JP4342749B2 - 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置 - Google Patents
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Description
本発明は液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置(画像形成装置)として用いるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通するインク流路(吐出室、圧力室、加圧液室、液室等とも称される。)と、このインク流路内のインクを加圧する駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。なお、液滴吐出ヘッドとしては例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、DNAの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明する。
【0003】
インクジェットヘッドとしては、インク流路内のインクを加圧するエネルギーを発生するエネルギー発生手段として、圧電素子を用いてインク流路の壁面を形成する振動板を変形させてインク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させるいわゆるピエゾ型のもの(特開平2−51734号公報参照)、或いは、発熱抵抗体を用いてインク流路内でインクを加熱して気泡を発生させることによる圧力でインク滴を吐出させるいわゆるバブル型のもの(特開昭61−59911号公報参照)、インク流路の壁面を形成する振動板と電極とを対向配置し、振動板と電極との間に発生させる静電力によって振動板を変形させることで、インク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させる静電型のもの(特開平6−71882号公報参照)などが知られている。
【0004】
ところで、インクジェット記録装置においては、高速での特にカラー画像の高画質記録を達成するため、高画質化の面ではマイクロマシン技術を用いた高密度加工が用いられ、ヘッド構成部材の材料も、金属、プラスチックなどからシリコン、ガラス、セラミックスなどに移行し、特に微細加工に適した材料としてシリコンが用いられようになっている。
【0005】
また、カラー化の面では、インク及び記録メディア(媒体)の開発が主であり、記録メディアにインクが付着した時の浸透性や発色性、混色防止性などの面からの最適化や、印字したメディアの長期保存性、インク自身の保存性などを高めるために、インクの成分、組成についても開発が進められている。
【0006】
この場合、インクとヘッド構成部材の材料の組み合わせによっては、インクによってヘッド構成部材がインクに溶解してしまうことがある。特に、流路形成部材をシリコンで形成した場合に、インクにシリコンが溶出して、ノズル部に析出し、ノズルの目詰まりが発生したり、インクの発色性を低下させて画質が劣化する。また、振動板を用いるヘッドにあっては、シリコン薄膜振動板としたときにも同様に振動板を形成するシリコンが溶出すると、振動特性が変動したり、振動不能になる。
【0007】
この場合、ヘッド構成部材の材料の変更で対応したのでは、高密度加工の実現が困難になったり、加工精度の低下なども発生することが多い。また、材料の変更は、加工プロセスの大幅な変更や、組立て工程の工夫が必要になったりする結果、ノズル密度の低下、ひいては印字品質の低下が引き起こされる。
【0008】
一方、インク組成の調整で対応するのでは、もともとインクの成分、組成は印字品質を高めるために記録メディアに対する浸透性、発色性が最適になるように、あるいは保存性が良くなるように調整しているので、成分の変更調整は高画質化を損うことになりかねない。
【0009】
そこで、従来のインクジェットヘッドにあっては、流路形成部材のインクに接する面に耐インク性の薄膜を形成することが行われている。例えば、WO98/42513号公報にはインクに接する面に、チタン又は、チタン化合物あるいは、酸化アルミニウムを形成することが、特開平5―229118号公報にはインクに接する面に酸化物膜を形成すること、特開平10−291322号公報には酸化シリコン膜の表面に耐インク性を有する酸化物、窒化物、金属等の薄膜を形成することが開示されている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のインクジェットヘッドにあっては、無機系の耐インク性膜はインクのpHによって電気化学的に溶解しやすい領域があり、インクに対する要求が厳しくなりやすい。具体的には、例えばシリコン酸化膜では、pH>9のインクに対して溶解してしまうが、一般的に発色性の良いインクのpHは10〜11程度のアルカリ性である場合が多く、このため、耐インク性を確保するためには膜厚をかなり厚くしなければならず、無機系の膜を厚く付けることは、プロセス面でも困難が伴うことが多いうえ、内部応力が発生して流路形成部材の変形を招くという課題が生じる。
【0011】
また、耐インク性膜を成膜する場合、スパッタ法や蒸着法が用いられているが、このとき薄膜を形成するための粒子は方向性を持っているために流路の構造に起因する影の部分が発生して薄膜が部分的に薄くなったり、或いは全く形成されなかったりして、すべての面を完全に薄膜で被覆することが困難であるという課題がある。
【0012】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コストで液体による腐食を防止した信頼性の高い液滴吐出ヘッド及びヘッド一体型のインクカートリッジを提供するとともに、信頼性に優れたインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、
液流路が形成されたシリコンからなる流路形成部材と、
ノズルが形成されたノズル板と、を有し、
流路形成部材の各液流路を隔てる垂直な隔壁のノズル板との接合面側の端部に面取り部が形成され、
隔壁の液体に接する面の全面に有機樹脂膜を含む耐液性薄膜を有する
構成とした。
【0014】
ここで、有機樹脂膜がポリイミド系樹脂膜である構成とでき、この場合、ポリイミド系樹脂膜がポリペンゾオキサゾールを主成分とする構成とできる。また、有機樹脂膜がウレタン系樹脂膜、ウレアー系樹脂膜、フェノール系樹脂膜のいずれかである構成とできる。
また、耐液性薄膜は最表面に有機樹脂膜を有する構成とできる。また、耐液性薄膜は有機樹脂膜と無機膜との積層膜である構成とできる。また、隔壁は断面形状で滑らかな曲線部を有する構成とできる。
【0020】
また、液流路の少なくとも一部の壁面を形成する振動板を有し、振動板がシリコンから形成されている構成とできる。この場合、液流路部材と振動板が一体で形成されている構成とできる。また、耐液性薄膜の膜厚は液流路の側壁面及び底面の少なくともいずれかの膜厚よりも側壁面と底面との角部の膜厚が厚い構成とできる。また、耐液性薄膜の膜厚は振動板中央付近より該振動板の固定端側が厚い構成とできる。また、各液流路を隔てる隔壁と振動板とがなす角部で耐液性薄膜が断面曲面形状である構成とできる。
【0025】
本発明に係るインクカートリッジは、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したものである。
【0026】
本発明に係るインクジェット記録装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したものである。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明の液滴吐出ヘッドの第1実施形態に係るインクジェットヘッドについて図1乃至図5を参照して説明する。なお、図1は同ヘッドの分解斜視説明図、図2は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図、図3は図2の要部拡大説明図、図4は同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図、図5は同ヘッドの圧電素子の異なる例を説明する要部拡大断面説明図である。
【0031】
このインクジェットヘッドは、単結晶シリコン基板で形成した流路形成基板(流路形成部材)1と、この流路形成基板1の下面に接合した振動板2と、流路形成基板1の上面に接合したノズル板3とを有し、これらによってインク滴を吐出するノズル5が連通する流路(インク液室)である加圧液室6、加圧液室6に流体抵抗部となるインク供給路7を介してインクを供給する共通液室8を形成し、これらの流路形成基板1のインクに接する面となる加圧液室6、インク供給路7、共通液室8を各壁面には有機樹脂膜からなる耐液性薄膜10を成膜している。
