JP2001221745A - 疵検査用照明装置 - Google Patents
疵検査用照明装置Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
- G01N2021/8918—Metal
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 疵検査装置を、検査対象に近接設置が困難な
検査対象であって、かつ検査対象の表面が、鏡面から拡
散面まで大幅に変化するような場合であっても、容易に
疵検査を可能とする。 【解決手段】 検査対象を照明し、電子カメラにて撮像
して得られる電気信号を処理して、疵部分を検出する光
学的表面疵検査装置に用いる疵検査用照明装置におい
て、照明と検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御で
きる光散乱度制御板１３を配置し、ヘイズ率を制御でき
るようにした。
検査対象であって、かつ検査対象の表面が、鏡面から拡
散面まで大幅に変化するような場合であっても、容易に
疵検査を可能とする。 【解決手段】 検査対象を照明し、電子カメラにて撮像
して得られる電気信号を処理して、疵部分を検出する光
学的表面疵検査装置に用いる疵検査用照明装置におい
て、照明と検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御で
きる光散乱度制御板１３を配置し、ヘイズ率を制御でき
るようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、鋼材等の表面疵
を、電子カメラを用いて光学的に検査する装置の照明装
置に関する。
を、電子カメラを用いて光学的に検査する装置の照明装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、光学的に表面疵を検出するに
際し、色々な照明が用いられてきた。代表的な例として
は、図１（ａ）に示すように、蛍光灯のような棒状拡散
光源２を、検査対象１に近接して配置して、１次元ＣＣ
Ｄアレイカメラ３にて線状走査を行って検査する方法
や、図２（ｂ）に示すように、検査対象４をストロボ照
明５で遠方より照明して、その散乱光を２次元ＣＣＤカ
メラにて一度に撮像して検査する方法である。
際し、色々な照明が用いられてきた。代表的な例として
は、図１（ａ）に示すように、蛍光灯のような棒状拡散
光源２を、検査対象１に近接して配置して、１次元ＣＣ
Ｄアレイカメラ３にて線状走査を行って検査する方法
や、図２（ｂ）に示すように、検査対象４をストロボ照
明５で遠方より照明して、その散乱光を２次元ＣＣＤカ
メラにて一度に撮像して検査する方法である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】帯状体の対象を常温に
て検査する場合は、図１（ａ）の配置で検査することが
一般的であり、検査対象の表面状態が一定の場合は、問
題は少ないが、例えば、ブリキ鋼板の様に完全な鏡面状
態から、完全な拡散面に近い状態のものまで同じライン
に流れている場合には、撮影方向により、光の反射強度
が大幅に変わり、これに対応して信号増幅度、カメラの
絞り、あるいは照明強度を変更して対応する必要がある
ため、余分なコストが掛かるという問題があった。さら
に、検査対象が熱延鋼板のように、高温で、ロールに拘
束されずに走行している場合は、照明も、カメラも遠く
に離しておける図１（ｂ）の配置を取ることが一般的で
あるが、照明光線の反射方向と、カメラ視線の方向が位
置によって違い、画像の輝度ムラを生じる。鋼板表面の
光学的な性質は、圧延ロールの粗度の転写と、酸化スケ
ールの厚みにより、大幅に変化する。
て検査する場合は、図１（ａ）の配置で検査することが
一般的であり、検査対象の表面状態が一定の場合は、問
題は少ないが、例えば、ブリキ鋼板の様に完全な鏡面状
態から、完全な拡散面に近い状態のものまで同じライン
に流れている場合には、撮影方向により、光の反射強度
