DE102018103171A1 - Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie, Verfahren zur Herstellung einer Kondensatorfolie und Einrichtung zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung (1) auf einer transparenten Folie (7) für einen Kondensator mit der Verwendung einer Struktur, die Folgendes umfasst: eine Lichtquelle (2), einen Sensor (3) und eine zentrale Prozesseinheit (4), umfassend die folgenden Schritte: A) Bewegen der transparenten Folie (7) mit der Beschichtung (1) auf einem Pfad (10), der zwischen der Lichtquelle (2) und dem Sensor (3) läuft, B) Beleuchten der Beschichtung auf der transparenten Folie (1) durch die Lichtquelle (2), C) Detektieren der Intensität des übertragenen Lichts (5) von der Lichtquelle (2) durch den Sensor (3), D) Berechnen der Eigenschaften der Beschichtung auf der transparenten Folie (1) basierend auf der gemessenen Intensität des übertragenen Lichts (5) durch die Prozesseinheit (4).

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie, ein Verfahren zur Herstellung einer Kondensatorfolie und eine Einrichtung zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie für eine bessere Nachvollziehbarkeit.
  • Für eine bessere Kontrolle einer endgültigen Produktqualität ist es wichtig, die genauen Eigenschaften eines Produkts während des Fertigungsprozesses zu kennen. Besonders im Sektor der Dünnfolienfertigung, bei der eine Schicht einer Verbindung mit einem dünnen Substrat beschichtet wird, ist es wichtig, Dicken- und Elementverhältnisse der beschichteten Schichten gerade zur Zeit des Fertigungsprozesses zu messen.
  • Der Zweck dieser Erfindung besteht darin, ein schnelles und zuverlässiges Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie zu erzeugen. Ferner kann eine Aufgabe darin bestehen, ein zerstörungsfreies Verfahren zum Bestimmen der Verhältnisse mehrerer Elemente in einer mehrschichtigen beschichteten Folie auf einem dünnen Substrat während eines Fertigungsprozesses bereitzustellen. Eine andere Aufgabe besteht darin, eine Einrichtung zum Durchführen des oben erwähnten Verfahrens bereitzustellen.
  • Die wie im unabhängigen Anspruch 1 offenbarte Erfindung oder das Verfahren im unabhängigen Anspruch 16 bietet eine Lösung für dieses Problem. Die abhängigen Ansprüche zu Anspruch 1 können zu einer bevorzugten Lösung führen. Die andere Aufgabe wird durch den Gegenstand von Anspruch 15 gelöst.
  • Die Erfindung betrifft ein erstes Verfahren. Es ist ein Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie für einen Kondensator. Das Verfahren verwendet eine Struktur, die eine Lichtquelle, einen Sensor und eine zentrale Prozesseinheit umfasst. Das Verfahren beinhaltet die folgenden Schritte, um Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie zu bestimmen: Bewegen der transparenten Folie mit der Beschichtung auf einem Pfad, der zwischen der Lichtquelle und dem Sensor läuft, Beleuchten der Beschichtung auf der transparenten Folie durch die Lichtquelle, Detektieren der Intensität des übertragenen Lichts von der Lichtquelle durch den Sensor und Berechnen der Eigenschaften der Beschichtung auf der transparenten Folie basierend auf der gemessenen Intensität des übertragenen Lichts durch die Prozesseinheit.
  • Hierin kann die Beschichtung ein Metall umfassen oder aus Metall bestehen. Nichtsdestotrotz ist die Erfindung nicht auf eine derartige Metallisierung beschränkt.
  • Eine derartige Struktur, die in dieser Erfindung verwendet wird, kann eine Bestimmung von Eigenschaften während eines Fertigungsprozesses ermöglichen, da der Pfad Teil einer Fertigungslinie sein kann. Des Weiteren wird möglicherweise kein Vergleich mit Referenzdaten benötigt, da alle Ergebnisse berechnet werden. Daher kann die Berechnung viel Zeit einsparen und beschleunigt den Prozess der Bestimmung.
