WO2012103897A1 - Verfahren und vorrichtung zur bestimmung optischer eigenschaften durch gleichzeitiges messen von intensitäten an dünnen schichten mit licht von mehreren wellenlängen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur bestimmung optischer eigenschaften durch gleichzeitiges messen von intensitäten an dünnen schichten mit licht von mehreren wellenlängen Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung optischer Eigenschaften durch Messen von Intensitäten an einer dünnen Schicht (15), bei dem Licht in die dünne Schicht (15) eingestrahlt wird, wobei das Licht zunächst einen Strahlenteiler (7) passiert, der einen Teil des Lichts auf die dünne Schicht (15) und einen weiteren Teil des Lichts auf einen hochauflösenden Referenzdetektor (19') leitet, Interferenzen an der zumindest einen dünnen Schicht (15) über einen hochauflösenden Detektor (19) erfaßt und an eine Auswerteeinheit weitergeleitet werden, welche die Reflexions- und/oder Transmissionskoeffizienten bestimmt, die dabei mit der optischen Schichtdicke unter Abgleich mit zumindest einer in der Auswerteeinheit hinterlegten Datenbank korreliert werden, so daß sich die optische Schichtdicke über eine Grauwertanalyse und einen in der zumindest einen Datenbank hinterlegten Umrechnungsfaktor als Grauwertänderung ergibt. Die Erfindung betrifft ebenso eine entsprechende Vorrichtung und bevorzugte Verwendungen.
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