【0032】
そして、振動板2の外面側(液室と反対面側)に各加圧液室6に対応して積層型圧電素子12を接合し、この積層型圧電素子12はベース基板13に接合して固定し、この圧電素子12の列の周囲にはスペーサ部材14をベース基板13に接合している。
【0033】
この圧電素子12は、図3にも示すように、圧電材料15と内部電極16とを交互に積層したものである。ここでは、図3に示すように圧電素子12の圧電方向としてd33方向の変位(ここでは積層方向と直交する方向の変位)を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成としている。なお、図5に示すように、圧電素子12の圧電方向としてd31方向の変位(ここでは積層方向と直交する方向の変位)を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成とすることもできる。ベース基板13及びスペーサ部材14には共通液室8に外部からインクを供給するためのインク供給口9を形成する貫通穴を形成している。
【0034】
また、流路形成基板1の外周部及び振動板2の下面側外縁部をエポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したヘッドフレーム17に接着接合し、このヘッドフレーム17とベース基板13とは図示しない部分で接着剤などで相互に固定している。さらに、圧電素子12には駆動信号を与えるために半田接合又はACF(異方導電性膜)接合若しくはワイヤボンディングでFPCケーブル18を接続し、このFPCケーブル18には各圧電素子12に選択的に駆動波形を印加するための駆動回路(ドライバIC)19を実装している。
【0035】
ここで、流路形成基板1は、結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液(KOH)などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、各加圧液室6となる貫通穴、インク供給路7となる溝部、共通液室8となる貫通穴をそれぞれ形成している。この場合、各加圧液室6は隔壁部(液室間隔壁)20によって区画している。
【0036】
振動板2はニッケルの金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法で製造している。この振動板2は加圧液室6に対応する部分に変形を容易にするための薄肉部21及び圧電素子12と接合するための厚肉部22を形成するとともに、液室間隔壁20に対応する部分にも厚肉部23を形成し、平坦面側を流路形成基板1に接着剤接合し、厚肉部23をフレーム17に接着剤接合している。この振動板2の液室間隔壁20に対応する厚肉部23とベース基板13との間には支柱部24を介設している。この支柱部24は圧電素子12と同じ構成である。
【0037】
ノズル板3は各加圧液室6に対応して直径10〜30μmのノズル5を形成し、流路形成基板1に接着剤接合している。このノズル板3としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂との組み合せ、、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面(吐出方向の表面:吐出面)には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【0038】
そして、このインクジェットヘッドにおいては、前述したように、液流路を形成する共通液室8、流体抵抗部7、加圧液室6のインクと接する面に有機樹脂膜からなる耐液性(ここでは、耐インク性、耐腐食性)薄膜10を成膜している。この耐液性薄膜10である有機樹脂膜としては、ポリイミド系樹脂膜、ウレタン系樹脂膜、ウレアー系樹脂膜、フェノール系樹脂膜などを用いることができる。
【0039】
ポリイミド系樹脂膜は、ポリイミドを主成分とするものと、ポリペンゾオキサドール主成分とするものとがある。いずれも、▲1▼耐薬品性が良く、強酸や弱アルカリ材料に強く、紫外線にも強く対候性もある。▲2▼耐熱性が高く、一般には200℃程度であるが350℃程度の耐熱性を有する材料もある。▲3▼扱い易く、1液加熱ラジカル反応によるアミド材料(オリゴマー)がポリイミドの高分子材料となる。薬液管理が容易である。▲5▼薄膜化したときに高品質の膜が得られる。すなわち、オリゴマー(低分子)を熱による重合反応で高分子化する。無溶媒系のため全部の材料が残り薄膜の品質がよく、ピンホール発生率が小さいという特徴がある。
【0040】
具体的には、ポリイミドを主成分とするものは、宇部興産(株)製のユピコート、U−ワニス、リソコート、ユピファン(いずれも商品名)、東レ(株)製のホトニース(商品名)、またポリペンゾオキサドールを主成分とするものは、住友ベークライト(株)製のスミレジンエクセルCRC−8000シリーズ(商品名)などを用いることができ、特に上記スミレジンエクセルCRC−8000シリーズ(商品名)が適している。
【0041】
ウレタン系樹脂膜は、エマルジョンタイプで水溶媒(有機セロゾルブ溶媒もある)で対環境、作業性が良いという特徴がある。膜としては柔らかく、柔軟性があり、耐熱性は120℃以下が多い。成膜したハードコート膜はインク信頼性の評価に耐え得ることを確認している。具体的には、武田薬品製のタケラックW−6010、W−6020、W−635、WS−5000(いずれも商品名)などがあり、特にタケラックW−6010、WS−5000(いずれも商品名)が好ましい。
【0042】
フェノール系樹脂膜は、フェノール類とアルデヒド類の縮合系樹脂で、耐熱、耐薬品性、耐候性が大きく、非常に硬い膜で、液状ワニスのコート成膜で形成することができる。
【0043】
樹脂膜としては、この他に、フッ素系樹脂膜もあり、これでも浸透性の高いインクでは気泡レスで充填も可能であるが、撥水性を有するため、親水化処理が必要になる。また、電着コート系樹脂膜もあり、これは自動車工業分野が一般的であるものの、電子デバイスへの精密コートも検討されている段階で、必要な部分に必要な膜厚をコントロールし、加熱エージング80〜120℃でハードコート化される。アルキッド樹脂等のカチイオン系で実績が得られている。
【0044】
これらの有機樹脂膜のうちでは、ポリイミド系樹脂膜が上述した特徴及び後にも述べる理由からは最も好ましい。ポリイミド系樹脂膜としては、ポリイミドを主成分とするもの、あるいは、ポリペンゾオキサゾールを主成分とするものが好ましい。
【0045】
ここで、流路形成基板1の各加圧液室6を形成する貫通穴の壁面(インクに接する面)のすべてを耐液性薄膜10で完全に被覆している。この場合、ノズル板3を接合する各加圧液室6を隔てる隔壁20(外壁部を含む)は、後にも述べるが、その側壁面(加圧液室6の側壁面となる面)が耐液性薄膜10で完全に被覆されるような形状、好ましくは、2つ以上の角を持つ形状、或いは任意の曲率を持つ形状、或いは傾斜形状とすることが好ましい。
【0046】
なお、ここでは、流路形成基板1の全表面に耐液性薄膜10を成膜しているが、少なくともシリコンが露出している面を被覆していれば良い。すなわち、このインクジェットヘッドのように、薄膜振動板2をニッケルなどの金属プレートで形成した場合の振動板2の液室側表面、隔壁20のノズル板3と接合する表面(上端面)には必ずしも耐液性薄膜10を成膜しなくとも良い。
【0047】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、圧電素子12に対して選択的に20〜50Vの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子12が積層方向(図3の場合)に変位して振動板2をノズル5方向に変形させ、加圧液室6の容積/体積変化によって加圧液室6内のインクが加圧され、ノズル5からインク滴が吐出(噴射)される。
【0048】
そして、インク滴の吐出に伴って加圧液室6内の液圧力が低下し、このときのインク流れの慣性によって加圧液室6内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子12への電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板2が元の位置に戻って加圧液室6が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、インク供給口9から共通液室8、流体抵抗部であるインク供給路7を経て加圧液室6内にインクが充填される。そこで、ノズル5のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐出のために圧電素子12にパルス電圧を印加しインク滴を吐出させる。
【0049】
