JP7507414B2 - シート作成装置、シート作成方法、及び複層シートの厚さを算出する装置 - Google Patents

Description

本開示は、シート作成装置、シート作成方法、及び複層シートの厚さを算出する装置に関する。

複数の層からなる帯状の積層シートでは、それらの特性上、積層シートの厚さの検査が重要である。積層シートの厚さを検査する装置として、図１０に示すような装置が特許文献１に記載されている。

特許文献１における積層シートの厚さを検査する装置では、樹脂９０の塗布位置よりも金属板９１の搬送先側に、塗布された樹脂９０の厚さを制御するナイフ９２が設けられている。樹脂９０の塗布位置よりも金属板９１の搬送先側に、Ｘ線厚さ計９３が設けられている。特許文献１の装置は、Ｘ線厚さ計９３により金属板９１の板厚を計測し、演算器９４によって金属板９１の板厚偏差に応じてナイフ９２を金属板９１に対して進退させることにより、金属板９１に塗布される樹脂９０の膜厚の不均一性を少なくする。

特開平５－１８５０２２号公報

しかしながら、特許文献１の技術では、樹脂９０を塗布した後の積層シートの厚さを検査していないため、所望の厚さの積層シートを製造できないおそれがある。そこで、樹脂９０の塗布位置よりも金属板９１の搬送先側にもＸ線厚さ計９３を設け、当該Ｘ線厚さ計９３を用いて、積層シートの厚さを検査することが考えられる。しかしながら、このような構成では、Ｘ線厚さ計９３のＸ線の照射部と検出部によって積層シートを裏表から挟み込む必要があり、かつ、防爆のためのカバー等が必要であることから、Ｘ線厚さ計９３の設置場所が制限されてしまう。その結果、樹脂の塗布位置と検査位置とが物理的に離れてしまい、樹脂の塗布から積層シートの厚さが得られるまでのタクトタイムが長くなってしまうおそれがある。

本開示は、複層シートの作成を開始してから厚さの算出を終了するまでのタクトタイムを短くすることができるシート作成装置およびシート作成方法を提供することを目的とする。

本開示のシート作成装置は、搬送されるシート材に塗布材を塗布して複層シートを作成するシート作成装置であって、放射光を射出する放射光源と、前記放射光を前記複層シートに入射される測定光と参照面に照射される参照光とに分割する分割部と、前記複層シートで反射した測定光と前記参照面で反射した参照光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、前記複層シートの長さ方向に対して、第１の入射位置において第１の入射角度の測定光による第１の干渉光の強度プロファイルと、第２の入射位置において前記第１の入射角度と異なる第２の入射角度の測定光による第２の干渉光の強度プロファイルと、を含む少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを取得するプロファイル取得部と、前記少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを平均化した結果に基づいて、前記シート材および前記塗布材の厚さを算出する厚さ算出部と、を備える。
また、本開示のシート材と塗布材で構成されている複層シートの厚さを算出する装置は、放射光を射出する放射光源と、前記放射光を前記複層シートに入射される測定光と参照面に照射される参照光とに分割する分割部と、前記複層シートで反射した測定光と前記参照面で反射した参照光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、前記複層シートの長さ方向に対して、第１の入射位置において第１の入射角度の測定光による第１の干渉光の強度プロファイルと、第２の入射位置において前記第１の入射角度と異なる第２の入射角度の測定光による第２の干渉光の強度プロファイルと、を含む少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを取得するプロファイル取得部と、前記少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを平均化した結果に基づいて、前記シート材および前記塗布材の厚さを算出する厚さ算出部と、を備える。

本開示のシート作成方法は、搬送されるシート材に塗布材を塗布して複層シートを作成するシート作成方法であって、放射光源から放射光を射出する工程と、前記放射光を測定光と参照光とに分割する工程と、前記測定光を光学部材で前記複層シートに射出する工程と、前記参照光を参照面に照射する工程と、前記複層シートで反射した測定光と前記参照面で反射した参照光とが干渉した干渉光を検出する工程と、前記複層シートの長さ方向に対して、第１の入射位置において第１の入射角度の測定光による第１の干渉光の強度プロファイルと、第２の入射位置において前記第１の入射角度と異なる第２の入射角度の測定光による第２の干渉光の強度プロファイルと、を含む少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを取得するプロファイル取得行程と、前記少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを平均化した結果に基づいて、前記シート材および前記塗布材の厚さを算出する厚さ算出工程と、を含む。

本開示のシート作成装置およびシート作成方法によれば、複層シートの作成を開始してから厚さの算出を終了するまでのタクトタイムを短くすることができる。

本開示の第１の実施の形態におけるシート作成装置の概略構成を示す模式図である。 前記第１の実施の形態および本開示の第２の実施の形態におけるＳＳ－ＯＣＴ装置の構成を示す模式図である。 前記第１の実施の形態におけるＳシート作成方法を示すフローチャートである。 前記第１，第２の実施の形態におけるＳＳ－ＯＣＴ装置の対物レンズと複層シートとの位置関係を示すＹＺ平面図である。 前記第１，第２の実施の形態におけるＳＳ－ＯＣＴ装置の検査ロールと複層シートとの位置関係を示すＸＹ平面図である。 前記第１，第２の実施の形態における検査ロール上では異なり、かつ、複層シート上では同一のＢスキャン位置でＢスキャンを行った場合の測定光と複層シートとの位置関係を示す模式図である。 前記第１，第２の実施の形態における検査ロール上では異なり、かつ、複層シート上でも異なるＢスキャン位置でのＢスキャンを行った場合の測定光と複層シートとの位置関係を示す模式図である。 前記第１，第２の実施の形態における複層シートの搬送速度が低下した状態において、検査ロール上で同一、かつ、複層シート上では異なるＢスキャン位置でのＢスキャンを行った場合の測定光と複層シートとの位置関係を示す模式図である。 前記第１，第２の実施の形態における複層シートにおけるシート材の周期構造を示すＹＺ平面の断面図である。 前記第１，第２の実施の形態におけるＳＳ－ＯＣＴ装置の検査ロールと複層シートとの位置関係を示すＸＹ平面図である。 前記第１，第２の実施の形態における複層シートにおけるシート材の周期構造を示すＸＹ平面図である。 前記第１，第２の実施の形態における複層シートにおける測定光の屈折状態を示す模式図である。 前記第１，第２の実施の形態における複層シートの厚さの算出方法の説明図である。 前記第２の実施の形態におけるシート作成装置の概略構成を示す模式図である。 前記第２の実施の形態におけるシート作成方法を示すフローチャートである。 特許文献１に記載の従来技術の説明図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

〔第１の実施の形態〕
＜シート作成装置の概略構成＞
まず、本開示の第１の実施の形態におけるシート作成装置の概略構成について説明する。図１は、本開示の第１の実施の形態におけるシート作成装置の模式図である。なお、以下において、図１に示すＸＹＺ軸を基準にして方向を説明する場合がある。

図１に示すように、シート作成装置１は、シート材１１に塗布材１２（図６Ａ参照）が塗布された複層シート１０を作成し、複層シート１０の検査を行う。シート作成装置１は、シート供給リール２０と、塗布部３０と、巻き取りロール４０と、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０と、シート生成制御部６０と、を備える。

シート供給リール２０は、回転軸がＸ軸と平行になるように設けられている。シート供給リール２０には、シート材１１がロール状に巻かれている。シート材１１は、複層シート１０の基材となるセロハン樹脂もしくはポリイミド樹脂など樹脂製のシートや、綿や樹脂繊維やガラス繊維によって織られた布もしくは不織布である。シート供給リール２０は、塗布部３０にシート材１１を供給する。

