CN111928819A - 一种用于水平检测的仪器及水平检测方法 - Google Patents

一种用于水平检测的仪器及水平检测方法 Download PDF

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刘景羲
黄胜前
谢明志
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    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Abstract

本发明公开了一种用于水平检测的仪器以及水平检测方法，不仅能够广泛应用于水准测量的水准器和水平测量，同时还可以测量待检测目标的倾斜角度。本发明通过设置圆环线，然后计算圆心处级数、高级数处级数和低级数处级数来判断待检测目标是否处于水平状态，简单易实现，且能够准确的测量待检测目标的水平状态，简化了水平检测的过程，且保证了水平检测结果。本发明设计劈尖干涉原理和薄膜等厚干涉原理两类。当透镜层为平透镜时，通过观察平透镜视场中直条纹状况，得到倾斜角度；当透镜层为平凹透镜或平凸透镜时，通过平凹透镜或平凸透镜中圆条纹的状况，得到水平程度。

Description

一种用于水平检测的仪器及水平检测方法
技术领域
本发明属于水平检测领域，具体涉及一种用于水平检测的仪器及水平检测方法。
背景技术
机床水平的调整在机床的安装过程中是非常重要的，如果安装水平误差比较大，在使用的过程中会使机床产生变形，使各部件之间失去原有的正确的几何精度，从而导致机床加工精度降低，缩短机床的使用寿命。机床的水平检测方法为水平仪测量法，是水平仪测量精度较低、且数据采集和整理较难。而自准直线，目前还有激光干涉仪测量法，但是其价格昂贵。
发明内容
针对现有技术中的上述不足，本发明提供的一种用于水平检测的仪器及水平检测方法解决了现有技术存在的问题。
为了达到上述发明目的，本发明采用的技术方案为：一种用于水平检测的仪器，包括依次连接的透镜层、干涉薄膜层和具备高流动高反光的液体层；
所述透镜层的投影面为圆形，所述透镜层、干涉薄膜层和液体层组成圆柱体仪器。
进一步地，所述透镜层为平透镜、平凹透镜或平凸透镜。
进一步地，若所述透镜层为平凹透镜或平凸透镜，则透镜层与液体层的曲率不同，且透镜层表面靠边界处设置有圆环线。
本发明的有益效果为：提供了一种可以用于水平测量的仪器，其结构简单，易于实现，且成本不高，可广泛适用于各种水平测量领域。
一种使用用于水平检测的仪器的水平检测方法，包括以下步骤：
S0、判断透镜层为平透镜、平凸透镜或为平凹透镜，若为平透镜则进入步骤S11，若为平凸透镜或平凹透镜，则进入步骤S21：
S11、将仪器放置于待检测平面上，判断是否存在直条纹，若是，则进入步骤S12，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；
S12、判断N条相邻明条纹或N条相邻暗条纹的总长度N*L是否小于N*L'，若是，则进入步骤S13，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；L'表示待检测平面精度要求下相邻两条明条纹或相邻两条暗条纹的理论间距，L表示相邻两条明条纹或相邻两条暗条纹的实测间距；
S13、根据间距L，获取仪器的倾斜角度，得到待检测平面的水平测量结果；
S21、将仪器放置于待检测平面上，判断仪器中的圆环是否存在椭圆或厚度不对称，若是，则进入步骤S22，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；
S22、获取仪器圆环线高级数处的最大级数K和低级数处的最小级数H；
S23、计算仪器圆心处级数k，并判断是否存在视场内高级数处和低级数处的明暗条纹级数差小于|K-H|、高级数与圆心之间的条纹数大于|k-K|或低级数与圆心之间的条纹数小于|k-H|，若是，则将待检测平面处于水平状态作为水平测量结果，否则将待检测平面处于不水平状态作为水平测量结果。
进一步地，所述步骤S13中根据间距L，获取仪器的倾斜角度的具体公式为：
Figure BDA0002611261520000021
其中，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率，θ表示仪器的倾斜角度。
进一步地，所述步骤S22中圆环线高级数处的最大级数K为：
Figure BDA0002611261520000031
所述步骤S22中圆环线低级数处的最小级数H为：
Figure BDA0002611261520000032
其中，eK表示高级数处的薄膜厚度，eH表示低级数处的薄膜厚度，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率。