このインクジェットヘッドにおいては、流路形成基板1のインクに接する面を有機樹脂膜である耐液性薄膜10で被覆しているので、特に流路形成部材となるシリコンのインク中への溶出が防止され、ノズルの目詰まりなどもなく、長期の動作安定性及び信頼性が得られることを確認した。
【0050】
次に、前述したシリコン流路形成部材である流路形成基板1のノズル板3と接着する加圧液室6の壁面上端部(隔壁20の側壁面上端部)が耐接性薄膜10で完全に被覆される隔壁20の形状の異なる例について図6及び図7を参照して説明する。なお、各図はヘッドの振動板短手方向に沿う拡大断面説明図である。
【0051】
図6に示す第1例は、加圧液室6間の隔壁20の上端部を断面形状で少なくとも2つ以上の多角形をなすように面取り部20a、20aを形成したものであり、この隔壁20の表面を耐液性薄膜10で被覆し、更に、隔壁20上にノズル5が形成されたノズル板3を接合している。
【0052】
このように加圧液室6の隔壁20の上端部が面取りされて形成されていることにより、耐液性薄膜10の液室上端部(A部)での被覆性は非常に良く、加圧液室6の隔壁20の構成部材であるシリコンがA部で露出することがなくなる。従前はこの部分で耐腐食性膜のカバレージ不足によって加圧液室間隔壁の構造体であるシリコンが露出し、構造体の腐食が発生していたが、このように完全に被覆されることで隔壁の腐食を防止できる。
【0053】
図7に示す第2例は、加圧液室6間の隔壁20の壁面20b、20bを断面形状で順傾斜形状に形成し、この隔壁20の表面全面を耐液性薄膜10で被覆し、更に、隔壁10上にノズル5が形成されたノズル板3を接合している。
【0054】
このように加圧液室の隔壁20が断面順傾斜形状に形成されていることにより、耐液性薄膜10の液室上端部(B部)での被覆性は非常に良く、加圧液室の隔壁部の構成部材であるシリコンがB部で露出することがなくなる。従前はこの部分で耐腐食性膜のカバレージ不足によって加圧液室隔壁の構造体であるシリコンが露出し、構造体の腐食が発生していたが、このように完全に被覆されることで隔壁の腐食を防止できる。
【0055】
次に、流路形成部材(流路形成基板)の作製工程について図8及び図9を参照して説明する。なお、図8は流路形成部材の断面説明図、図9は図8の側断面説明図である。
まず、各図(a)に示すように、伝導型がP型又はN型で、結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板31を用いて、加圧液室6(及び流体抵抗部7や共通液室8)を規定する酸化シリコン、或いは,窒化シリコン,五酸化タンタル等の単結晶シリコンのエッチングマスクパターン32を形成する。
【0056】
そして、各図(b)に示すように、エッチングマスクパターン32を形成した側からKOH、TMAH等によってシリコン基板31を異方性エッチングして加圧液室6となる貫通穴33を形成する。
【0057】
次いで、各図(c)に示すように、シリコン基板31表面全面にレジスト34を塗布し、全面エッチバックを行う。全面エッチバックによって、各図(d)に示すように、段差上部では下地のシリコンがエッチングされその角が任意の曲率を有する面取りされた形状、又は、多角形の形状になる。そして、ここで残ったレジスト34を全面除去する。これにより、各図(e)に示すようにすべての段差(隔壁20となる部分)の上部の角が面取りされたシリコン基板31が完成する。
【0058】
その後、各図(e)に示すように、シリコン基板31表面の全面に液に対する耐液性薄膜(耐腐食性薄膜)10となる有機樹脂膜をスプレーコート法により形成する。このとき、貫通穴33の壁面(加圧液室6の側壁面となる)を含む全ての面は耐液性薄膜10で被覆され、構造体であるシリコン基板31が露出される箇所がなくなる。
【0059】
このようにして、シリコンからなる流路形成部材のインク(液)が接する全ての表面にインク(液)に対して耐腐食性を持つ耐液性有機薄膜が形成される。そして、このシリコン基板(流路形成部材)31にインク滴を吐出するノズルを形成したノズル板及び圧電素子を接合する振動板を接合することで液室ユニットが形成される。
【0060】
次に、本発明の第2実施形態に係るインクジェットヘッドついて図10及び図11を参照して説明する。なお、図10は同ヘッドの分解斜視説明図、図11は同ヘッドの液室短手方向の断面説明図である。
このインクジェットヘッドは、第1実施形態の流路形成基板1及びノズル板3に相当する流路形成部材41上に振動板42を積層し、この振動板42に保持部材43で保持した圧電部材44を接合している。
【0061】
流路形成部材41はシリコン基板からなり、異方性エッチングによって、インク滴を吐出するノズル45となる溝、ノズル45が連通する加圧液室46となる凹部、流体抵抗部であるインク供給路47となる溝部、共通液室48となる凹部を形成し、共通液室48に連通するインク供給口49を形成している。そして、この流路形成部材41のインクに接する面であるノズル45、加圧液室46、流体抵抗部46、共通液室48の壁面には有機樹脂膜である耐液性薄膜10(図10では図示省略)を成膜している。
【0062】
圧電部材44は圧電材料からなるグリーンシートのみを複数枚積層して形成した非駆動部分51上にグリーンシートと内部電極とを交互に積層して形成した駆動部分52を形成し、非駆動部分51に達し、かつ非駆動部分51を残して駆動部分52に溝加工を施することで、各加圧液室46に対応する駆動部分52からなる複数の圧電素子53を形成している。この圧電素子53の先端部は振動板42に接合している。
【0063】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、圧電素子53に対して選択的に20〜50Vの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子53が積層方向に変位して振動板42を変形させ、加圧液室46の容積/体積変化によって加圧液室46内のインクが加圧され、ノズル45から圧電素子53の変位方向と直交する方向にインク滴が吐出(噴射)される。なお、その後の動作は前記第1実施形態のインクジェットヘッドと同様である。
【0064】
そして、このインクジェットヘッドにおいても、流路形成部材41のインクに接する面を有機樹脂膜である耐液性薄膜10で被覆しているので、シリコンのインク中への溶出が防止され、ノズルの目詰まりなどもなく、長期の動作安定性及び信頼性が得られることを確認した。
【0065】
なお、この実施形態においても、加圧液室46の隔壁55の振動板42と接合する側の部分を例えば図6又は図7に示すような断面形状にすることで、流路形成部材41の各加圧液室46を形成する凹部の壁面(インクに接する面)のすべて、すなわち隔壁50の側壁面を耐液性薄膜10で完全に被覆することができる。
【0066】
次に、本発明の第3実施形態に係るインクジェットヘッドの異なる例について図12及び図13を参照して説明する。なお、図12は同ヘッドの一例を示す振動板短手方向に沿う断面説明図、図13は同ヘッドの他の例を示す振動板短手方向に沿う断面説明図である。
【0067】
これら各例のインクジェットヘッドは、流路形成部材61に振動板62を一体形成し、ノズル板63を接合して、ノズル65が連通する加圧液室66等の液流路を形成している。ここで、図12の例はノズル板63に貫通するノズル65を形成してサイドシュータタイプにしたもの(第1実施形態と同様のタイプ)、図12の例はノズル板63に加圧液室66に連通する溝状のノズル65を形成してエッジシュータタイプにしたもの(第2実施形態と同様のタイプ)である。
【0068】
流路形成部材61はシリコン基板からなり、例えば結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板に高濃度P型不純物拡散層、例えばボロン拡散層を形成し、KOH水溶液などのエッチング液を用いて異方性エッチングすることで、ボロン拡散層がエッチングストップ層として機能してエッチストップするので、加圧液室66となる凹部の底面にボロン拡散層による高精度厚みの振動板62を一体に形成したものである。
【0069】
そして、この流路形成部材61のインクに接する面(加圧液室66の壁面であり、液室間隔壁69の側壁面及び振動板62表面など)には有機樹脂膜からなる耐液性薄膜10を成膜している。このインクジェットヘッドでは、振動板62をシリコン薄膜で形成しているので、振動板62の液室側表面にも耐液性薄膜10を形成することで、振動板62の溶出を防止できて振動特性のバラツキや振動不良などがなくなり、信頼性、安定性が向上する。
【0070】
また、振動板62の外面側には中間層(絶縁層)70を形成して、各加圧液室66に対応する下電極層71、圧電層72及び上電極層73を形成している。ここで、下電極層71は白金や白金属元素(Pb、Rh、Ih、Ru)などの高融点金属、及びそれらの合金を主成分とする電極材料をスクリーン印刷で形成し、この下電極層71上にPZTを主成分とする材料等の圧電材料を仮焼粉をペースト加工してスクリーン印刷し、更に上電極層73となる銀−パラジウム合金などをスクリーン印刷で形成している。