塗布部３０は、塗布ロール３１と、塗布供給器３２と、塗布器３３と、を備える。

塗布ロール３１は、シート供給リール２０よりもシート材１１の搬送方向側（－Ｙ方向側）において、回転軸がＸ軸と平行になるように設けられている。

塗布供給器３２は、塗布器３３に塗布材１２を供給する。塗布材１２は、例えば樹脂製の接着剤や、繊維に対する機械的強度の補強や耐候性向上を目的に塗布される充填剤である。

塗布器３３は、塗布ロール３１の上方（－Ｚ方向側）に設けられている。塗布器３３は、塗布供給器３２から供給される塗布材１２を、塗布ロール３１上で搬送されるシート材１１に塗布することによって、シート材１１に塗布材１２が積層された複層シート１０が形成される。複層シート１０は、測定対象物の一例である。複層シート１０は、例えば、粘着テープである。

なお、塗布材１２をシート材１１に塗布する手法は、塗布器３３に用いずに、例えば塗布材１２が満たされた槽の中をシート材１１を通過させることで塗布する手法を用いてもよいし、別途、塗布材１２が塗布されたロールをシート材１１に接触させることで塗布する手法を用いてもよい。また、塗布材１２をシート材１１の両面に塗布してもよい。さらに、複層シート１０を、基材と樹脂層の２層で構成しているが、複数の塗布層や複数の基材による多層構造で構成してもよい。また、シート材１１への塗布材１２の塗布後に、ヒーターや温風等による塗布材１２の乾燥工程を設けてもよい。

巻き取りロール４０は、塗布器３３によりもシート材１１の供給方向側（－Ｙ方向側）において、回転軸がＸ軸と平行になるように設けられている。巻き取りロール４０は、モータなどの駆動によって回転することによって、複層シート１０を巻き取る。なお、複層シート１０を巻き取りロール４０で巻き取る工程を設けずに、一定の長さのシート状にカットするカット工程を設けてもよいし、連続的にその後の工程に連結されていてもよい。

ＳＳ－ＯＣＴ装置５０は、複層シート１０を構成するシート材１１および塗布材１２の厚さの算出に用いる各種情報をシート生成制御部６０に出力する。ＳＳ－ＯＣＴ装置５０の詳細な構成については後述する。

シート生成制御部６０は、シート作成装置１全体の動作を制御する。シート生成制御部６０は、動作制御部６１と、厚さ算出部６２と、判定部６３と、記憶部６４と、表示部６５と、を備える。

動作制御部６１は、複層シート１０の生成動作を制御する。

厚さ算出部６２は、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０からの情報に基づいて、シート材１１および塗布材１２の厚さを算出する。

判定部６３は、厚さ算出部６２での厚さの算出結果に基づいて、複層シート１０の良否（ＯＫかＮＧか）を判定する。

記憶部６４は、複層シート１０に付された製造番号等と関連付けて、当該複層シート１０がＮＧ品である旨を記憶する。

表示部６５は、判定部６３における判定結果に基づいて、複層シート１０がＯＫ品かＮＧ品かを表示する。

＜ＳＳ－ＯＣＴ装置について＞
次に、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０について説明する。図２は、ＳＳ－ＯＣＴ装置の構成を示す模式図である。

ＳＳ－ＯＣＴ装置５０は、検査装置の一例である。ＳＳ－ＯＣＴ装置５０とは、波長走査型オプティカルコヒーレンストモグラフィー（ＳＳ－ＯＣＴ：Ｓｗｅｐｔ Ｓｏｕｒｃｅ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）を用いた光干渉信号測定装置のことである。ＯＣＴ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）とは、光の干渉現象を利用した測定法である。ＯＣＴでは、光源からの放射光を参照光と測定光Ｌとに分割して、参照光を参照面に入射させ、測定光Ｌを測定対象物に入射させる。そして、参照面で反射した参照光と、測定対象物で反射した測定光Ｌとを干渉させることで干渉信号を検出する。検出した干渉信号に基づいて、測定対象物の位置を検出する。

ＯＣＴには、大別して、参照面の走査が必要な時間領域ＯＣＴ（ＴＤ－ＯＣＴ：Ｔｉｍｅ Ｄｏｍａｉｎ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）と参照面の走査が不要な周波数領域ＯＣＴ（ＦＤ－ＯＣＴ：Ｆｏｕｒｉｅｒ Ｄｏｍａｉｎ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）との２種類がある。また、ＦＤ－ＯＣＴの中にも、スペクトロメータタイプと波長走査型タイプの２つがある。特に、波長走査型タイプのＦＤ－ＯＣＴは、ＳＳ－ＯＣＴと呼ばれる。ＳＳ－ＯＣＴでは、光源から射出される光の周波数を時間的に変化させながら干渉光の検出を行う。

ＳＳ－ＯＣＴ装置５０は、検査ロール５１と、測定ヘッド５２と、光ファイバ干渉計５３と、を備える。

検査ロール５１は、塗布ロール３１と巻き取りロール４０との間において、回転軸がＸ軸と平行になるように設けられている。検査ロール５１には、複層シート１０が抱き角αをもって接触するように設けられている。検査ロール５１と複層シート１０の接触する面は、円弧面５１１となる。

測定ヘッド５２は、光学部材の一例として機能する。測定ヘッド５２は、照射コリメートレンズ５２１と、ガルバノミラー対５２２と、対物レンズ５２３と、駆動部５２４と、を備える。

照射コリメートレンズ５２１は、光ファイバ干渉計５３の後述する第２のサーキュレータ５３６と接続されている。照射コリメートレンズ５２１は、第２のサーキュレータ５３６から入射された測定光Ｌを平行光にする。この平行光は、ガルバノミラー対５２２に射出される。

ガルバノミラー対５２２は、検査ロール５１の上方に設けられている。ガルバノミラー対５２２は、Ｘ軸に平行な回転軸を有する第１のミラーと、Ｙ軸に平行な回転軸を有する第２のミラーと、を備える。ガルバノミラー対５２２は、照射コリメートレンズ５２１から入射された平行光を反射して、対物レンズ５２３に射出する。

対物レンズ５２３は、ガルバノミラー対５２２と検査ロール５１との間に設けられている。対物レンズ５２３は、ガルバノミラー対５２２から入射された平行光を集光して、複層シート１０に照射する。ここで、対物レンズ５２３は、ガルバノミラー対５２２とによってテレセントリック光学系を構成するように設けられている。このため、ガルバノミラー対５２２の第１のミラーや第２のミラーの動きによって、測定光Ｌの入射位置は、ＸＹ平面（水平面）内で変わるものの、測定光Ｌの入射位置への入射角度は、変化しない。

駆動部５２４は、ガルバノミラー対５２２の第１のミラーおよび第２のミラーを動かして、複層シート１０に対する測定光Ｌの入射位置を調整する。

以上のような測定ヘッド５２の構成によって、第２のサーキュレータ５３６から照射コリメートレンズ５２１に入射された測定光Ｌは、上述のように、ガルバノミラー対５２２を経て対物レンズ５２３で集光され、複層シート１０の表面に入射する。複層シート１０の表面、内部および裏面と、検査ロール５１とで反射（又は後方散乱）した測定光Ｌは、対物レンズ５２３、ガルバノミラー対５２２および照射コリメートレンズ５２１を経て、第２のサーキュレータ５３６に射出される。

光ファイバ干渉計５３は、光源ユニットの一例として機能する。光ファイバ干渉計５３は、放射光源５３１と、第１のカプラ５３２と、第１のサーキュレータ５３３と、参照コリメートレンズ５３４と、参照面５３５と、第２のサーキュレータ５３６と、第２のカプラ５３７と、差動アンプ５３８と、ＯＣＴ演算処理部５３９と、を備える。

