JP2021504696A - 透明フィルム上のコーティングの特性を決定する方法及びデバイス、並びにコンデンサフィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
透明フィルム上のコーティングの特性を決定する方法、コンデンサ(capacitor)フィルムを製造するための方法、及び透明フィルム上のコーティングの特性を決定するデバイス。
前記透明フィルムを前記コーティングとともに、前記光源と前記センサとの間を通る経路上で移動するステップと、
前記透明フィルム上の前記コーティングを前記光源で照らすステップと、
前記センサによる前記光源からの透過光の強度を検出するステップと、
前記処理装置(process unit)による透過光の測定強度に基づいて、前記透明フィルム上の前記コーティングの特性を計算するステップと、
を包含する。
A=ε・C・l
透明フィルム上に金属をコーティングするステップと、
前記透明フィルム上の前記コーティングを、前記光源と前記センサとの間を通る経路上で移動するステップと、
前記透明フィルム上の前記コーティングを前記光源で照らすステップと、
前記センサによる前記光源からの透過光の強度を検出するステップと、
前記中央処理装置による透過光の測定強度に基づいて、前記透明フィルム上の前記コーティングの特性を計算するステップと、
前の(bevor)ステップから計算された特性に基づいて、前記第1のステップのコーティングプロセスを適応させるステップと、
を含む。
A =ε・C・l
式中、Aは材料の減衰係数ε、材料の濃度C、及び材料を通る光路の長さlに正比例する吸光度に関するものである。
A1=ε1 metal1・C metal1・l metal1+
ε1 metal2・C metal2・l metal2+…+
ε1 metaln・C metaln・l metaln
A2=ε2 metal1・C metal1・l metal1+
ε2 metal2・C metal2・l metal2+…+
ε2 metaln・C metaln・l metaln
…
An=εn metal1・C metal1・l metal1+
εn metal2・C metal2・l metal2+…+
εn metaln・C metaln・l metaln
1 コーティング
2 光源
3 センサ
4 処理装置(process unit)
41 後続プロセス
5 透過光
6 層(複数可)
7 透明フィルム
8 第1のロール
9 第2のロール
10 フィルムの経路
Claims (15)
- −光源(2)、
−センサ(3)、及び
−中央処理装置(4)、
を含む構造体を使用してコンデンサの透明フィルム(7)上のコーティング(1)の特性を決定する方法であって、以下のステップ:
−A)前記透明フィルム(7)を前記コーティング(1)とともに、前記光源(2)と前記センサ(3)との間を通る経路(10)上で移動するステップと、
−B)前記透明フィルム(1)上の前記コーティングを前記光源(2)で照らすステップと、
−C)前記センサ(3)による前記光源(2)からの透過光(5)の強度を検出するステップと、
−D)前記処理装置(4)による透過光(5)の測定強度に基づいて、前記透明フィルム(1)上の前記コーティングの特性を計算するステップと、
を含む方法。 - 前記コーティング(1)がメタライゼーションである、請求項1に記載の方法。
- ステップB)において、電磁スペクトルの複数の波長の光が、前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)を照らすための前記光源によって放射される、請求項1から2のいずれか一項に記載の方法。
- ステップB)において、前記光源(2)が、光学スペクトルの範囲で発光する、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 当該方法は、前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)の材料に関して最適である波長を決定するために、放射された光の周波数で掃引を実行するステップを含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記コーティング中の1つの材料の減衰係数が最大であるとき、又は、前記コーティングが少なくとも2つの異なる材料を含む場合、前記2つの材料の前記減衰係数の差が前記波長に対して最大であるとき、前記波長が最適である、請求項5に記載の方法。
- 前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)が1つより多い層(6)を含むことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 各層(6)の厚さがステップE)で計算されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)が1つより多い材料を含むことを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)中の各材料の含有量がステップE)において計算されることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)が、Al、Zn、Cu、Ag、又はMgのうち少なくとも1つの元素を含む、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記計算がべールの法則に基づいている、請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法であって、それにより(whereby)、前記フィルムを移動させる方法ステップA)が、前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)を第1のロール(8)から繰り出すこと、及び生産ラインにおいて第2のロール(9)上の前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)を巻き上げることによって実現される、方法。
- −光源(2)、
−センサ(3)、及び
−中央処理装置(4)、
を含む構造体を使用してコンデンサフィルムを製造するための方法であって、以下のステップ:
−A)透明フィルム(7)上に金属をコーティングするステップと、
−B)前記透明フィルム(7)を前記コーティング(1)とともに、前記光源(2)と前記センサ(3)との間を通る経路上で移動するステップと、
−C)前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)を前記光源(2)で照らすステップと、
−D)前記センサ(3)による前記光源(2)からの透過光(5)の強度を検出するステップと、
−E)前記処理装置(4)による透過光(5)の測定強度に基づいて、前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)の特性を計算するステップと、
−F)ステップE)から計算された特性に基づいて、ステップA)のコーティングプロセスを適応させるステップと、
を含む方法。 - 透明フィルム(7)上のコーティング(1)の特性を決定するデバイスであって、
−前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)を照らすように構成された光源(2)と、
−前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)を通過した透過光強度を検出するように構成されたセンサ(3)と、
−光の波長に依存する透過光の測定強度に基づいて、前記透明フィルム(7)上の前記コーティング(1)の特性を計算するように構成された中央処理装置(4)と、
を含むデバイス。
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