JP2011183646A - インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルプレートにシリコンを用いたインクジェットヘッドを長期間使用しても精度良く吐出を行うことができるインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】シリコンからなるノズルプレート３０にインク吐出用ノズル３２を形成するノズル形成工程と、ノズル３２のインク吐出側の面に、ノズル３２内部に入り込むように、金属膜４２を成膜する金属膜成膜工程と、シリコン基板に流路構造体を接合する接合工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドである。
【選択図】図４

Description

本発明はインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドに係り、特に、インクジェットヘッドのノズルのエッジ部を保護膜で保護するインクジェットの製造方法およびインクジェットに関する。

一般に、汎用の画像形成装置として、インクジェットヘッドから記録媒体上にインク液滴を吐出して所望の画像を形成するインクジェット記録装置が広く用いられている。インクジェットヘッドでは、長期間吐出を続けると、液（インク）の流れによりノズルの磨耗、欠けが発生する。磨耗や欠けが発生すると、吐出方向や吐出量が変化してしまい、所望の性能が出せないといった問題があった。

インクの吐出方向の曲がりを防止する方法として、下記の特許文献１には、インクなどの液体溜りの発生を防止するために、吐出口周辺に液体をはじく撥水層を付着させ、この撥水層を均一の厚みで形成することで、吐出方向の曲がりを防止することが記載されている。

特開２００２−２１９８０８号公報

単結晶シリコンの結晶性を利用した異方性エッチングで形成されたノズルは、精度は良いが、脆性材料であること、鋭角となるエッジの断面形状から、磨耗や欠けが生じやすかった。また、ノズルの形状が四角形状となることから、丸ノズルに比べ、角に応力が集中する、また、逆に辺の中心部分の流速が速く、磨耗しやすいため、磨耗や欠けが生じていた。図６（ａ）はノズルプレート２３０の断面図であり、（ｂ）は、ノズル２３２の吐出口側からの平面図である。Ｒ形状を有するノズルエッジ部が磨耗により劣化したものであり、直線状になっているものが欠けによる劣化である。このような磨耗、欠けが生じると、図６（ｂ）に示すように、ノズルの吐出口形状が変化してしまい、吐出方向が曲がる、吐出体積の形状が変わるなどの問題が生じていた。

特許文献１に記載されているような、撥液膜を精度良く形成する方法については、シリコンノズルにおいて、非常に多くの吐出が行われた際の磨耗や欠けについては、考慮されていなかった。また、撥液膜の厚さも１〜５ミクロンと厚く、シリコンノズルのような精度の良いノズルでは、膜厚のばらつきが問題となっていた。

さらに、今後、業務用の分野で精度良く、非常に多くの吐出回数が必要となるインクジェットヘッド、あるいは、ラインヘッドを用いた高速、高生産性のインクジェット印刷装置では、このような問題が多く発生すると考えられる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ノズルプレートにシリコンを用いたインクジェットヘッドを長期間使用しても精度良く吐出を行うことができるインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドを提供する。

本発明の請求項１は前記目的を達成するために、シリコン基板にインク吐出用ノズルを形成するノズル形成工程と、前記ノズルのインク吐出側の面に、前記ノズル内部に入り込むように、金属膜を成膜する金属膜成膜工程と、前記シリコン基板に流路構造体を接合する接合工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法を提供する。

請求項１によれば、ノズルの吐出側の面からノズル内部に入り込むように金属膜を成膜しているので、吐出によりノズルエッジ部が磨耗したり、欠けたりすることを防止することができる。したがって、長期の使用においても、吐出性能が低下することなく、安定して吐出を行うことができるインクジェットヘッドを製造することができる。

請求項２は請求項１において、前記金属膜成膜工程後に、前記ノズルの吐出面側に保護シートを接合し、前記吐出面の反対側から金属膜を除去する金属膜除去工程を有することを特徴とする。

請求項２によれば、ノズル内部に形成された金属膜が、各ノズルで入り込み量が異なっていたり、余剰に金属膜が形成されていた場合に、金属膜を除去することで、金属膜のノズル内の入り込み量を一定にすることができる。したがって、各ノズルの吐出性能のばらつきを抑えることができる。