进一步地，所述透镜层若为平凹透镜，则高级数处的薄膜厚度eK和低级数处的薄膜厚度eH具体为：
Figure BDA0002611261520000033
其中，e表示平凹透镜与薄膜层接触中心所在圆切面到薄膜层与液体层接触边缘所在圆切面之间的间距，e1表示薄膜层与平凹透镜的接触面到其中心所在圆形切面的距离，e2表示薄膜层与液体层接触边缘所在圆切面到薄膜层与液体层的接触面的距离，A表示仪器圆环高级数处到圆心处的高度差；
所述e1具体为：
Figure BDA0002611261520000034
所述e2具体为：
Figure BDA0002611261520000035
其中，r表示仪器圆环线半径，R1表示透镜层半径，l表示仪器半径，R2表示液体层中流动液体液面半径。
进一步地，所述透镜层若为平凸透镜，则高级数处的薄膜厚度eK和低级数处的薄膜厚度eH具体为：
Figure BDA0002611261520000041
其中，e'表示平凸透镜与薄膜层接触边缘所在圆切面到薄膜层与液体层接触中心所在圆形切面之间的距离，e3表示薄膜层与平凸透镜接触面到薄膜层与平凸透镜接触边缘所在圆形切面的距离，e4表示薄膜层与液体层的接触中心所在圆切面到薄膜层与液体层接触面的距离，A表示仪器圆环高级数处到圆心处的高度差；
所述e3具体为：
Figure BDA0002611261520000042
所述e4具体为：
Figure BDA0002611261520000043
其中，r表示仪器圆环线半径，R1表示透镜层半径，l表示仪器半径，R2表示液体层中流动液体液面半径。
进一步地，所述步骤S23仪器圆心处级数k为：
Figure BDA0002611261520000044
其中，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率。
本发明的有益效果为：
(1)本发明提供一种基于水平测量仪器的水平测量方法，不仅能够广泛应用于水平测量，同时还可以测量待检测目标的倾斜角度。
(2)本发明通过设置圆环线，然后计算圆心处级数、高级数处级数和低级数处级数来判断待检测目标是否处于水平状态，简单易实现，且能够准确的测量待检测目标的水平状态，简化了水平检测的过程，且保证了水平检测结果。
附图说明
图1为本发明提出的一种用于水平检测的仪器示意图；
图2为本发明提出的一种使用用于水平检测的仪器的水平检测方法流程图。
具体实施方式
下面对本发明的具体实施方式进行描述，以便于本技术领域的技术人员理解本发明，但应该清楚，本发明不限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员来讲，只要各种变化在所附的权利要求限定和确定的本发明的精神和范围内，这些变化是显而易见的，一切利用本发明构思的发明创造均在保护之列。
下面结合附图详细说明本发明的实施例。
如图1所示，一种用于水平检测的仪器，包括依次连接的透镜层、干涉薄膜层和具备高流动高反光的液体层；
所述透镜层的投影面为圆形，所述透镜层、干涉薄膜层和液体层组成圆柱体仪器。所述透镜层为平透镜、平凹透镜或平凸透镜。若所述透镜层为平凹透镜或平凸透镜，则透镜层与液体层的曲率不同，且透镜层表面靠边界处设置有圆环线。
在本实施例中，透镜层为平透镜时，设置有分划线，便于测量。透镜层为平凹透镜或平凸透镜时，设置有视场圆环线刻度线以及视场边界线，便于测量和计算。
本发明的有益效果为：提供了一种可以用于水平测量的仪器，其结构简单，易于实现，且成本不高，可广泛适用于各种水平测量领域。
如图2所示，一种使用用于水平检测的仪器的水平检测方法，包括以下步骤：
S0、判断透镜层为平透镜、平凸透镜或为平凹透镜，若为平透镜则进入步骤S11，若为平凸透镜或平凹透镜，则进入步骤S21：
S11、将仪器放置于待检测平面上，判断是否存在直条纹，若是，则进入步骤S12，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；
S12、判断N条相邻明条纹或N条相邻暗条纹的总长度N*L是否小于N*L'，若是，则进入步骤S13，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；L'表示待检测平面精度要求下相邻两条明条纹或相邻两条暗条纹的理论间距，L表示相邻两条明条纹或相邻两条暗条纹的实测间距；
S13、根据间距L，获取仪器的倾斜角度，得到待检测平面的水平测量结果；
S21、将仪器放置于待检测平面上，判断仪器中的圆环是否存在椭圆或厚度不对称，若是，则进入步骤S22，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；
S22、获取仪器圆环线高级数处的最大级数K和低级数处的最小级数H；