【0071】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、圧電層72の電極71、72に対して選択的に駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電層72が変形して振動板62を変形させ、加圧液室66の容積/体積変化によって加圧液室66内のインクが加圧され、ノズル65からインク滴が吐出(噴射)される。なお、その後の動作は前記第1実施形態のインクジェットヘッドと同様である。
【0072】
そして、このインクジェットヘッドにおいても、振動板62を含む流路形成部材61のインクに接する面を有機樹脂膜である耐液性薄膜10で被覆しているので、シリコンのインク中への溶出が防止され、ノズルの目詰まり、振動特性の変動、振動不良などもなく、長期の動作安定性及び信頼性が得られることを確認した。
【0073】
次に、本発明の第4実施形態に係るインクジェットヘッドについて図14乃至図18を参照して説明する。なお、図14は同ヘッドの平面説明図、図15は図14のC−C線に沿う断面説明図、図16は図14のD−D線に沿う断面説明図、図17は図14のE−E線に沿う断面説明図、図18は図14のF−F線に沿う断面説明図である。
【0074】
このインクジェットヘッドは、流路形成部材である第1基板81と、この第1基板81の下側に設けた電極基板である第2基板82と、第1基板81の上側に設けた第3基板でもあるノズル板83とを備え、これらによりインク滴を吐出する複数のノズル85が連通する液流路である加圧液室86、加圧液室86に流体抵抗部87を介してインクを供給する共通液室88などを形成し、インクは第2基板82に形成した裏面流路(インク供給口)89から供給されて、共通液室88、流体抵抗部87、加圧液室86を経て、ノズル85より液滴として噴射される。
【0075】
第1基板81には加圧液室86及び加圧液室86の壁面である底面を形成する振動板90を形成する凹部、流体抵抗部87となる溝部、共通液室88を形成する貫通穴などを設け、これらの加圧液室86、振動板90、流体抵抗部87、共通液室88を形成する第1基板81のインクに接する面の全面に有機樹脂膜からなる耐液性薄膜10を成膜している。また、各加圧液室86は隔壁93によって区画されている。
【0076】
この第1基板81は、例えば結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板に高濃度P型不純物拡散層、例えばボロン拡散層を形成し、KOH水溶液などのエッチング液を用いて異方性エッチングすることで、ボロン拡散層がエッチングストップ層として機能してエッチストップするので、ボロン拡散層による高精度厚みの振動板90を形成したものである。
【0077】
また、例えば、シリコン基板を酸化膜を介して接合したSOI基板を用いて形成することができる。この場合も、加圧液室86となる凹部をKOH水溶液などのエッチング液を用いて異方性エッチングすることにより、酸化膜層をエッチストップ層として振動板90を形成できる。
【0078】
この第1基板81には振動板90に外部から電圧を印加するFPCやワイヤーボンディング等の実装を行うための振動板電極パッド95を形成している。この振動板電極パッド95としては、Au、Al、Pt、TiN、Ni等の金属を用いることができる。また、振動板電極パッド95は駆動電極から数μmの高さで離れた位置にせり出した振動板90上から第1基板81にかけて覆うように形成されている。
【0079】
第2基板82にはn型又はp型の不純物原子が1E14/cm3〜5E17/cm3含まれる単結晶シリコン基板を用いている。通常は、面配向(100)の単結晶シリコン基板を用いるが、プロセスに応じて(110)又は(111)の単結晶シリコン基板を用いることもでき、また、単結晶シリコン基板以外にパイレックスガラス等のガラス基板、セラミックス基板などをも用いることができる。
【0080】
そして、第2基板82にはHTO、LTO、熱酸化法、CVD法、スパッタ法等により絶縁膜102を形成し、この絶縁膜102をフォトリソグラフィ、エッチングにより加工して電極形成用溝104を形成し、この電極形成用溝104の底面に振動板90にギャップ106をおいて対向する駆動電極105を形成し、これらの振動板90と対向する駆動電極105とによって振動板90を静電力で変形させるマイクロアクチュエータを構成している。
【0081】
なお、絶縁膜102の膜厚はインクジェットヘッド駆動電圧等の動作特性を左右する設計パラメータであるので、インクジェットヘッドの動作仕様に応じて適切に選択される。この絶縁膜102の電極形成用溝104以外の部分はギャップ106を規定するギャップスペーサ部となる。
【0082】
駆動電極105は、チタン、タングステン、タンタル等の高融点金属とその窒化物、或いはそれらの化合物、或いはそれらの積層構造、Al、ポリシリコン等を用いることができる。また、図示しないが、単結晶シリコン基板の導電型と異なる導電性不純物層を形成し、拡散電極としてもよい。
【0083】
そして、この駆動電極105の表面(少なくとも振動板90側表面)には絶縁保護膜(ギャップ膜)107を成膜している。この絶縁保護膜107としては、HTO、LTO、熱酸化法、CVD法、スパッタ法等により形成したシリコン酸化膜等を用いることができる。
【0084】
また、駆動電極105は外部に引き出して外部駆動回路(駆動IC)から電圧を印加するFPCやワイヤーボンディング等の実装を行うための電極パッド部108を一体に設けている。前述した振動板電極パッド95と駆動電極105とは数μmの段差であり、電極引出しをFPCやワイヤーボンディング等で同時に行なうことができる。FPCの場合は1枚のFPCで異方性導電膜を介して接続することができ、ワイヤボンディングの場合は駆動電極105と振動板電極パッド95とで高さ調整をすることなく連続でボンディングすることができる。
【0085】
さらに、第2基板82には共通液室88に外部からインクを供給する貫通穴からなるインク供給口89を形成している。このインク供給孔89の開口部は二列の千鳥配列からなるノズル85の各列の中央部にノズル列と平行に形成している。そして、このインク供給孔89の開口部はノズル列長以上の長さを有しており、インク供給孔89の開口部から吐出用ノズル85までの距離が同じになるようにしている。
【0086】
ノズル板83にはインク滴を吐出する複数のノズル85を二列千鳥状に配置形成している。このノズル板83としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルム等の樹脂、シリコンウエハ等及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面(吐出方向の表面:吐出面)には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【0087】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、振動板90を共通電極とし、電極105を個別電極として、振動板90と電極105との間に駆動電圧を印加することによって、振動板90と電極105との間に発生する静電力によって振動板90が電極105側に変形変位し、この状態から振動板90と電極105間の電荷を放電させる(駆動電圧を0にする)ことによって振動板90が復帰変形して、液室86の内容積(体積)/圧力が変化し、ノズル85からインク滴が吐出される。
【0088】
このとき、振動板90を含む第1基板81のインクに接する面を有機樹脂膜である耐液性薄膜10で被覆しているので、シリコンのインク中への溶出が防止され、ノズルの目詰まり、振動特性のバラツキ、振動不良などもなく、長期の動作安定性及び信頼性が得られる。
【0089】
次に、耐液性薄膜である有機樹脂膜の成膜構造の第一例について図19及び図20を参照して説明する。なお、図19は静電型インクジェットヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図、図20は同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図である。ここでは、第4実施形態のインクジェットヘッドと対応する部分には同一符号を付してヘッド構成の具体的説明を省略する。
【0090】
この例は、加圧液室86の壁面に形成した耐液性薄膜10に加圧液室86の底部隅(角部)で曲率を持たせた形状にしたものである。
