JP2625949B2 - コンデンサ用蒸着フィルム及びその製造方法 - Google Patents
コンデンサ用蒸着フィルム及びその製造方法Info
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- JP2625949B2 JP2625949B2 JP63214144A JP21414488A JP2625949B2 JP 2625949 B2 JP2625949 B2 JP 2625949B2 JP 63214144 A JP63214144 A JP 63214144A JP 21414488 A JP21414488 A JP 21414488A JP 2625949 B2 JP2625949 B2 JP 2625949B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、コンデンサ用蒸着フイルム及びその製造方
法に関するものである。
法に関するものである。
［従来の技術］ 従来、フイルムコンデンサ用の蒸着フイルムの製造方
法として、エンドレスのテープを用いたり、オイルマス
クを使用したりして、マージン部（非蒸着部）を設けな
がら蒸着することが知られている。
法として、エンドレスのテープを用いたり、オイルマス
クを使用したりして、マージン部（非蒸着部）を設けな
がら蒸着することが知られている。
また、フイルム全面に金属蒸着を施し、レーザー光線
を当ててマージン部を設けることや、特開昭62-279620
号公報に記載されているように、片刃に電圧を印加して
マージン部をつくることが知られている。
を当ててマージン部を設けることや、特開昭62-279620
号公報に記載されているように、片刃に電圧を印加して
マージン部をつくることが知られている。
また、アルミニウム蒸着フイルムの蒸着膜の断面の層
構成は、表層（100Å位まで）が酸化アルミニウムであ
り、内部がアルミニウム、フイルム表面近傍が酸化アル
ミニウムの３層構成になっている。
構成は、表層（100Å位まで）が酸化アルミニウムであ
り、内部がアルミニウム、フイルム表面近傍が酸化アル
ミニウムの３層構成になっている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような従来の方法でつくった蒸着
フイルムは、蒸着膜の付着力が弱い、コンデンサ素子に
した時に耐湿下での静電容量変化率が大きいという課題
がある。
フイルムは、蒸着膜の付着力が弱い、コンデンサ素子に
した時に耐湿下での静電容量変化率が大きいという課題
がある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、 （１）プラスチックフイルム及び蒸着膜からなる蒸着フ
イルムであって、該蒸着膜の断面が、少なくとも酸化ア
ルミニウム／アルミニウム／酸化アルミニウム／アルミ
ニウムで構成されていることを特徴とするコンデンサ用
蒸着フイルム、及び （２）プラスチックフイルムを真空蒸着する方法におい
て、10-2〜10-6Torrで真空蒸着した後、真空度を１〜10
00Torrにし、その後10-2〜10-6Torrで再度真空蒸着する
ことを特徴とするコンデンサ用蒸着フイルムの製造方
法、 に関するものである。
イルムであって、該蒸着膜の断面が、少なくとも酸化ア
ルミニウム／アルミニウム／酸化アルミニウム／アルミ
ニウムで構成されていることを特徴とするコンデンサ用
蒸着フイルム、及び （２）プラスチックフイルムを真空蒸着する方法におい
て、10-2〜10-6Torrで真空蒸着した後、真空度を１〜10
00Torrにし、その後10-2〜10-6Torrで再度真空蒸着する