が大幅に変わり、これに対応して信号増幅度、カメラの
絞り、あるいは照明強度を変更して対応する必要がある
ため、余分なコストが掛かるという問題があった。さら
に、検査対象が熱延鋼板のように、高温で、ロールに拘
束されずに走行している場合は、照明も、カメラも遠く
に離しておける図１（ｂ）の配置を取ることが一般的で
あるが、照明光線の反射方向と、カメラ視線の方向が位
置によって違い、画像の輝度ムラを生じる。鋼板表面の
光学的な性質は、圧延ロールの粗度の転写と、酸化スケ
ールの厚みにより、大幅に変化する。
【０００４】また、酸化スケールの成長厚みは、冷却方
法と鋼板の成分によって大幅に変化する。このためステ
ンレスのようにスケールの成長が少ないものは、鏡面的
性質を強く示し、このため正反射配置の場合は、板幅方
向の輝度信号分布は、図２の７に示すように、照明の発
光部が写り込むので、中央の部分が極端に高くなり、場
合によっては一部がハレーションを起こしたりする。ハ
レーションを押さえようと、レンズの絞りを絞ると、逆
に他の部分が暗くなりすぎて、疵検査不能になるという
問題点が発生する。これを避けるために、乱反射配置を
採ると図２の８に示すように、乱反射の場合の輝度信号
分布に示すような、信号の一様性は向上するものの信号
レベルは下がり、画面が暗くなるため、これを補うよう
にレンズを開放する必要があり、ピントが甘くなった
り、あるいは高い出力の照明を準備するため価格が高く
なるなどの問題点が発生する。一方、高温捲取材におい
ては、スケールの成長が著しく、黒化し、表面の反射率
が低くなり、同時に拡散面の性質が強くなって、乱反射
照明では、図２の９の線に示すように輝度の一様性は高
いものの、画像が全体的に暗くなりすぎるため、更に高
い出力の照明を要し価格が高くなるという問題点が発生
する。
法と鋼板の成分によって大幅に変化する。このためステ
ンレスのようにスケールの成長が少ないものは、鏡面的
性質を強く示し、このため正反射配置の場合は、板幅方
向の輝度信号分布は、図２の７に示すように、照明の発
光部が写り込むので、中央の部分が極端に高くなり、場
合によっては一部がハレーションを起こしたりする。ハ
レーションを押さえようと、レンズの絞りを絞ると、逆
に他の部分が暗くなりすぎて、疵検査不能になるという
問題点が発生する。これを避けるために、乱反射配置を
採ると図２の８に示すように、乱反射の場合の輝度信号
分布に示すような、信号の一様性は向上するものの信号
レベルは下がり、画面が暗くなるため、これを補うよう
にレンズを開放する必要があり、ピントが甘くなった
り、あるいは高い出力の照明を準備するため価格が高く
なるなどの問題点が発生する。一方、高温捲取材におい
ては、スケールの成長が著しく、黒化し、表面の反射率
が低くなり、同時に拡散面の性質が強くなって、乱反射
照明では、図２の９の線に示すように輝度の一様性は高
いものの、画像が全体的に暗くなりすぎるため、更に高
い出力の照明を要し価格が高くなるという問題点が発生
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】これらの問題点を一挙に
解決するためには、一つの照明装置にて、正反射配置に
て、常に適正な照度を得られるようにすることが必要で
ある。すなわち検査対象が、鏡面の場合は、照明は、カ
メラに検査対象を通じて写り込む全範囲において、面状
の一様輝度を有する拡散照明帯となることが理想であ
り、反射してレンズ方向に向かう光束は、効率よく撮像
素子に結像されるため、検査面での照度と照明帯の輝度
は低くても良い。一方、検査対象が、反射率が低く散乱
性の表面の場合は、光源の写り込みは問題とならず、カ
メラが必要とする検査面での照度の確保が問題である。
しかし照明と検査対象が離れているため、拡散性の光源
の場合は、距離の２乗に反比例して検査面での照度が低
下する。従って照度不足になるため、照明に指向性を持
たせることが必要である。実際の鋼板はこれらの中間に
分布しており、この矛盾したニーズを同時に満足する照
明装置が必要であるが、これまで技術的、経済的に実現