S23、计算仪器圆心处级数k，并判断是否存在视场内高级数处和低级数处的明暗条纹级数差小于|K-H|、高级数与圆心之间的条纹数大于|k-K|或低级数与圆心之间的条纹数小于|k-H|，若是，则将待检测平面处于水平状态作为水平测量结果，否则将待检测平面处于不水平状态作为水平测量结果。
在本实施例中，N为6。
所述步骤S13中根据间距L，获取仪器的倾斜角度的具体公式为：
Figure BDA0002611261520000061
其中，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率，θ表示仪器的倾斜角度。
所述步骤S22中圆环线高级数处的最大级数K为：
Figure BDA0002611261520000071
所述步骤S22中圆环线低级数处的最小级数H为：
Figure BDA0002611261520000072
其中，eK表示高级数处的薄膜厚度，eH表示低级数处的薄膜厚度，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率。
所述透镜层若为平凹透镜，则高级数处的薄膜厚度eK和低级数处的薄膜厚度eH具体为：
Figure BDA0002611261520000073
其中，e表示平凹透镜与薄膜层接触中心所在圆切面到薄膜层与液体层接触边缘所在圆切面之间的间距，e1表示薄膜层与平凹透镜的接触面到其中心所在圆形切面的距离，e2表示薄膜层与液体层接触边缘所在圆切面到薄膜层与液体层的接触面的距离，A表示仪器圆环高级数处到圆心处的高度差；
所述e1具体为：
Figure BDA0002611261520000074
所述e2具体为：
Figure BDA0002611261520000075
其中，r表示仪器圆环线半径，R1表示透镜层半径，l表示仪器半径，R2表示液体层中流动液体液面半径。
所述透镜层若为平凸透镜，则高级数处的薄膜厚度eK和低级数处的薄膜厚度eH具体为：
Figure BDA0002611261520000081
其中，e'表示平凸透镜与薄膜层接触边缘所在圆切面到薄膜层与液体层接触中心所在圆形切面之间的距离，e3表示薄膜层与平凸透镜接触面到薄膜层与平凸透镜接触边缘所在圆形切面的距离，e4表示薄膜层与液体层的接触中心所在圆切面到薄膜层与液体层接触面的距离，A表示仪器圆环高级数处到圆心处的高度差；
所述e3具体为：
Figure BDA0002611261520000082
所述e4具体为：
Figure BDA0002611261520000083
其中，r表示仪器圆环线半径，R1表示透镜层半径，l表示仪器半径，R2表示液体层中流动液体液面半径。
所述步骤S23仪器圆心处级数k为：
Figure BDA0002611261520000084
其中，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率。
在本实施例中，当透镜层为平凹透镜，且平凹透镜曲率大，液体层曲率小，A＝500nm，n＝1.3，e＝12000nm，λ＝400nm，R1＝20m，R2＝25m，在视场边缘设置圆环线，在半径2cm处，即rk＝2cm，且要求此处高差不超过1000nm，仪器内径l＝4cm，首先可计算得圆环线处水平时理论级数值为13，圆心处水平时理论级数值为26，然后计算出高级数处的最大级数为16，低级数处的最小级数为10，那么高级数处距离圆心处理论共有26-16＝10条明暗条纹，低级数处距离圆心处理论共有26-10＝16条明暗条纹，此时，可以观察到明显的圆条纹高度不对称，也可以直接数出高低两处条纹差6条。当倾斜角度大于1000nm时，高级数会增加，低级数会减少，则级数差增大，所以，当满足明暗条纹条数差小于6或高级数小于16或低级数大于10，则仪器水平。
计算过程：水平时圆心处，透镜介质厚度e1＝0，液体介质厚度e2＝8000nm，薄膜厚度为ek＝e-e1-e2＝4000nm，则圆心处级数为k＝26。
倾斜时圆环线的高级数处，透镜介质厚度e1＝10000nm，液体介质厚度e2＝0，薄膜厚度为ek＝e-e1-e2+500nm＝2500nm，则圆环线高级数处的最大级数K为16。
倾斜时圆环线低级数处，透镜介质厚度e1＝10000nm，液体介质厚度e2＝0，薄膜厚度为ek＝e-e1-e2-500nm＝1500nm，则圆环线低级数处的最小级数H为10。
本发明的有益效果为：
(1)本发明提供一种基于水平测量仪器的水平测量方法，不仅能够广泛应用于水平测量，同时还可以测量待检测目标的倾斜角度。
(2)本发明通过设置圆环线，然后计算圆心处级数、高级数处级数和低级数处级数来判断待检测目标是否处于水平状态，简单易实现，且能够准确的测量待检测目标的水平状态，简化了水平检测的过程，且保证了水平检测结果。