ことを特徴とするコンデンサ用蒸着フイルムの製造方
法、 に関するものである。
本発明におけるプラスチックフイルムとは、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ
イミド、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリフェ
ニレンサルファイドなどのフイルムのいずれでもよい
が、特に好ましいのは、ポリエチレンテレタレートフイ
ルムである。
レンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ
イミド、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリフェ
ニレンサルファイドなどのフイルムのいずれでもよい
が、特に好ましいのは、ポリエチレンテレタレートフイ
ルムである。
真空蒸着とは、通常の巻取式真空蒸着機を使用して、
蒸着金属を真空下で蒸発させて、プラスチックフイルム
の片面あるいは両面に付着させるものである。蒸着金属
としては、アルミニム、亜鉛、銅、錫などの低融点金属
のいずれも用いることができるが、特に好ましいのはア
ルミニウムである。また、初めの蒸着と再度の蒸着で異
なる金属を用いてもよいが、好ましくは同じ金属を用い
る。
蒸着金属を真空下で蒸発させて、プラスチックフイルム
の片面あるいは両面に付着させるものである。蒸着金属
としては、アルミニム、亜鉛、銅、錫などの低融点金属
のいずれも用いることができるが、特に好ましいのはア
ルミニウムである。また、初めの蒸着と再度の蒸着で異
なる金属を用いてもよいが、好ましくは同じ金属を用い
る。
本発明は、プラスチックフイルムをまず10-2〜10-6To
rrの圧力でフイルム全面に、或いはテープなどでマージ
ンをとりながら真空蒸着する。その後、真空度を１〜10
00Torrに戻し、その後再度真空度を10-2〜10-6Torrにし
て、フイルム全面あるいはマージンをセンサーでコント
ロールしながら、蒸着することが必要である。
rrの圧力でフイルム全面に、或いはテープなどでマージ
ンをとりながら真空蒸着する。その後、真空度を１〜10
00Torrに戻し、その後再度真空度を10-2〜10-6Torrにし
て、フイルム全面あるいはマージンをセンサーでコント
ロールしながら、蒸着することが必要である。
蒸着厚みは、0.02〜0.2μｍ程度の範囲が好ましい。
上記説明は、２回蒸着の場合についてのものである
が、３回以上行なってもよいことはもちろんである。
が、３回以上行なってもよいことはもちろんである。
本発明の蒸着フイルムは、アルミニウム蒸着の場合、
蒸着膜の断面が少なくとも酸化アルミニウム／アルミニ
ウム／酸化アルミニウム／アルミニウムの層構造になっ
ていることが好ましい。特に好ましくは、蒸着膜の断面
が表面から酸化アルミニウム／アルミニウム／酸化アル
ミニウム／アルミニウム／酸化アルミニウムの少なくと
も５層構造になっていることが望ましい。
蒸着膜の断面が少なくとも酸化アルミニウム／アルミニ
ウム／酸化アルミニウム／アルミニウムの層構造になっ
ていることが好ましい。特に好ましくは、蒸着膜の断面
が表面から酸化アルミニウム／アルミニウム／酸化アル
ミニウム／アルミニウム／酸化アルミニウムの少なくと
も５層構造になっていることが望ましい。
こうしてできた蒸着フイルムは、全面蒸着されたもの
は、レーザー光線などでマージン部を作り、マイクロス
リットされる。マイクロスリットされたフイルムは、巻
回あるいは積層され、コンデンサ素子にし、公知の方法
で熱プレス、メタリコン、切断、電圧処理され、コンデ