  • Bei einer möglichen Ausführungsform der Erfindung emittiert die Lichtquelle Licht mit mehreren Wellenlängen des elektromagnetischen Spektrums, das verwendet wird, um die Beschichtung auf der transparenten Folie zu beleuchten. Hierin kann die Wellenlänge des emittierten Lichts in einem Bereich von 10 nm bis 10 µm liegen. Eine weitere Einschränkung des Bereichs zu den optischen Spektren ist möglich. Die optischen Spektren können durch Licht mit mehreren Wellenlängen im Bereich von 380 nm bis 780 nm definiert sein. Die Verwendung von Licht mit mehreren Wellenlängen ermöglicht, nicht nur die Dicke der Beschichtung, sondern auch andere Eigenschaften zu bestimmen, zum Beispiel den Gehalt eines gewissen Elements in der Beschichtung.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfasst das Verfahren einen Schritt des Durchführens eines Frequenzdurchlaufs des emittierten Lichts. Der Durchlauf kann für Frequenzen vorgenommen werden, die sich auf jede Wellenlänge eines Bereichs von Wellenlängen, der durch die Lichtquelle bereitgestellt wird, oder teilweisen Unterbereichen davon beziehen.
  • Der Frequenzdurchlauf kann zum Bestimmen einer oder mehrerer optimaler Lichtwellenlängen verwendet werden. Die optimale Wellenlänge kann durch das Verhalten eines Abschwächungskoeffizienten eines Materials von Interesse in der Beschichtung definiert werden. Genauer gesagt, kann eine optimale Wellenlänge als die definiert werden, bei der der Abschwächungskoeffizient für das Material von Interesse in der Beschichtung maximal wird. Des Weiteren kann Teil der Definition einer optimalen Wellenlänge sein, in einem Fall mehrerer Materialien von Interesse, dass sich Abschwächungskoeffizienten von Materialien voneinander unterscheiden und die Differenz bei dieser Wellenlänge maximal ist.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung kann der Sensor dazu konfiguriert sein, Licht von der Lichtquelle im Bereich von durch die Lichtquelle emittierten Wellenlängen zu detektieren. Der Sensor kann dazu konfiguriert sein, die Intensität des Lichts, das den Detektor erreicht, zu detektieren. Es kann möglich sein, dass, aufgrund seiner Charakteristiken, nur ein Teil des Bereichs von durch die Lichtquelle emittierten Wellenlängen durch den Sensor detektiert werden kann. Es kann möglich sein, dass zumindest alle optimalen Wellenlängen für den Sensor detektierbar sind. Der Sensor kann als eine Photodiode oder eine Zeilenkamera implementiert sein. Die Messung von Lichtintensitäten mehrerer Wellenlängen kann die Genauigkeit der Ergebnisse, besonders in einem Fall einer mehrschichtigen Beschichtung, verbessern.
  • Bei einer anderen Ausführungsform ist das Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung auf der transparenten Folie mehr als eine Schicht umfasst. Jede Schicht der Beschichtung auf der transparenten Folie kann ein oder mehrere Materialien umfassen. Das Verfahren kann dadurch gekennzeichnet sein, dass die Dicke jeder Schicht durch die zentrale Prozesseinheit als eine Eigenschaft der Beschichtung auf der transparenten Folie berechnet wird. Des Weiteren kann es möglich sein, durch die zentrale Prozesseinheit den Gehalt jedes Materials als eine Eigenschaft der Beschichtung auf der transparenten Folie zu berechnen.
