JPWO2011040350A1 - 電磁波測定装置 - Google Patents
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Abstract
テラヘルツ波を含む電磁波(周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下)を被測定物に与えて測定する際に、所望の空間分解能を得る。電磁波測定装置は、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に測定用電磁波を与える入射用レンズ22と、入射用レンズ22の光軸と垂直な方向の直線Aを回転軸として、被測定物1または光軸Lを回転させる走査用ステージ6と、被測定物1を透過した測定用電磁波を検出する電磁波検出器4とを備える。しかも、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、回転軸Aの光軸Lにおける座標とは異なる。
Description
本発明は、電磁波(周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下)(例えば、テラヘルツ波(例えば、周波数が0.03[THz]以上10[THz]以下))を使用した断層撮影に関する。
従来より、テラヘルツ波の発生器により発生させたテラヘルツ波を被測定物に照射し、被測定物を透過したテラヘルツ波を、テラヘルツ波の検出器を用いて検出することにより被測定物を測定する測定装置が知られている。
このような測定装置において、テラヘルツ波の発生器により発生させたテラヘルツ波を集光させて被測定物に照射する第一の光学系と、被測定物を透過したテラヘルツ波をテラヘルツ波の検出器に与える第二の光学系とを有する測定装置が知られている(例えば、特許文献1の要約を参照)。
特開2006−133178号公報
このような測定装置において、テラヘルツ波の発生器により発生させたテラヘルツ波を集光させて被測定物に照射する第一の光学系と、被測定物を透過したテラヘルツ波をテラヘルツ波の検出器に与える第二の光学系とを有する測定装置が知られている(例えば、特許文献1の要約を参照)。
ここで、テラヘルツ波の波長は、例えば、100μm〜2mm程度であり、被測定物に対して、比較的長めである。よって、被測定物におけるテラヘルツ波のスポット径が大きくなるので、被測定物を測定する際の空間分解能が低くなる。
被測定物におけるテラヘルツ波のスポット径を小さくするためには、大きな開口数の第一の光学系を使用すればよい。この場合、被測定物におけるテラヘルツ波のスポットの部分の測定の際の空間分解能は高くなる。しかし、被測定物におけるテラヘルツ波のスポットから離れた部分の測定の際の空間分解能は、かえって低くなる。
このように、テラヘルツ波のような波長の比較的長い電磁波を用いた測定によれば、測定の際に所望の空間分解能を得ることが難しい。
そこで、本発明は、テラヘルツ波を含む電磁波(周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下)を被測定物に与えて測定する際に、所望の空間分解能を得ることを課題とする。
本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる回転駆動部と、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、を備え、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が、前記回転軸の前記光軸における座標とは異なるように構成される。
上記のように構成された、第一の電磁波測定装置によれば、入射用光学系が、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える。回転駆動部が、前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる。電磁波検出器が、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する。前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が、前記回転軸の前記光軸における座標とは異なる。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面における半径をrとし、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標と、前記回転軸の前記光軸における座標との距離をpとしたときに、0.3r≦p≦0.7rであるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、p=0.5rであるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標と、前記回転軸の前記光軸における座標との距離をpとしたときに、前記断面の測定の際の空間分解能が、前記断面の全域にわたって、所望の値になるように、pが定められているようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記断面と前記回転軸との交点とは異なる、前記断面における所定の測定点の前記光軸における座標と、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標とを一致させるようにするようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記光軸および前記回転軸と垂直な方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行うようにしてもよい。
本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる回転駆動部と、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、を備え、前記回転軸の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されており、各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われるように構成される。
上記のように構成された、第二の電磁波測定装置によれば、入射用光学系が、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える。回転駆動部が、前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる。電磁波検出器が、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する。前記回転軸の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されている。各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われる。
なお、本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記光軸および前記回転軸と垂直な方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行うようにしてもよい。
本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、を備え、前記被測定物の所定部分の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されており、各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われるように構成される。
上記のように構成された第三の電磁波測定装置によれば、入射用光学系が、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える。電磁波検出器が、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する。前記被測定物の所定部分の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されている。各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われる。
なお、本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記光軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記光軸と垂直であり、かつ互いに垂直な二つの方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行うようにしてもよい。
被測定物におけるテラヘルツ波のスポット径を小さくするためには、大きな開口数の第一の光学系を使用すればよい。この場合、被測定物におけるテラヘルツ波のスポットの部分の測定の際の空間分解能は高くなる。しかし、被測定物におけるテラヘルツ波のスポットから離れた部分の測定の際の空間分解能は、かえって低くなる。
このように、テラヘルツ波のような波長の比較的長い電磁波を用いた測定によれば、測定の際に所望の空間分解能を得ることが難しい。
そこで、本発明は、テラヘルツ波を含む電磁波(周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下)を被測定物に与えて測定する際に、所望の空間分解能を得ることを課題とする。
本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる回転駆動部と、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、を備え、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が、前記回転軸の前記光軸における座標とは異なるように構成される。
上記のように構成された、第一の電磁波測定装置によれば、入射用光学系が、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える。回転駆動部が、前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる。電磁波検出器が、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する。前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が、前記回転軸の前記光軸における座標とは異なる。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面における半径をrとし、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標と、前記回転軸の前記光軸における座標との距離をpとしたときに、0.3r≦p≦0.7rであるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、p=0.5rであるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標と、前記回転軸の前記光軸における座標との距離をpとしたときに、前記断面の測定の際の空間分解能が、前記断面の全域にわたって、所望の値になるように、pが定められているようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記断面と前記回転軸との交点とは異なる、前記断面における所定の測定点の前記光軸における座標と、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標とを一致させるようにするようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記光軸および前記回転軸と垂直な方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行うようにしてもよい。
本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる回転駆動部と、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、を備え、前記回転軸の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されており、各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われるように構成される。
上記のように構成された、第二の電磁波測定装置によれば、入射用光学系が、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える。回転駆動部が、前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる。電磁波検出器が、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する。前記回転軸の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されている。各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われる。
