JP4940751B2

JP4940751B2 - 金属化フィルムの製造装置

Info

Publication number: JP4940751B2
Application number: JP2006131335A
Authority: JP
Inventors: 浩康村山; 孝雄岡本; 督也馬田; 喜信古田; 真一古瀬
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2006-05-10
Filing date: 2006-05-10
Publication date: 2012-05-30
Anticipated expiration: 2026-05-10
Also published as: JP2007305718A

Description

本発明は各種電気機器や自動車用等に利用される金属化フィルムコンデンサに使用される金属化フィルムを製造する際に有用な金属化フィルムの製造装置に関するものである。

図８はこの種の金属化フィルムコンデンサの構成を示した断面図、図９（ａ）、（ｂ）は同金属化フィルムコンデンサに使用される一対の金属化フィルムを示した平面図であり、図８と図９において、２０と２１は夫々金属化フィルムを示し、この金属化フィルム２０と２１を一対として巻回（または積層）することにより金属化フィルムコンデンサが構成されているものである。

２０ａと２１ａは夫々上記金属化フィルム２０と２１の基材となる誘電体フィルム、２０ｂと２１ｂは夫々上記誘電体フィルム２０ａと２１ａの表面に形成された金属蒸着電極であり、この金属蒸着電極２０ｂと２１ｂは、上記誘電体フィルム２０ａ、２１ａの片面上に一端の絶縁マージン２０ｃ、２１ｃを除いてアルミニウムの金属を夫々蒸着することにより形成され、両端面のメタリコン２２ａ、２２ｂを介して電極を引き出すようにしているものである。

また、上記金属蒸着電極２０ｂと２１ｂは、容量を形成する有効電極部の幅Ｗの略中央部から絶縁マージン２０ｃ、２１ｃに向かう側に、オイル転写により形成した金属蒸着電極を有しない非蒸着のスリット２０ｄ、２１ｄにより複数の分割電極２０ｅ、２１ｅに夫々区分され、かつ有効電極部の幅Ｗの略中央部から絶縁マージン２０ｃ、２１ｃと反対側でメタリコン２２ａ、２２ｂに近い側に位置する誘電体フィルム２０ａ、２１ａの片面全体に蒸着された金属蒸着電極２０ｂ、２１ｂにヒューズ２０ｆ、２１ｆで並列接続されているものである。

このように構成された金属化フィルムコンデンサは、自己保安機能を有し、しかもヒューズ２０ｆ、２１ｆによる発熱の少ない金属化フィルムコンデンサを実現できるというものである（特許文献１）。

なお、上記金属化フィルム２０、２１は、幅が１ｍ前後で長さが数千〜数万ｍの帯状の誘電体フィルム２０ａ、２１ａの長手方向に上記金属蒸着電極２０ｂ、２１ｂ、ならびに分割電極２０ｅ、２１ｅを複数条連続して形成した後、所望の幅寸法にスリットして使用するようにしたものである。

従って、上記金属化フィルム２０、２１に形成された夫々の金属蒸着電極２０ｂ、２１ｂ、ならびに分割電極２０ｅ、２１ｅの良否を判定するためには、作製を終えた金属化フィルム２０、２１の一部を夫々ＸＹステージ上に搭載して移動させ、照明装置、撮影装置を用いて画像認識することにより良否判定を行う（特許文献２）という方法が一般的に用いられているものであった。

また、逆に、被検査体を固定し、キセノンランプ等の照明装置を複数個連続配置して透過照明された被検査体の画像を撮影装置を移動させて取り込む方法や、さらには、照明装置や撮影装置を移動させて画像認識することにより良否判定を行うことも検討されていた。
特開２００４−１３４５６１号公報特開２００６−４７１７０号公報

しかしながら上述のように大量に作製された金属化フィルム２０、２１の一部をサンプリングして、この表面に形成された金属蒸着電極２０ｂ、２１ｂ、ならびに分割電極２０ｅ、２１ｅ（以下、電極パターンと呼ぶ）を検査する方法では、否判定が発生した時点では既に手遅れであるため、連続して搬送される誘電体フィルム２０ａ、２１ａに電極パターンを形成した時点で常時検査を行うことが理想的であるが、これを実現しようとすれば、このように金属化フィルム２０、２１の一部をサンプリングして検査を行うという方法では不可能である。

