JP5481844B2 - 着色感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Description

本発明は、着色感光性樹脂組成物等に関する。
着色感光性樹脂組成物中の着色剤として、カラーフィルタのコントラストを高くするために、染料を用いることが知られている。例えば特許文献1には、染料としてVALIFAST Red 1308又はVALIFAST Red 1360を含む着色感光性樹脂組成物が記載されている。
特開2003−295427号公報
しかしながら、従来の染料を含む着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたカラーフィルタでは、コントラストに改善の余地があることがわかった。
本発明者らは、上記したような課題を解決し得る着色感光性樹脂組成物を見出すべく、鋭意検討を重ねた結果、ある種の化合物を含む着色感光性樹脂組成物が、コントラストが高いカラーフィルタを与えることを見出した。
即ち、本発明は、着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)および溶剤(F)を含み、着色剤(A)が、式(A−I)で表される化合物を含んでなる着色剤である着色感光性樹脂組成物である。
Figure 0005481844
[式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、炭素数1〜5の直鎖若しくは分岐のアルキル基、ニトロ基、フェニル基、−SONHR21または−COOR21を表す。
21は、水素原子、炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基、シクロヘキシル基、アルキル部分の炭素数1〜4のアルキルシクロヘキシル基、炭素数2〜15のアルコキシアルキル基、−R31−CO−O−R32、−R31−O−CO−R32、または炭素数7〜10のアラルキル基を表す。
31は、炭素数1〜8の2価の脂肪族炭化水素基を表し、R32は、炭素数1〜8の1価の脂肪族炭化水素基を表す。
19およびR20は、それぞれ独立して、水素原子、メチル基、エチル基またはアミノ基を表す。
Mは、CrまたはCoを表す。
Dは、水素原子、1価の金属カチオンまたはキサンテン骨格を有する化合物の1価のカチオンを表す。]
また本発明は、バインダー樹脂(B)が、側鎖に重合性不飽和結合を有する樹脂である上記着色感光性樹脂組成物である。
また本発明は、さらに、架橋向上剤(E)を含む上記着色感光性樹脂組成物である。
また本発明は、架橋向上剤(E)がエポキシ基を含む化合物である上記着色感光性樹脂組成物である。
また本発明は、上記着色感光性樹脂組成物から形成されるパターンを含んでなるカラーフィルタである。
また本発明は、カラーフィルタを製造するための上記着色感光性樹脂組成物の使用である。
また本発明は、着色感光性樹脂組成物を製造するための式(A−I)で表される化合物の使用である。
Figure 0005481844
[式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、炭素数1〜5の直鎖若しくは分岐のアルキル基、ニトロ基、フェニル基、−SONHR21または−COOR21を表す。
21は、水素原子、炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基、シクロヘキシル基、アルキル部分の炭素数1〜4のアルキルシクロヘキシル基、炭素数2〜15のアルコキシアルキル基、−R31−CO−O−R32、−R31−O−CO−R32、または炭素数7〜10のアラルキル基を表す。
31は、炭素数1〜8の2価の脂肪族炭化水素基を表し、R32は、炭素数1〜8の1価の脂肪族炭化水素基を表す。
19およびR20は、それぞれ独立して、水素原子、メチル基、エチル基またはアミノ基を表す。
Mは、CrまたはCoを表す。
Dは、水素原子、1価の金属カチオンまたはキサンテン骨格を有する化合物の1価のカチオンを表す。]
本発明によれば、コントラストが高いカラーフィルタを形成することが可能となる。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)を含み、着色剤(A)が式(A−I)で表される化合物を含んでなる。
着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタを製造するために使用され、式(A−I)で表される化合物は、着色感光性樹脂組成物を製造するために使用される。
Figure 0005481844
[式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、炭素数1〜5の直鎖若しくは分岐のアルキル基、ニトロ基、フェニル基、−SONHR21または−COOR21を表す。
21は、水素原子、炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基、シクロヘキシル基、アルキル部分の炭素数1〜4のアルキルシクロヘキシル基、炭素数2〜15のアルコキシアルキル基、−R31−CO−O−R32、−R31−O−CO−R32、または炭素数7〜10のアラルキル基を表す。
31は、炭素数1〜8の2価の脂肪族炭化水素基を表し、R32は、炭素数1〜8の1価の脂肪族炭化水素基を表す。
19およびR20は、それぞれ独立して、水素原子、メチル基、エチル基またはアミノ基を表す。
Mは、CrまたはCoを表す。
Dは、水素原子、1価の金属カチオンまたはキサンテン骨格を有する化合物の1価のカチオンを表す。]