なお、本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記光軸および前記回転軸と垂直な方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行うようにしてもよい。
本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、を備え、前記被測定物の所定部分の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されており、各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われるように構成される。
上記のように構成された第三の電磁波測定装置によれば、入射用光学系が、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える。電磁波検出器が、前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する。前記被測定物の所定部分の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されている。各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われる。
なお、本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の電磁波測定装置は、前記被測定物の、前記光軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、前記光軸と垂直であり、かつ互いに垂直な二つの方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行うようにしてもよい。
第1図は、本発明の第一の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第2図は、走査用ステージ6をX方向に移動させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第3図は、走査用ステージ6を直線Aを回転軸として回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第4図は、第一の実施形態において、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたって、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第5図は、第一の実施形態における距離pの例を説明するための被測定物1の断面図である。
第6図は、本発明の第二の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第7図は、第二の実施形態において、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたって、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第8図は、本発明の第三の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第9図は、本発明の第四の実施形態にかかる被測定物1の斜視図である。
第10図は、本発明の第四の実施形態にかかる被測定物1の正面図である。
第11図は、本発明の第四の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第12図は、本発明の第一の実施形態にかかる被測定物1および走査用ステージ6の正面図である。
第13図は、第一の実施形態の変形例にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第2図は、走査用ステージ6をX方向に移動させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第3図は、走査用ステージ6を直線Aを回転軸として回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第4図は、第一の実施形態において、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたって、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第5図は、第一の実施形態における距離pの例を説明するための被測定物1の断面図である。
第6図は、本発明の第二の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第7図は、第二の実施形態において、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたって、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第8図は、本発明の第三の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第9図は、本発明の第四の実施形態にかかる被測定物1の斜視図である。
第10図は、本発明の第四の実施形態にかかる被測定物1の正面図である。
第11図は、本発明の第四の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第12図は、本発明の第一の実施形態にかかる被測定物1および走査用ステージ6の正面図である。
第13図は、第一の実施形態の変形例にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
第一の実施形態
第1図は、本発明の第一の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第一の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(回転駆動部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22、対物レンズ24を備える。電磁波測定装置は、被測定物1を測定するためのものである。
電磁波出力器2は、被測定物1に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(以下、「測定用電磁波」という)を出力する。なお、被測定物1に向けて出力される測定用電磁波の周波数は、テラヘルツ波帯(例えば、0.03[THz]以上10[THz]以下)を含むものである。そこで、本発明の実施形態においては、測定用電磁波の一例として、テラヘルツ波を想定している。
被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、光の一種であり、ビームの一種である。このテラヘルツ波は、入射用レンズ(入射用光学系)22に与えられる。
入射用レンズ(入射用光学系)22は、例えば、凸レンズである。入射用レンズ22は、テラヘルツ波のビーム径を小さくしながら、被測定物にテラヘルツ波を与える。例えば、入射用レンズ22に与えられたテラヘルツ波のビーム径がDであり、ビーム径の最小値がd(<D)である。
入射用レンズ22から被測定物1に与えられたテラヘルツ波は、被測定物1を透過する。そして、テラヘルツ波のビーム径はdから次第に大きくなっていく。被測定物1を透過したテラヘルツ波は、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
なお、入射用レンズ22および対物レンズ24の光軸をLとする。入射用レンズ22および対物レンズ24の回転対称軸が、光軸Lとなる。光軸Lの延伸する方向を、Y方向とする。
電磁波検出器4は、被測定物1を透過した測定用電磁波(例えば、テラヘルツ波)を検出する。
走査用ステージ(回転駆動部)6は、光軸Lと垂直な方向の直線A(第1図の紙面に垂直な直線)を回転軸として、被測定物1を回転させる。第12図は、本発明の第一の実施形態にかかる被測定物1および走査用ステージ6の正面図である。走査用ステージ6の上に、被測定物1が載せられている。走査用ステージ6が、直線Aを回転軸として回転すると、被測定物1もまた直線Aを回転軸として回転する。
また、電磁波測定装置は、被測定物1の、直線A(回転軸)と垂直な平面の断面を測定するものである。
なお、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置と、直線Aの位置とは距離pだけ離れている。テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標と、距離pだけ異なるといえる。
被測定物1の、直線A(回転軸)と垂直な平面の断面における半径をrとする。距離pは、例えば、0.5rである。第1図の例においては、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、直線A(回転軸)よりも、入射用レンズ22に近い。しかし、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、直線A(回転軸)よりも、入射用レンズ22から遠くてもよい。
なお、第一の実施形態においては、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、直線A(回転軸)よりも、入射用レンズ22に近く、かつpが0.5rである例を説明する。しかし、0.3r≦p≦0.7rであれば、第一の実施形態にかかる効果を奏することが期待できる。
第5図は、第一の実施形態における距離pの例を説明するための被測定物1の断面図である。被測定物1の断面は、直線Aと断面の交点を原点とすると、Y座標(光軸Lにおける座標)は−r以上+r以下である。ここで、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、直線Aと断面の交点から対物レンズ24の方に向かって0.3r以上0.7r以下離れていればよい(領域R1:Y座標が0.3r以上0.7r以下である)。または、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、直線Aと断面の交点から入射用レンズ22の方に向かって0.3r以上0.7r以下離れていればよい(領域R2:Y座標が−0.7r以上−0.3r以下である)。
なお、走査用ステージ6は、X方向(Y方向および直線Aと垂直な方向)およびY方向に移動させることもできる。これにより、被測定物1をX方向に移動させることもできるし、Y方向(光軸Lの延伸する方向)に移動させることもできる。
走査用ステージ6をY方向に移動させることで、距離p(第1図参照)を調整することができる。ただし、入射用レンズ22をY方向に移動させることで、距離pを調整してもよい。また、入射用レンズ22の焦点距離(ただし、ビーム径が最小値dとなる位置を焦点とする)を変化させることで、距離pを調整してもよい。
第2図は、走査用ステージ6をX方向に移動させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。なお、被測定物1が内容物1a、1bを有している。
第2図(a)を参照して、第1図の状態から、走査用ステージ6を+X方向に移動させると(または、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を−X方向に移動させることにより、光軸Lを−X方向に移動させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1bの近傍に位置する。
第2図(b)を参照して、第1図の状態から、走査用ステージ6を−X方向に移動させると(または電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を+X方向に移動させることにより、光軸Lを+X方向に移動させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1aの近傍に位置する。
第3図は、走査用ステージ6を直線Aを回転軸として回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。なお、被測定物1が内容物1a、1bを有している。
第3図(a)を参照して、第1図の状態から、走査用ステージ6を+θ方向に回転させると(または電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を−θ方向に回転させることにより、光軸Lを−θ方向に回転させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1aの近傍に位置する。