また、上記金属化フィルム２０、２１は３５０〜５００ｍ／分の高速で連続搬送されており、このように高速搬送される金属化フィルム２０、２１に形成された電極パターンを常時検査しようとすると、電極パターンを形成する蒸着工程は一般に真空雰囲気内で行われているため、この真空雰囲気内にカメラや照明を配設して検査を行うことが賢明であるが、幅広の金属化フィルム２０、２１の幅方向全体に亘って撮影を行うためにはカメラや照明を移動させることが必要になるため、設備が大型化するばかりでなく、コスト的にも高くなりすぎるために大気中で検査を行うという方法が一般に考えられる。

従って、大気中で検査を行うことを前提にしてカメラ側を検討してみると、超高速度カメラを使用することも考えられるが、超高速度カメラは１台が数百万円もするために高価であるばかりでなく、高輝度照明が必要となるために、コスト面ならびに小型化を考えると採用できないという問題があった。

また、工業用に開発されたシャッター式のカメラの中には１０μｓの露光が可能なものがあり、これを用いれば撮影可能であるが、この場合には十分な光量が不可欠であるという問題があり、さらに、ノーマルカメラを使用する場合にはキセノンランプによるストロボ撮影しか使用できないという問題があり、これらもまた、具体的な解決策が無いことから採用できないという問題があった。

また同様に、大気中で検査を行うことを前提にして照明側を検討してみると、金属化フィルム２０、２１の表面に形成された電極パターンに向かって照明を当て、その反射光を利用する方法があり、この照明としてキセノンランプやメタルハライドを用いることが考えられるが、このように反射光を利用する場合には、金属化フィルム２０、２１に発生する微細なしわが影響し、上記絶縁マージン２０ｃ、２１ｃやスリット２０ｄ、２１ｄ等の細かなパターンの画像が不安定になって判定が難しいという問題に加え、幅広の金属化フィルム２０、２１の幅方向全体に亘って均一な照度を得るためには、照明装置が大型化してコスト的に高くなることから採用できないという問題があった。

従って、このような多くの問題を解決しようとすると、金属化フィルム２０、２１の裏面側から照明を当て、その透過光を利用して金属化フィルム２０、２１の表面側に形成された電極パターンを撮影するという方法を検討しなければならないが、この場合には照明装置を真空雰囲気内に配設しなければならないという大きな制約があるものの、本件の被検査対象物である金属化フィルム２０、２１の表面に形成された電極パターンの検査を行う方法としては最適な方法である。

そこで、真空雰囲気内で使用する照明装置として、まず考えられるのがキセノンランプとメタルハライド照明であるが、これらの照明は部分的な照明であるために、複数個を直線状に配設しても幅広の金属化フィルム２０、２１の幅方向全体に亘って均一な照度を得ることは難しく、均一な照度を得るためには光ファイバーを用いる等の工夫も必要になり、結果的に照明装置が大型化してコスト的にも高くなることから採用できないという問題があった。

また、真空雰囲気内で使用する他の照明装置として、蛍光灯を用いることも考えられるが、一般的に用いられている交流電源によって点灯する蛍光灯では、使用する周波数（５０Ｈｚまたは６０Ｈｚ）によって一瞬点灯が消える現象（フリッカ現象、またはチラツキ現象と呼ばれている）が毎秒５０回または６０回の頻度で発生するため、このフリッカ現象を回避するためにはカメラで撮影するタイミングを上記周波数と同期させる必要があり、このために高速で連続搬送される金属化フィルム２０、２１に形成された電極パターンを常時撮影することは不可能であるという問題があった。

また、上記一般的な蛍光灯の他に、２０ｋＨｚ〜５０ｋＨｚの交流電源によって点灯する高周波点灯蛍光灯もあるが、光量ムラが発生するために画像の安定性が悪いばかりでなく、被検査物が高速移動する場合にはチラツキが発生するため、高速で連続搬送される金属化フィルム２０、２１に形成された電極パターンを常時撮影することは不可能であるという問題があった。

本発明はこのような従来の多くの課題を解決し、高速で連続搬送される金属化フィルムに形成された電極パターンを高精度で常時検査することができ、しかも簡単な構成で、小型で安価な金属化フィルムの製造装置を提供することを目的とするものである。

