CN101650169A - 一种刮刀平整度检测系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种利用劈尖干涉原理检测刮刀平整度的检测系统及方法。该刮刀平整度检测系统包括：光源(激光器)系统，光束整形系统，感测系统；光源系统为单色He－Ne激光器；光束整形系统由光阑、半透半反镜组成；感测系统由标准样板和CCD检测装置构成。此种检测系统可快速、准确、无磨损地检测刮刀工作面平整度。
Description
技术领域
本发明涉及一种打印机用硒鼓内刮刀的工作面平整度检测的系统及方法。
背景技术
刮刀工作面平整度是衡量刮刀质量的一个重要因素，刮刀工作面平整度不好严重影响打印质量，因此需要对刮刀工作面的平整度进行精确检测。现有测定刮刀工作面平整度的方法一般利用放大镜人眼观测。该种测量方法误差很大且检测速度慢，同时检测时需要将刮刀不断移动，容易造成刮刀工作面磨损。
发明内容
为克服以上不足，本发明提供一种测量准确、精密的平整度测量系统及方法。
刮刀平整度检测系统包括：一光源系统，一光束整形系统及一感测系统；其中该光源系统为激光光源，可发射一单色激光光束；该光束整形系统由上光阑、右光阑、半透半反镜、凸透镜组成，用以对激光圆度和平行度进行调整；该感测系统由被测刮刀样品、标准样板、检测装置、观测装置构成，用以安装待测刮刀样品，检测干涉条纹情况。检测时刮刀平面与激光光束相互垂直。
本发明平整度测量系统与方法利用了劈尖等厚干涉的原理，即两块平板以很小夹角垫起，其间的空气膜就形成空气劈尖，单色平行光垂直照射空气劈尖，光线经劈尖上、下表面反射成的两束反射光在上表面相遇而产生干涉。
测量方法步骤如下：将被测刮刀样品装于标准样板下；开启单色光源，使其对被测工件发射激光光束，激光光束经光阑和凸透镜整形成准直平行光，经被测工件与标准工件形成的空气劈尖上下表面反射的光形成干涉条纹；干涉条纹经半透半反镜反射后照射到CCD上，开启感测系统，感测系统感测干涉条纹光强度信号，测出被测工件的平整度。
根据薄膜干涉的道理，测定刮刀工作面平整度的精度很高，检测缺陷可达几十分之一波长；同时该测量方法不接触工件，可避免工件表面会因摩擦导致刮刀受损；此外，利用激光干涉测量快速快，可大大提高测量精度和效率。
附图说明
图1是本发明刮刀平整度测量系统示意图；
图2是薄膜干涉的示意图；
图3是薄膜干涉标准图和缺陷表现图。
参阅图1，光源(激光器)系统1，光束整形系统11，感测系统12；光束整形系统由上光阑2、右光阑4、半透半反镜3、凸透镜7组成，感测系统由被测刮刀样品10、标准样板8、CCD检测装置5、观测装置6构成。
参阅图2，标准样板8和刮刀样品10一端接触，另一端用薄纸片9隔开，刮刀样品与标准玻璃样品片间形成劈尖状空气层，劈尖空气层角度θ在0°到10°度之间。
参阅图3，a为标准薄膜干涉图，即刮刀样品没有缺陷时观测干涉图样为a图所示；b为薄膜干涉缺陷图，即刮刀样品有凹陷或突起时观测干涉图样为b图所示。
请参图2和图3就本平整度测量方法的实现原理进行详细说明。单色平行光垂直照射空气劈尖，a光线经劈尖上、下表面反射，两束光b，c在上表面相遇而产生干涉。由于很小，实际上a，b，c几乎都垂直于空气劈尖表面(如图2)。在空气劈尖厚度为e的地方，b，c的光程差
δ＝2ne+λ/2≈2e+λ/2
因此劈尖干涉明暗条纹的条件
劈尖干涉条纹产生在劈尖的上表面附近，同一条干涉条纹对应的空气劈尖厚度e都相等，因此劈尖干涉条纹是一系列平行于劈尖棱边的明暗相同的直条纹，即等厚干涉条纹，如图3a所示。
利用劈尖干涉可以检验光学表面的平整度，能查出不超过四分之一波长(约0.1微米)的凹凸缺陷，还可测量细丝的直径或薄片的厚度。图3中a是表面平整的工件的等厚干涉条纹，b是存在极小凸凹不平的工件的等厚干涉条纹。
具体实施方式
观测被测工件的平整度时，将被测工件10装于水平装置上，将标准样板8放置在被测工件的上面，用薄纸片9隔开使两者之间有适当的空气夹角；开启激光光源系统1，使其发射激光光束，激光光束经光阑和凸透镜整形成准直平行光，调整装置使光束整形达到最佳状态；激光束照射到被测工件和标准工件上，经被测工件与标准工件形成的空气劈尖上下表面反射的光形成干涉条纹；干涉条纹经半透镜反射后照射到CCD上；开启感测系统，把干涉光强的变化通过CCD采集，再通过电脑显示出来，这样就能直观的检测被测工件的平整度了。
Claims (3)
1、一种用于检测刮刀平整度的检测系统，其特征在于：该刮刀平整度检测系统包括光源(激光器)系统，光束整形系统及感测系统；光束整形系统由光阑、半透半反镜组成；感测系统由标准样板和CCD检测装置构成。
2、如权利要求1所述的刮刀平整度检测系统，其特征在于：光源系统为单色He-Ne激光器。
3、如权利要求1所述的刮刀平整度检测系统，其特征在于：被测刮刀样品与标准样板间形成角度在0°到10°度之间的劈尖状空气层。
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|---|---|
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Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101982730A (zh) * | 2010-10-26 | 2011-03-02 | 西安昂科光电有限公司 | 一种测量光波阵列面或光学反射面表面平坦度的光管 |