第3図(b)を参照して、第1図の状態から、走査用ステージ6を−θ方向に回転させると(または電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を+θ方向に回転させることにより、光軸Lを+θ方向に回転させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1bの近傍に位置する。
ただし、被測定物1の、直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたっては、走査用ステージ6のX方向への移動および直線A回りの回転を同時に行う。これにより、被測定物1を、X方向(光軸Lおよび直線A(回転軸)と垂直な方向)へ移動させ、しかも直線A回りに回転させる。または、光軸Lを、X方向へ移動させ、しかも直線A回りに回転させてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)を参照)。
第4図は、第一の実施形態において、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたって、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。なお、被測定物1が内容物1a、1bを有している。
第4図(a)は、第1図の状態から、走査用ステージ6を−X方向に移動させ、しかも+θ方向に回転させた場合の平面図である。テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1aの近傍に位置する。なお、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を+X方向に移動させ、しかも−θ方向に回転させてもよく(光軸Lを+X方向に移動させ、−θ方向に回転させることになる)、この場合も第4図(a)と同様な態様となる。
第4図(b)は、第1図の状態から、走査用ステージ6を+X方向に移動させ、しかも−θ方向に回転させた場合の平面図である。テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1bの近傍に位置する。なお、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を−X方向に移動させ、しかも+θ方向に回転させてもよく(光軸Lを−X方向に移動させ、+θ方向に回転させることになる)、この場合も第4図(b)と同様な態様となる。
従来のCT(computer tomography)のように、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置のY座標を、直線A(回転軸)と被測定物1の断面の交点のY座標に合わせた場合は、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置のY座標(光軸Lにおける座標)が、直線A(回転軸)と被測定物1の断面の交点のY座標に一致したままとなる。よって、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、被測定物1の断面のある特定の部分にしか移動しないことになる。
しかし、第一の実施形態によれば、第4図を参照すると、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、被測定物1の断面の色々な部分に移動していくことがわかる。
画像導出装置10は、被測定物1の、直線Aと垂直な平面の断面の画像を導出する。画像の導出は、周知のフィルタ補正逆投影法による画像の導出により行えばよい。
ディスプレイ8は、画像導出装置10により導出された画像を表示する。導出された画像は、被測定物の2次元断面についての数値データであり、この数値データに所定の色を対応させて、被測定物1の2次元断層画像を表示する。なお、数値データから2次元断層画像を表示する方法については周知の方法を適宜採用すればよい。
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ6に被測定物1を固定する。そして、走査用ステージ6を直線Aの方向には動かさないで固定し、Y方向に移動させて、距離p(第1図参照)を調整する(例えば、p=0.5r)。その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
このとき、第4図を参照して、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6の移動および回転に伴い、内容物1aの近傍(第4図(a)参照)または内容物1bの近傍(第4図(b)参照)などに移動していく。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられ、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面の画像が導出される。画像導出装置10により導出された画像は、ディスプレイ8により表示される。
なお、被測定物1のある断面の測定を終えれば、走査用ステージ6を直線Aの方向に所定量移動させてから固定し、被測定物1の走査を行って、さらなる断面の測定を行う。
第一の実施形態によれば、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標とが距離p(例えば、0.5r)だけ離れている。これにより、第4図を参照して、被測定物1の走査の際に、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、被測定物1の断面の色々な部分に移動していく。
テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、断面を測定する際の空間分解能が高い位置である。よって、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、被測定物1の断面の色々な部分に移動していけば、被測定物1の断面の色々な部分の測定の際の空間分解能が高まる。
したがって、被測定物1の断面の測定に、断面の全域の空間分解能をほぼ一様に高めることができる。
なお、距離pは、被測定物1の断面の測定の際の空間分解能が、断面の全域にわたって、所望の値になるように定められているといえる(例えば、p=0.5rまたはpは0.3r以上0.7r以下)。
また、これまで、走査用ステージ6の上に、被測定物1が載せられていると説明してきた。しかし、走査用ステージ6の上に、被測定物1ではなく、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を載せることもできる。
第13図は、第一の実施形態の変形例にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第一の実施形態の変形例にかかる電磁波測定装置は、走査用ステージ6の上に、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を載せたものである(他は、第一の実施形態と同様)。
第一の実施形態の変形例によれば、走査用ステージ6をX方向およびY方向に移動させることで、光軸LをX方向およびY方向に移動させることができる。しかも、直線Aを回転軸として走査用ステージ6を回転させることで、直線Aを回転軸として光軸Lを回転させることができる。
第二の実施形態
第二の実施形態にかかる電磁波測定装置は、被測定物1の走査の際に、被測定物1の断面における所定の測定点B(第6図参照)の光軸Lにおける座標と、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標とを一致させるようにする点が、第一の実施形態と異なる。
第6図は、本発明の第二の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第二の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(回転駆動部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22、対物レンズ24を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(回転駆動部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22および対物レンズ24は、第一の実施形態と同様であり、詳細な説明を省略する。
また、走査用ステージ6の上に、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を載せるように変形してもよいことも、第一の実施形態の変形例と同様であり、詳細な説明を省略する。
ただし、第6図において、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、被測定物1の断面における所定の測定点Bと重なっている。ただし、測定点Bは、被測定物1の断面と直線A(回転軸)との交点とは異なるものとする。第6図における、測定点Bの光軸Lにおける座標と、直線Aと断面の交点の光軸Lにおける座標との距離をp1とする。
被測定物1の、直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたっては、第一の実施形態と同様に、走査用ステージ6のX方向への移動および直線A回りの回転を同時に行う。または、光軸Lを、X方向へ移動させ、しかも直線A回りに回転させてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)を参照)。
第7図は、第二の実施形態において、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたって、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第7図(a)は、第6図の状態から、走査用ステージ6を+X方向に移動させ、しかも+θ方向に回転させた場合の平面図である。なお、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を−X方向に移動させ、しかも−θ方向に回転させてもよく(光軸Lを−X方向に移動させ、−θ方向に回転させることになる)、この場合も第7図(a)と同様な態様となる。
測定点Bの光軸Lにおける座標と、直線Aと断面の交点の光軸Lにおける座標との距離をp2とする。すると、p2<p1である。ここで、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させる。p2≠p1であるため、第6図の状態から、ビーム径が最小値dとなる位置または測定点Bを、光軸Lの方向(Y方向)に移動させる必要がある。
第7図(b)は、第6図の状態から、走査用ステージ6を−X方向に移動させ、しかも−θ方向に回転させた場合の平面図である。なお、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を+X方向に移動させ、しかも+θ方向に回転させてもよく(光軸Lを+X方向に移動させ、+θ方向に回転させることになる)、この場合も第7図(b)と同様な態様となる。
測定点Bの光軸Lにおける座標と、直線Aの光軸Lにおける座標との距離をp3とする。すると、p3<p1である。ここで、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させる。p3≠p1であるため、第6図の状態から、ビーム径が最小値dとなる位置または測定点Bを、光軸Lの方向(Y方向)に移動させる必要がある。
例えば、走査用ステージ6をY方向に移動させることで、被測定物1と共に、測定点BをY方向に移動させて、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させることができる。
また、入射用レンズ22をY方向に移動させることで、ビーム径が最小値dとなる位置をY方向に移動させて、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させることができる。
また、入射用レンズ22の焦点距離(ただし、ビーム径が最小値dとなる位置を焦点とする)を変化させることで、ビーム径が最小値dとなる位置をY方向に移動させて、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させることができる。
なお、第7図においては、測定点Bに、ビーム径が最小値dとなる位置が重なっている。しかし、測定点Bが、ビーム径が最小値dとなる位置に重ならない場合(すなわち、測定点BのX座標が、ビーム径が最小値dとなる部分のX座標の範囲から外れる場合)でも、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標(Y座標)と、測定点Bの光軸Lにおける座標(Y座標)とを一致させるようにする。
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ6に被測定物1を固定する。そして、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置を、被測定物1の断面における所定の測定点Bと重ねる。その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
