成される捲回体では、それらの特性上、シート材の巻きズレの検査が重要である。巻きズレを検査する装置として、図10に示すような装置が従来技術として特許文献1に記載されている。
図10では、検査対象物2がテーブル1上に設置される。検査対象物2は、シート材の巻回が完了した捲回体である。テーブル1上に設置された検査対象物2の一方の側面に、X線照射装置3からX線が照射される。テレビカメラ4は、検査対象物2の他方の側面を撮像する。この撮像によりテレビカメラ4で、検査対象物2のX線透過画像を得る。このX線透過画像に基づき、従来技術では、検査対象物2の巻きズレを検査する。
特開平11−51629号公報
しかしながら、従来技術では、X線を用いるため、作業者に被ばくのリスクがあることを課題として有している。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、X線を用いずに検査を実施することを目的とする。
前記目的を達成するために、本発明の一態様にかかる巻回装置は、
貼り合わせた第1シートと第2シートとを巻き芯に巻き付けて捲回体を形成する巻回装置であって、
放射光を射出する光源ユニットと、
貼り合わせた前記第1シートと前記第2シートとの側面部に照射される測定光と参照面に照射される参照光とに前記放射光を分割する分割部と、
前記参照面で反射した前記参照光と前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、
検出した前記干渉光に基づいて前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する位置検出部と、
検出した前記第1シートと前記第2シートとの前記位置に基づいて前記捲回体の良否を判定する判定部と、を備え
前記測定光は、照射時と反射時とで同じ光路を進行し、その進行方向は、前記巻き芯の軸方向と一致することを特徴とする。
また、前記目的を達成するために、本発明の別の態様にかかる検査装置は、
第1シートと第2シートとを巻回して形成した捲回体を検査する検査装置であって、
放射光を射出する光源ユニットと、
前記第1シートと前記第2シートとの側面部に照射される測定光と参照面に照射される参照光とに前記放射光を分割する分割部と、
前記参照面で反射した前記参照光と前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、
検出した前記干渉光に基づいて前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する位置検出部と、
検出した前記第1シートと前記第2シートとの前記位置に基づいて前記捲回体の良否を判定する判定部と、
を備え、
前記測定光は、照射時と反射時とで同じ光路を進行し、その進行方向は、前記捲回体の軸方向と一致することを特徴とする。
また、前記目的を達成するために、本発明の別の態様にかかる巻回方法は、
貼り合わせた第1シートと第2シートとを巻き芯に巻き付けて捲回体を形成しながら、検査工程を実施する捲回方法であって、
前記検査工程は、
貼り合わせた前記第1シートと前記第2シートとの側面部に測定光を照射し、かつ、参照光を参照面に照射する工程と、
前記参照面で反射した前記参照光と、前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する工程と、
検出した前記干渉光に基づいて前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する工程と、
検出した前記第1シートと前記第2シートとの前記位置に基づいて前記捲回体の良否を判定する工程と、を含み、
前記測定光は、照射時と反射時とで同じ光路を進行し、その進行方向は、前記巻き芯の軸方向と一致することを特徴とする。
また、前記目的を達成するために、本発明の別の態様にかかる構造物製造方法は、
前記巻回方法で形成された前記捲回体を準備する工程と、
前記捲回体を用いて構造物を製造する工程と、を含むことを特徴とする。
また、前記目的を達成するために、本発明の別の態様にかかる検査装置は、
貼り合わせられた第1シートと該第1シートと反射率の異なる第2シートとを有する部品を検査する検査装置であって、
放射光を射出する光源ユニットと、
前記第1シートと前記第2シートとの側面部に垂直に照射される測定光と参照面に照射される参照光とに前記放射光を分割する分割部と、
前記参照面で反射した前記参照光と前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、
検出した前記干渉光に基いて前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する位置検出部と、
検出した前記第1シートと前記第2シートとの前記位置に基いて前記部品の良否を判定する判定部と、を備え、
前記測定光が、照射時と反射時とで同じ光路を進行し、
前記位置検出部は、前記第1シートと前記第2シートとの反射率の違いに基づいて両者を区別する、検査装置を特徴とする。
本発明の態様によれば、X線を用いずに検査を実施することができる。
本発明のこれらと他の目的と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。この図面においては、
図1Aは、第1実施形態における巻回装置の模式図であり、 図1Bは、巻回装置の検査対象物の一例としてのリチウムイオン電池の斜視図であり、 図2は、図1AにおけるA−A’断面を矢印Bから観察した図であって、巻回装置の巻きズレ検査装置の構成図であり、 図3は、第1実施形態に係る巻回装置による巻回方法を示すフローチャートであり、 図4Aは、巻きズレ量Δzを説明するための図であって、巻き芯の回転角度θと、捲回体の端面の位置z1、z2の関係を表す図であり、 図4Bは、巻きズレ量Δzを説明するための図であって、θ=360°のときに得られるSS−OCT信号と位置zとの関係を示す図であり、 図4Cは、巻きズレ量Δzを説明するための図であって、θ=720°のときに得られるSS−OCT信号と位置zとの関係を示す図であり、 図5Aは、照射スポットを説明するための図であって、照射スポットの長軸の長さ300μmでの捲回体の接点におけるスポット位置を示す図であり、 図5Bは、照射スポットを説明するための図であって、図5AにおけるC−C’断面を矢印Dから観察した断面図と、SS−OCT信号と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図であり、 図5Cは、照射スポットを説明するための図であって、図5Aにおける照射スポット付近を拡大した図であり、 図6Aは、照射スポットを説明するための図であって、照射スポットの長軸の長さ100μmでの捲回体の接点におけるスポット位置を示す図であり、 図6Bは、照射スポットを説明するための図であって、図6AにおけるE−E’断面を矢印Fから観察した図と、SS−OCT信号と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図であり、 図6Cは、照射スポットを説明するための図であって、図6Aにおける照射スポット付近を拡大した図であり、 図7Aは、照射スポットを説明するための図であって、照射スポットの長軸の長さでの捲回体の接点におけるスポット位置を示す図であり、 