請求項３は請求項１または２において、前記金属膜成膜工程は、前記流路構造体を接合した後に行うことを特徴とする。

請求項３によれば、流路構造体を接合した後に金属膜の成膜を行っているので、基板のハンドリングを容易に行うことができる。また、金属膜の除去をエッチングにより行う場合、流路構造体内の流路を用いてエッチング液を供給することができるので、操作性を向上させることができる。

請求項４は請求項１から３いずれか１項において、前記ノズル形成工程は、異方性ウエットエッチングにより行うことを特徴とする。

請求項４によれば、異方性ウエットエッチングによりノズルの形成を行っているので、ノズルを精度良く形成することができる。

請求項５は請求項１から４いずれか１項において、前記金属膜上に、撥液膜を形成する撥液膜形成工程を有することを特徴とする。

請求項５によれば、金属膜上に撥液膜を形成することで、基板の吐出側の面にインク液滴が付着することを防止することができるので、ノズルの吐出性能のばらつきを抑制することができる。

本発明の請求項６は前記目的を達成するために、ノズルが形成されたシリコン基板からなるノズルプレートと、前記ノズルの内壁と、前記ノズルプレートの吐出面側と、を含む前記ノズルのエッジ部に、シリコンとは異なる金属膜と、を備えることを特徴とするインクジェットヘッドを提供する。

請求項６によれば、ノズルのエッジ部にシリコンと異なる金属膜を備えているので、吐出によりノズルエッジ部が磨耗したり、欠けたりすることを防止することができる。したがって、長期の使用においても、吐出性能が低下することなく、安定して吐出を行うことができる。

請求項７は請求項６において、前記金属膜上に撥液膜を備えることを特徴とする。

請求項７によれば、金属膜上に撥液膜を有するので、ノズルプレートの吐出側の面にインク液滴が付着することを防止することができるので、ノズルの吐出性能のばらつきを抑制することができる。

請求項８は請求項６または７において、前記ノズルが異方性ウエットエッチングで形成したテーパーノズルであることを特徴とする。

請求項８によれば、ノズルを異方性ウエットエッチングにより形成しているので、精度良く形成することができる。

請求項９は請求項６から８いずれか１項において、前記金属膜が、タンタル（Ｔａ）、金（Ａｕ）、または、それらの合金からなることを特徴とする。

請求項９によれば、金属膜の材料として、タンタル（Ｔａ）を用いることにより、耐インク性に優れた金属膜を形成することができる。また、金（Ａｕ）を用いることにより、耐インク性に優れ、撥液性を有する金属膜を形成することができる。

本発明の請求項１０は前記目的を達成するために、請求項６から９いずれか１項に記載のインクジェットヘッドを備える画像形成装置を提供する。

請求項１０によれば、長期間使用しても、高品質な画像を形成することができる画像形成装置を提供することができる。

本発明のインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドによれば、ノズルの吐出面側およびノズルの内側に金属膜を成膜することで、インクジェットヘッドのノズル端部の磨耗や欠けを防止することができるので、長期間の使用においても、吐出性能の低下を抑えることができる。

本発明に係るインクジェットヘッドが組み込まれたインクジェット記録装置を模式的に示す構成図である。 インクジェット記録装置の印字部周辺を示す要部断面図である。 インクジェットヘッドの断面図である。 インクジェットヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法を説明する図である。 別のノズルプレートの例を示す図である。 ノズルエッジ部の磨耗・欠けを説明する図である。

以下、添付図面に従って、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットの好ましい実施の形態について説明する。

［インクジェット記録装置の全体構成］
図１は、本発明に係るインクジェットヘッドが組み込まれたインクジェット記録装置１００を模式的に示す構成図である。

図１に示すように、この画像形成装置としてのインクジェット記録装置１００は、主として、記録媒体１２２を給紙する給紙部１１０と、給紙部１１０から給紙された記録媒体１２２の記録面に所定の処理液を付与する処理液付与部１１２と、処理液が付与された記録媒体１２２の記録面にインク滴を打滴して画像を描画する印字部１１４と、画像が描画された記録媒体１２２の記録面を乾燥させる乾燥部１１６と、記録面に形成された画像を定着させる定着部１１８と、画像が記録された記録媒体１２２を回収する排紙部１２０とで構成されている。

給紙部１１０は、記録媒体１２２を格納するマガジン１４０を備えており、このマガジン１４０から記録媒体１２２が１枚ずつ給紙トレイ１５０に給紙される。給紙トレイ１５０に給紙された記録媒体１２２は、渡し胴１５２を介して処理液付与部１１２の処理液ドラム１５４に受け渡される。