この際、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させるようにする(第7図参照)。例えば、走査用ステージ6をY方向に移動させることで、測定点BをY方向に移動させて、両者の座標を一致させるようにする。例えば、入射用レンズ22をY方向に移動させる(または入射用レンズ22の焦点距離を変化させる)ことで、ビーム径が最小値dとなる位置をY方向に移動させて、両者の座標を一致させるようにする。
このとき、第7図を参照して、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6が移動および回転しても、測定点Bの近傍に位置することが多い。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられ、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面の画像が導出される。画像導出装置10により導出された画像は、ディスプレイ8により表示される。
なお、被測定物1のある断面の測定を終えれば、走査用ステージ6を直線Aの方向に所定量移動させてから固定し、被測定物1の走査を行って、さらなる断面の測定を行う。
第二の実施形態によれば、測定点Bに、ビーム径が最小値dとなる位置を重ねることができる場合が多い。しかも、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、断面を測定する際の空間分解能が高い位置である。よって、測定点Bの測定については、空間分解能を高めることができる。
第三の実施形態
第三の実施形態にかかる電磁波測定装置は、第一の実施形態にかかる電磁波測定装置における距離p(第1図参照)を複数種類設定したものとほぼ同様である。ただし、第一の実施形態おける距離pと異なり、0.3r≦p≦0.7rといった制約は無い(例えば、0でもよい)。
第8図は、本発明の第三の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第三の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(回転駆動部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22、対物レンズ24を備える。電磁波測定装置は、被測定物1を測定するためのものである。ただし、第8図において、ディスプレイ8および画像導出装置10は、第1図と同様であるため、図示省略している。
本発明の第三の実施形態にかかる電磁波測定装置においては、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離をpa(第8図(a)参照)、0(第8図(b)参照)、pc(第8図(c)参照)の三種類に設定する。なお、これらの距離の種類は、三種類には限定されず、二種類以上であればよいが、例えば十六種類程度までにすることが好ましい。
第8図(a)は、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標を原点とした場合の、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、−paである。ただし、0<pa<rである。なお、第8図(a)における電磁波測定装置の構成は、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離がpaであること以外は、第一の実施形態(およびその変形例(第13図))にかかる電磁波測定装置と同様である。例えば、入射用レンズ22、走査用ステージ6および電磁波検出器4は、第一の実施形態と同様である。
第8図(b)は、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標を原点とした場合の、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、0である。なお、第8図(b)における電磁波測定装置の構成は、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離が0であること以外は、第一の実施形態(およびその変形例(第13図))にかかる電磁波測定装置と同様である。例えば、入射用レンズ22、走査用ステージ6および電磁波検出器4は、第一の実施形態と同様である。
第8図(c)は、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標を原点とした場合の、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、pcである。ただし、0<pc<rである。なお、第8図(c)における電磁波測定装置の構成は、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離がpcであること以外は、第一の実施形態(およびその変形例(第13図))にかかる電磁波測定装置と同様である。例えば、入射用レンズ22、走査用ステージ6および電磁波検出器4は、第一の実施形態と同様である。
ただし、第三の実施形態にかかる電磁波測定装置においては、各々の種類の座標(第8図(a)、第8図(b)、第8図(c)参照)における電磁波検出器4による検出結果に基づき、被測定物1の、直線A(回転軸)と垂直な平面の断面を測定する。
すなわち、第三の実施形態にかかる電磁波測定装置の画像導出装置10が、各々の種類の座標(第8図(a)、第8図(b)、第8図(c)参照)における電磁波検出器4による検出結果に基づき、被測定物1の断面の画像を導出する。
次に、第三の実施形態の動作を説明する。
なお、以下、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離を、オフセットということがある。
(1)オフセットをpaにした測定(第8図(a)参照)
まず、走査用ステージ6に被測定物1を固定する。そして、走査用ステージ6を直線Aの方向には動かさないで固定し、Y方向に移動させて、被測定物1をY方向に移動させ、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離をpa(第8図(a)参照)とする。なお、入射用レンズ22をY方向に移動させる(または入射用レンズ22の焦点距離を変化させる)ことで、オフセットをpaにしてもよい。
その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。これにより、被測定物1を、X方向(光軸Lおよび直線A(回転軸)と垂直な方向)へ移動させ、しかも直線A回りに回転させる。ただし、光軸Lを、X方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させるようにしてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)参照)。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
このとき、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6の移動および回転に伴い、被測定物1の断面のある部分(仮に、「部分a」という)に移動していく。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。電磁波検出器4の検出結果は、部分aについて、空間分解能が高いものとなる。
(2)オフセットが0にした測定(第8図(b)参照)
次に、走査用ステージ6を直線Aの方向には動かさないで固定し、Y方向に移動させて、被測定物1をY方向に移動させ、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離を0(第8図(b)参照)とする。なお、入射用レンズ22をY方向に移動させる(または入射用レンズ22の焦点距離を変化させる)ことで、オフセットを0にしてもよい。
その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。これにより、被測定物1を、X方向(光軸Lおよび直線A(回転軸)と垂直な方向)へ移動させ、しかも直線A回りに回転させる。ただし、光軸Lを、X方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させるようにしてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)参照)。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
このとき、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6の移動および回転に伴い、被測定物1の断面のある部分(仮に、「部分b」という)に移動していく。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。電磁波検出器4の検出結果は、部分bについて、空間分解能が高いものとなる。
(3)オフセットがpcにした測定(第8図(c)参照)
次に、走査用ステージ6を直線Aの方向には動かさないで固定し、Y方向に移動させて、被測定物1をY方向に移動させ、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離をpc(第8図(c)参照)とする。なお、入射用レンズ22をY方向に移動させる(または入射用レンズ22の焦点距離を変化させる)ことで、オフセットをpcにしてもよい。
その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。これにより、被測定物1を、X方向(光軸Lおよび直線A(回転軸)と垂直な方向)へ移動させ、しかも直線A回りに回転させる。ただし、光軸Lを、X方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させるようにしてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)参照)。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
このとき、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6の移動および回転に伴い、被測定物1の断面のある部分(仮に、「部分c」という)に移動していく。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。電磁波検出器4の検出結果は、部分cについて、空間分解能が高いものとなる。
なお、部分a、部分bおよび部分cは互いに異なるものである。
(4)画像の導出および表示
ここで、画像導出装置10は、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面のうち、部分aおよびその近傍については、「(1)オフセットをpaにした測定」における電磁波検出器4の検出結果に基づき、画像を導出する。画像の導出は、周知のフィルタ補正逆投影法による画像の導出により行えばよい。
また、画像導出装置10は、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面のうち、部分bおよびその近傍については、「(2)オフセットが0にした測定」における電磁波検出器4の検出結果に基づき、画像を導出する。画像の導出は、周知のフィルタ補正逆投影法による画像の導出により行えばよい。
さらに、画像導出装置10は、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面のうち、部分cおよびその近傍については、「(3)オフセットがpcにした測定」における電磁波検出器4の検出結果に基づき、画像を導出する。画像の導出は、周知のフィルタ補正逆投影法による画像の導出により行えばよい。
ただし、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面のうち、部分a、部分bおよび部分c以外の部分は、部分a、部分bおよび部分cのいずれか一つの近傍であるものとする。
画像導出装置10は、このようにして導出された画像を合成して、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面の画像が導出する。画像導出装置10により導出された画像は、ディスプレイ8により表示される。
なお、被測定物1のある断面の測定を終えれば、走査用ステージ6を直線Aの方向に所定量移動させてから固定し、被測定物1の走査を行って、さらなる断面の測定を行う。
第三の実施形態によれば、部分aの近傍については、高い空間分解能で測定ができる。しかも、部分aの近傍でなくても、部分bの近傍については、高い空間分解能で測定ができる。部分aの近傍ではなく、しかも、部分bの近傍ではなくても、部分cの近傍については、高い空間分解能で測定ができる。
よって、第8図(a)、第8図(b)および第8図(c)のいずれか一つのような配置で測定する場合に比べて、高い空間分解能で断面の測定ができる。
例えば、第8図(b)のような配置(従来のCTに相当する)で測定する場合は、部分bの近傍でしか、高い空間分解能で測定ができない。しかし、第三の実施形態によれば、部分bの近傍でなくても、部分aまたは部分cの近傍であれば、高い空間分解能で測定ができる。