放射光源５３１は、放射光を射出する。放射光源５３１は、放射光の波長を変化させることができるように構成されている。放射光源５３１の光射出口は、第１のカプラ５３２の光受入口に接続されている。

第１のカプラ５３２は、入射される光を固定比率で２分割する分割部の一例として機能する。第１のカプラ５３２は、第１の光送出口と、第２の光送出口と、を有する。第１光送出口は、第１のサーキュレータ５３３に接続されている。第２光送出口は、第２のサーキュレータ５３６に接続されている。このような構成により、放射光源５３１から第１のカプラ５３２に入射された放射光は、参照光と測定光Ｌとに分割される。参照光は、第１のサーキュレータ５３３に射出され、測定光Ｌは、第２のサーキュレータ５３６に射出される。

第１のサーキュレータ５３３は、第２のカプラ５３７の光受入口に接続されている。第１のサーキュレータ５３３は、第１のカプラ５３２から入射された参照光を参照コリメートレンズ５３４に射出する。参照コリメートレンズ５３４に入射された参照光は、参照面５３５で反射し、参照コリメートレンズ５３４を介して第１のサーキュレータ５３３に射出される。第１のサーキュレータ５３３は、参照面５３５で反射した参照光を第２のカプラ５３７に射出する。

第２のサーキュレータ５３６は、第２のカプラ５３７の光受入口に接続されるとともに、測定ヘッド５２の照射コリメートレンズ５２１の光受入口に接続されている。第２のサーキュレータ５３６は、第１のカプラ５３２から入射される測定光Ｌを測定ヘッド５２に射出する一方、測定ヘッド５２からの測定光Ｌを第２のカプラ５３７に射出する。

第２のカプラ５３７は、差動アンプ５３８に接続されている。第２のカプラ５３７は、第１のサーキュレータ５３３からの参照光と、第２のサーキュレータ５３６からの測定光Ｌとによる干渉光を形成する。つまり、第２のカプラ５３７は、合波手段の一例として機能する。

差動アンプ５３８は、第２のカプラ５３７で形成された干渉光の光ビート信号をＯＣＴ演算処理部５３９に差動伝送する。放射光源５３１から射出される放射光の周波数は、時間経過に応じて変化している。このため、第２のカプラ５３７において干渉する参照光と測定光Ｌとの間に、時間遅れ量に応じた周波数差が生ずる。この周波数差が干渉光の光ビート信号となる。

ＯＣＴ演算処理部５３９は、アナログ／デジタル変換回路（アナログ／デジタル変換部）５３９Ａと、フーリエ変換回路（フーリエ変換部）５３９Ｂと、演算部５３９Ｃとを備える。フーリエ変換回路５３９Ｂは、干渉検出部として機能し、演算部５３９Ｃは、プロファイル取得部として機能する。

アナログ／デジタル変換回路５３９Ａは、差動アンプ５３８に接続されている。アナログ／デジタル変換回路５３９Ａは、差動アンプ５３８で形成された干渉光の光ビート信号の時間波形をアナログからデジタルに変換する。

フーリエ変換回路５３９Ｂは、アナログ／デジタル変換回路５３９Ａに接続されている。フーリエ変換回路５３９Ｂは、アナログ／デジタル変換回路５３９Ａからの干渉光の光ビート信号を検出する。フーリエ変換回路５３９Ｂは、検出した信号をフーリエ変換して、周波数解析を行うことによって、干渉光の強度分布を表すＳＳ－ＯＣＴ信号を得る。

演算部５３９Ｃの入力部は、フーリエ変換回路５３９Ｂに接続されている。演算部５３９Ｃは、フーリエ変換回路５３９Ｂから入力された情報（ＳＳ－ＯＣＴ信号）に基づいて、測定光Ｌの入射位置における反射信号強度プロファイルを算出する。この測定光Ｌが入射した１点の位置における、入射方向１次元の反射信号強度プロファイルを取得するプロセスをＡスキャンという。

演算部５３９Ｃの出力部は、放射光源５３１と、測定ヘッド５２のガルバノミラー対５２２などの駆動部５２４と、シート生成制御部６０と、に接続されている。演算部５３９Ｃは、駆動部５２４を制御して、ガルバノミラー対５２２を動作させることで、測定光Ｌの入射位置を変化させつつ上記のＡスキャンを行うことで、直線状に変化させた測定光Ｌ入射位置における反射信号強度プロファイルを取得し、２次元画像化する。この２次元画像化された、複数の測定光入射位置における反射信号強度プロファイルを取得するプロセスをＢスキャンといい、得られた２次元画像をＢスキャン画像と言う。シート生成制御部６０では、演算部５３９Ｃの制御によるＡスキャンもしくはＢスキャンで得られた情報に基づいて、厚さの算出などの所定の動作を行う。

なお、第１の実施の形態および後述する第２の実施の形態において、前記ＴＤ－ＯＣＴを採用してもよい。ただし、厚さ測定の速度を高めるために、上記Ａスキャンと呼ばれる１次元の走査として、例えば、１０ｋＨｚ以上で実施可能なＳＳ－ＯＣＴ、もしくはＳＤ－ＯＣＴを用いることが好ましい。

＜測定ヘッドの設置位置とスキャン方向について＞
次に、測定ヘッド５２の設置位置とスキャン方向について説明する。上述したように、複層シート１０は、検査ロール５１の外周面と抱き角αで接触している。測定ヘッド５２は、ガルバノミラー対５２２の動作範囲内で、検査ロール５１と複層シート１０が接する円弧面５１１に対し、垂直に測定光Ｌを入射できるよう設置されている。このような構成にすれば、空気と複層シート１０の間で測定光Ｌが屈折することを抑制でき、より正確に厚さを測定できる。ガルバノミラー対５２２の第２のミラーの回転軸は、Ｙ軸に対して平行に配置されている。このように構成すれば、測定光Ｌの入射位置を検査ロール５１の軸方向、つまりＸ軸方向に移動したＢスキャンを実施することができる。

＜シート作成方法＞
次に、シート作成装置１によるシート作成方法について説明する。図３は、シート作成方法を示すフローチャートである。

まず、図１に示すように、シート供給リール２０に巻かれたシート材１１を、巻き取りロール４０に設置する（ステップＳ１）。このステップＳ１は、作業者により実施されても良いし、シート材１１を把持する把持手段により自動的に実施されても良い。ここで、シート材１１の巻き取りロール４０への設置方法としては、例えば、巻き取りロール４０に設けられた開閉式のスリットに、シート材１１を保持させる。

次いで、複層シート１０を生成する（ステップＳ２）。具体的には、シート生成制御部６０の動作制御部６１は、巻き取りロール４０を半時計周り方向に回転させて、シート材１１を搬送すると同時に、塗布材１２を塗布供給器３２から塗布器３３へ送り込む。ここで、塗布材１２を送り込む方法としては、圧縮エアーなどによる圧送でもよいし、ダイアフラムポンプなどポンプでもよい。これにより、シート材１１の表面に塗布材１２が塗布されることで、複層シート１０が生成される。生成された複層シート１０は巻き取りロール４０に連続的に巻き取られる。

次いで、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０は、複層シート１０に対して、当該複層シート１０を搬送しながらＳＳ－ＯＣＴ測定を実施する（ステップＳ３）。このＳＳ－ＯＣＴ測定の詳細を以下に説明する。