図7Bは、照射スポットを説明するための図であって、図7AにおけるG−G’断面を矢印Hから観察した図と、SS−OCT信号と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図であり、 図7Cは、照射スポットを説明するための図であって、図7Aにおける照射スポット付近を拡大した図であり、 図8Aは、第1シート材と第2シート材との関係を示す図であって、第1シート材と第2シート材が張力を保った状態の捲回体の図と、SS−OCT信号と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図であり、 図8Bは、第1シート材と第2シート材との関係を示す図であって、第2シート材が第2シート材の上に覆い被さった状態の捲回体の図と、SS−OCT信号と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図であり、 図9は、第2実施形態における巻回装置の模式図であり、 図10は、特許文献1による従来の巻きズレ検査技術の概略構成図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、添付図面において、同じ部品については同じ参照符号を付している。
(第1実施形態)
<巻回装置200の概要について>
図1Aは、本発明の第1実施形態における巻回装置200の模式図である。
図1Aにおいて、巻回装置200は、SS−OCT装置201を具備する。この巻回装置200は、貼り合わせた第1シート材202と第2シート材203とを巻き芯206に巻き取って、捲回体204を形成する装置である。第1シート材202は第1シートの一例である。第2シート材203は第2シートの一例である。この第1実施形態では、第1シート材202、第2シート材203を含む捲回体204の片側にSS−OCT装置201から光を照射して、捲回体204を構成する第1シート材202又は第2シート材203の巻きズレを検査している。なお、貼り合わせた第1シート材202と第2シート材203とを巻き芯206に巻き取って、捲回体204を形成するとき、最も外側の第1シート材202と第2シート材203とが巻き取られた状態をより確実に維持して巻き戻らないようにするため、仮止めのテープなどの公知の仮止め部材を適宜使用してもよい。
巻回装置200は、第1供給リール50と、第2供給リール51と、貼合ロール205と、巻き芯206と、巻き芯回転駆動部206Mと、巻回制御部100とを具備する。
巻き芯回転駆動部206Mは、モータなどで構成され、巻回制御部100からの情報に基づき、巻き芯206を回転駆動する。
巻回制御部100は、表示部100aと、記憶部100bと、判定部100cとを具備して、巻回装置200の巻回動作を制御する。
表示部100aは、形成した捲回体204がOK品かNG品かを表示する。
記憶部100bは、捲回体204に付された製造番号等と紐付けてNG品である旨を記憶する。
判定部100cは、後述するOCT演算処理部314(図2参照)で検出された位置に基づいて、捲回体204の良否(OKかNGか)を判定する。
第1シート材202と第2シート材203とはそれぞれロール状に巻かれた状態で、第1供給リール50と第2供給リール51とにより巻回装置200の中にそれぞれ設置されている。第1シート材202は、第1供給リール50から巻き戻されて貼合ロール205に供給される。第2シート材203は、第2供給リール51から巻き戻されて貼合ロール205に供給される。第1シート材202と第2シート材203とは、貼合ロール205で貼り合わせられたのち、巻き芯206に至り、巻き芯206回りに捲回体204が形成される。
捲回体204は、例えば、リチウムイオン電池を構成する部材である。リチウムイオン電池を構成する捲回体204は、図1Bに示すように、正極63及び負極64と、その間の絶縁体である2枚のセパレータ61、62との、計4枚のシート材を含む。ただし、説明を簡単にするために、以下の説明では捲回体204に含まれるシート材の数を2枚とし、第1シート材202を導体の電極の一例としての正極63とし、第2シート材203を絶縁体のセパレータ61とする。
貼合ロール205は、一対のロールで構成されて、一対のロール間に、第1シート材202と第2シート材203とを挟み込んで、第1シート材202と第2シート材203とを重ね合わせる。
SS−OCT装置201は、波長走査型オプティカルコヒーレンストモグラフィー(SS−OCT:Swept Source Optical Coherence Tomography)を用いた光干渉信号測定装置のことである。OCT(Optical Coherence Tomography)とは、光の干渉現象を利用した測定法である。OCTでは、光源からの放射光を参照光と測定光とに分割して、参照光を参照面に入射させ、測定光を測定対象物に入射させる。そして、参照面で反射した参照光と、測定対象物で反射した測定光とを干渉させることで干渉信号を検出する。検出した干渉信号に基づいて、測定対象物の位置を検出する。
OCTには、大別して、参照面の走査が必要な時間領域OCT(TD−OCT:Time Domain Optical Coherence Tomography)と参照面の走査が不要な周波数領域OCT(FD−OCT:Fourier Domain Optical Coherence Tomography)との2種類がある。また、FD−OCTの中にも、スペクトロメータタイプと波長走査型タイプの2つがある。特に、波長走査型タイプのFD−OCTは、SS−OCTと呼ばれる。SS−OCTでは、光源から射出される光の周波数を時間的に変化させながら干渉光の検出を行う。
SS−OCT装置201の概略構成を図2に示す。
SS−OCT装置201は、光ファイバ干渉計301と、測定ヘッド307とを備えている。光ファイバ干渉計301は、光源ユニットの一例として機能する波長走査型光源302を備える。測定ヘッド307は、光学部材の一例として機能する。
光ファイバ干渉計301は、出射する放射光の波長を変化させる波長走査型光源302を備える。波長走査型光源302からの放射光の光出射口が、第1のカプラ303の光受入口に接続されている。第1のカプラ303は、光を固定比率で2分割する分割部の一例として機能する。第1のカプラ303の2つの光送出口のうちの第1光送出口は、第1のサーキュレータ304に接続されている。第1のカプラ303の2つの光送出口のうちの第2光送出口は第2のサーキュレータ305に接続されている。すなわち、波長走査型光源302からの放射光は、第1のカプラ303で測定光及び参照光に分割され、測定光は第2のサーキュレータ305に入射し、参照光は第1のサーキュレータ304に入射する。
第2のサーキュレータ305は、第2のカプラ306の光受入口に接続されると共に、光ファイバ干渉計301外の測定ヘッド307に接続されている。よって、第1のカプラ303からの測定光は測定ヘッド307に入射する一方、測定ヘッド307からの測定光は第2のカプラ306に入射する。
測定ヘッド307は、照射コリメートレンズ308と、ガルバノミラー309と、ビーム径成形機構310とを備えている。
照射コリメートレンズ308は、第2のサーキュレータ305と接続されている。
ガルバノミラー309は、測定ヘッド307の内部に配設される。