| CN102519405A (zh) * | 2011-12-20 | 2012-06-27 | 昆明理工大学 | 平面镜反射面平整度的检测装置及其使用方法 |
| CN103499276A (zh) * | 2013-10-12 | 2014-01-08 | 四川虹欧显示器件有限公司 | 一种印刷刮刀刃口均匀性检测系统、检测方法及调整方法 |
| CN104545786A (zh) * | 2015-01-14 | 2015-04-29 | 黑龙江省医学科学院 | 条纹视力测试仪 |
| CN104690269A (zh) * | 2015-03-26 | 2015-06-10 | 重庆大学 | 选择性激光融化装置 |
| CN105444702A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-03-30 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 物体平整度光学检测系统 |
| CN106323570A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-01-11 | 深圳市欧盛自动化有限公司 | 检测软包电池漏液的方法及检漏机 |
| CN106352850A (zh) * | 2016-08-05 | 2017-01-25 | 歌尔股份有限公司 | 样品水平度测试装置和方法 |
| CN109109452A (zh) * | 2018-07-24 | 2019-01-01 | 重庆安卡自动化工程有限公司 | 用于瓦楞纸箱印刷机械的网纹辊控制系统 |
| CN109579708A (zh) * | 2018-12-24 | 2019-04-05 | 浙江工业大学 | 基于光学劈尖干涉的纳米分辨率位移测量装置 |
| CN110044277A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-07-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 框胶检测装置和框胶检测方法 |
| CN110470250A (zh) * | 2019-07-30 | 2019-11-19 | 湖北三江航天万山特种车辆有限公司 | 一种零件表面平面度的检测装置及检测方法 |
| CN110618138A (zh) * | 2019-10-30 | 2019-12-27 | 安徽工业大学 | 一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的系统及方法 |
| CN110906847A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-03-24 | 浪潮商用机器有限公司 | 一种smt刮刀刃面形变量快速检验方法及固定治具 |
| CN111928819A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-11-13 | 西南交通大学 | 一种用于水平检测的仪器及水平检测方法 |
| CN112179295A (zh) * | 2019-07-05 | 2021-01-05 | 青岛海尔电冰箱有限公司 | 门体表面平整度的检测方法与装置 |
| CN112964635A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-06-15 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 一种芯片检测方法以及系统 |
| WO2022193202A1 (zh) * | 2021-03-15 | 2022-09-22 | 深圳市杜比激光有限公司 | 一种物体表面平整度检测方法及其检测设备 |
| CN115112056A (zh) * | 2022-08-29 | 2022-09-27 | 江苏佳晟精密设备科技有限公司 | 一种晶体表面平整度检测设备及其使用方法 |
| CN116165202A (zh) * | 2023-02-16 | 2023-05-26 | 中南大学 | 一种材料纹理测量设备及图像处理方法 |
-
2009
- 2009-07-17 CN CN200910017235A patent/CN101650169A/zh active Pending
Cited By (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101982730A (zh) * | 2010-10-26 | 2011-03-02 | 西安昂科光电有限公司 | 一种测量光波阵列面或光学反射面表面平坦度的光管 |
| CN102519405A (zh) * | 2011-12-20 | 2012-06-27 | 昆明理工大学 | 平面镜反射面平整度的检测装置及其使用方法 |
| CN103499276A (zh) * | 2013-10-12 | 2014-01-08 | 四川虹欧显示器件有限公司 | 一种印刷刮刀刃口均匀性检测系统、检测方法及调整方法 |