まず、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０は、放射光源５３１から放射する放射光の波長を変化させつつ、測定を実施する。波長を変化させる範囲としては、例えば、シート材１１や塗布材１２に対する透過性を高めるために、１５５０ｎｍ±１００ｎｍの範囲とする。この放射光源５３１の動作は、演算部５３９Ｃにより制御される。放射光源５３１からの放射光は、複層シート１０の表面へ－Ｚ方向から入射する。なお、放射光源５３１から放射する放射光の波長を、１５５０ｎｍ±１００ｎｍの範囲外の波長としてもよい。また、放射光源５３１から、１５５０ｎｍ±１００ｎｍの範囲内の複数の波長の光を含む放射光を射出するようにしてもよく、この場合、１つの光源で複数の波長の光を含む放射光を射出してもよいし、互いに異なる波長の光を射出可能な複数の光源を用いてもよい。

複層シート１０へ入射した測定光Ｌは、複層シート１０の表面、内部および裏面と、検査ロール５１と、で反射（又は後方散乱）する。複層シート１０で反射した測定光Ｌは、第２のカプラ５３７へと進む。第２のカプラ５３７では、複層シート１０で反射した測定光Ｌと、参照面５３５で反射した参照光とが干渉して干渉光が形成される。その干渉光の光ビート信号は、差動アンプ５３８を介してＯＣＴ演算処理部５３９のフーリエ変換回路５３９Ｂで検出される。

ＯＣＴ演算処理部５３９の演算部５３９Ｃは、検出した光ビート信号を周波数解析して、ＳＳ－ＯＣＴ信号を取得し、このＳＳ－ＯＣＴ信号に基づいて、Ｂスキャン画像を算出する。このＢスキャン画像は、上述のように２次元画像化された反射信号強度プロファイルである。演算部５３９Ｃで得られたＢスキャン画像は、測定光Ｌの入射位置と共にシート生成制御部６０に出力される。なお、複層シート１０における測定光Ｌの入射位置が検査ロール５１に接触しているため、当該入射位置は振動に対して安定する。その結果、高精度な検査が可能となる。

ＯＣＴ装置において、上述のように、測定光（放射光）Ｌとして波長１５５０ｎｍ±１００ｎｍの赤外光を用いた場合、測定光Ｌは樹脂を透過することができる。測定光Ｌが樹脂を透過した場合、樹脂内部において、樹脂内部のフィラー等の添加物や樹脂内部の屈折率の不均一性により散乱光が生じる。この散乱光同士が強め合い、ランダムなスペックルパターンが発生する。このスペックルパターンは、後述するステップＳ４での厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出に悪影響を与えるため、好ましくない。このため、ステップＳ３の処理では、シート生成制御部６０の厚さ算出部６２は、複層シート１０に対し、少なくとも複数の角度から測定光Ｌを射出してＢスキャンを実施し、スペックルの発生パターンが異なる複数枚のＢスキャン画像を得、それを平均化することでスペックルを除去した平均化画像を得る。この平均化処理については後述する。

次いで、シート生成制御部６０の厚さ算出部６２は、得られた平均化画像に基づいて、シート材１１の厚さΔＺｓと塗布材１２の厚さΔＺｔを算出する（ステップＳ４）。厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出の具体的な説明は後述する。

次いで、判定部６３は、ステップＳ４で算出された厚さΔＺｓ，ΔＺｔがＯＫ範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ５）。ＯＫ範囲とは、製品を良品とみなすことのできる範囲であり、具体的には、品質に問題のない厚さΔＺｓ，ΔＺｔの範囲である。このＯＫ範囲は、記憶部６４に予め記憶されている。予め記憶されたＯＫ範囲の詳細は後述する。

判定部６３は、厚さΔＺｓ，ΔＺｔがＯＫ範囲内でない（ＯＫ範囲外である）と判定した場合（ステップＳ５：ＮＯ）、ＮＧ信号を表示部６５に出力する（ステップＳ６）。表示部６５は、形成した複層シート１０がＮＧである旨を表示する（ステップＳ７）。さらに、判定部６３は、複層シート１０に付された製造番号等とＮＧである旨を示す情報とを関連付けて、記憶部６４に記憶させる（ステップＳ８）。このように構成することで、後工程において、記憶部６４に記憶された情報と複層シート１０の製造番号等とを照らし合わせることで、ＮＧ品を廃棄できる。

判定部６３で厚さΔＺｓ，ΔＺｔがＯＫ範囲内であると判定した場合（ステップＳ５：ＹＥＳ）、動作制御部６１は、複層シート１０が完成したか否かを判定する（ステップＳ９）。複層シート１０が完成したか否かの判定は、動作制御部６１が巻き取りロール４０に接続されたエンコーダなどからの情報に基づいて実施する。例えば、動作制御部６１は、巻き取りロール４０の回転回数をエンコーダからの情報から求め、この回転回数が予め記憶部６４に記憶された回数に達したか否かを判定する。予め記憶された回数は、例えば、１０回とする。

動作制御部６１は、複層シート１０が完成していないと判定した場合（ステップＳ９：ＮＯ）、複層シート１０の生成を終了せずに、ステップＳ３へ戻り、ＳＳ－ＯＣＴ測定を再度実施する。

動作制御部６１は、複層シート１０が完成したと判定した場合（ステップＳ９：ＹＥＳ）、または、ステップＳ８の処理が実施された場合、塗布器３３の塗布動作を終了させ、シート供給リール２０から塗布ロール３１に至るまでの間のシート材１１を、図示しない切断部で切断し（ステップＳ１０）、動作を終了する。

なお、ステップＳ７やステップＳ８の工程を実施する際に、ステップＳ１０の工程を同時に実施してもよい。また、ステップＳ３～ステップＳ５の工程は、検査工程の一例である。第１の実施の形態において、複層シート１０を生成する最中に検査工程を同時に実施することで、複層シート１０の生成を開始してから検査を終了までに要する時間を短縮できる。

＜複数のＢスキャン画像の平均化処理における測定光のＹ方向の位置について＞
次に、ステップＳ３の複数のＢスキャン画像の平均化処理における測定光のＹ方向の位置について説明する。図４Ａは、ＳＳ－ＯＣＴ装置の対物レンズと複層シートとの位置関係を示すＹＺ平面図である。図４Ｂは、ＳＳ－ＯＣＴ装置の検査ロールと複層シートとの位置関係を示すＸＹ平面図である。図５Ａは、検査ロール上では異なり、かつ、複層シート上では同一のＢスキャン位置でＢスキャンを行った場合の測定光と複層シートとの位置関係を示す模式図である。図５Ｂは、検査ロール上では異なり、かつ、複層シート上でも異なるＢスキャン位置でのＢスキャンを行った場合の測定光と複層シートとの位置関係を示す模式図である。図５Ｃは、複層シートの搬送速度が低下した状態において、検査ロール上で同一、かつ、複層シート上では異なるＢスキャン位置でのＢスキャンを行った場合の測定光と複層シートとの位置関係を示す模式図である。

複数枚のＢスキャン画像を平均化する際、複層シート１０の面内における厚さのバラツキがあると、Ｂスキャン画像に対応するＢスキャンの位置が異なるほど、スペックルの発生パターンも異なるものの、異なる部位のＢスキャン画像同士を平均化することになるため、ステップＳ４で行う厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出精度が低くなってしまう。

（Ａ：検査ロール上では異なり、かつ、複層シート上では同一のＢスキャン位置でのＢスキャンで得られるＢスキャン画像の平均化）
第１，第２の実施の形態では、検査ロール５１におけるＢスキャン位置を複層シート１０の搬送方向、すなわちＹ方向に平行にずらし、複層シート１０からみて同一のＢスキャン位置に対して、同一の条件でＢスキャンを行うことで、Ｂスキャン画像を取得する。このずらし量は、複層シート１０の搬送速度に基づいて、シート生成制御部６０の厚さ算出部６２により決定される。