上記課題を解決するために本発明は、金属化フィルムの製造装置であって、帯状の誘電体フィルムを連続供給する巻き出し部と、この巻き出し部から供給された誘電体フィルムの表面に金属蒸着電極を形成する蒸着部と、この金属蒸着電極が形成された金属化フィルムを巻き取る巻き取り部と、直流電源により点灯するように構成された蛍光灯を用いて前記金属化フィルムを裏面側から照射する発光部と、この発光部からの透過光を利用して前記金属化フィルムの表面側から金属蒸着電極を撮影するシャッター式のカメラと、このカメラで撮影された画像を取り込んで認識する判定部と、を備え、前記判定部は、前記金属化フィルムの金属蒸着電極の寸法を測定して合否を判定し、否と判断された場合に前記蒸着部を制御して正しい蒸着条件に修復する制御機能を有したものである。

以上のように本発明による金属化フィルムの製造装置は、直流電源により点灯するように構成された蛍光灯を用いて金属化フィルムの裏面側から照射を行うことにより、簡単な構成で金属化フィルムの幅方向全体に亘って均一な光を照射することが可能になるため、この透過光を利用して、高速で連続搬送される金属化フィルムに形成された金属蒸着電極を常時高精度に撮影して判定することができるようになり、しかも小型で安価に実現できるという効果が得られるものである。

（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１、４、６に記載の発明について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

図１は本発明の実施の形態１による金属化フィルムの製造装置の構成を示した断面図、図２は同装置に設けられた検査部を示した斜視図であり、図１と図２において、１は金属化フィルム、１ａはこの金属化フィルム１の基材となる誘電体フィルム、１ｂはこの誘電体フィルム１ａの表面に形成された金属蒸着電極、分割電極等からなる電極パターンであり、この電極パターン１ｂは上記背景技術の項で図９（ａ）、（ｂ）を用いて説明した電極パターンと同様に、誘電体フィルム１ａの長手方向の表面に連続して形成されるものであるが、図２においては説明のために簡略化し、部分的な記載にとどめている。

２は数千〜数万ｍの単位でリールに巻回された上記誘電体フィルム１ａを連続供給する巻き出し部、３はこの巻き出し部２から供給される誘電体フィルム１ａの表面にオイル転写により上記電極パターン１ｂを形成するためのパターン転写を行う転写ローラである。

４は蒸着ローラであり、この蒸着ローラ４上を誘電体フィルム１ａが通過する際に、アルミニウム槽５内で溶融されたアルミニウムを飛散させて誘電体フィルム１ａの表面の所定部分に蒸着させると共に、亜鉛槽６内で溶融された亜鉛を飛散させて誘電体フィルム１ａの表面の所定部分に蒸着させる作業を連続して行うものであり、これにより誘電体フィルム１ａの表面の所定部分に電極パターン１ｂが形成された金属化フィルム１が作製され、このようにして作製された金属化フィルム１は巻き取り部７でリールに巻き取られるように構成されているものである。

８ａは第１真空室、８ｂは第２真空室であり、この第１真空室８ａと第２真空室８ｂは夫々図示しない真空ポンプによって排気口８ｃと８ｄから真空引きされることにより、所望の真空度に保たれているものである。

９は発光部としての蛍光灯、１０はこの蛍光灯９を点灯させるための直流電源であり、上記蛍光灯９は上記金属化フィルム１の幅寸法より長い有効点灯部（両端の非点灯部＋α分を除いた部分を意味する）を有して金属化フィルム１の裏面側に配設されることにより、金属化フィルム１の裏面側から金属化フィルム１ならびに電極パターン１ｂを照射するようにしているものである。

また、上記直流電源１０としては、京都電機器（株）製の「蛍光灯直流電源：ＤＣＬＳ−Ｔ３６」を用いたものであり、この直流電源１０は自動極性切り換え機能を用いて約１時間毎に極性を切り換えることができるため、直流点灯特有の陽極方向が時間と共に暗くなる暗端現象を無くすることができ、かつ、この切り換え時間は５μｓで行えるために出力の光フリッカの発生も殆ど影響が無いように構成されているものである。

さらに、上記直流電源１０は手動で極性切り換えを行うことが可能であるために、後述するカメラによる電極パターンの撮影をしないタイミングで極性切り換えを行うことにより、上記光フリッカの影響を完全に無くすることができるようになるものである。

なお、上記暗端現象とは、蛍光灯の直流点灯では放電空間のＨｇ^＋が陰極側に移動し、陽極近傍のＨｇ^＋が減少するため、陽極側の発光輝度が次第に減少する現象を言う。この発光輝度は周囲温度に大きく左右され、温度が低いほど早く暗端現象が現れるものであり、約１０℃で１０〜１３時間で目立つようになり、この時点で極性を切り換えることにより更に同じ時間で逆方向に同様の現象が現れる。

