JP2001004339A - 画像認識検査システムの照明むら測定方法および画像認識検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】照明装置の照明むらを正確に測定することので
きる照明むら測定方法を提供する。 【解決手段】ラインセンサカメラ９を測定対象２に対し
撮像素子１３ａ〜１３ｈの配列方向に向けて相対移動さ
せながら、各撮像素子１３ａ〜１３ｈで測定対象２の反
射面を撮像した画像データを蓄積していく。その蓄積し
た画像データ３２のうちの反射面の特定同一箇所を撮像
した画像データ３２を抽出して、その抽出した画像デー
タ３２の輝度から照度分布を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、プリント
回路基板の回路パターン形状の良否やプラズマディスプ
レイパネルなどに形成されている透明電極の幅の良否や
欠けの発生の有無などを、ラインセンサカメラで撮像し
た画像データに基づく認識処理によって検査する画像認
識検査システムにおける照明装置の照明むら測定方法お
よび画像認識検査方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年では、プリント回路基板の軽薄短小
化に伴う回路パターンの高密度化が一層促進されてお
り、それに応じて回路パターンの形状を自動的に検査す
る方法の開発も盛んに行われている。そのための一つの
検査方法を具現化した画像認識検査システムでは、照明
装置からプリント回路基板の回路パターンに照明光を照
射しながら、その回路パターンを認識カメラで撮像し、
その撮像した画像データの画像認識処理に基づいて回路
パターンの形状やスルーホールの形成位置および孔径な
どの良否を検査するようになっている。このような画像
認識検査システムでは、照明装置からの照明光によって
照射面全体を均一な照度になるよう照射する必要があ
る。

【０００３】何故ならば、例えば、スルーホールの画像
認識検査では、回路基板に対しその一面側から光照射し
て、スルーホールを透過してくる光を他面側に設置した
認識カメラで撮像しているが、照明光による照度にばら
つきが存在すると、その照明光の明暗に応じて撮像した
画像データにおけるスルーホールの径が相違してしま
い、良品のスルーホールを不良と誤判定してしまうから
である。一方、回路パターンの画像認識検査では、照明
光の回路パターンからの反射光を入力画像として認識カ
メラに取り込むが、照度の低い箇所では画像データの輝
度も低くなることから、回路パターンに正確に対応した
画像データにならず、やはり良品であるにも拘わらず不
良品と誤判定する不都合が生じてしまう。

【０００４】そこで、従来では、照明装置の照明光に照
明むらが存在するか否かの測定を定期的に行っており、
撮像対象からの透過光を入力画像とする透過照明系で
は、照明装置と認識カメラとの間に撮像対象を置かない
状態で照明光の光を入力画像として直接取り込んでい
る。

【０００５】一方、照明装置の照明光の撮像対象からの
反射光を入力画像として取り込む反射照明系では、照明
むらの測定に際して、照明光を認識カメラに入力画像と
して直接取り込むことができないため、照明光をテスト
パターンに照射してその反射光を入力画像として取り込
んで、照明むらの測定を行っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな照明むらの測定方法では、テストパターンの全面が
正確に均一な反射率を有していることが前提条件となる
が、そのようなテストパターンを得ることは極めて難し
く、テストパターンに反射率のばらつきが存在すると、
その反射率のばらつきが画像データの画素に輝度のばら
つきとなって表れる。そのため、画素の輝度の明暗は、
テストパターンの反射率のばらつき或いは照明光の明暗
のばらつきの何れに起因するものであるかの判別ができ
ないので、照明むらを正確に測定することができない問
題がある。

【０００７】また、従来では、照明むらの測定結果に基
づいて照明装置の光源の取り替えなどを行いながら照明
むらを無くすように調整しており、定期的に煩雑な調整
作業を必要とする問題もある。