不能であった。
解決するためには、一つの照明装置にて、正反射配置に
て、常に適正な照度を得られるようにすることが必要で
ある。すなわち検査対象が、鏡面の場合は、照明は、カ
メラに検査対象を通じて写り込む全範囲において、面状
の一様輝度を有する拡散照明帯となることが理想であ
り、反射してレンズ方向に向かう光束は、効率よく撮像
素子に結像されるため、検査面での照度と照明帯の輝度
は低くても良い。一方、検査対象が、反射率が低く散乱
性の表面の場合は、光源の写り込みは問題とならず、カ
メラが必要とする検査面での照度の確保が問題である。
しかし照明と検査対象が離れているため、拡散性の光源
の場合は、距離の２乗に反比例して検査面での照度が低
下する。従って照度不足になるため、照明に指向性を持
たせることが必要である。実際の鋼板はこれらの中間に
分布しており、この矛盾したニーズを同時に満足する照
明装置が必要であるが、これまで技術的、経済的に実現
不能であった。
【０００６】この困難な問題を解決するために工夫した
のが、本発明である。すなわち、検査対象を照明し、電
子カメラにて撮像して得られる電気信号を処理して、疵
部分を検出する光学的表面疵検査装置において、照明と
検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御できる光散乱
度制御板を配置し、ヘイズ率を制御できるようにした疵
検査用照明装置を提供することを課題とする。
のが、本発明である。すなわち、検査対象を照明し、電
子カメラにて撮像して得られる電気信号を処理して、疵
部分を検出する光学的表面疵検査装置において、照明と
検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御できる光散乱
度制御板を配置し、ヘイズ率を制御できるようにした疵
検査用照明装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】光線の平行透過率とヘイズ率を電
圧にて制御できる光散乱度制御板は、瞬間調光ガラスと
して、市販されているものを用いる。その構造は、２枚
の透明電極を蒸着したガラスの間に、液晶分子を混濁し
た特殊ポリマーを挟んだ物であり、図３の瞬間調光ガラ
スの特性に示すように電極間に電圧を掛けない時は、液
晶分子は、バラバラな方向を向いており、ヘイズ率が最
大であり、平行透過率は最低になっているため、ガラス
面から入射した光線を、散乱する性質を持っている。電
圧を印加すると、電圧に比例して、液晶分子はガラス面
に垂直方向に整列して行く。このため並行透過率は上昇
し、ヘイズ率は低下していく。十分な電圧を印加すると
飽和して、ガラス面に入射した光線の平行透過率が最大
となり、ヘイズ率は最低となる。この性質を利用して、
指向性のある照明光源より、所定の距離離れた位置に、
この光散乱度制御板を挿入し、鋼板の鏡面度により、印
加電圧を制御すれば、常に適正な照明特性が得られるよ
うになる。
圧にて制御できる光散乱度制御板は、瞬間調光ガラスと
して、市販されているものを用いる。その構造は、２枚
の透明電極を蒸着したガラスの間に、液晶分子を混濁し
た特殊ポリマーを挟んだ物であり、図３の瞬間調光ガラ
スの特性に示すように電極間に電圧を掛けない時は、液
晶分子は、バラバラな方向を向いており、ヘイズ率が最
大であり、平行透過率は最低になっているため、ガラス
面から入射した光線を、散乱する性質を持っている。電
圧を印加すると、電圧に比例して、液晶分子はガラス面
に垂直方向に整列して行く。このため並行透過率は上昇
し、ヘイズ率は低下していく。十分な電圧を印加すると
飽和して、ガラス面に入射した光線の平行透過率が最大
となり、ヘイズ率は最低となる。この性質を利用して、
指向性のある照明光源より、所定の距離離れた位置に、
この光散乱度制御板を挿入し、鋼板の鏡面度により、印
加電圧を制御すれば、常に適正な照明特性が得られるよ
うになる。
【０００８】また、二次元ＣＣＤカメラにて走行する物
体を撮像する場合には、照明をストロボ照明とするか、