処理液ドラム１５４は、渡し胴１５２から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第１の中間搬送ドラム１２４に受け渡す。処理液付与部１１２では、この処理液ドラム１５４によって回転搬送される記録媒体１２２に対して所定の処理液を一定の厚みで付与する。処理液の付与は、処理液付与装置１５６によって行われ、処理液付与装
置１５６は、例えば、表面に処理液が付与された塗布ローラを記録媒体１２２の記録面に当接させて、処理液を付与するが、これに限定されるものではない。例えば、後述するインクヘッドと同様のヘッドによって処理液を吐出して付与するようにしても良い。処理液が付与された記録媒体１２２は、さらにドライヤ１５８とヒータ１６０で乾燥されたのち、第１の中間搬送ドラム１２４に受け渡される。

なお、この処理液付与部１１２で付与される処理液は、後段の印字部１１４で付与されるインク中の色材（顔料又は染料）を凝集又は増粘させる成分を含有する処理液である。このような処理液をインクの打滴前に付与することにより、ブリーディング等を防止でき、高品質な画像を印字することが可能になる。

第１の中間搬送ドラム１２４は、処理液ドラム１５４から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、印字部１１４の印字ドラム１７０に受け渡す。

印字ドラム１７０は、第１の中間搬送ドラム１２４から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第２の中間搬送ドラム１２６に受け渡す。印字部１１４では、この印字ドラム１７０によって回転搬送される記録媒体１２２に対して、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの各色のインクジェットヘッド（以下、単にインクヘッドと言う。）１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋからインク滴を打滴して、画像を印字する。

各インクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋは、所定の隙間をもって印字ドラム１７０に対向して配置されており、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの順で印字ドラム１７０の回転方向上流側から配置されている。また、各インクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋは、ラインヘッドで構成されており、記録媒体１２２の記録幅に対応して形成されている。

図２に、インクジェット記録装置１００の印字部１１４周辺の要部平面図を示す。

図２に示すように、印字部１１４は、各インクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋを、図に矢印Ａで示す用紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置し、記録媒体１２２における画像形成領域の最大幅に対応する長さを有する、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。

各インクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋは、本インクジェット記録装置１００が対象とする最大サイズの記録媒体１２２の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。

記録媒体１２２の搬送方向（図２に矢印Ａで表示）に沿って上流側（図２の右側）からシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、黒（Ｋ）の順に各色インクに対応したインクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋが配置されている。記録媒体１２２を搬送しつつ各インクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋからそれぞれ色インクを吐出することにより記録媒体１２２上にカラー画像を形成し得る。

このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１１４によれば、用紙搬送方向（副走査方向）について記録媒体１２２と印字部１１４を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録媒体１２２の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル（シリアル）型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。

再び図１にもどり、各インクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋでインクが打滴された記録媒体１２２は、印字ドラム１７０から第２の中間搬送ドラム１２６に受け渡される。第２の中間搬送ドラム１２６は、印字ドラム１７０から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、乾燥部１１６の乾燥ドラム１７６に受け渡す。

乾燥ドラム１７６は、第２の中間搬送ドラム１２６から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第３の中間搬送ドラム１２８に受け渡す。乾燥部１１６では、この乾燥ドラム１７６によって回転搬送される記録媒体１２２を第１、第２のヒータ１７８、１８２、及び、ドライヤ１８０によって乾燥させる。

乾燥された記録媒体１２２は、乾燥ドラム１７６から第３の中間搬送ドラム１２８に受け渡される。第３の中間搬送ドラム１２８は、乾燥ドラム１７６から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、定着部１１８の定着ドラム１８４に受け渡す。

定着ドラム１８４は、第３の中間搬送ドラム１２８から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、排紙部１２０のコンベア１９６に受け渡す。定着部１１８では、この定着ドラム１８４によって回転搬送される記録媒体１２２に対して、第１、第２の定着ローラ１８６、１８８で加熱、加圧して、印字された画像を定着させる。

また、定着部１１８には、印字部１１４による印字結果を読み取るインラインセンサ１８９が設けられている。インラインセンサ１８９は、印字部１１４の印字結果（各インクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋの打滴結果）を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、このイメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックするものである。