【０００８】そこで、本発明は、上記従来の問題点を解
消するためになされたもので、撮像対象からの反射光を
入力画像としてラインセンサカメラに取り込む反射照明
系を有する画像認識検査システムにおける照明装置の照
明むらを正確に測定することのできる照明むら測定方法
および照明むらが存在しても被検査物を正確に検査する
ことのできる画像認識検査方法を提供することを目的と
している。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ラインセンサカメラと一体的位置関係に
ある照明装置の照明光の被検査物からの反射光を入力画
像としてラインセンサカメラの各撮像素子に取り込み、
その画像データの認識処理に基づいて被検査物の形状な
どを検査する画像認識検査システムにおける前記照明装
置の照度分布を測定する照明むら測定方法であって、前
記ラインセンサカメラを測定対象に対し前記撮像素子の
配列方向に向けて相対移動させながら、前記各撮像素子
で前記測定対象の反射面を撮像した画像データを蓄積し
ていき、その蓄積した画像データのうちの前記反射面の
特定同一箇所を撮像した画像データを抽出して、その抽
出した画像データの輝度から前記相対移動方向の照度分
布を求めるようにしたことを特徴としている。

【００１０】この画像認識検査システムの照明むら測定
方法では、ラインセンサカメラを測定対象に対し、撮像
素子の配列方向に向けて相対移動させながら、測定対象
の反射面を撮像した画像データを蓄積して、その画像デ
ータにおける反射面の特定同一箇所を撮像した画像デー
タのみを抽出するようにしたので、測定対象における特
定の箇所、すなわち同一の反射率の箇所から反射し、前
記相対移動に伴って照明装置の照度分布によって刻々と
変化する反射光を撮像した画像データのみを抽出して、
その画像データの輝度から照明装置の前記相対移動方向
の照度分布を求めることができるので、測定対象全面に
おける反射率のばらつきによる悪影響を完全に除外し
て、照明装置の照明むらを正確に測定することが可能と
なる。

【００１１】上記発明において、測定対象として、一部
分に反射率が他の部分と相違した測定領域部を有するテ
ストパターンを用い、各撮像素子の蓄積した画像データ
のうちの前記測定領域部を撮像した画像データを抽出し
て、その抽出した画像データを前記各撮像素子毎に区分
した各画素の輝度の平均値をそれぞれ算出するようにす
ることが好ましい。

【００１２】このように、測定対象として、一部分に反
射率が他の部分と相違した測定領域部を有するテストパ
ターン、例えば、黒地に白地のストライプ状の測定領域
を有するテストパターンを用いることにより、蓄積した
画像データにおける各撮像素子にそれぞれ対応する各画
素のうちの輝度の高いものから順に一定数だけ抽出すれ
ば、その抽出した各画素による画像データは、前記測定
領域部を撮像したものとなる。これにより、蓄積した画
像データからテストパターンの特定同一箇所を撮像した
画像データを容易、且つ正確に抽出することができる。

【００１３】上記発明において、各撮像素子の蓄積した
画像データのうちの反射面の特定同一箇所を撮像した画
像データの抽出を、ラインセンサカメラの測定対象に対
する相対移動速度と前記ラインセンサカメラの画像取り
込み周期とに基づく演算によって行うようにするのが好
ましい。

【００１４】これにより、測定対象の特定同一箇所を演
算により簡単に求めることができる。

【００１５】また、本発明の画像認識検査方法は、ライ
ンセンサカメラと一体的位置関係にある照明装置の照明
光の被検査物からの反射光を入力画像としてラインセン
サカメラの各撮像素子に取り込み、その画像データの認
識処理に基づいて被検査物の形状などの良否を検査する
画像認識検査方法であって、上述の照明むら測定方法に
よって得られた照度分布データを記憶手段に記憶し、前
記ラインセンサカメラを被検査物に対し、前記撮像素子
の配列方向に直交する方向に相対移動させながら、前記
各撮像素子で前記被検査物を撮像し、その撮像により得
られた画像データを、前記記憶手段から読み出した照度
分布データによって補正し、その補正した画像データに
よって被検査物の検査を行うようにしたことを特徴とし
ている。

【００１６】この画像認識検査方法では、ラインセンサ
カメラで撮像して得られた画像データの各画素の輝度を
照度分布データに基づき補正し、この補正された画像デ
ータは、照明装置に照明むらが存在している場合であっ
てもその悪影響を除かれたものとなる。この画像データ
に基づき被検査物を検査するので、その検査を極めて正
確に行うことができる。