図４Ａおよび図４Ｂに示すように、検査ロール５１の半径をｒ、検査ロール５１の中心を通りかつ重力方向に延びる線を中心線Ｃ、第１のＢスキャン時に測定光Ｌが入射する検査ロール５１上の位置（以下、「第１のＢスキャン位置」という場合がある）５１Ａと検査ロール５１の中心とを結ぶ線と、Ｚ軸に平行な重力方向（中心線Ｃ）との成す角度をθ１、第１のＢスキャン位置５１Ａから中心線Ｃまでの水平方向（Ｙ方向）に沿う距離をＸ１とした場合、ｒ、θ１、Ｘ１は、以下の式（１）を満たす。
Ｘ１＝ｒ×ｃｏｓθ１・・・（１）
Ｘ１は、検査ロール５１と測定ヘッド５２との位置関係が固定であれば、既知の値となるため、θ１も既知の値となる。

Ｂスキャンが行われる時間間隔における検査ロールの回転角度Δθ、第２のＢスキャン時に測定光Ｌが入射する検査ロール５１上の位置（以下、「第２のＢスキャン位置」という場合がある）５１Ｂから中心線Ｃまでの水平方向（Ｙ方向）に沿う距離をＸ２とした場合、ｒ、θ１、Δθ、Ｘ２は、以下の式（２）を満たす。
Ｘ２＝ｒ×ｃｏｓ（θ１＋Δθ）・・・（２）
第１のＢスキャン位置５１Ａが上記式（１）を満たす位置になり、第２のＢスキャン位置５１Ｂが上記式（２）を満たす位置になるように、厚さ算出部６２は、駆動部５２４を制御して、ガルバノミラー対５２２を動作させる。

第１のＢスキャンおよび第２のＢスキャンにより得られる２つのＢスキャン画像は、検査ロール５１上では異なるＢスキャン位置を示す画像ではあるが、図５Ａに示すように、複層シート１０からみると測定光Ｌの入射位置が同じであり、入射角度が異なる画像となる。複層シート１０が検査ロール５１の円弧面５１１に沿って曲がっている効果により、第１のＢスキャンにおける測定光Ｌ１の入射角度はθ１となり、第２のＢスキャンにおける測定光Ｌ２の入射角度はθ２となる。このため、２つのＢスキャン画像のスペックル発生パターンは異なるので、この２つのＢスキャン画像を平均化することで、スペックルを除去することができる。また、同じ測定位置であることは維持されるので、ステップＳ４で行う厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出精度を低下させることもない。

複層シート１０における検査ロール５１に沿って曲がらずに直線的に搬送されている部位、例えば検査ロール５１と塗布ロール３１の中間に位置する部位に対して、同一の条件で第１，第２のＢスキャンを行うと、２つのＢスキャン画像における測定光の入射角度もそれぞれ等しくなる。このため、スペックルの発生パターンも等しくなってしまい、スペックルを除去することができず、好ましくない。

なお、Ｂスキャン位置の移動は、ガルバノミラー対５２２の角度を可変させることにより行うことができるが、ガルバノミラー対５２２を用いなくても、ステッピングモータ等の機構を設け、測定ヘッド５２そのものを移動させてもよい。

（Ｂ：検査ロール上では異なり、かつ、複層シート上でも異なるＢスキャン位置でのＢスキャンで得られるＢスキャン画像の平均化）
複層シート１０の平面内における厚さにバラツキがない場合は、複数のＢスキャンにおける測定光の入射位置が大きく異なってもよい。この場合、測定光の入射位置は、例えばそのスポット径以上に大きくずらす方が、スペックルを除去する効果を高めることができ好ましい。

その際、図５Ｂに示すように、複層シート１０における第１のＢスキャンの測定光Ｌ１の入射位置に対し、第２のＢスキャンの測定光Ｌ２の入射位置が、複層シート１０の搬送方向の後方に位置するようにすると、ガルバノミラー対５２２の角度の変更量を抑えつつ大きな測定光の位置の差を生じさせることができ、また、測定光が同一部位に入射することを確実に避けることができ、スペックルパターンに大きな差を作れるため好ましい。しかし、第１のＢスキャンの測定光Ｌ１の入射位置に対し、第２のＢスキャンの測定光Ｌ２の入射位置を、複層シート１０の搬送方向の前方に位置させてもよい。このような構成にすれば、複層シート１０の同一の部位を別角度から入射される測定光を用いて測定することができる。また、第１のＢスキャンの測定光Ｌ１の入射位置と第２のＢスキャンの測定光Ｌ２の入射位置との間隔は、第１のＢスキャンの測定光Ｌ１の入射を開始してから、第２のＢスキャンの測定光Ｌ２の入射を開始するまでに複層シート１０が搬送される距離と同じであることが好ましい。このような構成にすれば、複層シート１０の搬送中に、同一の部位に測定光を入射させることができ、Ｂスキャンの位置を同じにすることができる。その結果、同じ部位のＢスキャン画像同士を平均化することができ、ステップＳ４で行う厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出精度の低下を抑制できる。第１，第２のＢスキャンを行うに際し、図５Ａに示す場合では、複層シート１０における測定光の入射角度が異なるものの入射位置が同じであったのに対し、図５Ｂに示す場合では、測定光の入射角度（第１のＢスキャンにおける測定光Ｌ１の入射角度θ１≠第２のＢスキャンにおける測定光Ｌ２の入射角度θ２）および入射位置の両方が異なる。

（Ｃ：検査ロール上で同一、かつ、複層シート上では異なるＢスキャン位置でのＢスキャンで得られるＢスキャン画像の平均化）
複層シート１０の平面内における厚さにバラツキがない場合でも、検査ロール５１における同一位置をＢスキャンし続けることは、外乱や張力の変動による複層シート１０のたるみ等で、複層シート１０が瞬間的に停止もしくは搬送速度が低下してしまった際に、測定光の入射位置が同一もしくは極めて近くなり、スペックルを十分に除去できない可能性が生じるため好ましくない。

この場合、図５Ｃに示すように、複層シート１０における第１のＢスキャンの測定光Ｌ１の入射角度と、第２のＢスキャンの測定光Ｌ２の入射角度とは、同じになり、測定光Ｌ１，Ｌ２の入射位置の差は、搬送速度にそれぞれのＢスキャンの時間間隔を乗じた長さになる。このように、張力の変動等で搬送速度が０付近になると、第１のＢスキャンと第２のＢスキャンとで同じスペックルパターンが発生し、好ましくない。

なお、ここでは、２つのＢスキャン画像を平均化しているが、同様に２つ以上の複数枚のＢスキャン画像を平均化してもよい。

＜Ｘ方向に一様ではない構造を持つ複層シートの複数のＢスキャン画像の平均化処理における測定光のＹ方向の位置ついて＞
次に、ステップＳ３の複数のＢスキャン画像の平均化処理であって、Ｘ方向（幅方向）に一様ではない構造を持つ複層シートのＢスキャン画像の平均化処理における測定光のＹ方向の位置について説明する。図６Ａは、複層シートにおけるシート材の周期構造を示す
ＹＺ平面の断面図である。図６Ｂは、ＳＳ－ＯＣＴ装置の検査ロールと複層シートとの位置関係を示すＸＹ平面図である。図６Ｃは、複層シートにおけるシート材の周期構造を示すＸＹ平面図である。

複層シート１０におけるＹ方向の位置が同一の位置であっても、Ｘ方向の位置によって異なるＢスキャン画像が得られる。例えば、図６Ａに示すように、シート材１１の表面に、塗布材１２との密着性を高めるための、Ｘ方向に周期的な凹凸構造が設けられている場合について考える。図６Ｂに示すように、Ｘ方向と平行な線に沿いかつＹ方向の位置が異なる第１，第２のＢスキャン位置５１Ｃ，５１ＤにおけるＢスキャン画像を得る場合、シート材１１のＸ方向の周期構造の位相がＹ方向の位置に関係なく常に一定であれば、Ｂスキャン画像におけるＸ方向の周期構造も、測定位置（第１，第２のＢスキャン位置５１Ｃ，５１Ｄ）に関わらず一定である。