Claims (9)

1.一种用于水平检测的仪器，其特征在于，包括依次连接的透镜层、干涉薄膜层和具备高流动高反光的液体层；
所述透镜层的投影面为圆形，所述透镜层、干涉薄膜层和液体层组成圆柱体仪器。
2.根据权利要求1所述的用于水平检测的仪器，其特征在于，所述透镜层为平透镜、平凹透镜或平凸透镜。
3.根据权利要求2所述的用于水平检测的仪器，其特征在于，若所述透镜层为平凹透镜或平凸透镜，则透镜层与液体层的曲率不同，且透镜层表面靠边界处设置有圆环线。
4.一种使用如权利要求3所述用于水平检测的仪器的水平检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S0、判断透镜层为平透镜、平凸透镜或为平凹透镜，若为平透镜则进入步骤S11，若为平凸透镜或平凹透镜，则进入步骤S21：
S11、将仪器放置于待检测平面上，判断是否存在直条纹，若是，则进入步骤S12，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；
S12、判断N条相邻明条纹或N条相邻暗条纹的总长度N*L是否小于N*L'，若是，则进入步骤S13，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；L'表示待检测平面精度要求下相邻两条明条纹或相邻两条暗条纹的理论间距，L表示相邻两条明条纹或相邻两条暗条纹的实测间距；
S13、根据间距L，获取仪器的倾斜角度，得到待检测平面的水平测量结果；
S21、将仪器放置于待检测平面上，判断仪器中的圆环是否存在椭圆或厚度不对称，若是，则进入步骤S22，否则将待检测平面处于水平状态作为水平检测结果；
S22、获取仪器圆环线高级数处的最大级数K和低级数处的最小级数H；
S23、计算仪器圆心处级数k，并判断是否存在视场内高级数处和低级数处的明暗条纹级数差小于|K-H|、高级数与圆心之间的条纹数大于|k-K|或低级数与圆心之间的条纹数小于|k-H|，若是，则将待检测平面处于水平状态作为水平测量结果，否则将待检测平面处于不水平状态作为水平测量结果。
5.根据权利要求4所述的水平检测方法，其特征在于，所述步骤S13中根据间距L，获取仪器的倾斜角度的具体公式为：
Figure FDA0002611261510000021
其中，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率，θ表示仪器的倾斜角度。
6.根据权利要求4所述的水平检测方法，其特征在于，所述步骤S22中圆环线高级数处的最大级数K为：
Figure FDA0002611261510000022
所述步骤S22中圆环线低级数处的最小级数H为：
Figure FDA0002611261510000023
其中，eK表示高级数处的薄膜厚度，eH表示低级数处的薄膜厚度，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率。
7.根据权利要求4所述的水平检测方法，其特征在于，所述透镜层若为平凹透镜，则高级数处的薄膜厚度eK和低级数处的薄膜厚度eH具体为：
Figure FDA0002611261510000024
其中，e表示平凹透镜与薄膜层接触中心所在圆切面到薄膜层与液体层接触边缘所在圆切面之间的间距，e1表示薄膜层与平凹透镜的接触面到其中心所在圆形切面的距离，e2表示薄膜层与液体层接触边缘所在圆切面到薄膜层与液体层的接触面的距离，A表示仪器圆环高级数处到圆心处的高度差；
所述e1具体为：
Figure FDA0002611261510000031
所述e2具体为：
Figure FDA0002611261510000032
其中，r表示仪器圆环线半径，R1表示透镜层半径，l表示仪器半径，R2表示液体层中流动液体液面半径。
8.根据权利要求7所述的水平检测方法，其特征在于，所述透镜层若为平凸透镜，则高级数处的薄膜厚度eK和低级数处的薄膜厚度eH具体为：
Figure FDA0002611261510000033
其中，e'表示平凸透镜与薄膜层接触边缘所在圆切面到薄膜层与液体层接触中心所在圆形切面之间的距离，e3表示薄膜层与平凸透镜接触面到薄膜层与平凸透镜接触边缘所在圆形切面的距离，e4表示薄膜层与液体层的接触中心所在圆切面到薄膜层与液体层接触面的距离，A表示仪器圆环高级数处到圆心处的高度差；
所述e3具体为：
Figure FDA0002611261510000034
所述e4具体为：
Figure FDA0002611261510000041
其中，r表示仪器圆环线半径，R1表示透镜层半径，l表示仪器半径，R2表示液体层中流动液体液面半径。
9.根据权利要求8所述的水平检测方法，其特征在于，所述步骤S23仪器圆心处级数k为：
Figure FDA0002611261510000042
其中，λ为光的波长，n表示仪器中透镜层和干涉薄膜层的相对折射率。
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Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU634100A1 (ru) * 1977-06-09 1978-11-25 Бюро Взаимозаменяемости В Металлообрабатывающей Промышленности Жидкостный оптический уровень
CN2108345U (zh) * 1991-10-31 1992-06-24 武汉水利电力学院 劈尖等厚干涉演示器
CN2121732U (zh) * 1992-04-11 1992-11-11 黄笃之 牛顿环装置
JP2009294154A (ja) * 2008-06-06 2009-12-17 Hoya Corp 傾斜センサ
CN101650169A (zh) * 2009-07-17 2010-02-17 山东富美科技有限公司 一种刮刀平整度检测系统
CN102305601A (zh) * 2011-05-18 2012-01-04 天津大学 光学自由曲面三维形貌高精度非接触测量方法及装置
CN102322817A (zh) * 2011-06-13 2012-01-18 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法
CN202256148U (zh) * 2011-10-11 2012-05-30 江南大学 一种透明液体折射率测量装置
CN202599831U (zh) * 2012-06-01 2012-12-12 江南大学 一种等厚干涉实验装置
CN202734770U (zh) * 2012-06-08 2013-02-13 合肥芯硕半导体有限公司 基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置
CN202749002U (zh) * 2012-07-09 2013-02-20 无锡工艺职业技术学院 一种薄膜干涉实验装置
CN104504980A (zh) * 2015-01-08 2015-04-08 常州大学 一种演示薄膜干涉的装置
CN204422415U (zh) * 2015-02-10 2015-06-24 安庆师范学院 用于大学物理教学的等厚干涉实验装置
CN105632306A (zh) * 2016-04-07 2016-06-01 江南大学 一种改良型牛顿环
CN105737798A (zh) * 2016-02-01 2016-07-06 苏州弘开传感科技有限公司 一种基于法布里珀罗原理的传感器