すなわち、上述したように例えば結晶面方位(110)のシリコン基板(シリコンウエハ)をアルカリ性エッチング液を用いた異方性ウエットエッチングすることで加圧液室86等の液流路及び振動板90を形成し、加圧液室86の壁面(隔壁93の壁面及び振動板90の液室側表面)を含む第1基板1の全面に耐液性薄膜10を形成している。
【0091】
ここで、耐液性薄膜10の材料としては前述したようにポリイミド等の有機樹脂材料である。有機樹脂材料を用いることで、加圧液室86などの凹部にパーティクルが存在した場合でも容易にコーティングすることができる。これが無機材料の場合、形成方法としてスパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等が主であり、パーティクルの影になった部分には耐液性薄膜が形成されにくく、その影になった部分からインクが染み込み、加圧液室86の隔壁93やシリコン薄膜振動板90を腐食してしまうことになる。
【0092】
耐液性薄膜10はポリイミド系樹脂、特に、ポリベンゾオキサゾールを主成分とした膜が有効である。このポリベンゾオキサゾールを主成分とした膜は吸水性が低く膨潤し難い特性を示す。また、主にアルカリ性のインクを使用するインクジェットヘッド用インクに対しても溶解性が低い。更には、加圧液室86を形成する構造体に用いるシリコンとの密着性も十分に得られる。
【0093】
第1基板81に(110)シリコンウエハ用いた場合、振動板短手方向に沿う断面で、加圧液室86の断面形状は図19に示すように溝(凹部)底部で略垂直をなす壁面となり、振動板長手方向に沿う断面で、加圧液室86の断面形状は図20に示すように溝底部で溝底部で約144.77°の角度をなす傾斜面となる。
【0094】
そこで、図19及び図20に示すように、耐液性薄膜10は加圧液室86となる溝(凹部)周辺の隅部で曲率部10aを持つ形状に成膜し、加圧液室86となる溝(凹部)周辺の隅の内角の2等分線と交わる耐液性薄膜10の曲率部10aの膜厚t2、t3が少なくとも振動板90の中央付近の膜厚t1の2倍以上になるなるように成膜する。
【0095】
すなわち、加圧液室86となる溝周辺の隅はシリコン薄膜振動板90が変位するときの固定端Gをなすため、シリコン薄膜振動板90の固定端G近傍の耐液性薄膜10に応力集中が起こり耐液性薄膜10に剥がれが発生しやすくなる。
【0096】
そこで、その応力集中を緩和するために、耐液性薄膜10の膜厚tを厚くしている。また、シリコン薄膜振動板90の固定端G、H近傍での耐液性薄膜10の形状に曲率を持たせることで、更なる応力緩和ができるとともに、加圧液室86内のインクの流れも澱みの少ない流れを作ることができ、気泡のトラップも防止され、吐出効率が向上し、吐出特性も安定する。
【0097】
一方、耐液性薄膜10の加圧液室86底面での膜厚、すなわち振動板90の表面における耐液性薄膜10の膜厚は振動板90の振動特性に影響を与える。同じ駆動電圧下では膜厚が薄い場合より膜厚が厚い場合では振動変位が小さくなる。したがって、振動板90表面の膜厚はインクによる腐食が防止できる範囲で薄くするのが好ましい。シリコン薄膜振動板90中央付近の膜厚t1に対して固定端G、H付近での膜厚は上記した理由により膜厚を厚くする必要がある。
【0098】
そこで、シリコン薄膜振動板90中央付近の膜厚t1の2倍の膜厚以上を有する表面積は、近傍シリコン薄膜振動板90表面積の約1/2以下にすることが好ましい。
【0099】
有機樹脂薄膜である耐液性薄膜10を上記説明のように形成するには、有機樹脂材料をスプレー塗布法で塗布して成膜することが好ましい。スプレー塗布の一つの方法として、加圧液室86等を形成した流路形成部材(第1基板)を低速回転させながら揮発性の高い溶剤で希釈した有機薄膜ポリマーを噴霧する方法を用いることができる。その噴霧したポリマーの膜を熱硬化させて耐液性薄膜10を形成する。
【0100】
ポリベンゾオキサゾールを主成分とした有機樹脂膜を耐液性薄膜10として用いる場合は、窒素ガス雰囲気中で150℃で30分処理し、更に320℃まで温度を上げ30分熱処理することで、吸水性が低く膨潤し難い膜を形成できる。
【0101】
また、耐液性薄膜10の他の形成方法としては基板表面で空気の流れを抑えるようにしスピンコートする方法を用いることができる。空気の流れを抑える方法としては、基板の回転と同期して回転するようにした蓋をかぶせる方法を用いることができる。
【0102】
次に、耐液性薄膜である有機樹脂膜の成膜構造の第2例について図21及び図22を参照して説明する。なお、図21は静電型インクジェットヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図、図22は同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図である。ここでも、第4実施形態のインクジェットヘッドと対応する部分には同一符号を付してヘッド構成の具体的説明を省略する。
【0103】
この例は、加圧液室86の壁面に形成した耐液性薄膜10に加圧液室86の底部隅(角部)でステップ形状にしたものである。すなわち、図21及び図22に示すように、耐液性薄膜10は加圧液室86となる溝(凹部)周辺の隅ではステップ部(段差部)10bを持つ形状に成膜し、加圧液室86となる溝(凹部)周辺の隅の内角の2等分線と交わる耐液性薄膜10のステップ部10bの膜厚t2、t3が少なくとも振動板90の中央付近の膜厚t1の2倍以上になるように成膜する。
【0104】
前述したように、加圧液室86となる溝周辺の隅はシリコン薄膜振動板90が変位するときの固定端Gをなすため、シリコン薄膜振動板90の固定端G、H近傍の耐液性薄膜10に応力集中が起こり耐液性薄膜10に剥がれが発生しやすくなる。
【0105】
そこで、その応力集中を緩和するために、耐液性薄膜10の膜厚tをステップ状に厚くしている。ただし、シリコン薄膜振動板90の固定端G、H近傍にてステップを持たせる形状の耐液性薄膜10とした場合、前記第1例の曲率を持たせた形状と比較すると、加圧液室86内のインクの流れに澱みが大きくなる。
【0106】
このようなステップ形状を有する耐インク性薄膜10を形成するには、膜厚t2の耐液性薄膜を形成した後、シリコン薄膜振動板90の中央部をエッチングにて膜厚t1まで薄くする方法を用いることができる。
【0107】
この例においても、第1例と述べたと同様の理由から、シリコン薄膜振動板90中央付近の膜厚t1の2倍の膜厚以上を有する表面積は、近傍シリコン薄膜振動板90表面積の約1/2以下にすることが好ましい。
【0108】
なお、これらの各例における耐液性薄膜10の膜厚構造は静電型インクジェットヘッドに限らず、前述した圧電素子を用いるピエゾ型インクジェットヘッドにも、後述する発熱抵抗体(電気熱変換素子)を用いるサーマル型インクジェットヘッドにも同様に適用することができる。
【0109】
すなわち、これらの例はいずれも耐液性薄膜10の膜厚を液流路(ここでは加圧液室)の側壁面及び/又は底面(ここでは振動板表面)の膜厚よりも側壁面と底面との角部の膜厚が厚くなるように成膜したものである。なお、ここでは振動板を用いるヘッド例で説明しているが、振動板を用いない後述するサーマル型のヘッドでも同様であり、また、第2実施形態で説明したような振動板表面に耐液性薄膜を成膜しない構造のヘッドにも同様に適用できる。
【0110】
このように角部が厚膜となる膜厚構造とするには上述したスプレー法による成膜方法が有効である。そこで、有機樹脂膜を形成するための液状材料をスプレー法で塗布する場合の具体例について説明する。
先ず、ポリイミドの前駆物質であるポリアミド酸をNメチルピロリドンなどの溶媒を用いて、20cP(25℃)以下の粘度になるまで希釈する。ここででは、3cP(25℃)まで希釈して塗布に用いた。
【0111】
そして、この液をスプレー塗布装置等の手段によって振動板を一体又は別体で形成して一体化した流路形成部材又は振動板を有しない流路形成部材となる基板上に塗布する。このとき、溶媒の蒸発分を考慮して塗布する。
【0112】
次に、ポリアミド酸が塗布された基板を100〜180℃の温度で加熱し、溶媒であるNメチルピロリドンをゆっくりと蒸発させる。ここで用いたNメチルピロリドンの沸点は203℃であるが、この温度に近い温度、あるいはより高い温度で急速に蒸発させると、発泡による膜の不均一化が発生することがあるため、ゆっくりと蒸発させることが好ましい。
【0113】
溶媒が蒸発すると、ポリアミド酸の膜は隔壁の側面や振動板表面に残存する。このとき、膜が薄い場合は、同じ工程を繰り返して製膜し、厚膜化を図ることができる。
【0114】
次に、ポリアミド酸膜が形成された基板を、ゆっくりと加熱し脱水縮合させてポリイミド膜する。ここでは、150℃/15分、200℃/15分、250℃/10分、300℃/10分、350℃/10分処理後、徐冷している。ゆっくりと加熱する目的は、脱水縮合によるイミド化によって、基板に余計な応力が加わらないようにするためである。
【0115】