  • Alle oder mindestens eine Berechnung durch die zentrale Prozesseinheit können auf dem Beerschen Gesetz basieren. Das Beersche Gesetz beschreibt die Abhängigkeit eines Lichtabsorptionsgrads A durch das Übertragen des Lichts durch ein Material mit einem spezifischen Materialabschwächungskoeffizienten ε, einer gewissen Konzentration C und einer Länge l des Pfads des übertragenen Lichts. Die Abhängigkeit des Lichtabsorptionsgrads wird folgendermaßen beschrieben: A=ε·C·1
  • Eine mögliche Ausführungsform der Erfindung kann ein Metall als ein Material von Interesse umfassen. Bei einer spezifischeren Variation der Beschichtung kann das Material von Interesse mindestens ein Element aus Al, Zn, Cu oder Mg umfassen. Es ist auch möglich, dass die transparente Folie ein Polymer umfasst.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird das Verfahren in einem Vakuum vorgenommen. Hierin kann der Maximaldruck des Vakuums in einem Bereich von 10^-2 mbar bis 10^-6 mbar liegen, z. B. ein Vakuum mit einem Druck von mindestens 10^-4 mbar.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird der erste Schritt des Bewegens der transparenten Folie mit der Beschichtung durch ein Abwickeln der transparenten Folie von einer ersten Rolle und ein gleichzeitiges Aufwickeln der transparenten Folie auf eine zweite Rolle umgesetzt. Hierin kann der Pfad des Bewegens der transparenten Folie zwischen den beiden Rollen teilweise zwischen der Lichtquelle und dem Sensor geführt werden. Des Weiteren kann es möglich sein, dass das Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie Teil einer Fertigungslinie ist. Hierin kann es möglich sein, die berechneten Daten in Echtzeit zu protokollieren oder die Daten zu verwenden, um beliebige Fertigungsprozeduren zu regeln.
  • Des Weiteren betrifft die Erfindung ein zweites Verfahren. Dies ist ein Verfahren zur Herstellung einer Kondensatorfolie. Das Verfahren verwendet eine Struktur, die eine Lichtquelle, einen Sensor und eine zentrale Prozesseinheit umfasst. Das Verfahren zur Herstellung eines Kondensators umfasst die folgenden Schritte: Beschichten von Metall auf eine transparente Folie, Bewegen der Beschichtung auf der transparenten Folie auf einem Pfad, der zwischen der Lichtquelle und dem Sensor läuft, Beleuchten der Beschichtung auf der transparenten Folie durch die Lichtquelle, Detektion der Intensität des übertragenen Lichts von der Lichtquelle durch den Sensor, Berechnung der Eigenschaften der Beschichtung auf der transparenten Folie basierend auf der gemessenen Intensität des übertragenen Lichts durch die zentrale Prozesseinheit, Anpassen des Beschichtungsprozesses des ersten Schritts basierend auf den berechneten Eigenschaften vom vorangegangenen Schritt.
  • Zusätzlich dazu betrifft die Erfindung eine Einrichtung zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie. Die Einrichtung umfasst eine Lichtquelle, die dazu konfiguriert ist, die Beschichtung auf der transparenten Folie zu beleuchten, einen Sensor, der dazu konfiguriert ist, die Intensität des übertragenen Lichts durch die Beschichtung auf der transparenten Folie zu detektieren, eine zentrale Prozesseinheit, die dazu konfiguriert ist, die Eigenschaften der Beschichtung auf der transparenten Folie basierend auf der gemessenen Intensität des übertragenen Lichts, die von der Wellenlänge des Lichts abhängt, zu berechnen.
  • Die Erfindung des Verfahrens zur Herstellung eines Kondensators oder die Erfindung der Einrichtung zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie können mit beliebigen Ausführungsformen des ersten Verfahrens der Erfindung kombiniert werden. Genauer gesagt, kann ein beliebiges mögliches Merkmal des Verfahrens zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung auf einer transparenten Folie (1) für einen Kondensator auch ein Merkmal des Verfahrens zur Herstellung eines Kondensators sein.
  • Im Folgenden werden die Erfindung und bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren besprochen.
  • In den Figuren gilt:
    • 1 stellt einen schematischen Überblick der Einrichtung oder Struktur des Gegenstands dar.
    • 2 ist eine Schnittdarstellung senkrecht zum Pfad der Folie, um die Funktion der vorliegenden Erfindung auf eine schematische Weise zu veranschaulichen.
  • In 1 ist ein schematischer Überblick einer Struktur dargestellt. Die Struktur wird verwendet, um Eigenschaften einer Beschichtung 1 auf einer transparenten Folie 7 zu bestimmen, und umfasst eine Lichtquelle 2, einen Sensor 3 und eine zentrale Prozesseinheit 4. Zwischen der Lichtquelle 2 und dem Sensor 3 ist ein Pfad 10 definiert. Auf diesem Pfad 10 wird die Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 von einer ersten Rolle 8 zu einer zweiten Rolle 9 geführt.