なお、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離を、より多くの種類に設定すれば、より正確な断面の測定が可能となる。しかし、これらの距離の種類をより多く設定すれば、測定にかかる時間がより長くなるので、上述の通り、例えば十六種類程度までにすることが好ましい。
第四の実施形態
第四の実施形態にかかる電磁波測定装置は、第三の実施形態にかかる電磁波測定装置において、被測定物1を回転させないものに相当する。
第9図は、本発明の第四の実施形態にかかる被測定物1の斜視図である。被測定物1は直方体であり、X方向、Y方向およびZ方向を図示のごとく定める。なお、後述するようにY方向は光軸Lの延伸する方向である。X方向およびZ方向は、光軸Lと垂直であり、しかも、互いに垂直である。
第10図は、本発明の第四の実施形態にかかる被測定物1の正面図である。第四の実施形態にかかる電磁波測定装置は、被測定物1のa−a断面(Y座標=Ya)、b−b断面(Y座標=Yb)およびc−c断面(Y座標=Yc)を測定する。なお、Y座標の原点は、被測定物1の左側面(所定部分)のY座標とする。
第11図は、本発明の第四の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第四の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22、対物レンズ24を備える。電磁波測定装置は、被測定物1を測定するためのものである。ただし、第11図において、ディスプレイ8および画像導出装置10は、第1図と同様であるため、図示省略している。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
電磁波出力器2、電磁波検出器4、ディスプレイ8、入射用レンズ(入射用光学系)22および対物レンズ24は、第一の実施形態と同様であり、詳細な説明を省略する。なお、被測定物1は、図示省略した駆動機構により、X方向、Y方向およびZ方向に移動させることが可能である。なお、Y方向は、光軸Lの延伸する方向である。または、光軸Lを、X方向、Y方向およびZ方向に移動させるようにしてもよい。
測定対象となるa−a断面、b−b断面およびc−c断面は、光軸Lと垂直な断面である。
次に、第四の実施形態の動作を説明する。
(1)a−a断面の測定(第11図(a)参照)
被測定物1または入射用レンズ22をY方向に移動させて(入射用レンズ22の焦点距離を変化させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標をYaにあわせる。ここで、被測定物1または光軸Lを、光軸Lと垂直かつ互いに垂直なX方向およびZ方向に移動させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
ビーム径が最小値dとなる位置は、空間分解能が高く、a−a断面である。被測定物1または光軸LをX方向およびZ方向に移動させることで、a−a断面の全域に、テラヘルツ波を照射する。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1のa−a断面の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。画像導出装置10は、a−a断面についての画像を導出する(a−a断面の測定に相当)。画像導出装置10により導出されたa−a断面の画像は、ディスプレイ8により表示される。
(2)b−b断面の測定(第11図(b)参照)
被測定物1または入射用レンズ22をY方向に移動させて(入射用レンズ22の焦点距離を変化させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標をYbにあわせる。ここで、被測定物1または光軸Lを、光軸Lと垂直かつ互いに垂直なX方向およびZ方向に移動させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
ビーム径が最小値dとなる位置は、空間分解能が高く、b−b断面である。被測定物1または光軸LをX方向およびZ方向に移動させることで、b−b断面の全域に、テラヘルツ波を照射する。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1のb−b断面の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。画像導出装置10は、b−b断面についての画像を導出する(b−b断面の測定に相当)。画像導出装置10により導出されたb−b断面の画像は、ディスプレイ8により表示される。
(3)c−c断面の測定(第11図(c)参照)
被測定物1または入射用レンズ22をY方向に移動させて(入射用レンズ22の焦点距離を変化させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標をYcにあわせる。ここで、被測定物1または光軸Lを、光軸Lと垂直かつ互いに垂直なX方向およびZ方向に移動させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
ビーム径が最小値dとなる位置は、空間分解能が高く、c−c断面である。被測定物1または光軸LをX方向およびZ方向に移動させることで、c−c断面の全域に、テラヘルツ波を照射する。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1のc−c断面の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。画像導出装置10は、c−c断面についての画像を導出する(c−c断面の測定に相当)。画像導出装置10により導出されたc−c断面の画像は、ディスプレイ8により表示される。
上記のように、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標をYa、Yb、Ycの三種類に設定し(複数種類であれば、三種類に限定されない)、各々の座標における電磁波検出器4の検出結果に基づき、a−a断面、b−b断面およびc−c断面の画像が導出される(被測定物1の測定に相当)。
第四の実施形態によれば、直方体状でY方向に厚みのある被測定物1のXZ断面の測定の空間分解能を高めることができる。
第一の実施形態
第1図は、本発明の第一の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第一の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(回転駆動部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22、対物レンズ24を備える。電磁波測定装置は、被測定物1を測定するためのものである。
電磁波出力器2は、被測定物1に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(以下、「測定用電磁波」という)を出力する。なお、被測定物1に向けて出力される測定用電磁波の周波数は、テラヘルツ波帯(例えば、0.03[THz]以上10[THz]以下)を含むものである。そこで、本発明の実施形態においては、測定用電磁波の一例として、テラヘルツ波を想定している。
被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、光の一種であり、ビームの一種である。このテラヘルツ波は、入射用レンズ(入射用光学系)22に与えられる。
入射用レンズ(入射用光学系)22は、例えば、凸レンズである。入射用レンズ22は、テラヘルツ波のビーム径を小さくしながら、被測定物にテラヘルツ波を与える。例えば、入射用レンズ22に与えられたテラヘルツ波のビーム径がDであり、ビーム径の最小値がd(<D)である。
入射用レンズ22から被測定物1に与えられたテラヘルツ波は、被測定物1を透過する。そして、テラヘルツ波のビーム径はdから次第に大きくなっていく。被測定物1を透過したテラヘルツ波は、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
なお、入射用レンズ22および対物レンズ24の光軸をLとする。入射用レンズ22および対物レンズ24の回転対称軸が、光軸Lとなる。光軸Lの延伸する方向を、Y方向とする。
電磁波検出器4は、被測定物1を透過した測定用電磁波(例えば、テラヘルツ波)を検出する。
走査用ステージ(回転駆動部)6は、光軸Lと垂直な方向の直線A(第1図の紙面に垂直な直線)を回転軸として、被測定物1を回転させる。第12図は、本発明の第一の実施形態にかかる被測定物1および走査用ステージ6の正面図である。走査用ステージ6の上に、被測定物1が載せられている。走査用ステージ6が、直線Aを回転軸として回転すると、被測定物1もまた直線Aを回転軸として回転する。
また、電磁波測定装置は、被測定物1の、直線A(回転軸)と垂直な平面の断面を測定するものである。
なお、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置と、直線Aの位置とは距離pだけ離れている。テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標と、距離pだけ異なるといえる。
被測定物1の、直線A(回転軸)と垂直な平面の断面における半径をrとする。距離pは、例えば、0.5rである。第1図の例においては、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、直線A(回転軸)よりも、入射用レンズ22に近い。しかし、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、直線A(回転軸)よりも、入射用レンズ22から遠くてもよい。
なお、第一の実施形態においては、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、直線A(回転軸)よりも、入射用レンズ22に近く、かつpが0.5rである例を説明する。しかし、0.3r≦p≦0.7rであれば、第一の実施形態にかかる効果を奏することが期待できる。
第5図は、第一の実施形態における距離pの例を説明するための被測定物1の断面図である。被測定物1の断面は、直線Aと断面の交点を原点とすると、Y座標(光軸Lにおける座標)は−r以上+r以下である。ここで、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、直線Aと断面の交点から対物レンズ24の方に向かって0.3r以上0.7r以下離れていればよい(領域R1:Y座標が0.3r以上0.7r以下である)。または、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、直線Aと断面の交点から入射用レンズ22の方に向かって0.3r以上0.7r以下離れていればよい(領域R2:Y座標が−0.7r以上−0.3r以下である)。
なお、走査用ステージ6は、X方向(Y方向および直線Aと垂直な方向)およびY方向に移動させることもできる。これにより、被測定物1をX方向に移動させることもできるし、Y方向(光軸Lの延伸する方向)に移動させることもできる。
走査用ステージ6をY方向に移動させることで、距離p(第1図参照)を調整することができる。ただし、入射用レンズ22をY方向に移動させることで、距離pを調整してもよい。また、入射用レンズ22の焦点距離(ただし、ビーム径が最小値dとなる位置を焦点とする)を変化させることで、距離pを調整してもよい。
第2図は、走査用ステージ6をX方向に移動させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。なお、被測定物1が内容物1a、1bを有している。
第2図(a)を参照して、第1図の状態から、走査用ステージ6を+X方向に移動させると(または、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を−X方向に移動させることにより、光軸Lを−X方向に移動させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1bの近傍に位置する。
第2図(b)を参照して、第1図の状態から、走査用ステージ6を−X方向に移動させると(または電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を+X方向に移動させることにより、光軸Lを+X方向に移動させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1aの近傍に位置する。
第3図は、走査用ステージ6を直線Aを回転軸として回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。なお、被測定物1が内容物1a、1bを有している。
第3図(a)を参照して、第1図の状態から、走査用ステージ6を+θ方向に回転させると(または電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を−θ方向に回転させることにより、光軸Lを−θ方向に回転させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1aの近傍に位置する。