前記の炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基としては、具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、N−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、デキシル基、1−メチルブチル基、1,1,3,3−テトラメチルブチル基、1,5−ジメチルヘキシル基、1,6−ジメチルヘプチル基、2−エチルヘキシル基および1,1,5,5−テトラメチルヘキシル基が挙げられる。
アルキル部分の炭素数1〜4のアルキルシクロヘキシル基としては、2−メチルシクロヘキシルキ基、2−エチルシクロヘキシル基、2−n−プロピルシクロヘキシル基、2−イソプロピルシクロヘキシル基、2−n−ブチルシクロヘキシル基、4−メチルシクロヘキシルキ基、4−エチルシクロヘキシル基、4−n−プロピルシクロヘキシル基、4−イソプロピルシクロヘキシル基、4−n−ブチルシクロヘキシル基などが挙げられる。
炭素数2〜15のアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、メトキシエチル基、メトキシ−n−プロピル基、メトキシ−n−ブチル基、メトキシ−n−ペンチル基、1−エトキシ−n−プロピル基、2−エトキシ−n−プロピル基、1−エトキシ−イソプロピル基、2−エトキシ−イソプロピル基、1−イソプロポキシ−n−プロピル基、2−イソプロポキシ−n−プロピル基、1−イソプロポキシ−イソプロピル基、2−イソプロポキシ−イソプロピル基、オクチルオキシ−n−プロピル基、3−エトキシ−n−プロピル基、3−(2−エチルヘキシルオキシ)プロピル基などが挙げられ、好ましくは1−エトキシ−n−プロピル基、オクチルオキシ−n−プロピル基、3−エトキシ−n−プロピル基、3−(2−エチルヘキシルオキシ)プロピル基が挙げられる。
−R31−CO−O−R32及び−R31−O−CO−R32(R31は、炭素数1〜8の2価の脂肪族炭化水素基を表し、R32は、炭素数1〜8の1価の脂肪族炭化水素基を表す。)は、カルボキシル基を有する炭素数2〜9の脂肪族炭化水素基と、水酸基を有する炭素数1〜8の脂肪族炭化水素との脱水縮合により得られるエステル結合を有する炭素数4〜10の基や、水酸基を有する炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基と、カルボキシル基を有する炭素数2〜9の脂肪族炭化水素との脱水縮合により得られるエステル結合を有する基である。−R31−CO−O−R32及び−R31−O−CO−R32の炭素数は、4〜10であることが好ましい。
カルボキシル基を有する炭素数2〜9の脂肪族炭化水素としては、酢酸、プロピオン酸、酪酸、イソ酪酸、吉草酸、イソ吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ペラルゴン酸などが挙げられ、好ましくは酢酸、プロピオン酸、酪酸が挙げられる。
前記のカルボキシル基を有する炭素数2〜9の脂肪族炭化水素基としては、前記のカルボキシル基を有する炭素数2〜9の脂肪族炭化水素から水素原子を1個除いたものが挙げられる。
前記の水酸基を有する炭素数1〜8の脂肪族炭化水素としては、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、イソブタノール、sec−ブタノール、tert−ブタノール、n−ペンタノール、1−メチル−n−ブタノール、2−メチル−n−ブタノール、3−メチル−n−ブタノール、n−ヘキサノール、n−ヘプタノール、n−オクタノールなどが挙げられ、好ましくはメタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、イソブタノール、sec−ブタノール、tert−ブタノールが挙げられる。
前記の水酸基を有する炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基は、前記の水酸基を有する炭素数1〜8の脂肪族炭化水素から水素原子を1個除いたものが挙げられる。
前記のカルボキシル基を有する炭素数2〜9の脂肪族炭化水素基と、水酸基を有する炭素数1〜8の脂肪族炭化水素との脱水縮合により得られるエステル結合を有する炭素数4〜10の基としては、酢酸プロピル基、酢酸ブチル基、酢酸ペンチル基、酢酸へキシル基、酢酸へプチル基、酪酸エチル基、酪酸イソプロピル基、酪酸ブチル基、酪酸ペンチル基、酪酸へキシル基、酪酸へプチル基、酪酸オクチル基、吉草酸メチル基、吉草酸エチル基、吉草酸イソプロピル基、吉草酸イソブチル基、吉草酸ペンチル基、吉草酸ヘキシル基、吉草酸へプチル基、カプロン酸メチル基、カプロン酸エチル基、カプロン酸プロピル基、カプロン酸ブチル基、カプロン酸ヘキシル基、エナント酸メチル基、エナント酸エチル基、エナント酸イソプロピル基、エナント酸イソブチル基、エナント酸ペンチル基、カプリル酸メチル基、カプリル酸エチル基、カプリル酸プロピル基、カプリル酸イソプロピル基、カプリル酸ブチル基、カプリル酸イソブチル基、ペラルゴン酸メチル基、ペラルゴン酸エチル基、ペラルゴン酸プロピル基、ペラルゴン酸イソプロピル基などが挙げられ、好ましくは酢酸プロピル基、酢酸ブチル基、酪酸エチル基、酪酸ブチル基、酪酸ペンチル基、酢酸へキシル基、吉草酸メチル基、吉草酸エチル基、吉草酸イソプロピル基、吉草酸イソブチル基が挙げられる。
また、前記のカルボキシル基を有する炭素数2〜9の脂肪族炭化水素基やカルボキシル基を有する炭素数2〜9の脂肪族炭化水素において、該カルボキシル基を、−CO−Cl基に代えることにより、水酸基を有する炭素数1〜9の脂肪族炭化水素や水酸基を有する炭素数1〜9の脂肪族炭化水素基との脱塩酸縮合によって、エステル結合を有する炭素数4〜10の基を得ることもできる。
炭素数7〜10のアラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基および1−メチル−3−フェニルプロピル基が挙げられる。
Dで表される1価の金属カチオンとしては、リチウム、ナトリウム、カリウムなどが挙げられる。
Dで表されるキサンテン骨格を有する化合物の1価のカチオンとしては、式(A−II)で表されるカチオンが挙げられる。