インラインセンサ１８９は、複数の検出画素(読取素子)が記録媒体１２２の幅方向に沿って一列に並べられたラインＣＣＤ（又は、複数の検査画素が２次元状には配置されたエリアセンサ）と、ラインＣＣＤ(又はエリアセンサ)よって記録媒体１２２の幅方向を一括して読取れるように配置された縮小レンズと、を含む構成であり、印字部１１４の各インクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋの記録解像度よりも低い読取解像度を有している。

画像が定着された記録媒体１２２は、定着ドラム１８４から排紙部１２０のコンベア１９６に受け渡される。コンベア１９６は、定着ドラム１８４から記録媒体１２２を受け取り、排紙部１２０に備えられた排紙トレイ１９２に搬送し、排紙トレイ１９２に回収する。

以上のように構成されたインクジェット記録装置１００によれば、印字部１１４において、各インクジェットヘッド（インクヘッド）から安定したインクの吐出ができるので、安定した画像の形成が可能となる。

次に、印字部１１４に配置されるインクヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋの構造について説明する。図３は、本発明に用いられるインクジェットヘッドの断面図である。

図３に示すように、上部流路構造体１４は、下部流路構造体２０と接合されている。下部流路構造体２０には、インクを吐出するための圧力を発生する圧力室２２が形成されており、圧力室２２の天面には振動板２４が形成されている。また、振動板２４の上には、接合用接着剤２６を介して圧電体２８が接合されている。図示を省略したが、圧電体２８の上下の面にはそれぞれ上部電極及び下部電極が形成されている。

また、下部流路構造体２０の下側にはノズルプレート３０が接合され、ノズルプレート３０にはインクを液滴として吐出するノズル３２が形成されている。ノズル３２は、ノズル流路３４を介して圧力室２２と連通している。また、下部流路構造体２０には、インク供給流路３６及びインク回収流路３８が形成されている。

インク供給流路３６の上部には開口（インク供給口）３６ａが設けられ、上部流路構造体１４に形成されたインク供給口１６と連通している。また、インク供給流路３６にはもう一つの開口（インク供給口）３６ｂが設けられ、圧力室２２と連通している。インク回収流路３８の上部には開口（インク回収口）３８ａが設けられ、上部流路構造体１４に形成されたインク回収口１８と連通している。また、インク回収流路３８にはもう一つの開口（インク回収口）３８ｂが設けられ、ノズル流路３４と連通している。

［ノズルプレートの製造方法］
次に本発明のインクジェットヘッドに用いられるノズルプレート３０の製造方法について図４を用いて説明する。

（１）ノズル形成工程
図４（ａ）に示すように、ノズルプレート３０にシリコン基板を用いてノズル３２を形成する。ノズルの形状は、ノズル流路３４側からノズルプレートの吐出面側に向って先細りとなっているテーパーノズルであることが好ましい。また、ノズル出口の形状は、特に限定されないが、丸形状とすることで、角に応力が集中することを防止することができるので、磨耗や欠けを防止することができる。

ノズルプレート３０の材料としてシリコンを用いることで、微細な構造を形成することができるとともに、加工を容易に行うことができる。ノズル３２の形成は、特に限定されず、異方性ウエットエッチング、ドライエッチングにより形成することができるが、精度良く形成するため、異方性ウエットエッチングで行うことが好ましい。ノズルプレートの材料がシリコンである場合、長期の使用により、磨耗や欠けなどの問題が生じることがある。

なお、図示しないが、ノズルプレート３０は、その後の工程のハンドリングを考慮して、別途形成された下部流路構造体２０を接合することが好ましい。また、下部流路構造体を接合しない場合は、他のハンドリング用の基板（シリコンなど）を接合することが好ましい。ハンドリング用の基板にノズルプレート３０を接合する場合は、エッチング用に、ノズル位置に対応した位置に穴を有することが好ましい。

（２）金属膜成膜工程
図４（ｂ）に示すように、ノズルプレート３０の吐出面側に、金属膜４２を成膜する。金属膜４２は、ノズルプレート３０の吐出面側からノズル３２の内部に入り込み、ノズル３２の端部を覆うように形成される。

成膜は、ＣＶＤ法、スパッタ法などの気相蒸着法により行われる。成膜条件は、ノズル内部に金属膜４２が入り込むように、成膜条件（圧力、時間、パワーなど）を制御する。成膜条件は、金属膜４２の材料、ノズル３２の形状、必要な金属膜の厚さ、金属膜の入り込み量から条件を決定する。