前述したようにポリイミド膜は各種インクに対して高い接液性(不溶解性、耐膨潤性)を持っており、薄い膜であっても耐インク膜の役割を達成することができる。この場合、厚膜化を図る目的は、振動板表面がエッチング面であるため、僅かではあるが凹凸が存在すること、微細な塵があった場合に耐液性薄膜10のピンホールが生じることを防止するためである。
【0116】
また、他の成膜方法としては、無水ピロメリト酸とビス(4―アミノフェニル)エーテルを高真空下で加熱して、流路形成部材となる基板に蒸着し、基板を加熱して重縮合反応を生起させてポリイミド膜を成膜することができる。この場合、基板を公転、自転させるような動きを行うことで、側壁部分、振動板上面などにも均一性の高い膜を得ることができる。
【0117】
次に、薄膜振動板上に耐液性薄膜10を形成する場合、特にシリコン薄膜振動板上に耐液性薄膜10を形成する場合、膜の持つ応力によって振動板が撓んだり、耐液性薄膜を含む振動板全体の剛性が高くなり、振動板を曲げるために必要な電圧が高くなったりすることがある。
【0118】
上述した静電型インクジェットヘッドにおいて、振動板の剛性(ばね性)を板厚、幅などを変更することで変えた試験ヘッドを作製し、その駆動電圧特性を観察したところ、狙いの剛性の振動板に対して、ばね性で2倍までであれば、駆動電圧は2V以下の変化で収まることが確認された。
【0119】
したがって、耐液性薄膜が付いていないシリコン薄膜振動板のばね定数をK1とすると、耐液性薄膜が付いた振動板のばね定数K2が、2>K2/K1とすることが好ましい。
【0120】
ここで、ばね定数K1=35Exhx3/a4、である(Ex:シリコン振動板のヤング率、hx:シリコン振動板の板厚、a:振動板の短辺方向幅)、ばね定数K2=35/a4*(Exhx3+Eyhy3)、である(Ey:ポリイミド膜のヤング率、hx:ポリイミド膜の膜厚)。これらの関係から、シリコン薄膜振動板の板厚に対してポリイミド膜(耐液性薄膜)の膜厚比が「3」以下であれば、ばね定数比が2以下になることが分かる。したがって、例えばシリコン薄膜振動板の厚さを1μmとしたとき、振動板表面のポリイミド膜の膜厚は、約3μm以下にすることで振動特性への影響が無く、安定した振動特性が得られる。
【0121】
次に、本発明の第5実施形態に係るインクジェットヘッドについて図23乃至図26を参照して説明する。なお、図23は同ヘッドの外観斜視説明図、図24は同ヘッドの分解斜視説明図、図25は同ヘッドの流路形成基板の斜視説明図、図26は同ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【0122】
このインクジェットヘッドは、流路形成部材である第1基板121と、この第1基板121の下側に設けた発熱体基板である第2基板122とを備え、これらによりインク滴を吐出する複数のノズル125、ノズル125が連通する液流路である加圧液室流路126、加圧液室流路126にインクを供給する共通液室流路128などを形成し、インクは第1基板121に形成したインク供給口129から供給されて、共通液室流路128、加圧液室流路126を経て、ノズル125より液滴として噴射される。
【0123】
第1基板121はシリコン基板からなり、エッチングによってノズル125及び加圧液室流路126となる溝部、共通液室流路128となる凹部を形成し、第1シリコン基板121の第2基板122側のインクに接する面を含む全面に有機樹脂膜からなる耐液性薄膜10を成膜している(図25では図示省略)。
【0124】
第2基板122には発熱抵抗体(電気熱変換素子)131と、この発熱抵抗体131に電圧を印加するための共通電極132及び個別電極133が形成されている。
【0125】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、個別電極133に選択的に駆動電圧を印加することによって発熱抵抗体131が発熱して加圧液室流路126のインク中に圧力変化が生起し、このインク中の圧力変化によってノズル125からインク滴が吐出される。
【0126】
このとき、第1基板121のインクに接する面を有機樹脂膜である耐液性薄膜10で被覆しているので、シリコンのインク中への溶出が防止され、ノズルの目詰まりなどもなく、長期の動作安定性及び信頼性が得られる。
【0127】
次に、本発明の第6実施形態に係るインクジェットヘッドについて図27乃至図30を参照して説明する。なお、図27は同ヘッドの平面説明図、図28は図27のI−I線に沿う断面説明図、図29は図27のJ−J線に沿う断面説明図、図30は図27のK−K線に沿う断面説明図である。
【0128】
このインクジェットヘッドは、流路形成部材である第1基板181と、この第1基板181の下側に設けた電極基板である第2基板182と、第1基板181の上側に設けた第3基板でもあるノズル板183とを備え、これらによりインク滴を吐出する複数のノズル185が連通する液流路である加圧液室186、加圧液室186に流体抵抗部187を介してインクを供給する共通液室188などを形成し、インクはノズル板183に形成したインク供給口189から供給されて、共通液室188、流体抵抗部187、加圧液室186を経て、ノズル185より液滴として噴射される。
【0129】
第1基板181には加圧液室186及び加圧液室186の壁面である底面を形成する振動板190を形成する凹部、流体抵抗部187となる溝部、共通液室188を形成する凹部などを設け、これらの加圧液室186、振動板190、流体抵抗部187、共通液室188を形成する第1基板181のインクに接する面の全面に窒化チタンなどの無機膜191を成膜し、更にこの無機膜191の表面全面に有機樹脂薄膜192を形成して、有機樹脂膜と無機膜の積層膜からなる耐液性薄膜193を成膜している。また、各加圧液室186は隔壁194によって区画されている。
【0130】
なお、この第1基板181にはシリコン基板を用いて前記第4実施形態の第1基板81と同様にして加圧液室186、振動板190、流体抵抗部187、共通液室188を形成している。
【0131】
第2基板182にはn型又はp型の不純物原子が1E14/cm3〜5E17/cm3含まれる単結晶シリコン基板を用いている。通常は、面配向(100)の単結晶シリコン基板を用いるが、プロセスに応じて(110)又は(111)の単結晶シリコン基板を用いることもでき、また、単結晶シリコン基板以外にパイレックスガラス等のガラス基板、セラミックス基板などをも用いることができる。
【0132】
そして、第2基板182にはHTO、LTO、熱酸化法、CVD法、スパッタ法等により絶縁膜202を形成し、この絶縁膜202をフォトリソグラフィ、エッチングにより加工して電極形成用溝204を形成し、この電極形成用溝204の底面に振動板190にギャップ206をおいて対向する駆動電極205を形成し、これらの振動板190と対向する駆動電極205とによって振動板190を静電力で変形させるマイクロアクチュエータを構成している。
【0133】
そして、この駆動電極205の表面(少なくとも振動板190側表面)には絶縁保護膜(ギャップ膜)207を成膜している。この絶縁保護膜107としては、HTO、LTO、熱酸化法、CVD法、スパッタ法等により形成したシリコン酸化膜等を用いることができる。
【0134】
また、駆動電極205は外部に引き出して外部駆動回路(駆動IC)から電圧を印加するFPCやワイヤーボンディング等の実装を行うための電極パッド部208を一体に設けている。
【0135】
ノズル板183にはインク滴を吐出する複数のノズル85を一列に配置形成している。このノズル板83としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルム等の樹脂、シリコンウエハ等及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面(吐出方向の表面:吐出面)には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【0136】
このように構成したインクジェットヘッドにおいても、振動板190を共通電極とし、電極205を個別電極として、振動板190と電極205との間に駆動電圧を印加することによって、振動板190と電極205との間に発生する静電力によって振動板190が電極205側に変形変位し、この状態から振動板190と電極205間の電荷を放電させる(駆動電圧を0にする)ことによって振動板190が復帰変形して、液室186の内容積(体積)/圧力が変化し、ノズル185からインク滴が吐出される。
【0137】
このとき、第1基板181のインクに接する面に無機膜191と有機樹脂膜192との積層膜からなる耐液性薄膜193で被覆し、有機樹脂膜192を最表面膜として被覆しているので、無機膜191にピンホール欠陥等があっても、シリコンのインク中への溶出が防止され、ノズルの目詰まり、振動特性の変動などもなく、長期の動作安定性及び信頼性が得られる。また、耐液性薄膜を無機膜191と有機樹脂膜192の積層膜とすることで、特にシリコン薄膜振動板190の耐腐食性が向上し、有機樹脂膜192は無機膜191による振動板応力を緩和する応力緩和膜としても機能させることができる。