カメラ側を電子シャッター付きのＣＣＤカメラとして、
静止画像を得ることが一般的であるが、検査面の状況に
応じて、ヘイズ率を変化させる場合には、液晶の相変化
の時定数は、１〜１０mm秒程度であり、十分に整定する
ためには、垂直ブランキング期間だけでは不十分であ
る。この問題を解決するため、短時間で露光を終了さ
せ、残りの時間を光散乱度制御板のヘイズ率の制御に当
てられるようにしたのが、照明をストロボ照明とし、さ
らにカメラを電子シャッター付きのＣＣＤカメラとし
て、電子シャッターの開いている期間内に、ストロボ照
明を発光させるようにした疵検用照明装置である。これ
によって、単に光散乱度制御板のヘイズ率の制御が、１
画面単位で完全に行えるだけでなく、シャッターが開い
ている時間内のストロボ光量を、工場の天井灯や近辺で
の溶接作業の火花あるいは熱延鋼板等の高温材の自発光
など疵検査に妨害となる種々の外光に比べて、圧倒的に
強く出来るため、外乱光の影響を受けにくい疵検査光学
系を構成可能となる。
体を撮像する場合には、照明をストロボ照明とするか、
カメラ側を電子シャッター付きのＣＣＤカメラとして、
静止画像を得ることが一般的であるが、検査面の状況に
応じて、ヘイズ率を変化させる場合には、液晶の相変化
の時定数は、１〜１０mm秒程度であり、十分に整定する
ためには、垂直ブランキング期間だけでは不十分であ
る。この問題を解決するため、短時間で露光を終了さ
せ、残りの時間を光散乱度制御板のヘイズ率の制御に当
てられるようにしたのが、照明をストロボ照明とし、さ
らにカメラを電子シャッター付きのＣＣＤカメラとし
て、電子シャッターの開いている期間内に、ストロボ照
明を発光させるようにした疵検用照明装置である。これ
によって、単に光散乱度制御板のヘイズ率の制御が、１
画面単位で完全に行えるだけでなく、シャッターが開い
ている時間内のストロボ光量を、工場の天井灯や近辺で
の溶接作業の火花あるいは熱延鋼板等の高温材の自発光
など疵検査に妨害となる種々の外光に比べて、圧倒的に
強く出来るため、外乱光の影響を受けにくい疵検査光学
系を構成可能となる。
【０００９】また、光散乱度制御板に使用した市販の瞬
間調光ガラスを構成する透明電極には、酸化錫が使用さ
れているが、長時間に亘って直流電圧を印加し続ける
と、電気分解を起こし、透明度が低下してくると言う性
質がある。このため、本来の建築用途としては、正弦波
交流を印加して使用するようになっているが、その場合
は、常時ヘイズ率が変化していることになり、疵検査用
照明としては不都合である。この問題点を解決するため
には、光散乱度制御板に印加する制御電圧を方形波交流
とし、制御電圧の極性を、カメラの露光時間以外の時間
内に反転すればよい。理想的には、上に述べたＣＣＤの
電子シャッター閉のタイミングに同期して極性を切り替
えるようにすれば、液晶の相変化に十分な整定時間の確
保が可能であり、安定した撮像が可能となる。
間調光ガラスを構成する透明電極には、酸化錫が使用さ
れているが、長時間に亘って直流電圧を印加し続ける
と、電気分解を起こし、透明度が低下してくると言う性
質がある。このため、本来の建築用途としては、正弦波
交流を印加して使用するようになっているが、その場合
は、常時ヘイズ率が変化していることになり、疵検査用
照明としては不都合である。この問題点を解決するため
には、光散乱度制御板に印加する制御電圧を方形波交流
とし、制御電圧の極性を、カメラの露光時間以外の時間
内に反転すればよい。理想的には、上に述べたＣＣＤの
電子シャッター閉のタイミングに同期して極性を切り替
えるようにすれば、液晶の相変化に十分な整定時間の確
保が可能であり、安定した撮像が可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、図面に従って、詳細に説明する。図４
は本発明の構成を示したものであり、４は検査対象の熱
延鋼板であり、照明器１０の中には、棒状キセノンスト
ロボランプ１１があり、この光をシリンドリカルな放物
面鏡１２にて反射して、光散乱度制御板１３を通して、