従って、適当な一定時間毎に極性を切り換えて使用すれば、暗端現象やフリッカの発生が無い安定した照明を常時得ることができるようになるものであるが、本実施の形態においては、蒸着部の雰囲気温度が約５０℃であるために暗端現象は現れにくいことに加え、１時間毎に極性を切り換えているために全く影響を受けないものである。

１１はシャッター式のカメラ、１２はこのカメラ１１を幅方向に移動させるためのガイドレール、１３は第１真空室８ａに設けられたアクリル板製の窓であり、上記カメラ１１は第１真空室８ａ外の大気中に配設されることにより、上記蛍光灯９による透過光を利用して金属化フィルム１の表面に形成された電極パターン１ｂの画像を窓１３を介して撮影するようにしたものであり、このカメラ１１は上記ガイドレール１２を介して幅方向に自在に移動することにより、金属化フィルム１の表面に形成された全ての電極パターン１ｂの画像を撮影することができるように構成されているものである。

なお、本実施の形態においては、上記シャッター式のカメラ１１として、ＳＯＮＹ（株）製の「ＸＣ−ＨＲ５０」を用い、シャッター（露光）時間は１０μｓで使用した。原理的には蒸着スピードが３５０〜５００ｍ／分のため、実際には（３５００００μｍ／６００００μｓ＝）５．８３〜８．３３μｍ／μｓの速度で金属化フィルム１は移動しており、１０μｓのシャッター時間内では５８．３〜８３．３μｍの移動が発生している。

上記カメラ１１の視野は、２０×１５ｍｍ（６４０×４８０ｐｉｘｅｌ）にて、分解能はｘ、ｙ共に約３１．２５μｍ／ｐｉｘｅｌであり、本来は分解能未満の範囲内での移動量とすれば、画像としては影響ない状態になるはずであるが、実際には約（５８．３／３１．２５＝）２．６ｐｉｘｅｌの画像流れが発生している。但し、極めて良好な画像を得ることができ、目視的にも全く問題はないものである。

また、後述する判定部においては、画像処理検査をするにも二値化処理によるエッジ検出ではなく、濃淡処理における射影によるエッジ検出法を用いることでサブピクセル単位で寸法精度を得ることができるために、画像流れの影響を極めて受け難く、精度良く幅寸法を検出することが可能になる。また、絶縁マージン、電極部のにじみ、かすれ不良の検査も実施し、二値化処理による面積判定検査を実施するようにしているものである。

１４は上記カメラ１１により撮影された画像を取り込んで認識する判定部であり、カメラ１１により撮影された電極パターン１ｂの画像を予め記憶された電極パターン１ｂと比較することによって合否判定を行うようにするものである。

このように構成された本実施の形態による金属化フィルムの製造装置は、金属化フィルム１の幅寸法より長い有効点灯部を有して直流電源１０により点灯するように構成された蛍光灯９を用いて金属化フィルム１の裏面側から照射を行う構成としたことにより、金属化フィルム１の幅方向全体に亘って均一な光を照射することが可能になるため、この透過光を利用して、高速で連続搬送される金属化フィルム１に形成された電極パターン１ｂを常時高精度に撮影することができるようになるという格別の効果を奏するものである。

さらに、上記蛍光灯９を直流電源１０によって点灯するようにした構成により、上記発明が解決しようとする課題の項で説明したフリッカ現象を解消することができるため、高速搬送される金属化フィルム１に形成された電極パターン１ｂを常時高精度に撮影することが可能になり、例えば金属化フィルム１が３５０〜５００ｍ／分の高速で搬送されている場合でも、１／１０万秒程度の速度でシャッターを切れば、極めて良好な画像を高精度に撮影することができるものである。

また、蛍光灯９のみを第１真空室８ａ内に配設し、カメラ１１はアクリル板製の窓１３を介して第１真空室８ａの外部に配設するようにした構成により、第１真空室８ａ内に浮遊するアルミニウムや亜鉛等の微粒子等がカメラ１１のレンズに付着することを防止できるため、メンテナンス性を向上させることができるようになるばかりでなく、装置を簡素化して低価格化を実現することができるものである。