【0138】
次に、本発明に係るインクカートリッジについて図31の斜視説明図を参照して説明する。
このインクカートリッジ210は、ノズル211等を有する上記各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド212と、このインクジェットヘッド212に対してインクを供給するインクタンク213とを一体化したものである。
【0139】
このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの不良は直ちにインクカートリッジ全体の不良につながるので、ヘッド構成部材がインクによって腐食する不良が低減することで、ヘッド一体型インクカートリッジの信頼性が向上する。
【0140】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図32及び図33を参照して説明する。なお、図32は同記録装置の斜視説明図、図33は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【0141】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体281の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部282等を収納し、装置本体281の下方部には前方側から多数枚の用紙283を積載可能な給紙カセット(或いは給紙トレイでもよい。)284を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙283を手差しで給紙するための手差しトレイ285を開倒することができ、給紙カセット284或いは手差しトレイ285から給送される用紙(インク滴が付着するものの意味であり、紙に限定されるものではない。)283を取り込み、印字機構部282によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ286に排紙する。
【0142】
印字機構部282は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド291と従ガイドロッド292とでキャリッジ293を主走査方向(図33で紙面垂直方向)に摺動自在に保持し、このキャリッジ293にはイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド294を複数のインク吐出口(ノズル)を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ293にはヘッド294に各色のインクを供給するための各インクタンク295を交換可能に装着している。
【0143】
インクタンク295は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド294を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。さたに、記録ヘッドとして搭載するインクジェットヘッドとしては前記各実施形態で説明したような各種のインクジェットヘッドを用いることができる。
【0144】
ここで、キャリッジ293は後方側(用紙搬送方向下流側)を主ガイドロッド291に摺動自在に嵌装し、前方側(用紙搬送方向上流側)を従ガイドロッド292に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ293を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ297で回転駆動される駆動プーリ298と従動プーリ299との間にタイミングベルト300を張装し、このタイミングベルト300をキャリッジ293に固定しており、主走査モーター297の正逆回転によりキャリッジ293が往復駆動される。
【0145】
一方、給紙カセット284にセットした用紙283をヘッド294の下方側に搬送するために、給紙カセット284から用紙283を分離給装する給紙ローラ301及びフリクションパッド302と、用紙283を案内するガイド部材303と、給紙された用紙283を反転させて搬送する搬送ローラ304と、この搬送ローラ304の周面に押し付けられる搬送コロ305及び搬送ローラ304からの用紙283の送り出し角度を規定する先端コロ306とを設けている。搬送ローラ304は副走査モータ307によってギヤ列を介して回転駆動される。
【0146】
そして、キャリッジ293の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ304から送り出された用紙283を記録ヘッド294の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材309を設けている。この印写受け部材309の用紙搬送方向下流側には、用紙283を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ311、拍車312を設け、さらに用紙283を排紙トレイ286に送り出す排紙ローラ313及び拍車314と、排紙経路を形成するガイド部材315,316とを配設している。
【0147】
記録時には、キャリッジ293を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド294を駆動することにより、停止している用紙283にインクを吐出して1行分を記録し、用紙283を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙283の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙283を排紙する。
【0148】
また、キャリッジ293の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド294の吐出不良を回復するための回復装置317を配置している。回復装置317はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ293は印字待機中にはこの回復装置317側に移動されてキャッピング手段でヘッド294をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【0149】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド294の吐出口(ノズル)を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜(不図示)に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【0150】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、インクによる流路形成部材の腐食が防止されて、長期的にインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。
【0151】
次に、本発明に係るインクカートリッジを搭載したインクジェット記録装置の他について図34を参照して説明する。なお、同図は同記録装置の斜視説明図である。
このインクジェット記録装置は、キャリッジガイド351上にキャリッジ353を矢示方向に摺動自在に装着し、このキャリッジ353に本発明に係るインクジェットヘッドとインクタンクとを一体化したインクカートリッジ354を搭載している。一方、用紙356をプラテンローラ357で矢示方向に搬送して、インクカートリッジ354のヘッドで用紙356上に記録しながら用紙356を排紙トレイ358上に排紙する。
【0152】
なお、上記実施形態においては、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液体の滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッド、遺伝子分析試料を吐出する液滴吐出ヘッドなどにも適用することできる。
【0153】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、液流路が形成されたシリコンからなる流路形成部材と、ノズルが形成されたノズル板と、を有し、流路形成部材の各液流路を隔てる垂直な隔壁のノズル板との接合面側の端部に面取り部が形成され、隔壁の液体に接する面の全面に有機樹脂膜を含む耐液性薄膜を有する構成としたので、低コストで液体による腐食を防止することができ、信頼性が向上する。