ビーム径成形機構310は、ガルバノミラー309と、捲回体204との間に配置されて、測定光のスポット径を成形する。捲回体204は測定対象物の一例である。
第2のサーキュレータ305から照射コリメートレンズ308に入射した測定光は、照射コリメートレンズ308で平行光に成形される。その後、平行光となった測定光は、ガルバノミラー309を経てビーム径成形機構310で集光される。その後、ビーム径成形機構310から出射した測定光は、捲回体204の端面(側面部204e)に照射される。側面部204eで反射(又は後方散乱)した測定光は、ビーム径成形機構310を経て、第2のサーキュレータ305に入射する。さらに、第2のサーキュレータ305に入射した測定光は、第2のカプラ306に入射する。
一方、第1のサーキュレータ304から出射した参照光は、参照コリメートレンズ312に入射する。参照コリメートレンズ312は、参照光を参照面311に入射させると共に、参照面311で反射した参照光を第1のサーキュレータ304に入射させる。第1のサーキュレータ304は、第2のカプラ306の光受入口に接続されている。
第2のカプラ306では、第2のサーキュレータ305からの測定光と、第1のサーキュレータ304からの参照光とで干渉光が形成されている。よって、第2のカプラ306は合波手段の一例として機能する。
差動アンプ313では、第2のカプラ306で形成された干渉光の光ビート信号をOCT演算処理部314に差動伝送する。波長走査型光源302から射出される放射光の周波数は、時間経過に応じて変化している。このため、第2のカプラ306において干渉する参照光と測定光との間に、時間遅れ量に応じた周波数差が生ずる。この周波数差が干渉光の光ビート信号となる。
OCT演算処理部314は、アナログ/デジタル変換回路(アナログ/デジタル変換部)314aと、フーリエ変換回路(フーリエ変換部)314bと、演算部314cとを備える。フーリエ変換回路314bは、干渉光検出手段(干渉検出部)として機能し、演算部314cは、画像取得手段及び位置検出部として機能する。
なお、干渉検出部と位置検出部とを兼用するように演算部314cを構成しても良い。
アナログ/デジタル変換回路314aは、第2のカプラ306で形成された干渉光の光ビート信号の時間波形をアナログ/デジタル変換する。
フーリエ変換回路314bは、アナログ/デジタル変換回路314aに接続されて、アナログ/デジタル変換回路314aからの干渉光に基づく信号である光ビート信号を検出する。フーリエ変換回路314bは、検出した信号をフーリエ変換して、周波数解析を行う。この周波数解析の結果により、干渉光の強度分布を表すSS−OCT信号を得る。
フーリエ変換回路314bからフーリエ変換された情報が演算部314cに入力される。演算部314cは、フーリエ変換回路314bから入力された情報(SS−OCT信号)に基づいて、測定光の照射された位置における捲回体204における第1シート材202と第2シート材203との反射面の位置z1及び位置z2(図4A参照)を算出する。なお、演算部314cで周波数解析を実施しても良い。
演算部314cの出力部は、波長走査型光源302と、測定ヘッド307のガルバノミラー309などの駆動部307Mに電気的に接続され、波長走査型光源302と、ガルバノミラー309の動作を制御する。さらに、演算部314cの出力部は、巻回制御部100にも接続されている。巻回制御部100では、演算部314cから情報に基づいて巻きズレの検査などの所定の動作を行う。
なお、第1実施形態において、前記TD−OCTを採用してもよい。ただし、測定の速度を高めるために、Aスキャンと呼ばれる1次元の走査を、例えば、10kHz以上で実施可能なSS−OCT、もしくはFD−OCTを用いることが好ましい。
<測定ヘッドの設置位置について>
図2の204と206は、図1AにおいてA−A’断面を矢印B方向から観察した捲回体と巻き芯である。測定ヘッド307は、図2のように巻き芯206の回転軸線上に設置する。このように設置することにより、捲回体204に対し、捲回体204の回転軸方向と平行なz軸方向沿いに、測定ヘッド307から測定光を照射することができる。
さらに、測定ヘッド307におけるガルバノミラー309の回転軸をx軸に平行に配置する。このように構成すれば、測定光の照射位置をy軸方向に移動することができる。
<第1実施形態における巻回方法について>
図3は、図1Aの巻回装置200による巻回方法を示したフローチャートである。ここでは、図1A、図2、図3を用いて説明する。
ステップS1では、図1Aの第1シート材202と第2シート材203とを巻き芯206で巻回可能な位置に設置する。このステップS1は、作業者により実施されても良いし、第1シート材202と第2シート材203とを把持する把持手段により自動的に実施されても良い。ここで、第1シート材202と第2シート材203との巻き芯206への設置方法としては、例えば、巻き芯206に設けられた開閉式のスリットに、第1シート材202及び第2シート材203とを保持させる。
次いで、ステップS2では、巻回制御部100は、巻き芯回転駆動部206Mを制御して、巻き芯206を半時計周りに回転させる。これにより、第1シート材202と第2シート材203とが巻き芯206に巻き取られ、巻き芯206の周囲に捲回体204が形成される。
次いで、ステップS3では、捲回体204に対して、SS−OCT装置201を用いたSS−OCT測定を実施する。
このSS−OCT測定の詳細を以下に示す。
図2のSS−OCT装置201は、波長走査型光源302から放射する放射光の波長を変化させつつ、測定を実施する。波長を変化させる範囲としては、例えば波長1300nm±50nmの範囲とする。この波長走査型光源302の動作は、演算部314cにより制御される。
波長走査型光源302からの放射光は、捲回体204の回転軸方向、すなわち、z軸方向から、捲回体204へと照射される。捲回体204へ照射された測定光は、捲回体204の端面(側面部204e)で反射する。この反射した測定光には、第1シート材202で反射した光及び第2シート材203で反射した光とが含まれる。捲回体204で反射した測定光は、第2のカプラ306へと進む。第2のカプラ306では、捲回体204で反射した測定光と、参照面311で反射した参照光とが干渉して干渉光が形成される。その干渉光の光ビート信号は差動アンプ313を介してOCT演算処理部314で検出される。OCT演算処理部314は、検出した光ビート信号を周波数解析して、SS−OCT信号を取得し、そして、このSS−OCT信号から図1Aの第1シート材202の反射面の位置z1及び、第2シート材203の反射面の位置z2をそれぞれ算出する。なお、位置z1とは、第1シート材202の長辺の端面(側面部)のz軸方向の位置を示し、位置z2とは、第2シート材203の長辺の端面(側面部)のz軸方向の位置を示す。なお、第1シート材202の長辺とは、第1シート材202において、第1シート材202の移動方向に平行な辺である。また、第2シート材203の長辺とは、第2シート材203において、第2シート材203の移動方向に平行な辺である。OCT演算処理部314で算出された位置z1と位置z2との情報は、巻回制御部100に出力される。
次いで、ステップS4では、算出した位置z1、及び、位置z2を基に、第1シート材202と第2シート材203との巻きズレ量Δzを算出する。巻きズレ量Δzの具体的な説明は後述する。巻きズレ量Δzの算出は、巻回制御部100の判定部100cで行う。
