JP5183138B2 - 圧電アクチュエータおよび液体吐出ヘッド - Google Patents
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Description
図2は、第1実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例の要部を示す断面図である。
図9は、第2実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例の要部を示す断面図である。
図15は、第3実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例の要部を示す断面図である。
図22は、画像形成装置110の一例の全体構成図である。
Claims (9)
- 下部電極と、
前記下部電極上に形成されている圧電膜と、
前記圧電膜上に形成されている上部電極と、
を備え、
前記圧電膜は、前記下部電極と前記上部電極とに挟まれた活性部を有し、
前記圧電膜の前記活性部の周縁で、前記圧電膜の前記活性部の膜厚が前記活性部の外周にいくに従って漸増することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 下部電極と、
前記下部電極上に形成されている圧電膜と、
前記圧電膜上に形成されている上部電極と、
を備え、
前記圧電膜は、前記下部電極と前記上部電極とに挟まれた活性部を有し、
前記上部電極は、前記圧電膜の前記活性部の周縁近傍の形状がメッシュ状であることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記圧電膜の前記活性部の周縁の近傍で、前記上部電極の膜厚が前記活性部の外周にいくに従って漸減することを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 少なくとも前記圧電膜の前記活性部の周縁上に絶縁膜が形成され、該絶縁膜上まで前記上部電極が延設され、前記絶縁膜は前記圧電膜の前記活性部の内側にいくに従って膜厚が漸減する形状を有することを特徴とする請求項1から3のうちいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記絶縁膜は、前記圧電膜の側面も覆っていることを特徴とする請求項4に記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項1から5のうちいずれか1項に記載の圧電アクチュエータを備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 請求項6に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
- 基板上に、下部電極を形成する工程と、
前記下部電極上に、外周にいくに従って膜厚が漸増する圧電膜を形成する工程と、
前記圧電膜上に、上部電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 基板上に、下部電極を形成する工程と、
前記下部電極上に、圧電膜を形成する工程と、
前記圧電膜上に、前記圧電膜の活性部の周縁近傍の形状がメッシュ状の上部電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
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