JP5491909B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
また、ノズル内部に形成された金属膜が、各ノズルで入り込み量が異なっていたり、余剰に金属膜が形成されていた場合に、金属膜を除去することで、金属膜のノズル内の入り込み量を一定にすることができる。したがって、各ノズルの吐出性能のばらつきを抑えることができる。
図1は、本発明に係るインクジェットヘッドが組み込まれたインクジェット記録装置100を模式的に示す構成図である。
置156は、例えば、表面に処理液が付与された塗布ローラを記録媒体122の記録面に当接させて、処理液を付与するが、これに限定されるものではない。例えば、後述するインクヘッドと同様のヘッドによって処理液を吐出して付与するようにしても良い。処理液が付与された記録媒体122は、さらにドライヤ158とヒータ160で乾燥されたのち、第1の中間搬送ドラム124に受け渡される。
次に本発明のインクジェットヘッドに用いられるノズルプレート30の製造方法について図4を用いて説明する。
図4(a)に示すように、ノズルプレート30にシリコン基板を用いてノズル32を形成する。ノズルの形状は、ノズル流路34側からノズルプレートの吐出面側に向って先細りとなっているテーパーノズルであることが好ましい。また、ノズル出口の形状は、特に限定されないが、丸形状とすることで、角に応力が集中することを防止することができるので、磨耗や欠けを防止することができる。
図4(b)に示すように、ノズルプレート30の吐出面側に、金属膜42を成膜する。金属膜42は、ノズルプレート30の吐出面側からノズル32の内部に入り込み、ノズル32の端部を覆うように形成される。
次に、図4(c)に示すように、金属膜42の上から保護シートを貼り付ける。なお、(3)保護シート接合工程、(4)エッチング工程、(5)保護シート除去工程は、(2)金属膜成膜工程で成膜した金属膜42のノズル32内への入り込み量が異なる場合に行えばよいので、省略することも可能である。金属膜42の入り込み量が異なると、ノズル32毎に吐出量が異なってしまう場合があり、吐出性能に悪影響を与える。
次に図4(d)に示すように、エッチングにより余分な金属膜の除去を行う。エッチングは余分な金属膜にエッチング液を付与することで行う。すでに、ノズルプレート30に下部流路構造体20が貼り付けてある場合は、流路にエッチング液を流すことで、エッチングを行う。また、エッチング液を流した後は洗浄を行う。
次に、図4(e)に示すように、保護シート44の除去を行う。保護シート44の除去は、各材料に応じた溶剤やアルカリなどの剥離液を用いて行うことができるが、ノズルプレート30、金属膜42に影響を与えない剥離液を用いることが好ましい。また、気相中で行われるプラズマアッシングにより行うこともできる。
必要に応じて図4(f)に示すように、金属膜42の表面に撥液膜44の形成を行う。撥液膜44は、フッ素系の樹脂、または撥液めっきなどで成膜することができる。
Claims (4)
- シリコン基板にインク吐出用ノズルを形成するノズル形成工程と、
前記ノズルのインク吐出側の面に、前記インク吐出側の面から前記ノズル内部に入り込むように、金属膜を成膜する金属膜成膜工程と、
前記金属膜上で、前記ノズルのインク吐出側の面、および、前記ノズル内部に前記インク吐出側の面から0.5〜1.5μmの距離で入り込むように、保護シートを接合し、前記インク吐出側の面の反対側から余分な金属膜を除去する金属膜除去工程と、
前記シリコン基板に流路構造体を接合する接合工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記金属膜成膜工程は、前記流路構造体を接合した後に行うことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記ノズル形成工程は、異方性ウエットエッチングにより行うことを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記金属膜上に、撥液膜を形成する撥液膜形成工程を有することを特徴とする請求項1から3いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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