次いで、ステップS5では、判定部100cが、ステップS3で算出した巻きズレ量ΔzがOK範囲内であるか否かを判定する。OK範囲とは、製品を良品とみなすことのできる範囲であり、具体的には、含まれても品質に問題のない巻きズレ量Δzの範囲である。このOK範囲は、記憶部100bに予め記憶しておく。予め記憶するOK範囲の詳細は後述する。ここで、巻きズレ量ΔzがOK範囲外の場合(ステップS5のNo)、ステップS6へ進む。一方、巻きズレ量ΔzがOK範囲内の場合(ステップS5のYes)、ステップS7へ進む。
ステップS6では、判定部100cからのNG信号を表示部100aと巻き芯回転駆動部206Mに伝達する。
次いで、ステップS8では、形成した捲回体204がNGである旨を、表示部100aに表示する。さらに、巻回制御部100の記憶部100bは、捲回体204に付された製造番号等と紐付けてNGである旨を記憶しておく。このように構成することで、後工程において、記憶部100bでの記憶情報と捲回体204の製造番号等とを照らし合わせることで、NG品を廃棄できる。
一方、ステップS7では、捲回体204が完成しているか否かを判定部100cで判定する。捲回体204が完成していると判定すれば(ステップS7のYes)、ステップS9へ進む。捲回体204が完成か否かの判定は、巻回制御部100が、巻き芯回転駆動部206Mに接続されたエンコーダなどからの情報を基に実施する。例えば、巻き芯206の回転回数をエンコーダからの情報から求め、この回転回数が予め記憶部100bに記憶した回数に達したか否かを判定部100cで判定する。予め記憶する回数としては、例えば、10回とする。捲回体204の巻回が完成していないと判定すれば(ステップS7のNo)、巻回を止めずにステップS2へ戻り、SS−OCT測定を再度実施する。
捲回体204の巻回が完成していると判定された場合、またはNG信号が判定部100cから出力された場合、ステップS9では、巻き芯回転駆動部206Mが巻き芯206の回転を止める。そして、貼合ロール205と巻き芯206との間において、第1シート材202と第2シート材203とを、図示しない電極切断部で切断し、動作を終了する。
なお、ステップS8の工程を実施する際に、ステップS9の工程を同時に実施してもよい。
また、ステップS3〜ステップS5の工程は、検査工程の一例である。本実施形態において、捲回体204を形成する最中に検査工程を同時に実施することで、捲回体204の形成を開始してから検査を終了までに要する時間を短縮できる。
また、第1実施形態における巻回方法で形成された捲回体204を準備する工程と、準備した捲回体204を用いて構造物を製造する工程と、を実施することで、構造物製造方法の一例を実現できる。また、構造物製造方法の別の例としては、部品の一例としての捲回体204の検査を検査装置の一例であるSS−OCT装置201を用いて実施する工程と、検査が実施された捲回体204を利用して構造物を製造する工程と、を含むこともできる。部品の他の例として、第1シート材202と第2シート材203とを積層して形成した積層体を採用することもできる。
構造物の例としては、部品の例である捲回体204を用いて製造することができる捲回型の電池、捲回型のコンデンサ(キャパシタ)等の他に、部品の他の例である積層体を用いて製造することができる積層型の電池、積層型のコンデンサ(キャパシタ)等を挙げることができる。構造物製造方法の具体的な例としての電池(構造物の一例)の製造方法としては、捲回体204をケース内に収納し、ケースにおいて負極と正極とを形成することにより、電池を製造できる。より具体的な構造物製造方法としては、捲回体204を、ニッケルメッキされた鉄製の缶(ケースの一例)に入れ、負極を缶底に溶接して電解液を注入後、正極を蓋に溶接し、プレス機で封口する方法がある。
<巻きズレ量Δzについて>
図4Aは、図1Aの巻き芯206の回転角度θと、第1シート材202におけるz軸方向の位置z1及び第2シート材203におけるz軸方向の位置z2の関係を表した図である。図4Aの横軸は回転角度θであり、巻き芯206の回転角度を示す。θ=0°のとき、巻き芯206は巻回開始位置にあり、第1シート材202と第2シート材203を設置しただけで、巻き芯206は回転していない状態である。例えばθ=360°になると、巻き芯206は半時計周りに1回転し、第1シート材202と第2シート材203とはそれぞれ巻き芯206の円周1周分だけ巻き取られる。
図4Aの縦軸は位置zを示す。この縦軸上において、位置zの値が大きい値をとると(グラフの上方に行くと)図1Aにおいて紙面手前方向に位置することを表し、位置zの値が小さい値をとると(グラフの下方に行くと)図1Aにおいて紙面奥行方向に位置することを表す。つまり、図4Aのグラフは、位置z1が位置z2よりも図1Aにおいて紙面奥側に位置することを表す。
第1実施形態において、巻きズレ量Δzとは、ある回転角度θにおける、位置z1と位置z2の差であり、Δz=z1−z2のことである。
図4Bは、図4Aにおいてθ=360°のときに得られるSS−OCT信号強度と位置zとの関係を示す図である。図4Cは、図4Aにおいてθ=720°のときに得られるSS−OCT信号強度と位置zとの関係を示す図である。
SS−OCT装置201の演算部314cは、得られたSS−OCT信号の2つのピーク位置を、第1シート材202と第2シート材203との位置z1及び位置z2として測定する。ただし、ピーク位置でなくとも、例えばSS−OCT信号に対するエッジ検出など他の信号処理方法を用いてもよい。
なお、本実施形態では、巻きズレ量Δzを測定すればよいため、SS−OCT信号で2つのピークが得られた場合に両者がどのシート材からのSS−OCT信号であるかを区別する必要は無い。ただし、第1シート材202と第2シート材203との測定光に対する反射率が異なることを利用して両者を区別してもよい。具体的には、金属は、樹脂に比べて、測定光の反射率が高いことを利用する。又は、樹脂と金属とでは、SS−OCT信号のピーク形状が異なるため、形状の違いを用いて、両者を区別してもよい。具体的には、金属のSS−OCT信号のピーク形状は、樹脂のSS−OCT信号のピーク形状よりも鋭い。換言すると、金属のSS−OCT信号のピーク形状の半値幅は、樹脂のSS−OCT信号のピーク形状の半値幅よりも狭い。この違いを利用して、位置検出部(一例としての演算部314c)は、周波数解析の結果として得られたSS−OCT信号(干渉光の強度分布)に含まれるピーク形状に基づいて金属(第1シート)と樹脂で構成されるセパレータ(第2シート)とのそれぞれの位置を検出する。
この測定を、図1Aの巻回制御部100により、巻き芯回転駆動部206Mを回転駆動して巻き芯206を回転させることで、θを変えながら継続して行う。これにより、巻回終了までの全ての回転角度θにおける巻きズレ量Δzを測定する。
<OK範囲について>
捲回体204としてリチウムイオン電池を形成する場合、正極と負極とが短絡しないように、セパレータを配置する必要がある。このとき、巻きズレ量Δzが一定の大きさ以上でなければ、正極と負極とが短絡する場合がある。このため、一定の大きさの閾値として、本実施形態では第1閾値を用いる。具体的には、第1閾値と巻きズレ量Δzとを判定部100cで比較することにより良否判定を実施する。例えば、第1閾値を50μmとする。