また、上記判定部１４では、金属化フィルム１の表面に形成された電極パターン１ｂの寸法測定を行うことも可能であり、さらに、この判定部１４で行った合否判定の結果、否と判断された場合に、その情報を蒸着部にフィードバックし、正しい蒸着条件に修復するように制御する制御機能を付加することも容易に行えるものである。

（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項２に記載の発明について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

本実施の形態は、上記実施の形態１で説明した金属化フィルムの製造装置の発光部に、蛍光灯の光を集光するための反射板を設けた点が異なるものであり、これ以外の構成は実施の形態１と同様であるために同一部分には同一の符号を付与してその詳細な説明は省略し、異なる部分についてのみ以下に図面を用いて説明する。

図３は本発明の実施の形態２による金属化フィルムの製造装置の検査部の構成を示した斜視図であり、図３において、１５は磨きステンレス鋼板を用いて形成された反射板であり、この反射板１５は発光部を構成する蛍光灯９の金属化フィルム１と対向する面を除く三面を遮蔽するように、断面がコ字形に形成されているものである。

このように構成された本実施の形態による金属化フィルムの製造装置は、発光部を構成する蛍光灯９に反射板１５を設けた構成により、蛍光灯９による照射光を集光させて金属化フィルム１の裏面に照射することができるようになるため、より効率良く透過光を得ることができるようになり、反射板１５を設けない場合と比較して、蛍光灯９の照度を低減させることが可能になるという格別の効果を奏するものである。

（実施の形態３）
以下、実施の形態３を用いて、本発明の特に請求項３に記載の発明について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

本実施の形態は、上記実施の形態１で説明した金属化フィルムの製造装置の発光部を構成する蛍光灯の構成が異なるようにしたものであり、これ以外の構成は実施の形態１と同様であるために同一部分には同一の符号を付与してその詳細な説明は省略し、異なる部分についてのみ以下に図面を用いて説明する。

図４（ａ）、（ｂ）は本発明の実施の形態３による金属化フィルムの製造装置の発光部を構成する蛍光灯を示した平面図であり、図４（ａ）は平行する２本を連結してなるツイン管１６を、図４（ｂ）はＵ字形に形成されたＵ字管１７を夫々示したものであり、本実施の形態においては、ツイン管１６としては、松下電器産業（株）製の「ツイン管：ＦＰＬ３６ＥＸ−Ｎ」を用い、Ｕ字管１７としては、東芝ライテック（株）製の「ユーライン：ＦＰＬ３６ＥＸ−Ｎ」を用いたものである。

このようなツイン管１６あるいはＵ字管１７を用いることにより、単位長さ当たりの照射面積を倍増させることができるようになるため、実施の形態１で説明した単管の蛍光灯９を用いる場合と比較して、蛍光灯の照度を低減させることが可能になるという格別の効果を奏するものである。

また、図５（ａ）、（ｂ）は上記ツイン管１６を１本のみ用いた例と、同２本用いた例を示した斜視図であり、金属化フィルム１の幅寸法等により、適宜選択して、いずれかを使用するようにすれば良いものである。また、ツイン管１６に代えてＵ字管１７を用いても良いものである。

（実施の形態４）
以下、実施の形態４を用いて、本発明の特に請求項２、３に記載の発明について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

本実施の形態は、上記実施の形態１で説明した金属化フィルムの製造装置の発光部として、実施の形態２で説明した反射板１５と、実施の形態３で説明したツイン管１６を組み合わせて構成した発光部を示したものであり、これ以外の構成は実施の形態１〜３と同様であるために同一部分には同一の符号を付与してその詳細な説明は省略し、異なる部分についてのみ以下に図面を用いて説明する。

図６は本発明の実施の形態４による金属化フィルムの製造装置の発光部の構成を示した断面図であり、図６において、１５は反射板であり、この反射板１５は磨きステンレス鋼板を用い、コ字形の中央部分は厚さ３ｍｍ、上下部分は厚さ２ｍｍのものを用いて形成し、高さ寸法Ｈは２８〜３２ｍｍ、奥行き寸法Ｌは５８〜５９ｍｍとし、この反射板１５の先端部分と金属化フィルム１間の距離Ａは１０ｍｍとし、さらに、ツイン管１６は蛍光灯部分の直径がφ１９〜２２．５ｍｍのものを用いて構成したものである。