Figure 0005481844
[式(A−II)中、R22〜R26は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基または置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基を表す。]
炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、2−メチル−n−ブチル基、3−メチル−n−ブチル基、2,2−ジメチル−n−プロピル基、n−ヘキシル基、2−メチル−n−ペンチル基、3−メチル−n−ペンチル基、4−メチル−n−ペンチル基、1,1−ジメチル−n−ブチル基、1,2−ジメチル−n−ブチル基、1,3−ジメチル−n−ブチル基、2,2−ジメチル−n−ブチル基、2,3−ジメチル−n−ブチル基、3,3−ジメチル−n−ブチル基、1−エチル−n−ブチル基、2−エチル−n−ブチル基、3−エチル−n−ブチル基、1,1,2−トリメチル−n−プロピル基、1,2,2−トリメチル−n−プロピル基などが挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基が挙げられる。
置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素としては、フェニル基、o−トルイル基、m−トルイル基、p−トルイル基、ナフチル基などが挙げられる。
式(A−II)中、R22〜R26は任意に組合せることができるが、好ましくはR22およびR24が水素原子、R23およびR25がエチル基、R26がメチル基である組合せ、R22およびR24が水素原子、R23およびR25がエチル基、R26がエチル基である組合せが挙げられる。
前記の各置換基等は、任意に組合せて、式(A−I)で表される色素とすることができるが、中でも式(A−I)で表される色素のうち、好ましいものとしては、以下で挙げられるものが例示される。
Figure 0005481844
Figure 0005481844
Figure 0005481844
Figure 0005481844
Figure 0005481844
Figure 0005481844
Figure 0005481844
Figure 0005481844
着色剤(A)の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは25〜60質量%であり、より好ましくは27〜55質量%であり、さらに好ましくは30〜50質量%である。
着色剤(A)の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタとしたときの色濃度が十分であり、かつ組成物中にバインダー樹脂(B)を必要量含有させることができるので、機械的強度が十分なパターンを形成することができることから好ましい。
ここで、着色感光性樹脂組成物中の固形分は、着色感光性樹脂組成物に含まれる溶剤を除いた成分の合計量をいう。
着色剤(A)中の式(A−I)で表される化合物の含有量は、着色剤(A)に対して質量分率で、好ましくは10〜100質量%であり、より好ましくは15〜100質量%であり、さらに好ましくは20〜100質量%である。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、バインダー樹脂(B)を含む。前記のバインダー樹脂(B)は、好ましくは(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位を含有する。ここで、(メタ)アクリル酸は、アクリル酸および/またはメタクリル酸を表す。前記の(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位の含有量は、バインダー樹脂(B)を構成する全構成単位の合計モル数を100モル%としたときに、モル分率で、好ましくは16〜40モル%、より好ましくは18〜38モル%である。メタ(アクリル)酸から導かれる構成単位の含有量が前記の範囲にあると、現像時に、非画素部の溶解性が良好であり、かつ、現像後の非画素部に残渣が残りにくい傾向があり、好ましい。
(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位以外のバインダー樹脂の構成単位を導く他のモノマーとしては、例えば、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類、重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基またはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類、側鎖に重合性不飽和結合を導入することができる化合物などを挙げることができる。側鎖に重合性不飽和結合を導入することができる化合物としては、式(B−I)で表される単位を導く化合物および式(B−III)で表される単位を導く化合物などを挙げることができる。
Figure 0005481844
[式(B−I)および式(B−III)中、QおよびQは、それぞれ独立して、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を表す。]