【００１７】上記発明における被検査物を、基板上に透
明導電膜を用いて形成された透明電極とすることができ
る。

【００１８】これにより、照明むらを予め測定した測定
結果の照度分布データに基づいて画像データの輝度を補
正するので、照明装置に照明むらが存在しても、その悪
影響を除去した検査を行うことができる。そのため、従
来において画像認識処理による検査が困難であった透明
電極のパターン幅や欠けの検査に適用して、画像認識に
より正確な検査結果を得られる顕著な効果を奏する。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の第１の実施の形態に係る照明むら測定方法を具現化し
た照明むら測定装置を備えた画像認識検査システムを示
す要部の斜視図である。同図において、検査テーブル１
は、検査対象のプリント回路基板（図示せず）または照
明むら測定用のテストパターン２を所定の取付位置に保
持する。この検査テーブル１の上方位置には、サーボモ
ータ４により回転されるボールねじ７とガイドシャフト
８とが互いに平行にＸ方向に水平配設されており、ボー
ルねじ７に螺合するキャリア部材３は、ガイドシャフト
８に摺動しながら所定の定速度でＸ方向に移動される。

【００２０】上記キャリア部材３にはラインセンサカメ
ラ９および照明装置１０が所定の関係位置に組み合わせ
て取り付けられている。ラインセンサカメラ９は、ＣＣ
Ｄ（図示せず）を１列に配列してなる一次元の撮像装置
であり、また角度変更用モータ１８を備え、鉛直線まわ
りに９０°回転できるように構成されている。照明むら
測定時には、ラインセンサカメラ９はＣＣＤの配列方向
がＸ方向と一致する向きで、且つ検査テーブル１にセッ
トされる測定対象、すなわちテストパターン２を撮像で
きる位置に配置される。他方、画像認識検査時には、ラ
インセンサカメラ９は９０°回転させられて、ＣＣＤの
配列方向がＹ方向と一致する向きで、且つ検査テーブル
１にセットされる被検査物、すなわちプリント回路基板
を撮像できる位置に配置される。照明装置１０は、発光
ダイオードなどの光源１１の配列方向がＸ方向と一致す
る向きで、光源１１からの照明光が被検査物で反射した
のちにラインセンサカメラ９に入射しやすいように位置
決めされている。

【００２１】図２は上記画像認識検査システムを示すブ
ロック構成図である。同図において、図１と同一のもの
には同一の符号を付してある。検査テーブル１には被検
査物であるプリント回路基板１２がセットされており、
このプリント回路基板１２には照明装置１０から照明光
Ｌ１が照射され、プリント回路基板１２からの反射光Ｌ
２が入力画像としてラインセンサカメラ９のＣＣＤ１３
に取り込まれる。

【００２２】制御部１４は、予め設定された制御プログ
ラムにしたがってシステム全体を制御するもので、モー
タ駆動回路１７を介して図１に示したサーボモータ４を
回転制御するとともに、角度変更用モータ１８に指令し
て、ラインセンサカメラ９の角度を所定の角度にセット
する。また、制御部１４は、検査テーブル１にテストパ
ターン２がセットされているときに、ラインセンサカメ
ラ９から取り込んだ画像データを照明むら測定系１９に
対し出力するとともに、検査テーブル１にプリント回路
基板１２などの被検査物がセットされているときに、ラ
インセンサカメラ９から取り込んだ画像データを画像認
識検査系２０に対し出力するよう制御する。

【００２３】照明むら測定系１９は、制御部１４から入
力したテストパターン２の画像データを一時的に記憶す
る画像データ記憶手段２１と、この画像データ記憶手段
２１の画像データにおける各ＣＣＤ毎に対応する各画素
のうちの輝度の高い所定数の画素をそれぞれ抽出する画
素抽出手段２２と、その抽出された各画素の各々の輝度
の平均値を各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に算出する輝度平
均値演算手段２３と、算出された輝度の平均値に基づい
て照明装置１０の照度分布を判定する照度分布判定手段
２４と、この照度分布判定手段２４の判定結果である照
度分布データを記憶する照度分布データ記憶手段２７と
を備えて構成されている。