このような構成により、上記実施の形態２、３により得られる効果をより効率良く得ることができるようになるため、ツイン管１６による照射光を集光させて金属化フィルム１の裏面に照射し、より効率良く透過光を得ることができるようになるという格別の効果を奏するものである。

（実施の形態５）
以下、実施の形態５を用いて、本発明の特に請求項２、３、５に記載の発明について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

本実施の形態は、上記実施の形態４で説明した金属化フィルムの製造装置の発光部に、発光部を構成する蛍光灯を冷却する冷却部を設けた点が異なるものであり、これ以外の構成は実施の形態１〜４と同様であるために同一部分には同一の符号を付与してその詳細な説明は省略し、異なる部分についてのみ以下に図面を用いて説明する。

図７は本発明の実施の形態５による金属化フィルムの製造装置の発光部の構成を示した断面図であり、図７において、１８は反射板１５上に配設され、かつツイン管１６と密着するように形成された伝熱材であり、この伝熱材１８は導電性金属板または導電性ゲルシートにより構成されているものである。１９は上記反射板１５の底面に結合された冷却管であり、水等を循環させるように構成されているものである。

このように構成された本実施の形態による金属化フィルムの製造装置は、真空雰囲気中に配設されたツイン管１６は照射により発熱して温度上昇を起こし、真空雰囲気中に配設されているために放熱できないことから高温状態が続き、ツイン管１６の寿命を著しく低下させるという問題を、伝熱材１８と冷却管１９からなる冷却部によってツイン管１６を冷却して常に一定の温度に維持することで解決することができるようになるという格別の効果を奏するものである。

なお、上記実施の形態１〜５においては、高速で連続搬送される金属化フィルム１に形成された電極パターン１ｂを撮影して認識する例を用いて説明したが、本発明はこの用途以外に、高速移動する幅広対象物の画像を認識する画像認識システム等として、多岐に亘って応用可能なものであることは言うまでもない。

本発明による金属化フィルムの製造装置は、高速で連続搬送される金属化フィルムに形成された電極パターンを常時高精度に撮影して判定することができ、しかも簡単な構成で小型で安価に実現できるという効果を有し、特に金属化フィルムコンデンサ用の金属化フィルムの製造装置として有用である。

本発明の実施の形態１による金属化フィルムの製造装置の構成を示した断面図同装置に設けられた検査部を示した斜視図本発明の実施の形態２による金属化フィルムの製造装置の検査部の構成を示した斜視図（ａ）本発明の実施の形態３による金属化フィルムの製造装置に用いるツイン管の平面図、（ｂ）同Ｕ字管の平面図（ａ）同実施の形態によるツイン管を１本のみ用いた例を示した斜視図、（ｂ）同ツイン管を２本用いた例を示した斜視図本発明の実施の形態４による金属化フィルムの製造装置の発光部の構成を示した断面図本発明の実施の形態５による金属化フィルムの製造装置の発光部の構成を示した断面図金属化フィルムコンデンサの構成を示した断面図（ａ）、（ｂ）同金属化フィルムコンデンサに使用される一対の金属化フィルムの平面図

符号の説明

１金属化フィルム
１ａ誘電体フィルム
１ｂ電極パターン
２巻き出し部
３転写ローラ
４蒸着ローラ
５アルミニウム槽
６亜鉛槽
７巻き取り部
８ａ第１真空室
８ｂ第２真空室
８ｃ、８ｄ排気口
９蛍光灯
１０直流電源
１１カメラ
１２ガイドレール
１３窓
１４判定部
１５反射板
１６ツイン管
１７Ｕ字管
１８伝熱材
１９冷却管

Claims

真空室内に、
帯状の誘電体フィルムを連続供給する巻き出し部と、
この巻き出し部から供給された誘電体フィルムの表面に金属蒸着電極を形成する蒸着部と、
この金属蒸着電極が形成された金属化フィルムを巻き取る巻き取り部と、
直流電源により点灯するように構成された蛍光灯を用いて前記金属化フィルムを裏面側から照射する発光部と、を備え、
前記真空室の外部に、窓を介して前記発光部からの透過光により前記金属化フィルムの表面側から金属蒸着電極を撮影するシャッター式のカメラと、
このカメラで撮影された画像を取り込んで認識する判定部と、を備え、
前記判定部は、前記金属化フィルムの金属蒸着電極の寸法を測定して合否を判定し、否と判断された場合に前記蒸着部を制御して正しい蒸着条件に修復する制御機能を有する金属化フィルムの製造装置。