| CN104545786A (zh) * | 2015-01-14 | 2015-04-29 | 黑龙江省医学科学院 | 条纹视力测试仪 |
| CN104545786B (zh) * | 2015-01-14 | 2016-02-24 | 哈尔滨医科大学 | 条纹视力测试仪 |
| CN104690269B (zh) * | 2015-03-26 | 2016-08-31 | 重庆大学 | 选择性激光熔化装置 |
| CN104690269A (zh) * | 2015-03-26 | 2015-06-10 | 重庆大学 | 选择性激光融化装置 |
| CN105444702A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-03-30 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 物体平整度光学检测系统 |
| CN106352850A (zh) * | 2016-08-05 | 2017-01-25 | 歌尔股份有限公司 | 样品水平度测试装置和方法 |
| CN106352850B (zh) * | 2016-08-05 | 2019-12-13 | 歌尔股份有限公司 | 样品水平度测试装置和方法 |
| CN106323570A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-01-11 | 深圳市欧盛自动化有限公司 | 检测软包电池漏液的方法及检漏机 |
| CN106323570B (zh) * | 2016-11-09 | 2020-05-15 | 深圳市欧盛自动化有限公司 | 检测软包电池漏液的方法及检漏机 |
| CN109109452A (zh) * | 2018-07-24 | 2019-01-01 | 重庆安卡自动化工程有限公司 | 用于瓦楞纸箱印刷机械的网纹辊控制系统 |
| CN109579708A (zh) * | 2018-12-24 | 2019-04-05 | 浙江工业大学 | 基于光学劈尖干涉的纳米分辨率位移测量装置 |
| CN110044277A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-07-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 框胶检测装置和框胶检测方法 |
| CN112179295A (zh) * | 2019-07-05 | 2021-01-05 | 青岛海尔电冰箱有限公司 | 门体表面平整度的检测方法与装置 |
| CN110470250A (zh) * | 2019-07-30 | 2019-11-19 | 湖北三江航天万山特种车辆有限公司 | 一种零件表面平面度的检测装置及检测方法 |
| CN110618138A (zh) * | 2019-10-30 | 2019-12-27 | 安徽工业大学 | 一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的系统及方法 |
| CN110618138B (zh) * | 2019-10-30 | 2022-06-07 | 安徽工业大学 | 一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法 |
| CN110906847A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-03-24 | 浪潮商用机器有限公司 | 一种smt刮刀刃面形变量快速检验方法及固定治具 |
| CN110906847B (zh) * | 2019-12-12 | 2021-06-15 | 浪潮商用机器有限公司 | 一种smt刮刀刃面形变量快速检验方法及固定治具 |
| CN111928819A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-11-13 | 西南交通大学 | 一种用于水平检测的仪器及水平检测方法 |
| CN112964635A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-06-15 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 一种芯片检测方法以及系统 |
| WO2022193202A1 (zh) * | 2021-03-15 | 2022-09-22 | 深圳市杜比激光有限公司 | 一种物体表面平整度检测方法及其检测设备 |
| CN115112056A (zh) * | 2022-08-29 | 2022-09-27 | 江苏佳晟精密设备科技有限公司 | 一种晶体表面平整度检测设备及其使用方法 |
| CN116165202A (zh) * | 2023-02-16 | 2023-05-26 | 中南大学 | 一种材料纹理测量设备及图像处理方法 |
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