【００２４】一方、画像認識検査系２０は、制御部１４
から入力した被検査物のプリント回路基板１２の画像デ
ータを一時的に記憶する画像データ記憶手段２８と、こ
の画像データ記憶手段２８に記憶された画像データの各
画素の輝度を照度分布データ記憶手段２７に記憶された
照度分布データに基づき補正する画像補正手段２９と、
この画像補正手段２９のうちの指定された一定領域の画
像データを抽出して検査対象の回路パターンの形状など
を計測する画像処理手段３０と、この画像処理手段３０
の画像計測処理による計測結果を予め設定された判定基
準値と比較して被検査物の形状などの良否を判定する判
定処理手段３１とを備えて構成されている。

【００２５】つぎに、上記画像認識検査システムにおけ
る照明装置１０の照明むらの測定について、図３の説明
図を参照しながら説明する。図３（ａ）はテストパター
ン２の一列を示し、横平行線は黒地部分２ａを示し、そ
の黒地部分２ａ内に反射率の高い白地でストライプ状に
形成された測定領域部２ｂを有している。本発明の照明
むら測定方法に用いるテストパターン２としては、黒地
部分２ａおよび測定領域部２ｂが何れも均一な反射率を
有している必要がない。但し、黒地部分２ａ中には所定
以上の幅を有する測定領域部２ｂが少なくとも一つ有し
ている必要があり、その測定領域部２ｂは、検査テーブ
ル１にセットしたときにラインセンサカメラ９のＣＣＤ
１３の配列方向に対し直交方向になるよう設けるのが好
ましい。

【００２６】上記テストパターン２は、測定領域部２ｂ
の方向がラインセンサカメラ９におけるＣＣＤ１３の配
列方向つまり移動方向（図１におけるＸ方向）に直交す
る配置で検査テーブル１にセットする。なお、この実施
の形態では幅の大きな測定領域部２ｂを使用する場合に
ついて説明する。そして、照明装置１０からテストパタ
ーン２に照明光Ｌ１を照射しながらラインセンサカメラ
９でテストパターン２を撮像し、その撮像状態を保持し
ながら図１のサーボモータ４を回転駆動させてラインセ
ンサカメラ９をＣＣＤ１３の配列方向に移動させてい
く。これにより、Ｙ方向における或る所定位置でのＸ方
向の照度分布データを求められる。なおＹ方向位置を順
次変えることにより、二次元的な照度分布データを求め
ることができる。

【００２７】いま、ラインセンサカメラ９のＣＣＤ１３
は、図３（ａ）に矢印で示すように、テストパターン２
における測定領域部２ｂの中間部分を直交方向に横切り
ながら移動しつつ撮像するものとする。また、ラインセ
ンサカメラ９は、この実施の形態において８個のＣＣＤ
１３ａ〜１３ｈが一列に配置されているものとし、一番
目のＣＣＤ１３ａが測定領域部２ｂに対向する状態を初
期位置として、図の左方に向けて移動させるものとす
る。

【００２８】ラインセンサカメラ９は、各ＣＣＤ１３ａ
〜１３ｈに蓄積する撮像による電荷を所定周期で取り込
む。図３（ａ）に示すＳ１〜Ｓ８は、各ＣＣＤ１３ａ〜
１３ｈの蓄積電荷をそれぞれ取り込むタイミングにおけ
るラインセンサカメラ９の移動位置を示している。ライ
ンセンサカメラ９がＳ１位置からＳ８位置まで移動する
と、図３（ｂ）に示すような画像データ３２が得られ
る。このように、ラインセンサカメラ９をその撮像素子
としてのＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの配列方向つまりＸ方向
に移動させることにより、テストパターン２に対し直線
移動させながらも図３（ｂ）に示すような二次元の画像
データ３２を得る。

