JP2012251808A - 検査画像取得装置、パターン検査装置および検査画像取得方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部13は、光照射部131、ラインセンサ132、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ9を搬送する搬送機構を備える。光照射部131からは、ウエブ9の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部131からの光の照射角θ1およびラインセンサ132により撮像が行われる検出角θ2は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ132によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。
【選択図】図2
Description
9 ウエブ
9a ガラス基板
10,10a 検査画像取得装置
11,11a 搬送機構
12 膜厚計
31 プロファイル取得部
32 角度決定部
34 検査部
90 撮像領域
131 光照射部
132 ラインセンサ
133 角度変更機構
136 偏光子
137 回転機構
331 検査画像データ
J1,J2 光軸
S13〜S15 ステップ
θ1 照射角
θ2 検出角
Claims (9)
- 基材上に形成された薄膜パターンの検査に用いられる検査画像を取得する検査画像取得装置であって、
前記薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光を出射する光照射部と、
前記光が照射される線状の撮像領域からの光を受光するラインセンサと、
前記基材を前記撮像領域と交差する方向に前記撮像領域に対して相対的に移動する移動機構と、
前記光照射部から前記撮像領域に至る光軸と前記基材の法線とのなす照射角と、前記撮像領域から前記ラインセンサに至る光軸と前記法線とのなす検出角とを等しく維持しつつ前記照射角および前記検出角を変更する角度変更機構と、
を備えることを特徴とする検査画像取得装置。 - 請求項1に記載の検査画像取得装置であって、
前記照射角および前記検出角と、前記薄膜パターンと背景との間のコントラストとの関係を示すプロファイルを取得するプロファイル取得部と、
前記プロファイルから前記照射角および前記検出角の設定角度を求める角度決定部と、
をさらに備えることを特徴とする検査画像取得装置。 - 請求項2に記載の検査画像取得装置であって、
前記プロファイル取得部が、前記基材上における層構造および各層の膜厚に基づいて、前記プロファイルを求めることを特徴とする検査画像取得装置。 - 請求項3に記載の検査画像取得装置であって、
前記各層の膜厚を求める膜厚計をさらに備え、
前記プロファイル取得部が、前記膜厚計からの出力に基づいて前記プロファイルを求めることを特徴とする検査画像取得装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の検査画像取得装置であって、
前記撮像領域と前記ラインセンサとの間に配置された偏光子をさらに備えることを特徴とする検査画像取得装置。 - 請求項2ないし4のいずれかに記載の検査画像取得装置であって、
前記撮像領域と前記ラインセンサとの間に配置された偏光子と、
前記偏光子による偏光方向を変更する偏光切替機構と、
をさらに備え、
前記プロファイル取得部が、前記プロファイルとして、p偏光光による前記薄膜パターンと前記背景との間の第1コントラストを示す第1プロファイルと、s偏光光による前記薄膜パターンと前記背景との間の第2コントラストを示す第2プロファイルとを取得し、
前記角度決定部が、前記第1コントラストと前記第2コントラストとの積を用いて前記設定角度を求め、
前記ラインセンサが、前記検査画像として、p偏光光による第1検査画像と、s偏光光による第2検査画像とを取得することを特徴とする検査画像取得装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の検査画像取得装置であって、
前記薄膜パターンの膜厚が、10nm以上2000nm以下であることを特徴とする検査画像取得装置。 - 基材上に形成された薄膜パターンを検査するパターン検査装置であって、
請求項1ないし7のいずれかに記載の検査画像取得装置と、
前記検査画像取得装置にて取得された検査画像に基づいて前記薄膜パターンの検査を実行する検査部と、
を備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 基材上に形成された薄膜パターンの検査に用いられる検査画像を取得する検査画像取得方法であって、
前記薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光を出射する光照射部から線状の撮像領域に至る光軸と前記基材の法線とのなす照射角の設定角度を求める工程と、
前記照射角を前記設定角度に設定し、前記撮像領域からラインセンサに至る光軸と前記法線とのなす検出角も前記設定角度に設定する工程と、
前記基材を前記撮像領域と交差する方向に前記撮像領域に対して相対的に移動する工程と、
を備えることを特徴とする検査画像取得方法。
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