第3図(b)を参照して、第1図の状態から、走査用ステージ6を−θ方向に回転させると(または電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を+θ方向に回転させることにより、光軸Lを+θ方向に回転させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1bの近傍に位置する。
ただし、被測定物1の、直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたっては、走査用ステージ6のX方向への移動および直線A回りの回転を同時に行う。これにより、被測定物1を、X方向(光軸Lおよび直線A(回転軸)と垂直な方向)へ移動させ、しかも直線A回りに回転させる。または、光軸Lを、X方向へ移動させ、しかも直線A回りに回転させてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)を参照)。
第4図は、第一の実施形態において、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたって、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。なお、被測定物1が内容物1a、1bを有している。
第4図(a)は、第1図の状態から、走査用ステージ6を−X方向に移動させ、しかも+θ方向に回転させた場合の平面図である。テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1aの近傍に位置する。なお、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を+X方向に移動させ、しかも−θ方向に回転させてもよく(光軸Lを+X方向に移動させ、−θ方向に回転させることになる)、この場合も第4図(a)と同様な態様となる。
第4図(b)は、第1図の状態から、走査用ステージ6を+X方向に移動させ、しかも−θ方向に回転させた場合の平面図である。テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、内容物1bの近傍に位置する。なお、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を−X方向に移動させ、しかも+θ方向に回転させてもよく(光軸Lを−X方向に移動させ、+θ方向に回転させることになる)、この場合も第4図(b)と同様な態様となる。
従来のCT(computer tomography)のように、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置のY座標を、直線A(回転軸)と被測定物1の断面の交点のY座標に合わせた場合は、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置のY座標(光軸Lにおける座標)が、直線A(回転軸)と被測定物1の断面の交点のY座標に一致したままとなる。よって、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、被測定物1の断面のある特定の部分にしか移動しないことになる。
しかし、第一の実施形態によれば、第4図を参照すると、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、被測定物1の断面の色々な部分に移動していくことがわかる。
画像導出装置10は、被測定物1の、直線Aと垂直な平面の断面の画像を導出する。画像の導出は、周知のフィルタ補正逆投影法による画像の導出により行えばよい。
ディスプレイ8は、画像導出装置10により導出された画像を表示する。導出された画像は、被測定物の2次元断面についての数値データであり、この数値データに所定の色を対応させて、被測定物1の2次元断層画像を表示する。なお、数値データから2次元断層画像を表示する方法については周知の方法を適宜採用すればよい。
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ6に被測定物1を固定する。そして、走査用ステージ6を直線Aの方向には動かさないで固定し、Y方向に移動させて、距離p(第1図参照)を調整する(例えば、p=0.5r)。その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
このとき、第4図を参照して、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6の移動および回転に伴い、内容物1aの近傍(第4図(a)参照)または内容物1bの近傍(第4図(b)参照)などに移動していく。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられ、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面の画像が導出される。画像導出装置10により導出された画像は、ディスプレイ8により表示される。
なお、被測定物1のある断面の測定を終えれば、走査用ステージ6を直線Aの方向に所定量移動させてから固定し、被測定物1の走査を行って、さらなる断面の測定を行う。
第一の実施形態によれば、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標とが距離p(例えば、0.5r)だけ離れている。これにより、第4図を参照して、被測定物1の走査の際に、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、被測定物1の断面の色々な部分に移動していく。
テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、断面を測定する際の空間分解能が高い位置である。よって、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、被測定物1の断面の色々な部分に移動していけば、被測定物1の断面の色々な部分の測定の際の空間分解能が高まる。
したがって、被測定物1の断面の測定に、断面の全域の空間分解能をほぼ一様に高めることができる。
なお、距離pは、被測定物1の断面の測定の際の空間分解能が、断面の全域にわたって、所望の値になるように定められているといえる(例えば、p=0.5rまたはpは0.3r以上0.7r以下)。
また、これまで、走査用ステージ6の上に、被測定物1が載せられていると説明してきた。しかし、走査用ステージ6の上に、被測定物1ではなく、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を載せることもできる。
第13図は、第一の実施形態の変形例にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第一の実施形態の変形例にかかる電磁波測定装置は、走査用ステージ6の上に、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を載せたものである(他は、第一の実施形態と同様)。
第一の実施形態の変形例によれば、走査用ステージ6をX方向およびY方向に移動させることで、光軸LをX方向およびY方向に移動させることができる。しかも、直線Aを回転軸として走査用ステージ6を回転させることで、直線Aを回転軸として光軸Lを回転させることができる。
第二の実施形態
第二の実施形態にかかる電磁波測定装置は、被測定物1の走査の際に、被測定物1の断面における所定の測定点B(第6図参照)の光軸Lにおける座標と、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標とを一致させるようにする点が、第一の実施形態と異なる。
第6図は、本発明の第二の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第二の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(回転駆動部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22、対物レンズ24を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(回転駆動部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22および対物レンズ24は、第一の実施形態と同様であり、詳細な説明を省略する。
また、走査用ステージ6の上に、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を載せるように変形してもよいことも、第一の実施形態の変形例と同様であり、詳細な説明を省略する。
ただし、第6図において、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、被測定物1の断面における所定の測定点Bと重なっている。ただし、測定点Bは、被測定物1の断面と直線A(回転軸)との交点とは異なるものとする。第6図における、測定点Bの光軸Lにおける座標と、直線Aと断面の交点の光軸Lにおける座標との距離をp1とする。
被測定物1の、直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたっては、第一の実施形態と同様に、走査用ステージ6のX方向への移動および直線A回りの回転を同時に行う。または、光軸Lを、X方向へ移動させ、しかも直線A回りに回転させてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)を参照)。
第7図は、第二の実施形態において、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面を測定するにあたって、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させたときの、被測定物1、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24、電磁波検出器4および走査用ステージ6の平面図である。
第7図(a)は、第6図の状態から、走査用ステージ6を+X方向に移動させ、しかも+θ方向に回転させた場合の平面図である。なお、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を−X方向に移動させ、しかも−θ方向に回転させてもよく(光軸Lを−X方向に移動させ、−θ方向に回転させることになる)、この場合も第7図(a)と同様な態様となる。
測定点Bの光軸Lにおける座標と、直線Aと断面の交点の光軸Lにおける座標との距離をp2とする。すると、p2<p1である。ここで、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させる。p2≠p1であるため、第6図の状態から、ビーム径が最小値dとなる位置または測定点Bを、光軸Lの方向(Y方向)に移動させる必要がある。
第7図(b)は、第6図の状態から、走査用ステージ6を−X方向に移動させ、しかも−θ方向に回転させた場合の平面図である。なお、電磁波出力器2、入射用レンズ22、対物レンズ24および電磁波検出器4を+X方向に移動させ、しかも+θ方向に回転させてもよく(光軸Lを+X方向に移動させ、+θ方向に回転させることになる)、この場合も第7図(b)と同様な態様となる。
測定点Bの光軸Lにおける座標と、直線Aの光軸Lにおける座標との距離をp3とする。すると、p3<p1である。ここで、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させる。p3≠p1であるため、第6図の状態から、ビーム径が最小値dとなる位置または測定点Bを、光軸Lの方向(Y方向)に移動させる必要がある。
例えば、走査用ステージ6をY方向に移動させることで、被測定物1と共に、測定点BをY方向に移動させて、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させることができる。
また、入射用レンズ22をY方向に移動させることで、ビーム径が最小値dとなる位置をY方向に移動させて、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させることができる。
また、入射用レンズ22の焦点距離(ただし、ビーム径が最小値dとなる位置を焦点とする)を変化させることで、ビーム径が最小値dとなる位置をY方向に移動させて、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させることができる。
なお、第7図においては、測定点Bに、ビーム径が最小値dとなる位置が重なっている。しかし、測定点Bが、ビーム径が最小値dとなる位置に重ならない場合(すなわち、測定点BのX座標が、ビーム径が最小値dとなる部分のX座標の範囲から外れる場合)でも、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標(Y座標)と、測定点Bの光軸Lにおける座標(Y座標)とを一致させるようにする。