一方、巻きズレ量Δzの値が大き過ぎても短絡が生じる場合がある。つまり、巻きズレ量は一定の大きさ以下である必要がある。この一定の大きさの閾値として第2閾値を用いる。例えば、1950μmを第2閾値とする。
つまり、第1閾値以上、かつ、第2閾値以下をOK範囲として、記憶部100bに予め記憶しておく。このOK範囲に基づいて、判定部100cは、良否判定を行う。
なお、良否判定の基準に、位置z1と位置z2に対してそれぞれ上限と下限との閾値を設けてもよい。しかしながら、SS−OCT測定により得られる位置z1、位置z2は、図2の光ファイバ干渉計301において、第1のカプラ303から出射してから参照面311での反射を経て第2のカプラ306に入射するまでの参照光の路長H1と、第1のカプラ303を出射してから捲回体204での反射を経て第2のカプラ306に入射するまでの測定光の路長H2との2つの光路の差として得られる。例えば、環境温度の変化により参照光路長H1と測定光路長H2とが変化した場合、位置z1と位置z2の値も変化してしまうため、判定の精度が低下する場合がある。これに対し、参照光路長H1と測定光路長H2とが変化しても巻きズレ量Δzとしては変化しないため、判定に巻きズレ量Δzを使うことは精度の観点から好ましい。
<照射スポット209の大きさについて>
SS−OCT測定を行うに際して、好ましい測定光のスポット径状について説明する。
図2のSS−OCT装置201におけるビーム径成形機構310により、測定光の照射スポットの形状を細長く、楕円形に成形する。これにより、楕円のスポット形状の長軸を、1組のシート材(第1シート材202と第2シート材203)の合計厚みと等しくする。また、図1Aの貼合ロール205で貼り合わせられた第1シート材202と第2シート材203との移動方向と楕円のスポット形状の長軸とを直交させている。
具体的には、図1Aに示す測定光の照射スポット209の長軸(図1Aのy軸と平行な軸)の長さをaとし、第1シート材202の厚さをT1とし、第2シート材203の厚さをT2とすると、下記式(1)のようにする。
a=T1+T2 ・・・・・・(式1)
例えば、第1シート材202と第2シート材203との合計の厚みが100μmの場合、a=200μmとする。
照射スポット209の長軸の長さaを1組のシート材(第1シート材202と第2シート材203)の合計厚さと等しくする理由について図5A〜図7Cを用いて説明する。
図5Aは、測定光の照射スポット209の長軸の長さaを1組のシート材の合計厚さよりも十分に大きく、例えば300μmにした場合の状態を示す図である。ここでは、接点210に照射スポット209を配置する。
ここで、接点210とは、シート材(第1シート材202、第2シート材203)が捲回体204に巻き取られる状態を側面(z軸方向)から見た側面図において、シート材の巻き取られるべき部分が既に巻き取られた部分から構成される捲回体204に最初に接触する位置を意味している。言い換えれば、捲回体204の側面図において、捲回体204の外周面から一対の貼合ロール205の間の中心に向けて引いた接線が捲回体204の周面との接触する点を意味する。この接線と、貼合ロール205で貼り合わせた第1シート材202と第2シート材203とは、z軸方向から見た側面図において、一致する。
図5Bは、図5AにおけるC−C’断面を矢印Dから観察した図と、SS−OCT信号強度と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図である。図5Cは、図5Aにおける照射スポット209の付近を拡大した図である。
図5A〜図5Cのように長さaが第1シート材202と第2シート材203との合計の厚みよりも十分に大きい場合、最外周の第2シート材203aの位置情報とその下層に位置する第1シート材202の位置情報と以外に、更に1周分内周に位置する第2シート材203bの位置情報を取得してしまうことがある。第2シート材203bで反射した測定光を検出するからである。この場合、取得するSS−OCT信号の中に、第2シート材203aと第2シート材203bとの両方の信号が混在することになる。両方の信号が混在すると、それぞれの信号の出所を区別できず、巻きズレ量Δzを正しく測定できない。このため、照射スポット209の長さaを、第1シート材202と第2シート材203との合計の厚みに応じて、一定以下の大きさに制限しなければならない。
一方、図6Aは、照射スポット209の長軸の長さaを第1シート材202と第2シート材203との合計の厚みよりも十分に小さく、たとえば100μmにした場合の図である。図6Bは、図6AにおけるE−E’断面を矢印Fから観察した図と、SS−OCT信号強度と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図である。図6Cは、照射スポット209の付近を拡大した図である。
この場合、図6Bのように第1シート材202の情報のみしか得られない。このため、上述の巻きズレ量Δz=z1−z2を得るためには、複数回のSS−OCT測定もしくは複数個のSS−OCT測定装置が必要になる。このため、照射スポット209の長さaを、第1シート材202と第2シート材203との合計の厚みに応じて、一定以上の大きさに設定する必要がある。
このため、好ましくは、図7Aのように、照射スポット209の長軸の長さaを設定する。図7Aは、照射スポット209の長軸aを第1シート材202と第2シート材203との合計の厚みと等しく、たとえば200μmにした場合の図である。図7Bは、図7AにおけるG−G’断面を矢印Hから観察した断面図と、SS−OCT信号強度と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図である。図7Cは、照射スポット209の付近を拡大した図である。
このように、照射スポット209の長軸の長さaを第1シート材202と第2シート材203との合計厚さと等しくする。すると、1組のシート材である第1シート材202と第2シート材203aの位置情報のみを得られて、かつ、不要な第2シート材203bの位置情報を測定しないため、最も望ましい。
なお、具体的な長軸の長さaの範囲としては、貼り合わせた第1シート材202と第2シート材203との合計厚みの90%以上かつ110%以下とすることが望ましい。この範囲であれば、測定に不要な第2シート材203bの影響を除去しつつ、第1シート材202と第2シート材203aとの位置情報を同時に測定できる。本実施形態では、照射スポット209の長軸の長さaを、例えば200μm±20μmとする。
ここで、±20μm(合計厚みの90%以上かつ110%以下の範囲)の理由をさらに説明する。
長軸の長さaを200μm以上かつ220μm(合計厚みの110%)以下にすると、次のような状態となる。すなわち、照射スポット209が第2シート材203aだけでなく第2シート材203bにわずかに重複し、第2シート材203bからのSS−OCT信号も検出されてしまう。しかし、このときは、照射スポット209に占める第2シート材203bの面積が十分に少ないため、第2シート材203bからのSS−OCT信号はほとんど検出されない。ただし、長軸の長さaを220μm(合計厚みの110%)より大きくすると、第2シート材203bからのSS−OCT信号の影響が大きくなり、巻きズレ量Δzを精度良く測定できないことを本発明者らは見出している。