金属膜４２の形成に用いられる金属材料としては、シリコン以外の金属であり、タンタル（Ｔａ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、ＤＬＣ、または、それらの合金などを用いることができる。また、ＣＶＤ法、スパッタ法などで成膜できる材料から、耐インク性を考慮して選択することが好ましい。例えば、Ｔａ酸化物（Ｔａ_２Ｏ_５）なら耐インク性に優れ、Ａｕは耐インク性に優れ、撥液性を有する特徴を有する。さらに、金属膜４２上に撥液膜（図４（ｆ）に記号４６で記載）を形成する場合は、撥液膜との密着性も考慮して金属材料を選択することが好ましい。

ノズル３２内部に入り込む量（ノズルプレート３０の吐出面側からの距離）は、０．１〜５μｍ、好ましくは、０．５〜１．５μｍである。ノズルエッジ部の磨耗・欠けは、吐出面側から１μｍ付近の領域で生じやすいので、上記範囲内の金属膜を成膜することで、ノズルエッジ部の磨耗や欠けを防止することができる。また、金属膜４２の厚みは、０．５μｍ以下とすることが好ましい。０．５μｍを越えると、ノズル精度、吐出性能に影響が出るので、好ましくない。また、ノズル内部を完全に金属膜で覆うことは難しく、仮に内部まで入り込ませたとしても、ノズルの吐出面側とノズルの奥（ノズル流路３４側）とで、膜厚が異なったり、ノズルの奥では金属膜がない、また、金属膜のない場所もノズル毎に異なるなど、ノズルを精度良く形成しても、金属膜のばらつきにより吐出性能が悪くなることになる。さらに、金属膜のある部分とない部分ではインクへの濡れ性が異なるので、ノズル毎に内部の濡れ方がばらつき、吐出性能に悪影響を与える。したがって、ノズルエッジの磨耗や欠けを防止することができる範囲で、金属膜４２を成膜することが好ましい。

また、ＣＶＤ法、スパッタ法により成膜した金属膜の厚さが充分でなく、保護膜として弱く、厚くすることが困難な場合は、めっき法により金属膜を厚くすることもできる。例えば、Ａｕの金属膜をめっきする場合は、電気めっき、無電界めっきにより膜厚を厚くすることができる。ただし、吐出性能に影響が出ない程度の厚みにすることが好ましい。

（３）保護シート接合工程
次に、図４（ｃ）に示すように、金属膜４２の上から保護シートを貼り付ける。なお、（３）保護シート接合工程、（４）エッチング工程、（５）保護シート除去工程は、（２）金属膜成膜工程で成膜した金属膜４２のノズル３２内への入り込み量が異なる場合に行えばよいので、省略することも可能である。金属膜４２の入り込み量が異なると、ノズル３２毎に吐出量が異なってしまう場合があり、吐出性能に悪影響を与える。

保護シート４４としては、ドライフィルムレジストなどを用いることができる。図４（ｃ）に示すように、ノズル３２内部の金属膜４２を残したい箇所を覆うように保護シート４４を貼り付ける。保護シート４４が、ノズル３２内部に入る量は、保護シート４４を貼るときの熱と圧力により制御することができる。圧力が高い場合は、ノズルが破損する場合があるので、温度を上げることで、制御を行う。

（４）エッチング工程
次に図４（ｄ）に示すように、エッチングにより余分な金属膜の除去を行う。エッチングは余分な金属膜にエッチング液を付与することで行う。すでに、ノズルプレート３０に下部流路構造体２０が貼り付けてある場合は、流路にエッチング液を流すことで、エッチングを行う。また、エッチング液を流した後は洗浄を行う。

（５）保護シート剥離工程
次に、図４（ｅ）に示すように、保護シート４４の除去を行う。保護シート４４の除去は、各材料に応じた溶剤やアルカリなどの剥離液を用いて行うことができるが、ノズルプレート３０、金属膜４２に影響を与えない剥離液を用いることが好ましい。また、気相中で行われるプラズマアッシングにより行うこともできる。

（６）撥液膜形成工程
必要に応じて図４（ｆ）に示すように、金属膜４２の表面に撥液膜４４の形成を行う。撥液膜４４は、フッ素系の樹脂、または撥液めっきなどで成膜することができる。