【００２９】制御部１４は、ラインセンサカメラ９から
取り込んだ図３（ｂ）に示す画像データ３２を、画像デ
ータ記憶手段２１に対し出力して一時記憶させる。画素
抽出手段２２は、各画像データにおける各ＣＣＤ毎の各
々の画素のうちの輝度が高いものから順に所定数ずつの
画素を画像データ記憶手段２１から抽出して読み出す。
画像データ３２における図３（ｂ）の縦方向の破線で区
分した部分は、それぞれ各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの撮像
による画素であり、これら各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎の
画素のうちの輝度が高い所定数の画素は、この実施の形
態において測定領域部２ｂを撮像した画素となる。した
がって、各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に抽出される所定数
の各画素は、何れも測定領域部２ｂにおける特定同一箇
所を撮像したものである。

【００３０】続いて、輝度平均値演算手段２３は、上述
の抽出された各画素に対しＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎にそ
の輝度の平均値を算出する。すなわち、図３（ｂ）にお
ける矢印で示す各範囲内の画素における各々の輝度の平
均値を算出する。さらに、照度分布判定手段２４は、各
ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に算出された輝度の平均値に基
づいて、照明装置１０における各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ
の配列方向の照度分布を判定し、その判定結果である照
度分布データを照度分布データ記憶手段２７に記憶す
る。

【００３１】この照明むらの測定方法では、ラインセン
サカメラ９をこれのＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの配列方向に
向けて移動させながらテストパターン２を撮像し、その
撮像した画像データにおける画素のうちの各ＣＣＤ１３
ａ〜１３ｈ毎に輝度の高い所定数の画素を抽出するの
で、ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に抽出される画素は、テス
トパターン２における特定同一箇所を撮像したもの、つ
まり同一の反射率を有する箇所を撮像したものである。
したがって、テストパターン２に反射率のばらつきがあ
っても、各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈでテストパターン２の
特定同一箇所を撮像することによって、テストパターン
２の反射率のばらつきによる悪影響を完全に除外して、
照明装置１０の各光源１１の光度のばらつき等に起因す
る照明むらを正確に測定することができる。

【００３２】なお、上記説明では、制御部１４がサーボ
モータ４を回転制御してラインセンサカメラ９および照
明装置１０を移動させる場合について説明したが、ライ
ンセンサカメラ９および照明装置１０を固定して、検査
テーブル１をＸ方向に移動させるようにしても、上述と
同様の照明むらの測定を行うことができるとともに、ラ
インセンサカメラ９の移動時の振動に伴う画像データへ
の悪影響を除外できるので、好ましい。

【００３３】また、上記実施の形態の画像認識検査シス
テムは、照明むら測定系１９を一体に備えているので、
例えば、毎日の稼動前に１回の割合で照明むらの測定を
行って、その測定結果の照度分布データが前日と異なる
場合には、その照度分布データを照度分布データ記憶手
段２７に更新して記憶するようにする。これにより、照
度分布データは、常にその時点での照明装置１０の状態
を正確に示すものとなる。この照明むらの測定後に、被
検査物の画像認識検査を行う。つぎに、被検査物の画像
認識検査方法について説明する。

【００３４】オペレータは、図示しない入力装置の操作
により、照明むら測定を設定して上述の照明むらの測定
を行ったのちに、入力装置により画像認識検査を設定
し、検査テーブル１からテストパターン２を取り出した
のちに、検査テーブル１に被検査物の例えばプリント回
路基板１２を順次セットするよう設定する。制御部１４
は、角度変更用モータ１８を駆動させて、ラインセンサ
カメラ９の方向を、ＣＣＤの配列方向がＹ方向に一致す
るようにセットし、次いでサーボモータ４を駆動させ
て、ラインセンサカメラ９および照明装置１０をＸ方向
に定速度で移動させる。これにより、ラインセンサカメ
ラ９は各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈでプリント回路基板１２
を撮像した画像データを制御部１４に対し出力する。制
御部１４は、その画像データが蓄積されて得られる二次
元の画像データを画像認識検査系２０の画像データ記憶
手段２８に一時記憶させる。