しかし、一般にシート材１１の搬送方向は、ＥＰＣ（エッジポジションコントローラ）等の装置を使わない限り、周期構造の特定の位相部分（例えば、周期構造の山の部分）が搬送方向に沿って存在するような方向にはならず、図６Ｃに示すように、周期構造の特定の位相部分Ｐが搬送方向に対してθｚ方向に角度θｓだけ傾いて存在するような方向になることがある。

この場合、そのまま第１，第２のＢスキャン位置５１Ｃ，５１ＤにおけるＢスキャン画像を用いて平均化処理を行うと、測定光の入射位置が異なるためスペックルの除去は可能だが、２つのＢスキャン画像におけるシート材１１の構造が異なるため、平均化によって画像が不明瞭になり、厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出精度が低下する。

そこで、シート材１１の搬送距離と角度θｓに基づいて、Ｙ方向の補正を行う。具体的には、同じ位置を計測できるように、２回のＢスキャンの間のシート材１１の搬送距離Ｄと角度θｓに基づいて、以下の式（３）を満たす距離Ｍだけ、第２のＢスキャン位置５１Ｄを第１のＢスキャン位置５１Ｃに対して、Ｙ方向にオフセットすることで、２つのＢスキャン画像における周期構造の位相のズレをなくすことができる。
Ｍ＝Ｄ×ｔａｎθｓ・・・（３）

θｓは、２つのＢスキャン画像のＸ方向の位相差に基づいて取得されてもよいし、シート材１１のＸ方向エッジの位置を変位計（図示しない）で検出した結果に基づいて取得されてもよい。

なお、ここではシート材１１の表面構造における位相を考慮に入れた場合について説明したが、シート材１１そのものの繊維構造などの位相を考慮に入れて、上述のような第１，第２のＢスキャン位置５１Ｃ，５１Ｄの調整を行ってもよい。また、シート材１１の表面が周期構造はでなく、非周期的な構造の場合にも、上述のような第１，第２のＢスキャン位置５１Ｃ，５１Ｄの調整を行ってもよい。さらに、図４Ａ～４Ｂ、図５Ａ～５Ｂに基づき説明した複数のＢスキャンにおける測定光の調整と、図６Ａ～６Ｃに基づき説明した複数のＢスキャンにおける測定光の調整と、を組み合わせて実施してもよい。

＜Ｂスキャン位置の高さに基づくＢスキャン画像の補正について＞
次に、Ｂスキャン位置の高さに基づくＢスキャン画像の補正について説明する。第１のＢスキャン位置５１Ａと第２のＢスキャン位置５１Ｂとの間において、Ｚ方向の高さにオフセットが生じる場合がある。これは、複層シート１０のＹ方向に沿う形状が直線でないことに起因する。これらの高さが異なる第１，第２のＢスキャン位置５１Ａ，５１Ｂで得られたＢスキャン画像を平均化すると、ステップＳ４で行う厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出精度を低下させることになる。Ｂスキャン画像で補正した後に平均化することで、厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出精度を高めることができる。

図４Ａに示すような場合、第１のＢスキャン位置５１Ａの高さと第２のＢスキャン位置５１Ｂの高さの差Ｈは、以下の式（４）に基づき求められるため、第２のＢスキャン位置５１ＢのＢスキャン画像を、Ｚ方向に差Ｈだけオフセットする。
Ｈ＝ｒ×｛ｓｉｎθ１－ｓｉｎ（θ１＋Δθ）｝・・・（４）

例えば、高さ方向（Ｚ方向）の１００画素の画像のうち、第１のＢスキャン画像で高さ５０画素目に複層シート１０が写っており、第２のＢスキャン画像では高さの差ＨだけＺ方向にずれて、５５画素目に複層シート１０が写っているとする。この場合、第２のＢスキャン画像のＺ画素を５画素削ることで、第１のＢスキャン画像と第２のＢスキャン画像における複層シート１０の高さを揃える。なお、第１のＢスキャン画像に、高さ方向に５画素を余分に与えることで、第１のＢスキャン画像と第２のＢスキャン画像における複層シート１０の高さを揃えてもよい。

＜測定光の入射角に基づくＢスキャン画像の補正について＞
次に、測定光の入射角に基づくＢスキャン画像の補正について説明する。図７Ａは、複層シートにおける測定光の屈折状態を示す模式図である。

複層シート１０に対する測定光の入射角度が垂直でないことと、空気に対して複層シート１０の屈折率が高いことにより、屈折が生じることを補正する。正確には複層シート１０のうち塗布材１２とシート材１１で屈折率はわずかに異なるが、空気と樹脂材との屈折率差に比べてはるかに小さいことから、簡単に複層シート１０は一律の屈折率ｎを持つとする。

例えば、図７Ａに示すように、角度θ３で入射した測定光Ｌは複層シート１０での屈折により、角度θ４で複層シート１０に入射する。その屈折光の光路長をＤ４とする。θ３とθ４は、以下の式（５）のの関係を有する。
ｓｉｎθ３＝ｎ×ｓｉｎθ４・・・（５）

式（５）において、θ３は図４Ａおよび図４Ｂにおいて、Ｂスキャン位置と検査ロール５１の位置との関係より既知であり、屈折率ｎも既知であるため、θ４も得ることができる。このｎおよびθ４を用いて、ＳＳ－ＯＣＴ測定のＢスキャン画像のＺ軸に、以下の係数βを乗ずることで、真の厚さＴに変換する。得られた光路長Ｄ４に対して複層シート１０の実際の厚さＴを以下の式（６）に基づき得ることができるため、係数βは、以下の式（７）で得られる値になる。
Ｔ＝（Ｄ４／ｎ）×ｃｏｓθ４・・・（６）
β＝１／ｎ×ｃｏｓθ４・・・（７）

ここで、Ｂスキャン位置の高さおよび測定光の入射角に基づくＢスキャン画像の補正量を、検査ロール５１が円筒状であることを前提として算出しているが、実際の測定値、例えば、各Ｂスキャン位置における複層シート１０の表面位置および裏面位置の深さ方向の画素値を用いる等して、事前にテーブルとして保持し、このテーブルに基づいて算出してもよい。

＜厚さＺの算出方法について＞
次に、複層シートの厚さの算出方法について説明する。図７Ｂは、複層シートの厚さの算出方法の説明図である。厚さ算出部６２は、得られたＢスキャン画像に基づいて、図７Ｂに示すように、空気と塗布材１２との界面位置をＺ１、塗布材１２とシート材１１との界面位置をＺ２、シート材１１と裏面空気もしくは検査ロール５１との界面位置をＺ３として測定する。この測定には、例えばＺ方向の信号強度のピーク位置を用いてもよいし、ＳＳ－ＯＣＴ信号に対するエッジ検出など他の信号処理方法を用いてもよい。また、Ｘ方向およびＹ方向の積分などフィルタをかけて、測定精度を高めてもよい。

なお、第１，第２の実施の形態では、厚さΔＺｓ，ΔＺｔを算出すればよいため、界面位置Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３が分かればよく、例えば界面位置Ｚ２と界面位置Ｚ３の間に対応するＳＳ－ＯＣＴ信号が、シート材１１もしくは塗布材１２どちらからのＳＳ－ＯＣＴ信号であるかを区別する必要はない。ただし、シート材１１と塗布材１２の内部において測定光に対する散乱光の強度が異なることを利用して、両者を区別してもよい。具体的には、シート材１１は内部が均一なのに対して、塗布材１２は混合物などにより散乱が大きいとき、図７Ｂに示すように、界面位置Ｚ１から界面位置Ｚ２の間の信号強度が界面位置Ｚ２から界面位置Ｚ３の間の信号強度よりも強いことを利用してもよい。

