JP5490855B2 - 板状基板のエッジ検査装置 - Google Patents
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Description
tanα A =t A /L A
α A =tan -1 (t A /L A )
に従って角度α A が演算される。この角度α A が撮影角度α(=α A )として定義される。
tanα U =t U /L U
α U =tan -1 (t U /L U )
に従って角度α U が演算される。そして、この角度α U と、第2カメラユニット130bの撮影軸Axbと第1カメラユニット130aの撮影軸Axaとの間の角度α 1 とを用いて、撮影角度αが、
α=α U +α1
として定義される。
tanα L =t L /L L
α L =tan -1 (t L /L L )
に従って角度α L が演算される。そして、この角度α L と、第2カメラユニット130bの撮影軸Axbと第3カメラユニット130cの撮影軸Axcとの間の角度α 2 とを用いて、撮影角度αが、
α=α L −α2
として定義される。
図10において、チルトカメラ330をその撮影軸がウエーハ10に対して垂直方向となる状態(1)にセットする(S21)。次に、ウエーハ10をチルトカメラ330が移動する円弧線350に近づく方向X-に移動させる(S22)。そして、チルトカメラ330にて得られる撮影画像がウエーハ10の上面11aと上外周ベベル面12Uとの境界線部を過ぎるとデフォーカスされるので、そのフォーカス/デフォーカスの境界点(2)でウエーハ10を停止させる(S23)。この状態で、チルトカメラ330は、ウエーハ10の上面11aと上外周ベベル面12Uとの境界部分の真上に位置づけられる。次に、ウエーハ10を前述したオフセット量Δ OFFSET だけ、チルトカメラ330が移動する円弧線350から遠ざかる方向X+に戻す((3):S24)。
10E 外周部分
11a 上面
11b 下面
12U 上外周ベベル面
12A 外周端面
12L 下外周ベベル面
100 ステージ
110 回転駆動モータ
130a 第1カメラユニット
130b 第2カメラユニット
130c 第3カメラユニット
130d 第4カメラユニット
130e 第5カメラユニット
131a、131b、131c、131d、131e ラインセンサ(撮像素子)
200 処理ユニット
210 操作ユニット
220 表示ユニット
Claims (8)
- 予め設定された原点に向けて延びる撮影軸を有し、板状基板の外周部分における所定面を撮影視野範囲に含み、前記所定面を前記板状基板の周方向に順次撮影して画像信号を出力する撮影部と、
この撮影部から出力される前記画像信号を処理する画像処理部とを有し、
この画像処理部は、
前記画像信号から、前記撮影視野範囲に対応した撮影画像を表す撮影画像データを生成する画像データ生成手段と、
前記撮影画像データにて表される前記撮影画像上の点及び前記撮影軸に対応した基準点それぞれの前記周方向を横切る方向における位置に基づいて、前記撮影画像上の当該点に対応する擬似的な撮影角度を表す擬似撮影角度情報を生成する角度情報生成手段と、
この角度情報生成手段にて得られた前記擬似撮影角度情報に基づいて、撮影角度に関するユーザインタフェース情報を表示ユニットに表示させる手段とを有する板状基板のエッジ検査装置。 - 前記角度情報生成手段は、前記撮影軸の方向を基準方向とした擬似的な撮影角度を表す擬似撮影角度情報を生成する請求項1記載の板状基板のエッジ検査装置。
- 前記板状基板の外周部分における縁線部を検出する縁線部検出手段と、
前記撮影部に対する前記板状基板の進退方向における前記縁線部と前記原点との距離をオフセット量として検出するオフセット検出手段と、
前記オフセット量を出力するオフセット出力手段とを有する請求項1または2記載の板状基板のエッジ検査装置。 - 前記撮影部は、その外周部分の前記板状基板の厚さ方向に異なる部位を撮影する複数のカメラユニットを有し、この複数のカメラユニットそれぞれの撮影軸が前記原点に向けて延び、
前記角度情報生成手段は、前記複数のカメラユニットそれぞれからの画像信号に基づく撮影画像上の点に対する擬似撮影角度情報を、当該撮影画像上の当該点及び当該カメラユニットの撮影軸に対応した基準点それぞれの前記周方向を横切る方向における位置に基づいて生成する請求項1乃至3のいずれかに記載の板状基板のエッジ検査装置。 - 前記板状基板は、上面の縁から下面に向けて傾斜した上外周ベベル面と、この上外周ベベル面の縁から続く外周端面と、下面から前記上面に向けて傾いて前記外周端面に続く下外周ベベル面とが周方向を横切る方向に連続するように形成された半導体ウエーハであって、
前記撮影部は、撮影軸が前記原点に向けて延びるとともに前記上外周ベベル面を撮影視野範囲に含み、前記外周ベベル面を撮影する第1カメラユニットと、撮影軸が前記原点に向けて延びるとともに前記外周端面を撮影視野範囲に含み、前記外周端面を撮影する第2カメラユニットと、撮影軸が前記原点に延びるとともに前記下外周ベベル面を撮影視野範囲に含み、前記下外周ベベル面を撮影する第3カメラユニットとを有し、
前記角度情報生成手段は、前記第1カメラユニットからの画像信号に基づく撮影画像上の点に対応する擬似撮影角度情報を、前記撮影画像上の当該点及び前記第1カメラユニットの撮影軸に対応した基準点それぞれの前記周方向を横切る方向における位置に基づいて生成し、前記第2カメラユニットからの画像信号に基づく撮影画像上の点に対する擬似撮影角度情報を、前記撮影画像上の当該点及び前記第2カメラユニットの撮影軸に対応した基準点それぞれの前記周方向を横切る方向における位置に基づいて生成し、前記第3カメラユニットからの画像信号に基づく撮影画像上の点に対応する擬似撮影角度情報を、前記撮影画像上の当該点及び前記第3カメラユニットの撮影軸に対応した基準点それぞれの前記周方向を横切る方向における位置に基づいて生成する請求項4記載の板状基板のエッジ検査装置。 - 前記板状基板は、上面の縁から下面に向けて傾斜した上外周ベヘル面と、この上外周ベヘル面の縁から続く外周端面と、下面から前記上面に向けて傾いて前記外周端面に続く下外周ベベル面とが周方向を横切る方向に連続するように形成された半導体ウエーハであって、
前記縁線部検出手段は、前記半導体ウエーハの前記上面と前記上外周ベベル面との境界部を縁線部として検出し、
前記オフセット検出手段は、前記半導体ウエーハの前記上面と前記上外周ベベル面との境界部と前記原点との距離をオフセット量として検出する請求項3記載の板状基板のエッジ検出装置。 - 撮影軸が前記上面と直交し、前記上面と前記上外周ベベル面との境界部を撮影視野範囲内に含み、前記半導体ウエーハの外周部分における前記上面を撮影する第4カメラユニットを有し、
前記画像処理部の画像データ生成手段は、前記第4カメラユニットからの画像信号から、前記撮影視野範囲に対応した撮影画像データを生成し、
前記縁線部検出手段は、前記第4カメラユニットからの画像信号に基づいた撮影画像上の前記縁線部に対応した画像部分に基づいて当該縁線部を検出する請求項6記載の板状基板のエッジ検査装置。 - 前記第4カメラユニットは、その撮影軸が前記原点に向けて延びるように設置されている請求項7記載の板状基板のエッジ検査装置。
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