前記のバインダー樹脂としては、具体的には、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/スチレン共重合体、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/イソボルニルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸/式(B−I)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(B−I)中、Qはメチル基を表し、Qは水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、式(B−I)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(B−I)中、Qはメチル基を表し、Qは水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/式(B−III)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(B−III)中、Qはメチル基を表し、Qは水素原子を表す。)/スチレン共重合体/トリシクロデカニルメタクリレート共重合体などが挙げられ、好ましくは、メタクリル酸/式(B−I)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(B−I)中、Qはメチル基を表し、Qは水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、式(B−I)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(B−I)中、Qはメチル基を表し、Qは水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/式(B−III)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(B−III)中、Qはメチル基を表し、Qは水素原子を表す。)/スチレン共重合体/トリシクロデカニルメタクリレート共重合体が挙げられる。
側鎖に重合性不飽和結合を有する樹脂を用いると、得られる塗膜において、耐溶剤性が高くなる傾向があり、好ましい。
バインダー樹脂(B)の酸価は、通常、50〜150であり、好ましくは60〜135、より好ましくは70〜135である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。ここで酸価はアクリル酸系重合体1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
バインダー樹脂(B)の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、通常、10〜35質量%であり、好ましくは12〜33質量%であり、より好ましくは13〜32質量%である。バインダー樹脂(B)の含有量が、前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
式(I)で表される構成成分を有するバインダー樹脂、例えば、メタクリル酸/式(B−I)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(B−I)中、Qはメチル基を表し、Rは水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとを重合させて2成分重合体を得て、得られた2成分重合体と式(B−II)で表される化合物(ただし、ここでは、式(B−II)中、Qは水素原子を表す。)とを反応させて得ることができる。
Figure 0005481844
メタクリル酸/式(B−III)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(B−III)中、Qはメチル基を表し、Qは水素原子を表す。)/スチレン共重合体/トリシクロデカニルメタクリレート共重合体は、ベンジルメタクリレート、メタクリル酸、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート共重合体に、グリシジルメタクリレートを反応させて得ることができる。
バインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、通常、5,000〜35,000であり、好ましくは6,000〜30,000であり、より好ましくは7,000〜28,000である。ポリスチレン換算重量平均分子量が前記の範囲にあると、塗膜の硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は光重合性化合物(C)を含む。光重合性化合物(C)は、光を照射されることによって光重合開始剤(D)から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
前記の光重合性化合物(C)としては、3官能以上の光重合性化合物であることが好ましい。3官能以上の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。前記の光重合性化合物(C)は、単独でも2種以上を組合せて用いてもよい。
光重合性化合物(C)の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは5〜90質量%であり、より好ましくは10〜80質量%であり、さらに好ましくは20〜70質量%である。光重合性化合物(C)の含有量が前記の範囲にあると、塗膜の硬化が十分におこり、現像前後での膜厚比率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は光重合開始剤(D)を含む。前記の光重合開始剤(D)としては、アセトフェノン系化合物、活性ラジカル発生剤、酸発生剤などが挙げられる。
前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オンなどが挙げられる。
前記の活性ラジカル発生剤は光を照射されることによって活性ラジカルを発生する。前記の活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物などが挙げられる。