【００３５】つぎに、制御部１４は照度分布データ記憶
手段２７に対し照度分布データを画像補正手段２９に対
し送出するよう指令する。画像補正手段２９は、画像デ
ータ記憶手段２８から読み出した画像データの各輝度を
照度分布データに基づき補正する。続いて、画像処理手
段３０は、補正された画像データのうちの指定された一
定領域の画像データを抽出して画像補正手段２９から読
み出し、その画像データにおける回路パターンの幅や長
さなどを計測する画像処理を行う。さらに、判定処理手
段３１は、画像処理手段３０の画像計測による画像処理
結果を予め設定された判定基準値と対照比較して、回路
パターンの良否の判定を行う。この画像認識結果は、ラ
インセンサカメラ９で撮像した画像データの各画素の輝
度を照明装置１０の照度分布データに基づき補正した画
像データに変換して、その回路パターンの形状に正確に
対応した画像データに基づき認識処理するので、極めて
正確な検査を行うことができる。

【００３６】つぎに、本発明の第２の実施の形態に係る
照明むら測定方法について説明する。この実施の形態が
第１の実施の形態と相違する点は、図示していないが、
図２における画素抽出手段２２に代えて、画像変換手段
を設けた構成のみである。画像変換手段は、サーボモー
タ４の回転を検出するエンコーダ３３からの入力データ
から算出したラインセンサカメラ９の移動速度ｖと、予
め設定された画像取り込み周期Ｔおよび分解能ａとに基
づき、画像データ記憶手段２１に一時記憶されている画
像データ３２の座標Ｄ１（ｘ，ｙ）を、次の（１）式に
基づく演算を行うことにより、図４に示すような画像デ
ータ３４に変換する。すなわち、変換された画像データ
３４の座標をＤ２（ｘ，ｙ）とすると、Ｄ２（ｘ，ｙ）
≒Ｄ１〔ｘ，ｙ＋（ａ×ｘ）／（ｖ×Ｔ）〕…（１）の
近似式の演算を行う。このように変換された画像データ
３４は、図４に示すように、テストパターン２の特定同
一箇所を各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈでそれぞれ撮像した画
素がＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの配列方向に対応してそれぞ
れ一列に並ぶように変換されたものとなる。したがっ
て、テストパターン２における測定領域部２ｂの同一箇
所を撮像した各画素は横一列に並べられるので、この後
に行う画素の輝度の平均値を算出するための演算を簡素
化できる。

【００３７】図５（ａ）は、透明導電膜（ＩＴＯ膜）に
よって一定幅の精密なパターンに形成された透明電極３
７を示し、このような透明電極３７はプラズマディスプ
レイ、液晶ディスプレイまたはエレクトロルミネンスデ
ィスプレイなどに用いられている。この透明電極３７
は、フォトエッチング法によって形成された後に、幅や
欠けの検査が行われているが、この検査には画像認識が
採用されていない。その理由は、透明電極３７の反射率
が極めて低いことから、照明光を照射した時に明暗の高
いコントラストを得られないので、光量の低い箇所にお
ける画像データの部分を全て欠陥として認識してしまう
ためである。

【００３８】これに対し、上記実施の形態の画像認識検
査システムでは、照明むら測定系１９によって照明装置
１０の照度分布を予め測定して、図５（ｂ）示す透明電
極３７の画像データ３９を、上記測定結果の照度分布デ
ータに対応する輝度となるような画像データに変換し
て、その画像データを画像認識するので、照明装置１０
に照明むらが存在しても、その悪影響が除去された画像
データを得ることができる。そのため、上記画像認識検
査システムは、透明電極３７のパターン幅や欠けの検査
に適用して、画像認識により正確な検査結果を得られる
顕著な効果を奏する。

【００３９】

【発明の効果】以上のように本発明の画像認識検査シス
テムの照明むら検査方法によれば、測定対象の反射面の
全体に反射率のばらつきがあっても、その反射面におけ
る特定同一箇所を撮像した画像データのみを抽出して、
その画像データにおける輝度から照明装置の照度分布を
求めているので、反射面の反射率のばらつきによる悪影
響を完全に除外して、照明装置の照明むらを正確に測定
することが可能となる。