熱延鋼板４に投射する。シリンドリカルミラーであるた
め、照明の性質として、鋼板幅方向には指向性が無く、
流れ方向には、指向性を有している。１４は熱線カット
フィルタであり、熱延鋼板の自発光による、熱線をカッ
トして、Ｓ／Ｎを改善する。１５は電子シャッター機能
付きのＣＣＤカメラであり、照明光の正反射方向に配置
する。
は本発明の構成を示したものであり、４は検査対象の熱
延鋼板であり、照明器１０の中には、棒状キセノンスト
ロボランプ１１があり、この光をシリンドリカルな放物
面鏡１２にて反射して、光散乱度制御板１３を通して、
熱延鋼板４に投射する。シリンドリカルミラーであるた
め、照明の性質として、鋼板幅方向には指向性が無く、
流れ方向には、指向性を有している。１４は熱線カット
フィルタであり、熱延鋼板の自発光による、熱線をカッ
トして、Ｓ／Ｎを改善する。１５は電子シャッター機能
付きのＣＣＤカメラであり、照明光の正反射方向に配置
する。
【００１１】光散乱度制御板１３が無いか、あるいは、
飽和電圧が掛かっていて、透明の時は、照明は１７の範
囲を直射照明しているが、熱延鋼板４が鏡面に近いとき
は、カメラの撮像範囲１８の中で、明るいのは、照明が
写り込んでいる範囲１６の部分のみである。そのため映
像信号分布は図２の７に示す輝度信号分布に対応するも
のになり、不都合である。そこで、光散乱度制御板１３
に印加している制御電圧をゼロにすると、ヘイズ率最大
になり、照明からの光線は、光散乱度制御板１３により
散乱され、あたかも光散乱度制御板１３の位置に板状拡
散照明を置いたようになる。この結果、カメラの視野に
は一様な拡散照明が写り込むこととなり、映像信号分布
も平坦となり、疵の検出が容易となる。
飽和電圧が掛かっていて、透明の時は、照明は１７の範
囲を直射照明しているが、熱延鋼板４が鏡面に近いとき
は、カメラの撮像範囲１８の中で、明るいのは、照明が
写り込んでいる範囲１６の部分のみである。そのため映
像信号分布は図２の７に示す輝度信号分布に対応するも
のになり、不都合である。そこで、光散乱度制御板１３
に印加している制御電圧をゼロにすると、ヘイズ率最大
になり、照明からの光線は、光散乱度制御板１３により
散乱され、あたかも光散乱度制御板１３の位置に板状拡
散照明を置いたようになる。この結果、カメラの視野に
は一様な拡散照明が写り込むこととなり、映像信号分布
も平坦となり、疵の検出が容易となる。
【００１２】鋼板表面の光散乱性が強いときは、カメラ
方向へ反射する光量が低下して、映像信号分布は図２の
９に示す輝度信号分布に対応するものになり画面が暗く
なるが、このときは逆に光散乱度制御板１３に印加して
いる制御電圧を飽和電圧に近くすると、平行透過率が上
昇して、鋼板へ向かう光線の散乱損失が少なくなり、鋼
板上の照度が上昇する。また鋼板表面が散乱性の時は、
光源１０の写り込みにの悪影響も少ないため、適正かつ
一様な照度の画像を得ることが出来るため、映像信号分
布も平坦となり、照度さえ確保出来れば、疵の検出は容
易である。
方向へ反射する光量が低下して、映像信号分布は図２の
９に示す輝度信号分布に対応するものになり画面が暗く
なるが、このときは逆に光散乱度制御板１３に印加して
いる制御電圧を飽和電圧に近くすると、平行透過率が上
昇して、鋼板へ向かう光線の散乱損失が少なくなり、鋼
板上の照度が上昇する。また鋼板表面が散乱性の時は、
光源１０の写り込みにの悪影響も少ないため、適正かつ
一様な照度の画像を得ることが出来るため、映像信号分
布も平坦となり、照度さえ確保出来れば、疵の検出は容
易である。
【００１３】図５は本装置を駆動するためのタイミング
チャートである。Ｓ１０１の２次元ＣＣＤカメラの垂直
同期信号より、電子シャッターの電化蓄積期間Ｓ１０２
が始まる。Ｓ１０３は電子シャッター閉の信号であり、
その立ち下がりのタイミングでＳ１０４遅延信号を発生
し、その信号の立ち下がりで、ストロボ発火信号Ｓ１０
５を出す。遅延時間は、次の電化蓄積期間内にストロボ
が発光するように調整できる。
チャートである。Ｓ１０１の２次元ＣＣＤカメラの垂直