【0161】
本発明に係るインクカートリッジによれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したものであり、ノズルの目詰まりなどのない信頼性に優れたインクカートリッジを得られる。
【0162】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載し、或いは本発明に係るインクカートリッジを搭載したので、信頼性、安定性に優れた記録を行うことができ、画像品質が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図2】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図3】図2の要部拡大説明図
【図4】同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図
【図5】同ヘッドの圧電素子の異なる例を説明する要部拡大断面説明図
【図6】加圧液室間隔壁形状の一例の説明に供するヘッドの振動板短手方向に沿う拡大断面説明図
【図7】加圧液室間隔壁形状の他の例の説明に供するヘッドの振動板短手方向に沿う拡大断面説明図
【図8】同ヘッドの流路形成部材の製作工程の説明に供する断面説明図
【図9】図8の側断面説明図
【図10】本発明の第2実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図11】同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図
【図12】本発明の第3実施形態に係るインクジェットヘッドの一例を示す振動板短手方向に沿う断面説明図
【図13】同実施形態に係るインクジェットヘッドの他の例を示す振動板短手方向に沿う断面説明図
【図14】本発明に第4実施形態に係るインクジェットヘッドの平面説明図
【図15】図14のC−C線に沿う断面説明図
【図16】図14のD−D線に沿う断面説明図
【図17】図14のE−E線に沿う断面説明図
【図18】図14のF−F線に沿う断面説明図
【図19】有機樹脂膜の成膜構造の第1例を説明する静電型インクジェットヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図
【図20】同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図
【図21】有機樹脂膜の成膜構造の第2例を説明する静電型インクジェットヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図
【図22】同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図
【図23】本発明の第5実施形態に係るインクジェットヘッドの外観斜視説明図
【図24】同ヘッドの分解斜視説明図
【図25】同ヘッドの流路形成基板の斜視説明図
【図26】同ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図
【図27】本発明の第6実施形態に係るインクジェットヘッドの平面説明図
【図28】図27のI−I線に沿う断面説明図
【図29】図27のJ−J線に沿う断面説明図
【図30】図27のK−K線に沿う断面説明図
【図31】本発明に係るインクカートリッジの斜視説明図
【図32】本発明に係るインクジェット記録装置の一例を示す斜視説明図
【図33】同記録装置の機構部の側面説明図
【図34】本発明に係るインクジェット記録装置の他の例を示す斜視説明図
【符号の説明】
1…流路形成基板、2…振動板、3…ノズル板、5…ノズル、6…加圧液室、7…インク供給路、8…共通液室、9…インク供給口、10…耐液性薄膜(有機樹脂膜)、12…圧電素子、13…ベース基板、17…ヘッドフレーム、20…隔壁、20a…面取り部、20b…順傾斜面、41…流路形成部材、42…振動板、43…保持部材、44…圧電部材、45…ノズル、46…加圧液室、47…インク供給路、48…共通液室、49…インク供給口、50…隔壁、53…圧電素子、61…流路形成部材、62…振動板、63…ノズル板、66…加圧液室、72…圧電層、81…第1基板(流路形成部材)、82…第2基板、83…ノズル板、85…ノズル、86…加圧液室、87…インク供給路、88…共通液室、89…インク供給口、90…振動板、93…隔壁、105…駆動電極、106…ギャップ、121…第1基板(流路形成部材)、122…第2基板(発熱体基板)、125…ノズル、126…加圧液室流路、128…共通液室流路、131…発熱抵抗体、191…無機膜、192…有機樹脂膜、193…耐液性薄膜、210…インクカートリッジ、212…インクジェットヘッド、213…インクタンク、293…キャリッジ、294…ヘッド、304…搬送ローラ、314…排紙ローラ、354…インクカートリッジ。
Claims (14)
- ノズルが連通する液流路の液体を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液流路が形成されたシリコンからなる流路形成部材と、
前記ノズルが形成されたノズル板と、を有し、
前記流路形成部材の各液流路を隔てる垂直な隔壁の前記ノズル板との接合面側の端部に面取り部が形成され、
前記隔壁の前記液体に接する面の全面に有機樹脂膜を含む耐液性薄膜を有する
ことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記有機樹脂膜がポリイミド系樹脂膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ポリイミド系樹脂膜がポリペンゾオキサゾールを主成分とすることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記有機樹脂膜がウレタン系樹脂膜、ウレアー系樹脂膜、フェノール系樹脂膜のいずれかであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記耐液性薄膜は最表面に前記有機樹脂膜を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記耐液性薄膜は前記有機樹脂膜と無機膜との積層膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記隔壁は断面形状で滑らかな曲線部を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液流路の少なくとも一部の壁面を形成する振動板を有し、前記振動板がシリコンから形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項8に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液流路部材と前記振動板が一体で形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至9のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記耐液性薄膜の膜厚は前記液流路の側壁面及び底面の少なくともいずれかの膜厚よりも側壁面と底面との角部の膜厚が厚いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項8乃至10のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記耐液性薄膜の膜厚は前記振動板中央付近より該振動板の固定端側が厚いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項8乃至10のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、各液流路を隔てる隔壁と振動板とがなす角部で前記耐液性薄膜が断面曲面形状であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- インクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記インクジェットヘッドが請求項1乃至12のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクカートリッジ。
- インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項1乃至12のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
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