前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
前記のトリアジン系化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。
前記のオキシム系化合物としては、例えば、O−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1−オンオキシム−O−アセタート等が挙げられる。その市販品としては、OXE−01(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)などが挙げられる。
前記の例示以外の活性ラジカル発生剤として、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
前記の酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
また、前記の活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
光重合開始剤(D)の含有量は、バインダーポリマー(B)および光重合性化合物(C)の合計量に対して質量分率で、好ましくは0.1〜20質量部であり、より好ましくは1〜15質量%である。光重合開始剤の含有量が、前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上し、一方感度が高すぎることによってラインアンドスペースのパターンが解像する最小線幅において線幅が太くなりすぎない傾向があることから好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに光重合開始助剤(G)を含んでもよい。光重合開始助剤(G)は、通常、光重合開始剤(D)と組合せて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物(C)の重合を促進するために用いられる化合物である。
光重合開始助剤(G)としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
光重合開始助剤(G)は、単独でも2種以上を組合せて用いてもよい。また、光重合開始助剤(G)としては、市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤(G)としては、例えば、商品名「EAB−F」(保土谷化学工業(株)製)などが挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物における光重合開始剤(D)および光重合開始助剤(G)の組合せとしては、例えば、ジエトキシアセトフェノン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマー/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが挙げられる。
これらの光重合開始助剤(G)を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤(D)1モルあたり、通常、0.01〜10モル、好ましくは0.01〜5モルである。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、架橋向上剤(E)を含むことが好ましい。架橋向上剤が含まれると、得られる塗膜の耐薬品性が良好になる傾向があり、好ましい。
前記の架橋向上剤(E)としては、エポキシ系化合物、メラミン誘導体などが挙げられ、好ましくはエポキシ系化合物が挙げられる。
前記のエポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂などの芳香族系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル型樹脂、グリシジルアミン型樹脂、エポキシ化などのエポキシ樹脂、前記各エポキシ樹脂の臭素化誘導体、脂肪族化合物のエポキシ化物、脂環式化合物のエポキシ化物、芳香族化合物のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられ、好ましくはビスフェノールA型エポキシ樹脂、芳香族系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂が挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物における架橋向上剤(E)の含有量は、バインダー樹脂(B)および光重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、通常、2質量部以上、好ましくは4質量部以上、さらに好ましくは10質量部以上、特に好ましくは20質量部以上であり、また、通常、40質量部以下、好ましくは35質量部以下である。
本発明の着色感光性樹脂組成物は溶剤(F)を含む。溶剤(F)としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
前記のアミド類としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
これらの中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートや3−エトキシプロピオン酸エチルが好ましく、これらを併用することがより好ましい。
さらに前記の溶剤は、単独でも2種類以上を組合せて用いてもよい。