  • Hierin kann die Beschichtung 1 ein Metall umfassen oder aus Metall bestehen. In diesem Fall würde die Beschichtung 1 eine Metallisierung auf der transparenten Folie 7 repräsentieren. Nichtsdestotrotz ist die Erfindung nicht auf eine derartige Metallisierung beschränkt.
  • Das Licht der Lichtquelle 2 kann mehrere Wellenlängen umfassen und wird auf die Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 gerichtet, um dieselbe zu beleuchten. Die Wellenlänge des Lichts kann in einem Bereich von 10 nm bis 10 µm liegen. Bei einer Ausführungsform kann die Wellenlänge des Lichts in den optischen Spektren liegen. Die optischen Spektren können als ein Bereich von 380 nm bis 780 nm definiert sein. Bezüglich der mehreren Wellenlängen, die durch die Lichtquelle 2 emittiert werden, wird der Sensor 3 so ausgewählt, dass er Licht im vollständigen Bereich oder in Teilen des Bereichs von Wellenlängen von durch die Lichtquelle 2 emittiertem Licht detektiert. Der Sensor ist eine Photodiode oder eine Zeilenscankamera.
  • Das übertragene Licht 5 wird durch den Sensor 3 nach einer Durchquerung durch die Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 detektiert. Die Intensität des übertragenen Lichts 5 wird für jede Wellenlänge, die durch die Lichtquelle emittiert wird, detektiert. Der Sensor 3 ist mit der zentralen Prozesseinheit 4 verbunden. Die zentrale Prozesseinheit 4 berechnet Eigenschaften der Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 basierend auf der detektierten Intensität des übertragenen Lichts 5. Diese Eigenschaften können die Dicke oder Zusammensetzung einer beschichteten Schicht 6 der Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 sein. Die Ergebnisse der Berechnung können als Daten zur Qualitätskontrolle in einem anschließenden Prozess 41 protokolliert werden. Des Weiteren können die berechneten Ergebnisse im anschließenden Prozess 41 für eine dynamische Anpassung eines Beschichtungsprozesses einer transparenten Folie 7 verwendet werden, um die Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 zu erzielen. Dadurch kann die Menge einer spezifischen Komponente der Beschichtung oder die Menge der Beschichtung zu einer Schicht 6 auf der transparenten Folie 7 zu einer Referenzeingangsvariable angepasst werden.
  • 2 ist eine Schnittdarstellung der schematischen Ansicht eines Teils der Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7, der Lichtquelle 2 und des Sensors 3. Die Blickrichtung ist senkrecht zu einer Flächennormalen der Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 und senkrecht zum Pfad 10. Dort ist die Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 auf dem Pfad 10 dargestellt, der zwischen der Lichtquelle 2 und dem Sensor 3 läuft.
  • Die Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 wird durch die Lichtquelle 2 beleuchtet. Die Lichtquelle 2 emittiert mehrere Wellenlängen, wie oben beschrieben. Die Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 kann aus einer transparenten Folie 7 bestehen, die mit mehreren Schichten 6 mit unterschiedlichen Verbindungen beschichtet ist. Bei einem Aspekt ist die transparente Folie 7 eine Polymerfolie. Dadurch, dass es durch eine Schicht 6 läuft, wird die Intensität des Lichts in Abhängigkeit von der Schichtdicke, des Gehalts eines spezifischen Materials in der Schicht 6 und dem wellenlängenabhängigen Abschwächungskoeffizienten dieses Materials, gemäß dem Beerschen Gesetz, reduziert.
  • Jede Schicht 6 kann unterschiedliche Arten von Elementen umfassen. Diese Elemente können Metalle sein. Beispielsweise kann jede Schicht 6 ein oder mehrere Elemente aus Al, Zn, Cu, Ag oder Mg umfassen. Die transparente Folie 7 kann auch die Intensität des übertragenen Lichts 5 reduzieren. Die Lichtquelle und der Sensor sind auf eine Weise angeordnet, dass das übertragene Licht den Sensor 3 erreichen kann und durch den Sensor 3 detektiert werden kann. Der Sensor 3 detektiert das übertragene Licht 5. Bei einer Ausführungsform der Erfindung detektiert der Sensor 3 die Intensität des übertragenen Lichts 5 in Abhängigkeit von der Wellenlänge des Lichts.