同期信号より、電子シャッターの電化蓄積期間Ｓ１０２
が始まる。Ｓ１０３は電子シャッター閉の信号であり、
その立ち下がりのタイミングでＳ１０４遅延信号を発生
し、その信号の立ち下がりで、ストロボ発火信号Ｓ１０
５を出す。遅延時間は、次の電化蓄積期間内にストロボ
が発光するように調整できる。
【００１４】Ｓ１０６は光散乱度制御板に掛ける制御信
号であり、電化蓄積期間終了を受けて、直ちに極性反転
を開始する。これは、光散乱度制御板に使用している瞬
間調光ガラスの透明電極が、長時間直流電圧を印加する
と、電解されて、透明度を失うため、これを防ぐために
一定時間内に反転する必要があるが、反転には、１／１
０００秒以上を要し、反転中は、平行透過率、ヘイズ率
が変動するため、この期間に撮像すると、画像がおかし
くなる。そこで、電子シャッター閉の期間中に確実に極
性を切り替えるために、電化蓄積期間終了信号を使い同
期制御を行うように工夫したものである。これにより、
シャッター時間を変更しても確実に、光散乱度制御板の
特性が安定しているところで、撮像可能となる。
号であり、電化蓄積期間終了を受けて、直ちに極性反転
を開始する。これは、光散乱度制御板に使用している瞬
間調光ガラスの透明電極が、長時間直流電圧を印加する
と、電解されて、透明度を失うため、これを防ぐために
一定時間内に反転する必要があるが、反転には、１／１
０００秒以上を要し、反転中は、平行透過率、ヘイズ率
が変動するため、この期間に撮像すると、画像がおかし
くなる。そこで、電子シャッター閉の期間中に確実に極
性を切り替えるために、電化蓄積期間終了信号を使い同
期制御を行うように工夫したものである。これにより、
シャッター時間を変更しても確実に、光散乱度制御板の
特性が安定しているところで、撮像可能となる。
【００１５】
【発明の効果】従来から、ストロボ照明と、テレビカメ
ラを組み合わせて、熱延鋼板の表面疵を検出しようとし
た試みはあるが、何れも、正反射だと照明の写り込みの
影響を強く受けるため、乱反射配置となっており、この
ため、散乱性の表面の時にも十分な光量を確保するため
に、強大なストロボ照明を使用する必要があった。これ
に対して本発明では、約１／１０の出力のストロボでも
十分な光量を確保でき、かつ、電子シャッターとの組合
せにより、鋼板の自発光や、天井灯の影響を除去して、
常に良好な撮像と疵検出を可能ならしめる画期的な照明
装置を得ることができる。
ラを組み合わせて、熱延鋼板の表面疵を検出しようとし
た試みはあるが、何れも、正反射だと照明の写り込みの
影響を強く受けるため、乱反射配置となっており、この
ため、散乱性の表面の時にも十分な光量を確保するため
に、強大なストロボ照明を使用する必要があった。これ
に対して本発明では、約１／１０の出力のストロボでも
十分な光量を確保でき、かつ、電子シャッターとの組合
せにより、鋼板の自発光や、天井灯の影響を除去して、
常に良好な撮像と疵検出を可能ならしめる画期的な照明
装置を得ることができる。
【図１】帯状体を検査対象とする場合の光学的検査装置
の配置図。
の配置図。
【図２】板幅方向の輝度信号分布を示す説明図。
【図３】瞬間調光ガラスの特性に示す説明図。
【図４】本発明に係る疵検査用照明装置の実施例の構成
図。
図。
【図５】本装置を駆動するためのタイミングチャート
図。
図。
１ ブリキ鋼板 ２ 棒状拡散光源 ３ 一次元ＣＣＤアレイカメラ ４ 熱延鋼板 ５ ストロボ照明 ６ ２次元ＣＣＤカメラ ７ 鏡面、正反射の場合の輝度信号分布 ８ 鏡面、乱反射の場合の輝度信号分布 ９ 黒化、拡散面、乱反射の場合の輝度信号分布 １０ 照明器 １１ 棒状キセノンストロボランプ １２ シリンドリカル放物面鏡 １３ 光散乱度制御板 １４ 熱線カットフィルタ １５ 電子シャッター付きカメラ １６ 照明の写り込み部分 １７ ミラー反射光直射範囲 １８ カメラ撮像範囲 Ｓ１０１ 垂直同期信号 Ｓ１０２ 電子シャッターの電化蓄積期間 Ｓ１０３ 電子シャッター閉信号 Ｓ１０４ ストロボ発火用遅延信号 Ｓ１０５ ストロボ発火指令信号 Ｓ１０６ 光散乱度制御板にかける制御信号 Ｓ１０７ 光散乱度制御板の平行透過率