得られた界面位置Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３から、Ｚ２－Ｚ１が塗布材１２の屈折率を含んだ光学厚さとなり、Ｚ３－Ｚ２がシート材１１の屈折率を含んだ光学厚さとなる。これらの光学厚さをシート材１１および塗布材１２の既知の屈折率で除することで、それぞれの物理厚さΔＺｓ，ΔＺｔを得られる。ここでの物理厚さΔＺｓ，ΔＺｔは、２回のＢスキャンで得られたＸ方向の平均の厚さである。なお、例えばＢスキャンのＸ方向の部位ごとに区切った最小や最大の厚さとしてもよい。

上記測定を、シート生成制御部６０により、巻き取りロール４０を回転駆動しつつ塗布器３３を駆動させることで、巻き取りロール４０の回転角度θを変えながら継続して行う。これにより、複層シート１０の作成終了までの全ての回転角度θにおける厚さΔＺｓ，ΔＺｔを測定する。

＜複層シートの良否判定について＞
複層シート１０を接着シートとした場合、厚さΔＺｔ，ΔＺｓが一定の大きさ以上でなければ複層シートとしての機能を果たせない場合がある。例えば、シート材１１の厚さΔＺｓが薄いと強度が不足したり、接着剤である塗布材１２の厚さΔＺｔが薄いと接着力が不足したりする場合がある。このため、一定の大きさの閾値として、第１，第２の実施の形態では第１の閾値を用いる。具体的には、第１の閾値と厚さΔＺｓ，ΔＺｔとを判定部６３で比較することにより良否判定を実施する。例えば、第１の閾値を５０μｍに設定する。

一方、厚さΔＺｓ，ΔＺｔの値が大き過ぎても不具合が生じる場合がある。つまり、厚さΔＺｓ，ΔＺｔは、一定の大きさ以下である必要がある。この一定の大きさの閾値として第２の閾値を用いる。例えば、１００μｍを第２の閾値として設定する。

つまり、第１の閾値以上、かつ、第２の閾値以下をＯＫ範囲として、記憶部６４に予め記憶しておく。このＯＫ範囲に基づいて、判定部６３は、複層シート１０の良否判定を行う。

＜第１の実施の形態の作用効果＞
第１の実施の形態によれば、干渉光を利用するＳＳ－ＯＣＴ装置５０を用いて、シート材１１および塗布材１２の厚さΔＺｓ，ΔＺｔを測定する。このため、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０を構成する測定ヘッド５２に、特許文献１のＸ線厚さ計９３のような防爆のためのカバーを設ける必要がなく、測定ヘッド５２の設置場所をシート材１１に塗布材１２を塗布した位置の近くに設定することができる。したがって、シート作成装置１にて、複層シート１０の作成を行いつつ、作成直後の複層シート１０の厚さの検査を実施することができるため、複層シート１０の作成開始から厚さの検査終了までのタクトタイムを短くすることができる。

〔第２の実施の形態〕
＜シート作成装置の概略構成＞
まず、本開示の第２の実施の形態におけるシート作成装置の概略構成について説明する。図８は、本開示の第２の実施の形態におけるシート作成装置の模式図である。なお、第１の実施の形態と同様の構成については、同一符号および同一名称を付し、説明を省略する場合がある。

図８に示すシート作成装置１Ａは、厚さ調整部７０Ａをさらに備える点と、シート生成制御部６０の代わりにシート生成制御部６０Ａを設けた点とが、第１の実施の形態のシート作成装置１と異なる。

厚さ調整部７０Ａは、複層シート１０を挟む一対のローラ７１Ａと、一対のローラ７１Ａの位置を制御して複層シート１０の厚さを変更する移動装置７２Ａと、を備える。一対のローラ７１Ａは、塗布ロール３１と巻き取りロール４０との間において、複層シート１０を挟むように設けられている。移動装置７２Ａの駆動により、一対のローラ７１Ａのギャップが変わり、複層シート１０の厚さが変化する。

シート生成制御部６０Ａは、フィードバック制御部６６Ａをさらに備える点が、第１の実施の形態のシート生成制御部６０と異なる。フィードバック制御部６６Ａは、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０を用いて得られた厚さΔＺｓ，ΔＺｔに基づく制御量を、厚さ調整部７０Ａの移動装置７２Ａにフィードバックする。厚さΔＺｓ，ΔＺｔと制御量との関係は、関係式又はテーブルとして、記憶部６４に予め記憶されている。フィードバック制御部６６Ａは、予め記憶された関係式又はテーブルを用いて、制御量を決定する。

＜シート作成方法＞
次に、シート作成装置１Ａによるシート作成方法について説明する。図９は、シート作成方法を示すフローチャートである。なお、第１の実施の形態と同じステップについては、同一符号を付し、説明を省略する場合がある。

まず、図９に示すように、ステップＳ１～Ｓ９の処理を行う。動作制御部６１は、複層シート１０が完成したと判定した場合（ステップＳ９：ＹＥＳ）、ステップＳ１０の処理を行う。

動作制御部６１で複層シート１０が完成していないと判定された場合（ステップＳ９：ＮＯ）、フィードバック制御部６６Ａは、ステップＳ４における厚さΔＺｓ，ΔＺｔの算出結果に基づいて、一対のローラ７１Ａの制御量（フィードバック量）を算出する（ステップＳ２１）。フィードバック制御部６６Ａは、移動装置７２Ａにフィードバックを実行する（ステップＳ２２）。移動装置７２Ａは、フィードバック量に基づいて、一対のローラ７１Ａのギャップを調整する。その後、ステップＳ３に戻り、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０によるＳＳ－ＯＣＴ測定が再度実施される。

〔変形例〕
本開示は、これまでに説明した実施の形態に示されたものに限られないことは言うまでもなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の変形を加えることができる。

例えば、第１，第２の実施の形態において、以下のような構成を適用してもよい。複層シート１０の良否判定の基準に、シート材１１と塗布材１２に対して、それぞれ上限と下限との閾値を設けてもよい。また、光学厚さを屈折率で除することで実際の厚さΔＺｓ，ΔＺｔを求めたが、光学厚さをそのままそれぞれ厚さΔＺｓ，ΔＺｔとして扱い、その厚さΔＺｓ，ΔＺｔに応じた閾値を設けてもよい。また、１回のＢスキャンの結果（１つのＢスキャン画像）に基づいて、厚さΔＺｓ，ΔＺｔを算出してもよいし、少なくとも１回のＡスキャンの結果に基づいて、厚さΔＺｓ，ΔＺｔを算出してもよい。さらに、複層シート１０の両表面側、言い換えれば、シート材１１側および塗布材１２側に測定光を入射させて、これらの測定光を利用して厚さΔＺｓ，ΔＺｔを測定してもよい。このような構成は、ＳＳ－ＯＣＴ装置５０を２つ用いることにより実現できる。シート供給リール２０、塗布ロール３１および検査ロール５１には、それぞれ回転のための駆動源が設けられていないが、これらにモータなどの回転駆動装置を設けてもよい。

第２の実施の形態において、厚さ調整部７０Ａとして、一対のローラ７１Ａのギャップを調整する機構を採用しているが、複層シート１０のＺ軸方向の厚さを調整する調節する機能を持つ他の機構、例えば加熱により複層シート１０の厚みを調整する機構や、スクレイパーのような剥離作用により塗布材１２のみの厚みを調整する機構を採用してもよい。また、厚さ調整部７０Ａを、複層シート１０を挟むことで複層シート１０の厚さを変化させるように構成しているが、これに限られるものではなく、例えばシート材１１のみを挟みシート材１１の厚さを変化させるように構成してもよいし、塗布器３３による塗布厚さのみを変化させてもよいし、シート材１１と塗布材１２との両方の厚さを同時に変化させてもよい。