  • Die Informationen über die detektierte Lichtintensität können zur zentralen Prozesseinheit 4 gesendet werden. Die zentrale Prozesseinheit 4 kann die Informationen zum Berechnen von Eigenschaften der Beschichtung 1 auf der transparenten Folie 7 verwenden. Die Berechnung der Eigenschaften basiert auf dem Beerschen Gesetz. Die Berechnung auf Basis des Beerschen Gesetzes ermöglicht, einen geschlossenen Satz von Gleichungen zu bestimmen, und daher besteht keine Notwendigkeit für einen Vergleich mit einem vorhandenen Spektrum oder vorhandenen Daten.
  • Um Fehler in den Berechnungen zu minimieren, ist es vorteilhaft, eine optimale Lichtwellenlänge für jedes verwendete Material von Interesse zu finden. Diese optimale Wellenlänge wird durch den wellenlängenabhängigen Abschwächungskoeffizienten des verwendeten Materials von Interesse charakterisiert. Die Wellenlänge sollte auf eine Weise gewählt werden, dass der Abschwächungskoeffizient maximal wird. Des Weiteren sollte die Wellenlänge auf eine Weise gewählt werden, dass die Differenz zwischen unterschiedlichen Abschwächungskoeffizienten unterschiedlicher Materialien für die gegebene Wellenlänge maximal wird. Dies erhöht beispielsweise die Präzision einer relativen Zusammensetzungsmessung. Eine derartige optimale Wellenlänge kann durch einen anfänglichen Frequenzdurchlauf des Lichts bestimmt werden.
  • Gemäß der Absorptionsgradgleichung des Beerschen Gesetzes gilt: A = ε · C · l
    Figure DE102018103171A1_0001
  • Hier bezieht sich A auf einen Lichtabsorptionsgrad, der direkt proportional zu einem Materialabschwächungskoeffizienten ε, einer Materialkonzentration C und einer Länge des Lichtpfads l durch das Material ist.
  • Im Fall von Metallbeschichtungen kann die Menge an Material durch das Produkt C· l ausgedrückt werden. Da der Materialabschwächungskoeffizient eine Eigenschaft jedes Materials für eine bestimmte Wellenlänge ist, ist es möglich, die Metallmenge der Beschichtung zu bestimmen, indem der Lichtabsorptionsgrad gemessen wird. Im Fall mehrerer Metalle soll der Lichtabsorptionsgrad bei mehreren Wellenlängen gemessen werden, um ein System von Gleichungen zu erzeugen, in dem die Anzahl von Gleichungen n die gleiche wie oder höher als die Anzahl von zu messenden Metallen und Wellenlängen der Messung sein wird:
    A1 =ε1 Metall1 · CMetall1 · lMetall1+ ε1 Metall2 · CMetall2 · lMetall2+...+ ε1 Metalln · CMetalln · lMetalln
    A2=ε2 Metall1 · CMetall1 · l Metall1+ ε2 Metall2 · CMetall2 · l Metall2+...+ ε2 Metalln· CMetalln · l Metalln
    ...