撥液膜４４を構成する材料としては、例えば、金属アルコキシド系撥液膜、フッ素含有プラズマ重合膜、シリコーン系プラズマ重合撥液膜などを適用することができ、これらの中でもフッ素含有プラズマ重合膜、シリコーン系プラズマ重合撥液膜などのプラズマ重合膜が好ましい。プラズマ重合膜で構成される撥液膜の形成方法としては、従来公知のプラズマ処理装置を用いて行うことができる。撥液膜４６の材料として、具体的には、ＳｉＯ_２を下地としたＦＤＴＳ（ＣＦ_３（ＣＦ_２）_７（ＣＨ_２）_２ＳｉＣｌ_３）を用いることができる。撥液膜４６の厚みは、ノズルの精度に影響が出ないように薄い膜であることが好ましい。

ノズル形成工程で下部流路構造体２０を接合していない場合は、撥液膜４６成膜後に下部流路構造体２０の接合を行う。

また、図５に示すように、金属膜４２は、ノズル３２、流路内壁にＳｉＯ_２などの耐インク性保護膜４８が形成されている場合においても、成膜することができる。耐インク性保護膜４８のみでは、磨耗、欠けが防止できない場合に、金属膜４２を形成して、磨耗、欠けの防止を行う。例えば、ＳｉＯ_２のような耐インク性保護膜では、成膜方法によっては熱酸化ＳｉＯ_２に比べ、膜質が悪くもろい場合がある。耐インク性の保護膜として機能しても、ＳｉＯ_２自身が磨耗し、いずれシリコン部分が磨耗、欠ける場合があるので、本発明のように、金属膜４２でノズルのエッジ部を保護することが好ましい。

上述したように、シリコンを用いたノズルプレート３０に形成したノズル３２のエッジ部を金属膜４２で保護することにより、流体（インク）により磨耗や欠けの発生を抑えることができ、長期の使用においても吐出性能の低下を抑えることができる。

以上、本発明のインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットについて説明したが、本発明は以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

１４…上部流路構造体、１６…、インク供給口、１８…インク回収口、２０…下部流路構造体、２２…圧力室、２４…振動板、２８…圧電体（圧電体基板）、３０…ノズルプレート、４２…金属膜、４４…保護シート、４６…撥液膜、４８…耐インク性保護膜、１００…インクジェット記録装置、１１０…給紙部、１１２…処理液付与部、１１４…描画部、１１６…乾燥部、１１８…定着部、１２０…排出部、１２２…記録媒体、１２４…第１の中間搬送部、１２６…第２の中間搬送部、１２８…第３の中間搬送部、１５４…処理液ドラム、１７０…描画ドラム、１７２Ｍ，１７２Ｃ，１７２Ｙ，１７２Ｋ…インクジェットヘッド、１７６…乾燥ドラム、１７８…第１のヒータ、８０…ドライヤ、１８２…第２のヒータ、１８４…定着ドラム、１８６、１８８…定着ローラ、１８９…インラインセンサ、１９２…排紙トレイ

Claims (10)

1. シリコン基板にインク吐出用ノズルを形成するノズル形成工程と、
   前記ノズルのインク吐出側の面に、前記ノズル内部に入り込むように、金属膜を成膜する金属膜成膜工程と、
   前記シリコン基板に流路構造体を接合する接合工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. 前記金属膜成膜工程後に、前記ノズルの吐出面側に保護シートを接合し、前記吐出面の反対側から金属膜を除去する金属膜除去工程を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
3. 前記金属膜成膜工程は、前記流路構造体を接合した後に行うことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
4. 前記ノズル形成工程は、異方性ウエットエッチングにより行うことを特徴とする請求項１から３いずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
5. 前記金属膜上に、撥液膜を形成する撥液膜形成工程を有することを特徴とする請求項１から４いずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6. ノズルが形成されたシリコン基板からなるノズルプレートと、
   前記ノズルの内壁と、前記ノズルプレートの吐出面側と、を含む前記ノズルのエッジ部に、シリコンとは異なる金属膜と、を備えることを特徴とするインクジェットヘッド。
7. 前記金属膜上に撥液膜を備えることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記ノズルが異方性ウエットエッチングで形成したテーパーノズルであることを特徴とする請求項６または７に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記金属膜が、タンタル（Ｔａ）、金（Ａｕ）、または、それらの合金からなることを特徴とする請求項６から８いずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
10. 請求項６から９いずれか１項に記載のインクジェットヘッドを備える画像形成装置。

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