また、前記様々な実施の形態又は変形例のうちの任意の実施の形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

上述のように赤外光が樹脂を透過する際にスペックルが生じ、検出される厚さの精度が低下するために、上述のように、シート作成している最中に検査ロール５１において、シート材１１と塗布材１２との厚さを測定するのが、より望ましいが、ＳＳ－ＯＣＴ計測を複層シート１０の完成後において使用することも可能である。

本開示のシート作成装置およびシート作成方法は、粘着テープのような複層の帯状又は短冊状のシート材を作成する際に適用できる。

１，１Ａ シート作成装置
１０ 複層シート
１１ シート材
１２ 塗布材
２０ シート供給リール
３０ 塗布部
３１ 塗布ロール
３２ 塗布供給器
３３ 塗布器
４０ 巻き取りロール
５０ ＳＳ－ＯＣＴ装置
５１ 検査ロール
５１Ａ，５１Ｃ 第１のＢスキャン位置
５１Ｂ，５１Ｄ 第２のＢスキャン位置
５２ 測定ヘッド
５３ 光ファイバ干渉計
６０，６０Ａ シート生成制御部
６１ 動作制御部
６２ 算出部
６３ 判定部
６４ 記憶部
６５ 表示部
６６Ａ フィードバック制御部
７０Ａ 厚さ調整部
７１Ａ ローラ
７２Ａ 移動装置
５１１ 円弧面
５２１ 照射コリメートレンズ
５２２ ガルバノミラー対
５２３ 対物レンズ
５２４ 駆動部
５３１ 放射光源
５３２ 第１のカプラ
５３３ 第１のサーキュレータ
５３４ 参照コリメートレンズ
５３５ 参照面
５３６ 第２のサーキュレータ
５３７ 第２のカプラ
５３８ 差動アンプ
５３９ ＯＣＴ演算処理部
５３９Ａ アナログ／デジタル変換回路
５３９Ｂ フーリエ変換回路
５３９Ｃ 演算部

Claims (16)

1. 搬送されるシート材に塗布材を塗布して複層シートを作成するシート作成装置であって、
   放射光を射出する放射光源と、
   前記放射光を前記複層シートに入射される測定光と参照面に照射される参照光とに分割する分割部と、
   前記複層シートで反射した測定光と前記参照面で反射した参照光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、
   前記複層シートの長さ方向に対して、第１の入射位置において第１の入射角度の測定光による第１の干渉光の強度プロファイルと、第２の入射位置において前記第１の入射角度と異なる第２の入射角度の測定光による第２の干渉光の強度プロファイルと、を含む少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを取得するプロファイル取得部と、
   前記少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを平均化した結果に基づいて、前記シート材および前記塗布材の厚さを算出する厚さ算出部と、
   を備えるシート作成装置。
2. 前記複層シートを挟んで光学部材の反対側において前記複層シートに接触するように設けられた検査ロールをさらに備え、
   前記検査ロールは、その中心軸が前記複層シートの幅方向と平行になるように設けられ、
   前記光学部材は、前記検査ロールにおける前記複層シートが接触している円弧面に向けて測定光を射出するように構成されている、請求項１に記載のシート作成装置。
3. 前記光学部材は、測定光を円弧面の位置に拘わらず同一方向に射出する、請求項２に記載のシート作成装置。
4. 前記第１の入射位置と前記第２の入射位置は、同一の入射位置である、
   請求項１に記載のシート作成装置。
5. 第１の干渉光の強度プロファイルと、第２の干渉光の強度プロファイルは、前記複層シートの同一部位の干渉光の強度プロファイルである、
   請求項１に記載のシート作成装置。
6. 前記シート材に前記塗布材を塗布する塗布器と、
   前記複層シートを巻き取る巻き取りロールと、
   前記塗布器と前記巻き取りロールとの間に位置する前記複層シートに前記測定光を射出するように構成されている光学部材と、をさらに備える、
   請求項１に記載のシート作成装置。
7. 前記プロファイル取得部は、前記第１の干渉光の強度プロファイルを取得した後、前記第１の入射位置よりも前記複層シートの搬送方向前方の第２の入射位置における前記第２の干渉光の強度プロファイルを取得する、請求項１に記載のシート作成装置。
8. 前記プロファイル取得部は、前記第１の干渉光の強度プロファイルを取得した後、前記第１の入射位置よりも前記複層シートの搬送方向後方の第２の入射位置における前記第２の干渉光の強度プロファイルを取得する、請求項１に記載のシート作成装置。
9. 前記第１の入射位置と前記第２の入射位置との間隔は、前記第１の入射位置に測定光の入射を開始してから、前記第２の入射位置に測定光の入射を開始するまでに前記複層シートが搬送される距離と同じである、請求項１に記載のシート作成装置。
10. 前記シート材および前記塗布材の厚さに基づいて、前記シート材の厚さおよび前記塗布材の厚さのうち少なくとも一方を調整する厚さ調整部をさらに備える、請求項１から９のいずれか一項に記載のシート作成装置。
11. 前記放射光は、赤外光である、請求項１から１０のいずれか一項に記載のシート作成装置。
12. 前記放射光源は、波長が１５５０ｎｍ±１００ｎｍの範囲で周期的に変化する放射光を射出する、請求項１から１０のいずれか一項に記載のシート作成装置。
13. 前記放射光源は、１５５０ｎｍ±１００ｎｍの範囲内の複数の波長の光を含む放射光を射出する、請求項１から１０のいずれか一項に記載のシート作成装置。
14. 前記シート材および前記塗布材の厚さに基づいて、前記複層シートの良否を判定する判定部をさらに備える、請求項１から１３のいずれか一項に記載のシート作成装置。
15. 搬送されるシート材に塗布材を塗布して複層シートを作成するシート作成方法であって、
    放射光源から放射光を射出する工程と、
    前記放射光を測定光と参照光とに分割する工程と、
    前記測定光を光学部材で前記複層シートに射出する工程と、
    前記参照光を参照面に照射する工程と、
    前記複層シートで反射した測定光と前記参照面で反射した参照光とが干渉した干渉光を検出する工程と、
    前記複層シートの長さ方向に対して、第１の入射位置において第１の入射角度の測定光による第１の干渉光の強度プロファイルと、第２の入射位置において前記第１の入射角度と異なる第２の入射角度の測定光による第２の干渉光の強度プロファイルと、を含む少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを取得するプロファイル取得行程と、
    前記少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを平均化した結果に基づいて、前記シート材および前記塗布材の厚さを算出する厚さ算出工程と、
    を含む、シート作成方法。
16. シート材と塗布材で構成されている複層シートの厚さを算出する装置であって、
    放射光を射出する放射光源と、
    前記放射光を前記複層シートに入射される測定光と参照面に照射される参照光とに分割する分割部と、
    前記複層シートで反射した測定光と前記参照面で反射した参照光とが干渉した干渉光を検出する干渉検出部と、
    前記複層シートの長さ方向に対して、第１の入射位置において第１の入射角度の測定光による第１の干渉光の強度プロファイルと、第２の入射位置において前記第１の入射角度と異なる第２の入射角度の測定光による第２の干渉光の強度プロファイルと、を含む少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを取得するプロファイル取得部と、
    前記少なくとも２つの干渉光の強度プロファイルを平均化した結果に基づいて、前記シート材および前記塗布材の厚さを算出する厚さ算出部と、
    を備える装置。

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