ンサとして使用される。
は、レーザー光線などでマージン部を作り、マイクロス
リットされる。マイクロスリットされたフイルムは、巻
回あるいは積層され、コンデンサ素子にし、公知の方法
で熱プレス、メタリコン、切断、電圧処理され、コンデ
ンサとして使用される。
［発明の効果］ 本発明は、一度蒸着した後、一旦圧力を上げ、再度蒸
着を行なうため、蒸着膜の付着、蒸着膜の配向、蒸着膜
の成長状態、蒸着膜の層構成が通常の蒸着のものと異な
り、緻密になったものと推定される。このため、蒸着膜
の付着力が向上し、コンデンサにした時の耐湿下の静電
容量変化率が減少したものと思われる。
着を行なうため、蒸着膜の付着、蒸着膜の配向、蒸着膜
の成長状態、蒸着膜の層構成が通常の蒸着のものと異な
り、緻密になったものと推定される。このため、蒸着膜
の付着力が向上し、コンデンサにした時の耐湿下の静電
容量変化率が減少したものと思われる。
［特性の測定方法及び効果の評価方法］ （１）蒸着膜の付着力 恒温層に水を入れ、65℃の温水にし、これに15分間蒸
着フイルムを浸漬し、蒸着膜の消失度合を観察した。蒸
着膜の変化がないものを○、少し変化したものを△、蒸
着膜がほとんど消失してしまったものを×とし、３段階
で付着力を評価した。
着フイルムを浸漬し、蒸着膜の消失度合を観察した。蒸
着膜の変化がないものを○、少し変化したものを△、蒸
着膜がほとんど消失してしまったものを×とし、３段階
で付着力を評価した。
（２）静電容量変化率 蒸着したフイルムからコンデンサ素子を（1.5μＦ）
をつくり、50℃、95％RHで、35Vの直流印加の条件で200
0時間経過したときの静電容量変化率（ΔC/C）（％）を
測定した。
をつくり、50℃、95％RHで、35Vの直流印加の条件で200
0時間経過したときの静電容量変化率（ΔC/C）（％）を
測定した。
（３）アルミニウム蒸着膜の層構成の判定 赤外分光装置IFS-113V（Bruker型FT-IR、干渉計ゲン
ツェル型）を用いて、中赤外領域透過スペクトル、差ス
ペクトルを求め、そのスペクトル（IRと略す）結果及び
ESCA（Ｘ線光電子分光）の測定結果から蒸着膜の断面の
層構成がアルミニウムであるのか酸化アルミニウムであ
るのかの判定を行なった。
ツェル型）を用いて、中赤外領域透過スペクトル、差ス
ペクトルを求め、そのスペクトル（IRと略す）結果及び
ESCA（Ｘ線光電子分光）の測定結果から蒸着膜の断面の
層構成がアルミニウムであるのか酸化アルミニウムであ
るのかの判定を行なった。
［実施例］ 以下、実施例に基づいて、本発明を説明する。
実施例１ ポリエチレンテレフタレートフイルム（10μｍ）を、
巻取式真空蒸着機で、10-4Torrの圧力でアルミニウムを
真空蒸着した。一旦空気を吹きこみ、10Torrにした後、
再び真空（10-4Torr）にし、再度アルミニウムを蒸着し
た。蒸着膜の厚みは、0.06μｍであった。この蒸着フイ
ルムの付着力を測定すると、第１表のとおりであった。
また、コンデンサにして静電容量変化率を測定すると0.
01％であり、ほとんど変化はなく、良好であった。ま
た、アルミニウム蒸着膜の断面の層構成は、表面から酸
化アルミニウム、アルミニウム、酸化アルミニウム、ア
ルミニウム、酸化アルミニウムの５層構造であった。
巻取式真空蒸着機で、10-4Torrの圧力でアルミニウムを
真空蒸着した。一旦空気を吹きこみ、10Torrにした後、
再び真空（10-4Torr）にし、再度アルミニウムを蒸着し
た。蒸着膜の厚みは、0.06μｍであった。この蒸着フイ
ルムの付着力を測定すると、第１表のとおりであった。
また、コンデンサにして静電容量変化率を測定すると0.