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB13 BB15 CC06 FF42 GG03 GG08 GG16 HH12 JJ03 JJ08 JJ26 LL08 LL21 LL30 NN03 NN11 2G051 AA37 AB07 BB07 BC02 BC03 CA03 CA04 DA06
Claims (3)
- 【請求項１】 検査対象を照明し、電子カメラにて撮像
して得られる電気信号を処理して、疵部分を検出する光
学的表面疵検査装置に用いる疵検査用照明装置におい
て、照明と検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御で
きる光散乱度制御板を配置し、ヘイズ率を制御できるよ
うにしたことを特徴とする疵検査用照明装置。 - 【請求項２】 請求項１の疵検査用照明装置において、
照明をストロボ照明とし、カメラを電子シャッター付き
のＣＣＤカメラとして、電子シャッターの開いている期
間内に、ストロボ照明を発光させることを特徴とする疵
検査用照明装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２の疵検査用照明
装置において、光散乱度制御板に掛ける制御電圧の極性
を、カメラの露光時間以外の時間内に反転するようにし
たことを特徴とする疵検査用照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000032892A JP2001221745A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 疵検査用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000032892A JP2001221745A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 疵検査用照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001221745A true JP2001221745A (ja) | 2001-08-17 |
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ID=18557444
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000032892A Withdrawn JP2001221745A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 疵検査用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001221745A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005337725A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Yamaha Motor Co Ltd | 撮像装置用照明装置、表面実装機および部品検査装置 |
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-
2000
- 2000-02-10 JP JP2000032892A patent/JP2001221745A/ja not_active Withdrawn
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| JP7399906B2 (ja) | 2020-04-10 | 2023-12-18 | コグネックス・コーポレイション | 可変拡散板を利用した光学システム |
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