また、長軸の長さaを180μm以上かつ200μmより小さく(合計厚みの90%以上かつ100%未満)すると、第2シート材203bに照射される測定光は、照射スポット209の長軸の長さaが200μmのときに比べて、僅かに弱くなる。しかしながら、一方で、それによるSS−OCT信号強度の低下量は僅かであり、位置z1及び位置z2の測定に際し問題は生じない。しかし、長軸の長さaを180μm未満(合計厚みの110%未満)にすると、位置z1及び位置z2を精度よく測定できないことを、本発明者は見出している。
以上から、照射スポット209の長軸の長さaの範囲としては、貼り合わせた第1シート材202と第2シート材203との合計厚みの90%以上かつ110%以下とする。
なお、照射スポット209の形状を成形する図2のビーム径成形機構310としては、シリンドリカルレンズ、トロイダルレンズ、又は、アパーチャ等を用いることが可能である。また、図1Aの第1シート材202の側面部の位置と第2シート材203の側面部の位置とはz軸方向においてそれぞれ異なるため、第1シート材202の側面部と第2シート材203の側面部とで照射スポット径状がほとんど変化しないように、図2のビーム径成形機構310を設計する。
また、照射スポット209の短軸の長さbは以下の通りである。
照射スポット209の短軸の長さbを大きくしてしまうと、図4Aにおける巻きズレ量Δzのθ方向の分解能が低下してしまい、急峻な巻きズレ量Δzの変化を正確に測定することができなくなる。巻きズレ量Δzを正確に測定するために必要なθ方向分解能をΔθとし、捲回体204の直径を2Rとすると、θ方向の分解能を低下させないために必要とされる照射スポット209の短軸の長さbは以下の(式2)で表される。
b<R×Δθ ・・・・・・(式2)
例えばΔθ=1°、R=9mmのとき、(式2)より照射スポット209の短軸の長さbは157μm以下である。
なお、第1シート材202と第2シート材203の合計厚みが薄い場合は照射スポット209の長軸の長さaが小さくなり、また、必要なθ方向の分解能Δθが低い場合は照射スポット209の短軸の長さbが大きくなる。そのような場合は、照射スポット209のスポット形状は必ずしも楕円形状となるとは限らない。しかし、リチウムイオン電池を構成する捲回体204の場合、含まれるシート材の合計厚みは100μm〜500μm程度であり、さらにθ方向分解能Δθは、高いほど望ましい、このため、照射スポット209は楕円形状にすることが好ましい。この場合、例えば、照射スポット209の短軸の長さbは、長軸の長さaの、半分以下程度とする。
<照射スポット209の位置について>
照射スポット209の位置は、図7Aの接点210と任意の点M(貼合ロール205と接点210との間の第1シート材202と第2シート材203との側面部における任意の位置)との間が望ましく、巻き取りの接点210と同じ位置にすることが、より望ましい。接点210とは、貼合ロール205を通過した第1シート材202と第2シート材203が、巻き芯206に形成されつつある捲回体204に接線状に接触する位置における任意の点である。言い換えると、第1シート材202が、既に巻き取られて捲回体204を構成する第2シート材203と接触する点である。
接点210を通過した以降では、第1シート材202と第2シート材203とは、巻き芯206に巻きついているため、巻きズレ量Δzはほとんど変化しない。
仮に、M点で測定を行った場合には、以下のような問題がある。すなわち、M点から接点210まではz軸方向の規制力を受けないため、第1シート材202と第2シート材203の厚みなど材料特性のシート材の中でのバラつき、又は、巻き芯206の振動などの要因により、z軸方向に変動してしまうことがある。つまり、接点210までに巻きズレΔzが変化する可能性があり、測定結果の正確さを損なう可能性がある。このため、測定位置を巻き取りの接点210にすることが、より望ましい。なお、一例として、M点から接点210までの寸法は200mm〜300mmであり、巻き芯206の直径は10mm〜50mm程度である。なお、測定位置とは、照射スポット209の位置である。
ただし、第1シート材202と第2シート材203とは、貼合ロール205により貼り合わされているため、巻きズレ量ΔzがM点と接点210とで大きく変化する可能性は高くない。このため、照射スポット209を接点210ではなくM点に配置してもよい。なお、照射スポット209を接点210に配置する方が、好ましいのは前述の通りである。この場合、第1シート材202の側面部と第2シート材203の側面部とが、照射スポット209内に位置するように、照射スポット209の位置を設定する。
なお、測定光の照射スポット209の位置は、第1光学部材の一例として機能する図2の測定ヘッド307により、調節される。側面部204e上の位置であって、接点210と貼合ロール205との間の位置に、測定光が、第1光学部材としての測定ヘッド307により照射される。好ましくは、側面部204e上の位置であって、同時に、接点210の位置でもある位置に、測定光を照射する。
また、照射スポット209の位置は、巻き芯206の回転角度と第1シート材202と第2シート材203の合計厚みとに応じて移動させていくことが好ましい。例えば、第1シート材202と第2シート材203の厚みをそれぞれT1、T2とし、巻き芯206の回転速度をdθ/dtとすると、第1シート材202と第2シート材203の合計厚みが(T1+T2)であるから、下記(式3)だけ、半径方向、すなわち図1Aにおけるy軸方向へ移動させることが望ましい。
(T1+T2)×(dθ/dt)÷360° ・・・・・・(式3)
例えば、厚みT1、T2が共に100μmであり、回転速度dθ/dtが3600°/秒であった場合は、(式3)から2000μm/秒でy軸方向へ照射スポット209の位置を移動させる。
なお、照射スポット209の位置の移動は、図2の演算部314cがガルバノミラー309の角度を可変させて行う。なお、ガルバノミラー309を用いずとも、ステッピングモータ等の機構を設け、演算部314cにより測定ヘッド307そのものを移動させてもよい。
なお、一般に、セパレータは薄く、剛性が無いため、時間経過による吸湿などで張力を失い、電極の上に覆い被さることがある。また、巻き芯206から完成した捲回体204を取り外す際にも、取り出しの際の振動又は物理的接触などで、セパレータが電極上に覆い被さることがある。電極上にセパレータが覆い被さると、セパレータの奥に隠れた電極からのSS−OCT信号を得るのが難しくなる。
図8Aは巻回直後のセパレータである第2シート材203が張力を保った状態の図と、SS−OCT信号強度と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図である。図8Bは、第2シート材203が電極である第1シート材202の上に覆い被さった状態の図と、SS−OCT信号強度と位置zとの関係を示す図との対応関係を示す説明図である。図8Bから、第1シート材202からのSS−OCT信号の強度が弱まっていることが明らかである。このセパレータが電極に覆い被さる現象は、図7Aの接点210以降において発生する場合がある。このため、接点210に、照射スポット209を配置して、SS−OCT測定を実施することが望ましい。