01％であり、ほとんど変化はなく、良好であった。ま
た、アルミニウム蒸着膜の断面の層構成は、表面から酸
化アルミニウム、アルミニウム、酸化アルミニウム、ア
ルミニウム、酸化アルミニウムの５層構造であった。
比較例１ ポリエチレンテレフタレートフイルム（10μｍ）を巻
取式真空蒸着機で、10-4Torrの圧力でアルミニウムを蒸
着した。蒸着膜の厚みは、0.06μｍであった。この蒸着
フイルムの付着力を測定すると、第１表のとおりであ
り、蒸着膜がほとんど消失してしまった。また、コンデ
ンサにして静電容量変化率を測定すると、１％であり、
よい結果は得られなかった。また、蒸着膜の断面の層構
成は、表面から酸化アルミニウム、アルミニウム、酸化
アルミニウムの３層構造であった。
取式真空蒸着機で、10-4Torrの圧力でアルミニウムを蒸
着した。蒸着膜の厚みは、0.06μｍであった。この蒸着
フイルムの付着力を測定すると、第１表のとおりであ
り、蒸着膜がほとんど消失してしまった。また、コンデ
ンサにして静電容量変化率を測定すると、１％であり、
よい結果は得られなかった。また、蒸着膜の断面の層構
成は、表面から酸化アルミニウム、アルミニウム、酸化
アルミニウムの３層構造であった。
比較例２ ポリエチレンテレフタレートフイルム（10μｍ）を巻
取式真空蒸着機で、10-4Torrでアルミニウムを真空蒸着
した。真空のまま（10-4Torr）再度アルミニウムを蒸着
した。蒸着膜の厚みは0.06μｍであった。この蒸着フイ
ルムの付着力は、第１表のとおりであり、蒸着膜がほと
んど消失してしまった。また、コンデンサにして静電容
量変化率を測定すると、0.5％と良くなかった。蒸着膜
の断面の層構成は、表面から酸化アルミニウム、アルミ
ニウム、酸化アルミニウムの３層構造であった。
取式真空蒸着機で、10-4Torrでアルミニウムを真空蒸着
した。真空のまま（10-4Torr）再度アルミニウムを蒸着
した。蒸着膜の厚みは0.06μｍであった。この蒸着フイ
ルムの付着力は、第１表のとおりであり、蒸着膜がほと
んど消失してしまった。また、コンデンサにして静電容
量変化率を測定すると、0.5％と良くなかった。蒸着膜
の断面の層構成は、表面から酸化アルミニウム、アルミ
ニウム、酸化アルミニウムの３層構造であった。
Claims (2)
- 【請求項１】プラスチックフイルム及び蒸着膜からなる
蒸着フイルムであって、該蒸着膜の断面が、少なくとも
酸化アルミニウム／アルミニウム／酸化アルミニウム／
アルミニウムで構成されていることを特徴とするコンデ
ンサ用蒸着フイルム。 - 【請求項２】プラスチックフイルムを真空蒸着する方法
において、10-2〜10-6Torrで真空蒸着した後、真空度を
１〜1000Torrにし、その後10-2〜10-6Torrで再度真空蒸
着することを特徴とするコンデンサ用蒸着フイルムの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63214144A JP2625949B2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | コンデンサ用蒸着フィルム及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63214144A JP2625949B2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | コンデンサ用蒸着フィルム及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0262236A JPH0262236A (ja) | 1990-03-02 |
| JP2625949B2 true JP2625949B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=16650957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63214144A Expired - Lifetime JP2625949B2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | コンデンサ用蒸着フィルム及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2625949B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021504696A (ja) * | 2017-11-23 | 2021-02-15 | テーデーカー エレクトロニクス アーゲー | 透明フィルム上のコーティングの特性を決定する方法及びデバイス、並びにコンデンサフィルムの製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5267852A (en) * | 1992-07-28 | 1993-12-07 | Iwatani Sangyo Kabushiki Kaisha | Gas cylinder |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP63214144A patent/JP2625949B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021504696A (ja) * | 2017-11-23 | 2021-02-15 | テーデーカー エレクトロニクス アーゲー | 透明フィルム上のコーティングの特性を決定する方法及びデバイス、並びにコンデンサフィルムの製造方法 |
| JP7160916B2 (ja) | 2017-11-23 | 2022-10-25 | テーデーカー エレクトロニクス アーゲー | 透明フィルム上のコーティングの特性を決定する方法及びデバイス、並びにコンデンサフィルムの製造方法 |
| US11703319B2 (en) | 2017-11-23 | 2023-07-18 | Tdk Electronics Ag | Method to determine properties of a coating on a transparent film, method for manufacturing a capacitor film and device to determine properties of a coating on a transparent film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0262236A (ja) | 1990-03-02 |
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