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ6に被測定物1を固定する。そして、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置を、被測定物1の断面における所定の測定点Bと重ねる。その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
この際、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、測定点Bの光軸Lにおける座標とを一致させるようにする(第7図参照)。例えば、走査用ステージ6をY方向に移動させることで、測定点BをY方向に移動させて、両者の座標を一致させるようにする。例えば、入射用レンズ22をY方向に移動させる(または入射用レンズ22の焦点距離を変化させる)ことで、ビーム径が最小値dとなる位置をY方向に移動させて、両者の座標を一致させるようにする。
このとき、第7図を参照して、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6が移動および回転しても、測定点Bの近傍に位置することが多い。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられ、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面の画像が導出される。画像導出装置10により導出された画像は、ディスプレイ8により表示される。
なお、被測定物1のある断面の測定を終えれば、走査用ステージ6を直線Aの方向に所定量移動させてから固定し、被測定物1の走査を行って、さらなる断面の測定を行う。
第二の実施形態によれば、測定点Bに、ビーム径が最小値dとなる位置を重ねることができる場合が多い。しかも、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置が、断面を測定する際の空間分解能が高い位置である。よって、測定点Bの測定については、空間分解能を高めることができる。
第三の実施形態
第三の実施形態にかかる電磁波測定装置は、第一の実施形態にかかる電磁波測定装置における距離p(第1図参照)を複数種類設定したものとほぼ同様である。ただし、第一の実施形態おける距離pと異なり、0.3r≦p≦0.7rといった制約は無い(例えば、0でもよい)。
第8図は、本発明の第三の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第三の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(回転駆動部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22、対物レンズ24を備える。電磁波測定装置は、被測定物1を測定するためのものである。ただし、第8図において、ディスプレイ8および画像導出装置10は、第1図と同様であるため、図示省略している。
本発明の第三の実施形態にかかる電磁波測定装置においては、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離をpa(第8図(a)参照)、0(第8図(b)参照)、pc(第8図(c)参照)の三種類に設定する。なお、これらの距離の種類は、三種類には限定されず、二種類以上であればよいが、例えば十六種類程度までにすることが好ましい。
第8図(a)は、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標を原点とした場合の、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、−paである。ただし、0<pa<rである。なお、第8図(a)における電磁波測定装置の構成は、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離がpaであること以外は、第一の実施形態(およびその変形例(第13図))にかかる電磁波測定装置と同様である。例えば、入射用レンズ22、走査用ステージ6および電磁波検出器4は、第一の実施形態と同様である。
第8図(b)は、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標を原点とした場合の、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、0である。なお、第8図(b)における電磁波測定装置の構成は、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離が0であること以外は、第一の実施形態(およびその変形例(第13図))にかかる電磁波測定装置と同様である。例えば、入射用レンズ22、走査用ステージ6および電磁波検出器4は、第一の実施形態と同様である。
第8図(c)は、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標を原点とした場合の、ビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標が、pcである。ただし、0<pc<rである。なお、第8図(c)における電磁波測定装置の構成は、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離がpcであること以外は、第一の実施形態(およびその変形例(第13図))にかかる電磁波測定装置と同様である。例えば、入射用レンズ22、走査用ステージ6および電磁波検出器4は、第一の実施形態と同様である。
ただし、第三の実施形態にかかる電磁波測定装置においては、各々の種類の座標(第8図(a)、第8図(b)、第8図(c)参照)における電磁波検出器4による検出結果に基づき、被測定物1の、直線A(回転軸)と垂直な平面の断面を測定する。
すなわち、第三の実施形態にかかる電磁波測定装置の画像導出装置10が、各々の種類の座標(第8図(a)、第8図(b)、第8図(c)参照)における電磁波検出器4による検出結果に基づき、被測定物1の断面の画像を導出する。
次に、第三の実施形態の動作を説明する。
なお、以下、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離を、オフセットということがある。
(1)オフセットをpaにした測定(第8図(a)参照)
まず、走査用ステージ6に被測定物1を固定する。そして、走査用ステージ6を直線Aの方向には動かさないで固定し、Y方向に移動させて、被測定物1をY方向に移動させ、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離をpa(第8図(a)参照)とする。なお、入射用レンズ22をY方向に移動させる(または入射用レンズ22の焦点距離を変化させる)ことで、オフセットをpaにしてもよい。
その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。これにより、被測定物1を、X方向(光軸Lおよび直線A(回転軸)と垂直な方向)へ移動させ、しかも直線A回りに回転させる。ただし、光軸Lを、X方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させるようにしてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)参照)。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
このとき、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6の移動および回転に伴い、被測定物1の断面のある部分(仮に、「部分a」という)に移動していく。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。電磁波検出器4の検出結果は、部分aについて、空間分解能が高いものとなる。
(2)オフセットが0にした測定(第8図(b)参照)
次に、走査用ステージ6を直線Aの方向には動かさないで固定し、Y方向に移動させて、被測定物1をY方向に移動させ、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離を0(第8図(b)参照)とする。なお、入射用レンズ22をY方向に移動させる(または入射用レンズ22の焦点距離を変化させる)ことで、オフセットを0にしてもよい。
その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。これにより、被測定物1を、X方向(光軸Lおよび直線A(回転軸)と垂直な方向)へ移動させ、しかも直線A回りに回転させる。ただし、光軸Lを、X方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させるようにしてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)参照)。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
このとき、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6の移動および回転に伴い、被測定物1の断面のある部分(仮に、「部分b」という)に移動していく。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。電磁波検出器4の検出結果は、部分bについて、空間分解能が高いものとなる。
(3)オフセットがpcにした測定(第8図(c)参照)
次に、走査用ステージ6を直線Aの方向には動かさないで固定し、Y方向に移動させて、被測定物1をY方向に移動させ、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離をpc(第8図(c)参照)とする。なお、入射用レンズ22をY方向に移動させる(または入射用レンズ22の焦点距離を変化させる)ことで、オフセットをpcにしてもよい。
その後、走査用ステージ6をX方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させる。これにより、被測定物1を、X方向(光軸Lおよび直線A(回転軸)と垂直な方向)へ移動させ、しかも直線A回りに回転させる。ただし、光軸Lを、X方向に移動させ、しかも直線A回りに回転させるようにしてもよい(第一の実施形態の変形例(第13図)参照)。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
このとき、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置は、走査用ステージ6の移動および回転に伴い、被測定物1の断面のある部分(仮に、「部分c」という)に移動していく。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。電磁波検出器4の検出結果は、部分cについて、空間分解能が高いものとなる。
なお、部分a、部分bおよび部分cは互いに異なるものである。
(4)画像の導出および表示
ここで、画像導出装置10は、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面のうち、部分aおよびその近傍については、「(1)オフセットをpaにした測定」における電磁波検出器4の検出結果に基づき、画像を導出する。画像の導出は、周知のフィルタ補正逆投影法による画像の導出により行えばよい。
また、画像導出装置10は、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面のうち、部分bおよびその近傍については、「(2)オフセットが0にした測定」における電磁波検出器4の検出結果に基づき、画像を導出する。画像の導出は、周知のフィルタ補正逆投影法による画像の導出により行えばよい。
さらに、画像導出装置10は、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面のうち、部分cおよびその近傍については、「(3)オフセットがpcにした測定」における電磁波検出器4の検出結果に基づき、画像を導出する。画像の導出は、周知のフィルタ補正逆投影法による画像の導出により行えばよい。
ただし、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面のうち、部分a、部分bおよび部分c以外の部分は、部分a、部分bおよび部分cのいずれか一つの近傍であるものとする。
画像導出装置10は、このようにして導出された画像を合成して、被測定物1の直線Aと垂直な平面の断面の画像が導出する。画像導出装置10により導出された画像は、ディスプレイ8により表示される。
なお、被測定物1のある断面の測定を終えれば、走査用ステージ6を直線Aの方向に所定量移動させてから固定し、被測定物1の走査を行って、さらなる断面の測定を行う。
第三の実施形態によれば、部分aの近傍については、高い空間分解能で測定ができる。しかも、部分aの近傍でなくても、部分bの近傍については、高い空間分解能で測定ができる。部分aの近傍ではなく、しかも、部分bの近傍ではなくても、部分cの近傍については、高い空間分解能で測定ができる。