なお、SS−OCT装置201からの放射光には赤外光を用いる。より詳細には、SS−OCT装置201からの放射光には、波長0.8μm以上、かつ、波長1.4μm以下の近赤外光を用いる。近赤外光は樹脂を透過するため、電極に、樹脂からなるセパレータが覆い被さっていても、電極の位置を検出することができる。ただし、セパレータを透過する際に近赤外光が吸収又は散乱することで、検出されるSS−OCT信号の強度が低下するため、上述のように、巻回している最中に、接点210において、第1シート材202と第2シート材203との位置を測定するのが、より望ましい。
ただし、赤外光に比べて測定精度は低下するが、原理上、0.4〜5μmの波長の光を放射光に用いることができる。
なお、図1Aの第1供給リール50と、第2供給リール51と、貼合ロール205とは、それぞれ、回転自在となっている。ただし、それぞれについて、モータなどの回転駆動装置を具備させても良い。この場合の回転駆動装置は、巻回制御部100により制御される。
第1実施形態によれば、巻回装置にて巻回を行いつつ、捲回体204の巻きズレの検査を実施するため、巻回開始から巻きズレの検査終了までのタクトタイムを短くすることができる。また、第1実施形態にかかる巻回装置によれば、X線を用いずに検査を実施することができる。
なお、第1シート材202、第2シート材203の両側、言い換えれば、捲回体204の両側面部に測定光を照射して、両側から位置を測定してもよい。この場合、SS−OCT装置201を二つ用いる。
このように、捲回体204の両端面に測定光を照射すると、第1シート材202及び第2シート材203の幅方向の情報を得ることができる。具体的には、第1シート材202及び第2シート材203の両側の位置の差分をとることで、第1シート材202及び第2シート材203の幅方向の情報を得る。これは、第1シート材202及び第2シート材203がどの構成であるかを知るのに有効である。これには、一般的に、セパレータの方が電極よりも幅が広いことを利用する。
なお、タクトタイムは長くなるが、巻回終了後、すなわち、構造物を構成する部品の一例としての捲回体204を形成した後に、巻きズレの検査を実施しても良い。この場合、貼り合わせられた第1シート材202と第2シート材203と有する捲回体204(構造物を構成する部品の例)を検査する検査装置の例として、SS−OCT装置201が機能する。捲回体204の他に、積層電池等の積層型の構造物も検査できる。検査装置は、放射光を射出する光源ユニット(一例としての波長走査型光源302)と、第1シート材202と第2シート材203との側面部に照射される測定光と参照面に照射される参照光とに前記放射光を分割する分割部(一例としての第1のカプラ303)と、参照面で反射した参照光と側面部で反射した測定光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部(一例としてのフーリエ変換回路314b)と、検出した干渉光に基づいて第1シート材202と第2シート材203との位置をそれぞれ検出する位置検出部(一例としての演算部314c)と、検出した第1シート材202と第2シート材203との位置に基づいて部品の良否を判定する判定部(一例としての判定部100c)とを備えて構成している。
また、検査装置の例として機能するSS−OCT装置201を用いて、第1実施形態の検査方法を実施しても良い。更に、検査装置の例として機能するSS−OCT装置201を用いて、検査方法を含む構造物製造方法を実現しても良い。
(第2実施形態)
図9は、第2実施形態における巻回装置400の模式図である。なお、第1実施形態と共通する構成には同じ符号を用い、説明は省略する。
この第2実施形態は第1実施形態に加えて、ロールガイダー401と、フィードバック制御部402とを具備することを特徴とする。なお、巻回制御部100に、フィードバック制御部402を追加したものを、巻回制御部403とする。
ロールガイダー401は、第1シート材202を挟む一対のローラ401rと、一対のローラ401rを制御して第1シート材202をz軸方向に移動させる移動装置401Mとで構成されている。移動装置401Mの駆動により、第1シート材202のz軸方向の位置を調節して巻きズレ量Δzを制御することができる。より具体的には、ロールガイダー401は、フィードバック制御部402からの制御量(フィードバック量Va)に基づき、一対のローラ401rの軸方向の傾斜角度を変更することにより、第1シート材202のz軸方向の位置を調節する。
フィードバック制御部402は、SS−OCT装置201を用いて得られた巻きズレ量Δzに基づいた制御量を第1ロールガイダー401の移動装置401Mにフィードバックする(フィードバック信号を出力する)。巻きズレ量Δzと制御量との関係は、関係式又はテーブルとしてフィードバック制御部402の記憶部に予め記憶させておく。フィードバック制御部402は、予め記憶された関係式又はテーブルを用いて、制御量を決定する。
なお、ロールガイダー401は、第1シート材202のz軸方向の位置を調節する機能を持つ素子であればよい。
なお、第2シート材203のz軸方向の位置を調節する第2ロールガイダーをさらに設け、第1シート材202と第2シート材203との両方の位置を同時に調節してもよい。
なお、ロールガイダー401は、第1シート材202を挟むように配置されているが、これに限られるものではなく、第2シート材203を挟むように配置されてもよい。
この第2実施形態にかかる巻回装置においても、X線を用いずに検査を実施することができる。
また、変形例として、第1実施形態および第2実施形態において、貼合ロール205を省略して、第1供給リール50と第2供給リール51とから、直接、第1シート材202と第2シート材203とを巻き芯206回りに貼り合わせつつ巻き取って、捲回体204を形成することもできる。この場合には、第2光学部材の一例として機能する図2の測定ヘッド307により、側面部204e上の位置であって、接点210の位置に、測定光を照射させることが好ましい。ただし、貼合ロール205を設ける方が、巻きズレの発生を抑制できるため、好ましい。
また、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
本発明にかかる巻回装置、巻回方法、検査装置及び構造物製造方法は、リチウムイオン電池又はフィルムコンデンサ等の製造工程に適用できる。
本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形又は修正は明白である。そのような変形又は修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

Claims (22)

  1. 貼り合わせた第1シートと第2シートとを巻き芯に巻き付けて捲回体を形成する巻回装置であって、
    放射光を射出する光源ユニットと、
    貼り合わせた前記第1シートと前記第2シートとの側面部に照射される測定光と参照面に照射される参照光とに前記放射光を分割する分割部と、
    前記参照面で反射した前記参照光と前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、
    検出した前記干渉光に基づいて前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する位置検出部と、