【００４０】本発明の画像認識検査方法によれば、照明
装置に照明むらが存在している場合であっても、その悪
影響を除外して画像認識による検査を極めて正確に行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る照明むら測定
方法を具現化した照明むら測定装置を備えた画像認識検
査システムを示す一部の斜視図。

【図２】同上画像認識検査システムを示すブロック構成
図。

【図３】（ａ）は同上照明むら測定方法におけるテスト
パターンを示す平面図、（ｂ）はテストパターンを同上
照明むら測定方法による撮像手段により得られた画像デ
ータを示す図。

【図４】本発明の第１の実施の形態に係る照明むら測定
方法における画像変換工程により得られた画像データを
示す図。

【図５】（ａ）は本発明の画像認識検査システムの検査
対象とすることができる透明電極を示す断面図、（ｂ）
は透明電極を撮像して得られた画像データを示す図。

【符号の説明】

２ テストパターン（測定対象） ２ｂ 測定領域部 ９ ラインセンサカメラ １０ 照明装置 １１ 光源 １２ プリント回路基板（被検査物） １３、１３ａ〜１３ｈ ＣＣＤ（撮像素子）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA00 AA56 BB02 BB22 BB27 CC01 CC02 EE04 FF04 FF26 FF32 FF33 FF41 FF61 GG07 GG16 JJ02 JJ25 MM07 PP02 PP05 QQ24 QQ42 2G051 AA65 AB02 BA20 CA03 CA04 CB01 DA06 EB09 EC03 5B057 AA03 BA12 BA21 DA03 DB02 DC09 DC22

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ラインセンサカメラと一体的位置関係に
   ある照明装置の照明光の被検査物からの反射光を入力画
   像としてラインセンサカメラの各撮像素子に取り込み、
   その画像データの認識処理に基づいて被検査物の形状な
   どを検査する画像認識検査システムにおける前記照明装
   置の照度分布を測定する照明むら測定方法であって、 前記ラインセンサカメラを測定対象に対し前記撮像素子
   の配列方向に向けて相対移動させながら、前記各撮像素
   子で前記測定対象の反射面を撮像した画像データを蓄積
   していき、 その蓄積した画像データのうちの前記反射面の特定同一
   箇所を撮像した画像データを抽出して、その抽出した画
   像データの輝度から前記相対移動方向の照度分布を求め
   るようにしたことを特徴とする画像認識検査システムの
   照明むら測定方法。
2. 【請求項２】 測定対象として、一部分に反射率が他の
   部分と相違した測定領域部を有するテストパターンを用
   い、 各撮像素子の蓄積した画像データのうちの前記測定領域
   部を撮像した画像データを抽出して、その抽出した画像
   データを前記各撮像素子毎に区分した各画素の輝度の平
   均値をそれぞれ算出するようにした請求項１に記載の画
   像認識検査システムの照明むら測定方法。
3. 【請求項３】 各撮像素子の蓄積した画像データのうち
   の反射面の特定同一箇所を撮像した画像データの抽出
   を、ラインセンサカメラの測定対象に対する相対移動速
   度と前記ラインセンサカメラの画像取り込み周期とに基
   づく演算によって行うようにした請求項１に記載の画像
   認識検査システムの照明むら測定方法。
4. 【請求項４】 ラインセンサカメラと一体的位置関係に
   ある照明装置の照明光の被検査物からの反射光を入力画
   像としてラインセンサカメラの各撮像素子に取り込み、
   その画像データの認識処理に基づいて被検査物の形状な
   どの良否を検査する画像認識検査方法であって、 請求項１ないし３の何れかの照明むら測定方法によって
   得られた照度分布データを記憶手段に記憶し、 前記ラインセンサカメラを被検査物に対し、前記撮像素
   子の配列方向に直交する方向に相対移動させながら、前
   記各撮像素子で前記被検査物を撮像し、 その撮像により得られた画像データを、前記記憶手段か
   ら読み出した照度分布データによって補正し、 その補正した画像データによって被検査物の検査を行う
   ようにしたことを特徴とする画像認識検査方法。
5. 【請求項５】 被検査物が、基板上に透明導電膜を用い
   て形成された透明電極である請求項４に記載の画像認識
   検査方法。