よって、第8図(a)、第8図(b)および第8図(c)のいずれか一つのような配置で測定する場合に比べて、高い空間分解能で断面の測定ができる。
例えば、第8図(b)のような配置(従来のCTに相当する)で測定する場合は、部分bの近傍でしか、高い空間分解能で測定ができない。しかし、第三の実施形態によれば、部分bの近傍でなくても、部分aまたは部分cの近傍であれば、高い空間分解能で測定ができる。
なお、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標と、直線A(回転軸)の光軸Lにおける座標との距離を、より多くの種類に設定すれば、より正確な断面の測定が可能となる。しかし、これらの距離の種類をより多く設定すれば、測定にかかる時間がより長くなるので、上述の通り、例えば十六種類程度までにすることが好ましい。
第四の実施形態
第四の実施形態にかかる電磁波測定装置は、第三の実施形態にかかる電磁波測定装置において、被測定物1を回転させないものに相当する。
第9図は、本発明の第四の実施形態にかかる被測定物1の斜視図である。被測定物1は直方体であり、X方向、Y方向およびZ方向を図示のごとく定める。なお、後述するようにY方向は光軸Lの延伸する方向である。X方向およびZ方向は、光軸Lと垂直であり、しかも、互いに垂直である。
第10図は、本発明の第四の実施形態にかかる被測定物1の正面図である。第四の実施形態にかかる電磁波測定装置は、被測定物1のa−a断面(Y座標=Ya)、b−b断面(Y座標=Yb)およびc−c断面(Y座標=Yc)を測定する。なお、Y座標の原点は、被測定物1の左側面(所定部分)のY座標とする。
第11図は、本発明の第四の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第四の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、ディスプレイ8、画像導出装置10、入射用レンズ(入射用光学系)22、対物レンズ24を備える。電磁波測定装置は、被測定物1を測定するためのものである。ただし、第11図において、ディスプレイ8および画像導出装置10は、第1図と同様であるため、図示省略している。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
電磁波出力器2、電磁波検出器4、ディスプレイ8、入射用レンズ(入射用光学系)22および対物レンズ24は、第一の実施形態と同様であり、詳細な説明を省略する。なお、被測定物1は、図示省略した駆動機構により、X方向、Y方向およびZ方向に移動させることが可能である。なお、Y方向は、光軸Lの延伸する方向である。または、光軸Lを、X方向、Y方向およびZ方向に移動させるようにしてもよい。
測定対象となるa−a断面、b−b断面およびc−c断面は、光軸Lと垂直な断面である。
次に、第四の実施形態の動作を説明する。
(1)a−a断面の測定(第11図(a)参照)
被測定物1または入射用レンズ22をY方向に移動させて(入射用レンズ22の焦点距離を変化させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標をYaにあわせる。ここで、被測定物1または光軸Lを、光軸Lと垂直かつ互いに垂直なX方向およびZ方向に移動させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
ビーム径が最小値dとなる位置は、空間分解能が高く、a−a断面である。被測定物1または光軸LをX方向およびZ方向に移動させることで、a−a断面の全域に、テラヘルツ波を照射する。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1のa−a断面の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。画像導出装置10は、a−a断面についての画像を導出する(a−a断面の測定に相当)。画像導出装置10により導出されたa−a断面の画像は、ディスプレイ8により表示される。
(2)b−b断面の測定(第11図(b)参照)
被測定物1または入射用レンズ22をY方向に移動させて(入射用レンズ22の焦点距離を変化させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標をYbにあわせる。ここで、被測定物1または光軸Lを、光軸Lと垂直かつ互いに垂直なX方向およびZ方向に移動させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
ビーム径が最小値dとなる位置は、空間分解能が高く、b−b断面である。被測定物1または光軸LをX方向およびZ方向に移動させることで、b−b断面の全域に、テラヘルツ波を照射する。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1のb−b断面の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。画像導出装置10は、b−b断面についての画像を導出する(b−b断面の測定に相当)。画像導出装置10により導出されたb−b断面の画像は、ディスプレイ8により表示される。
(3)c−c断面の測定(第11図(c)参照)
被測定物1または入射用レンズ22をY方向に移動させて(入射用レンズ22の焦点距離を変化させてもよい)、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標をYcにあわせる。ここで、被測定物1または光軸Lを、光軸Lと垂直かつ互いに垂直なX方向およびZ方向に移動させる。
ここで、電磁波出力器2から0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波(例えば、テラヘルツ波)を被測定物1に向けて出力する。被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波は、入射用レンズ22により、ビーム径が小さくされながら、被測定物1に与えられる。
ビーム径が最小値dとなる位置は、空間分解能が高く、c−c断面である。被測定物1または光軸LをX方向およびZ方向に移動させることで、c−c断面の全域に、テラヘルツ波を照射する。
テラヘルツ波は被測定物1を透過し、ビーム径がdから次第に大きくなっていき、対物レンズ24に与えられる。対物レンズ24は、被測定物1を透過したテラヘルツ波のビーム径を一定値(例えば、D)にして、電磁波検出器4に与える。
被測定物1を透過した電磁波は、対物レンズ24を介して、電磁波検出器4により検出される。このようにして、被測定物1のc−c断面の走査が行われる。
電磁波検出器4の検出結果は、画像導出装置10に与えられる。画像導出装置10は、c−c断面についての画像を導出する(c−c断面の測定に相当)。画像導出装置10により導出されたc−c断面の画像は、ディスプレイ8により表示される。
上記のように、テラヘルツ波のビーム径が最小値dとなる位置の光軸Lにおける座標をYa、Yb、Ycの三種類に設定し(複数種類であれば、三種類に限定されない)、各々の座標における電磁波検出器4の検出結果に基づき、a−a断面、b−b断面およびc−c断面の画像が導出される(被測定物1の測定に相当)。
第四の実施形態によれば、直方体状でY方向に厚みのある被測定物1のXZ断面の測定の空間分解能を高めることができる。
Claims (19)
- 0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、
前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる回転駆動部と、
前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、
を備え、
前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が、前記回転軸の前記光軸における座標とは異なる、
電磁波測定装置。 - 請求項1に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面における半径をrとし、
前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標と、前記回転軸の前記光軸における座標との距離をpとしたときに、
0.3r≦p≦0.7rである、
電磁波測定装置。 - 請求項2に記載の電磁波測定装置であって、
p=0.5rである、
電磁波測定装置。 - 請求項1に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、
前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標と、前記回転軸の前記光軸における座標との距離をpとしたときに、
前記断面の測定の際の空間分解能が、前記断面の全域にわたって、所望の値になるように、pが定められている、
電磁波測定装置。 - 請求項1に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、
前記断面と前記回転軸との交点とは異なる、前記断面における所定の測定点の前記光軸における座標と、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標とを一致させるようにする、
電磁波測定装置。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の電磁波測定装置であって、
前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の電磁波測定装置であって、
前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、
前記光軸および前記回転軸と垂直な方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行う、
電磁波測定装置。 - 0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、
前記入射用光学系の光軸と垂直な方向の直線を回転軸として、前記被測定物または前記光軸を回転させる回転駆動部と、
前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、
を備え、
前記回転軸の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されており、
各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われる、
電磁波測定装置。 - 請求項10に記載の電磁波測定装置であって、
前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項10に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項10に記載の電磁波測定装置であって、
前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項10ないし13のいずれか一項に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物の、前記回転軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、
前記光軸および前記回転軸と垂直な方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行う、
電磁波測定装置。 - 0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波のビーム径を小さくしながら、被測定物に前記測定用電磁波を与える入射用光学系と、
前記被測定物を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、
を備え、
前記被測定物の所定部分の前記光軸における座標を原点とした場合の、前記ビーム径が最小となる位置の前記光軸における座標が複数種類設定されており、
各々の種類の座標における前記電磁波検出器による検出結果に基づき、前記被測定物の測定が行われる、
電磁波測定装置。 - 請求項15に記載の電磁波測定装置であって、
前記入射用光学系を前記光軸方向に移動させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項15に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物を前記光軸方向に移動させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項15に記載の電磁波測定装置であって、
前記入射用光学系の焦点距離を変化させることができる、
電磁波測定装置。 - 請求項15ないし18のいずれか一項に記載の電磁波測定装置であって、
前記被測定物の、前記光軸と垂直な平面の断面を測定するものとし、
前記光軸と垂直であり、かつ互いに垂直な二つの方向に、前記被測定物または前記光軸を移動させながら、前記断面の測定を行う、
電磁波測定装置。
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