    検出した前記第1シートと前記第2シートとの前記位置に基づいて前記捲回体の良否を判定する判定部と、
    を備え、
    前記測定光は、照射時と反射時とで同じ光路を進行し、その進行方向は、前記巻き芯の軸方向と一致する巻回装置。
  2. 前記位置検出部は、検出した前記干渉光に基づく信号を周波数解析して前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する、請求項1に記載の巻回装置。
  3. 検出した前記第1シートと前記第2シートの前記位置に基づいて、前記第1シートの位置、又は、前記第2シートの位置を調節するためのフィードバック信号を出力するフィードバック制御部をさらに備える、請求項2に記載の巻回装置。
  4. 前記光源ユニットは、波長が一定の周期で変化する放射光を射出する光源を有する、請求項3に記載の巻回装置。
  5. 前記放射光は赤外光である、請求項4に記載の巻回装置。
  6. 前記第1シートは電極であり、前記第2シートはセパレータである請求項5に記載の巻回装置。
  7. 前記第1シートと前記第2シートとを貼り合わせる貼合ロールをさらに備える、請求項1〜6のいずれかに記載の巻回装置。
  8. 第1光学部材をさらに備え、
    前記第1光学部材は、前記側面部上の位置であって、前記第1シートと前記第2シートとが前記捲回体に巻き付き始める接点と前記貼合ロールとの間の位置に、前記測定光を照射させる請求項7に記載の巻回装置。
  9. 前記第1光学部材は、前記側面部における前記測定光のスポット径が前記第1シートと前記第2シートとの合計厚みの90%以上かつ110%以下となるように前記測定光を成形する請求項8に記載の巻回装置。
  10. 前記第1光学部材は、前記側面部に照射される前記測定光のスポット形状を楕円形状に成形すると共に、貼り合わせた前記第1シートと前記第2シートの移動方向と前記楕円形状の長軸とを直交させる、
    請求項8に記載の巻回装置。
  11. 前記第1光学部材は、前記側面部に照射される前記測定光のスポット形状を楕円形状に成形すると共に、貼り合わせた前記第1シートと前記第2シートの移動方向と前記楕円形状の長軸とを直交させ、かつ、前記側面部における前記楕円形状の前記長軸の長さを前記第1シートと前記第2シートとの合計厚みの90%以上かつ110%以下とする、請求項8に記載の巻回装置。
  12. 前記位置検出部は、周波数解析の結果として得られた前記干渉光の強度分布に含まれるピーク形状に基づいて前記第1シートと前記第2シートとのそれぞれの位置を検出する請求項1〜11のいずれかに記載の巻回装置。
  13. 第2光学部材をさらに備え、
    前記第2光学部材は、前記側面部上の位置であって、前記第1シートと前記第2シートとが前記捲回体に巻き付き始める接点の位置に、前記測定光を照射させ、
    前記第2光学部材は、前記側面部における前記測定光のスポット径が前記第1シートと前記第2シートとの合計厚みの90%以上かつ110%以下となるように前記測定光を成形する請求項1〜6のいずれかに記載の巻回装置。
  14. 第1シートと第2シートとを巻回して形成した捲回体を検査する検査装置であって、
    放射光を射出する光源ユニットと、
    前記第1シートと前記第2シートとの側面部に照射される測定光と参照面に照射される参照光とに前記放射光を分割する分割部と、
    前記参照面で反射した前記参照光と前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、
    検出した前記干渉光に基づいて前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する位置検出部と、
    検出した前記第1シートと前記第2シートとの前記位置に基づいて前記捲回体の良否を判定する判定部と、
    を備え、
    前記測定光は、照射時と反射時とで同じ光路を進行し、その進行方向は、前記捲回体の軸方向と一致する検査装置。
  15. 前記側面部における前記測定光のスポット径が前記第1シートと前記第2シートとの合計厚みの90%以上かつ110%以下となるように前記測定光を成形する第1光学部材を備える、請求項14に記載の検査装置。
  16. 請求項14に記載の検査装置を用いて、前記捲回体に対して検査を実施する工程と、
    検査が実施された前記捲回体を利用して構造物を製造する工程と、を含む、構造物製造方法。
  17. 貼り合わせた第1シートと第2シートとを巻き芯に巻き付けて捲回体を形成しながら、検査工程を実施する捲回方法であって、
    前記検査工程は、
    貼り合わせた前記第1シートと前記第2シートとの側面部に測定光を照射し、かつ、参照光を参照面に照射する工程と、
    前記参照面で反射した前記参照光と、前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する工程と、
    検出した前記干渉光に基づいて前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する工程と、
    検出した前記第1シートと前記第2シートとの前記位置に基づいて前記捲回体の良否を判定する工程と、を含み、
    前記測定光は、照射時と反射時とで同じ光路を進行し、その進行方向は、前記巻き芯の軸方向と一致する、巻回方法。
  18. 前記側面部における前記測定光のスポット径は、前記第1シートと前記第2シートとの合計厚みの90%以上かつ110%以下となるように成形される請求項17に記載の巻回方法。
  19. 前記側面部に照射される前記測定光のスポット形状を楕円形状に成形すると共に、貼り合わせた前記第1シートと前記第2シートの移動方向と前記楕円形状の長軸とを直交させる、請求項17に記載の巻回方法。
  20. 請求項17に記載の巻回方法で形成された前記捲回体を準備する工程と、
    前記捲回体を用いて構造物を製造する工程と、を含む構造物製造方法。
  21. 貼り合わせられた第1シートと該第1シートと反射率の異なる第2シートとを有する部品を検査する検査装置であって、
    放射光を射出する光源ユニットと、
    前記第1シートと前記第2シートとの側面部に垂直に照射される測定光と参照面に照射される参照光とに前記放射光を分割する分割部と、
    前記参照面で反射した前記参照光と前記側面部で反射した前記測定光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、
    検出した前記干渉光に基づいて前記第1シートと前記第2シートとの位置をそれぞれ検出する位置検出部と、
    検出した前記第1シートと前記第2シートとの前記位置に基づいて前記部品の良否を判定する判定部と、を備え、
    前記測定光が、照射時と反射時とで同じ光路を進行し、
    前記位置検出部は、前記第1シートと前記第2シートとの反射率の違いに基づいて両者を区別する、検査装置。
  22. 請求項21に記載の検査装置を用いて、前記部品に対して検査を実施する工程と、
    検査が実施された前記部品を利用して構造物を製造する工程と、を含む、構造物製造方法。
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