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU634100A1 (ru) * 1977-06-09 1978-11-25 Бюро Взаимозаменяемости В Металлообрабатывающей Промышленности Жидкостный оптический уровень
CN2108345U (zh) * 1991-10-31 1992-06-24 武汉水利电力学院 劈尖等厚干涉演示器
CN2121732U (zh) * 1992-04-11 1992-11-11 黄笃之 牛顿环装置
JP2009294154A (ja) * 2008-06-06 2009-12-17 Hoya Corp 傾斜センサ
CN101650169A (zh) * 2009-07-17 2010-02-17 山东富美科技有限公司 一种刮刀平整度检测系统
CN102305601A (zh) * 2011-05-18 2012-01-04 天津大学 光学自由曲面三维形貌高精度非接触测量方法及装置
CN102322817A (zh) * 2011-06-13 2012-01-18 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法
CN202256148U (zh) * 2011-10-11 2012-05-30 江南大学 一种透明液体折射率测量装置
CN202599831U (zh) * 2012-06-01 2012-12-12 江南大学 一种等厚干涉实验装置
CN202734770U (zh) * 2012-06-08 2013-02-13 合肥芯硕半导体有限公司 基于等厚干涉原理检测全反射棱镜胶合面平行度的装置
CN202749002U (zh) * 2012-07-09 2013-02-20 无锡工艺职业技术学院 一种薄膜干涉实验装置
CN104504980A (zh) * 2015-01-08 2015-04-08 常州大学 一种演示薄膜干涉的装置
CN204422415U (zh) * 2015-02-10 2015-06-24 安庆师范学院 用于大学物理教学的等厚干涉实验装置
CN105737798A (zh) * 2016-02-01 2016-07-06 苏州弘开传感科技有限公司 一种基于法布里珀罗原理的传感器
CN105632306A (zh) * 2016-04-07 2016-06-01 江南大学 一种改良型牛顿环

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
严映律等: "《大学物理实验思考题及解答》", 31 December 1993, 西南交通大学出版社 *
贾贵儒: "《大学物理学》", 31 December 2009, 中国农业大学出版社 *
黄仙山: "《大学物理》", 31 July 2017, 合肥工业大学出版社 *

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