    An=εn Metall1 · CMetall1 · lMetall1+ εn Metall2 · CMetall2 · lMetall2+...+ εn Metalln · CMetalln · lMetalln
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Beschichtung
    2
    Lichtquelle
    3
    Sensor
    4
    Prozesseinheit
    41
    anschließender Prozess
    5
    übertragenes Licht
    6
    Schicht(en)
    7
    transparente Folie
    8
    erste Rolle
    9
    zweite Rolle
    10
    Pfad der Folie

Claims (15)

  1. Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung (1) auf einer transparenten Folie (7) für einen Kondensator mit der Verwendung einer Struktur, die Folgendes umfasst: - eine Lichtquelle (2), - einen Sensor (3) und - eine zentrale Prozesseinheit (4), umfassend die folgenden Schritte: -A) Bewegen der transparenten Folie (7) mit der Beschichtung (1) auf einem Pfad (10), der zwischen der Lichtquelle (2) und dem Sensor (3) läuft, -B) Beleuchten der Beschichtung auf der transparenten Folie (1) durch die Lichtquelle (2), -C) Detektieren der Intensität des übertragenen Lichts (5) von der Lichtquelle (2) durch den Sensor (3), -D) Berechnen der Eigenschaften der Beschichtung auf der transparenten Folie (1) basierend auf der gemessenen Intensität des übertragenen Lichts (5) durch die Prozesseinheit (4).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Beschichtung (1) eine Metallisierung ist.
  3. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei in Schritt B) Licht mehrerer Wellenlängen der elektromagnetischen Spektren durch die Lichtquelle emittiert wird, um die Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) zu beleuchten.
  4. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei in Schritt B) die Lichtquelle (2) Licht im Bereich des optischen Spektrums emittiert.
  5. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei das Verfahren den Schritt des Durchführens eines Frequenzdurchlaufs des emittierten Lichts umfasst, um eine Wellenlänge zu bestimmen, die bezüglich des Materials der Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) optimal ist.
  6. Verfahren nach dem vorangegangenen Anspruch 5, wobei die Wellenlänge optimal ist, wenn ein Abschwächungskoeffizient eines Materials in der Beschichtung maximal ist oder wenn, falls die Beschichtung mindestens zwei unterschiedliche Materialien umfasst, die Differenz der Abschwächungskoeffizienten der beiden Materialien für die Wellenlänge maximal ist.
  7. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) mehr als eine Schicht (6) umfasst.
  8. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke jeder Schicht (6) im Schritt E) berechnet wird.
  9. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) mehr als ein Material umfasst.
  10. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehalt jedes Materials in der Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) im Schritt E) berechnet wird.
  11. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei die Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) mindestens ein Element aus Al, Zn, Cu, Ag oder Mg umfasst.
  12. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei die Berechnung auf Basis des Beerschen Gesetzes vorgenommen wird.
  13. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei der Verfahrensschritt A) des Bewegens der Folie durch ein Abwickeln der Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) von einer ersten Rolle (8) und ein gleichzeitiges Aufwickeln der Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) auf eine zweite Rolle (9) in einer Fertigungslinie umgesetzt wird.
  14. Verfahren zur Herstellung einer Kondensatorfolie mit der Verwendung einer Struktur, die Folgendes umfasst: - eine Lichtquelle (2), - einen Sensor (3) und - eine zentrale Prozesseinheit (4), umfassend die folgenden Schritte: -A) Beschichten (1) von Metall auf eine transparente Folie (7), -B) Bewegen der transparenten Folie (7) mit der Beschichtung (1) auf einem Pfad, der zwischen der Lichtquelle (2) und dem Sensor (3) läuft, -C) Beleuchten der Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) durch die Lichtquelle (2), -D) Detektion der Intensität des übertragenen Lichts (5) von der Lichtquelle (2) durch den Sensor (3), -E) Berechnung von Eigenschaften der Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) basierend auf der gemessenen Intensität des übertragenen Lichts (5) durch die Prozesseinheit (4), -F) Anpassen des Beschichtungsprozesses von Schritt A) basierend auf den berechneten Eigenschaften von Schritt E) .
  15. Einrichtung zum Bestimmen von Eigenschaften einer Beschichtung (1) auf einer transparenten Folie (7), die Folgendes umfasst: - eine Lichtquelle (2), die dazu konfiguriert ist, die Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) zu beleuchten, - einen Sensor (3), der dazu konfiguriert ist, die Intensität des übertragenen Lichts durch die Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) zu detektieren, - eine zentrale Prozesseinheit (4), die dazu konfiguriert ist, die Eigenschaften der Beschichtung (1) auf der transparenten Folie (7) basierend auf der gemessenen Intensität des übertragenen Lichts, die von der Wellenlänge des Lichts abhängt, zu berechnen.
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