着色感光性樹脂組成物における溶剤(F)の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは70〜95質量%であり、より好ましくは75〜90質量%である。溶剤(F)の含有量が前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になり、またカラーフィルタを形成した際に色濃度が不足しないために表示特性が良好となる傾向があるため好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに、界面活性剤(H)を含んでもよい。前記の界面活性剤(H)としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。
前記のシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンDC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同29SHPA、同SH30PA、ポリエーテル変性シリコンオイルSH8400(商品名:トーレシリコーン(株)製)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越シリコーン製)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF−4446、TSF4452、TSF4460(ジーイー東芝シリコーン(株)製)などが挙げられる。
前記のフッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、フロラード(商品名)FC430、同FC431(住友スリーエム(株)製)、メガファック(商品名)F142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同R30(大日本インキ化学工業(株)製)、エフトップ(商品名)EF301、同EF303、同EF351、同EF352(新秋田化成(株)製)、サーフロン(商品名)S381、同S382、同SC101、同SC105(旭硝子(株)製)、E5844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)、BM−1000、BM−1100(いずれも商品名:BM Chemie社製)などが挙げられる。
前記のフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合およびフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファック(登録商標)R08、同BL20、同F475、同F477、同F443(大日本インキ化学工業(株)製)などがあげられる。
これらの界面活性剤は、単独でも2種類以上を組合せて用いてもよい。
界面活性剤(H)の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対し質量分率で、好ましくは0.0005〜0.6質量%であり、より好ましくは0.001〜0.5質量%である。界面活性剤(H)の含有量が、前記の範囲にあると、着色感光性樹脂組成物を塗布した際に、得られる塗膜の平坦性が良好になる傾向があり好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタのパターンを形成する方法としては、例えば、本発明の着色感光性樹脂組成物を、基板または別の樹脂層(例えば、基板の上に先に形成された別の着色感光性樹脂組成物層など)の上に塗布し、溶剤など揮発成分を除去して着色層を形成し、フォトマスクを介して該着色層を露光して、現像後、加熱または露光の少なくともいずれか一つにより硬化させるフォトリソ法や、着色感光性樹脂組成物を、インクジェット装置により、基板上または別の樹脂層上に塗布し、溶剤など揮発成分を除去して着色層を形成し、加熱または露光の少なくともいずれか一つにより硬化させるインクジェット法などが挙げられる。
前記の塗布に用いる装置としては、スピンコーター、スリットコーター、カーテンフローコーター、流延塗布装置、インクジェット装置などが挙げられる。
溶剤などの揮発成分を除去するためには、例えば、用いられた溶剤の沸点以上に加熱したり、減圧することにより蒸気圧を低下させ沸点以下の温度に加熱したりすることにより除去することができる。
フォトマスクには、必要とされるパターンの形状に応じて、遮光部と非遮光部が形成されている。
露光は、例えば、g線、h線、i線などの光源を用いて、ステッパやマスクアライナーなどの装置を用いて行われる。
露光後の着色層は、現像処理され、パターンが形成される。
現像処理は、現像装置を用いて行われ、通常、アルカリ性溶液中に浸漬するか、着色層にアルカリ性溶液を噴射して行われる。現像後、通常、リンス処理が行われ、着色層に接触したアルカリ性溶液が除去される。
リンス処理の後、通常、ドライヤー等の乾燥装置を用いて、着色層は乾燥される。
乾燥後の着色層は、加熱または露光されることによって、硬化させられ、パターンが得られる。
得られたパターンは、カラーフィルタの赤色層をなし、例えば、緑色層、青色層を別途形成し、これらを合せてカラーフィルタとすることができる。
なお、赤色層の形成は、他の色の層と、その形成順序が異なってもよい。
得られたカラーフィルタは、例えば、イメージセンサや表示装置のカラーフィルタとして用いることができる。
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
合成例1
<バインダー樹脂(B1)の合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよびガス導入管を備えた1Lのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート333gを導入した。その後、ガス導入管を通じて窒素ガスをフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換した。その後、フラスコ内の溶液を100℃に昇温した後、N−ベンジルマレイミド18.7g(0.10モル)、ベンジルメタクリレート70.5g(0.40モル)、メタクリル酸51.7g(0.6モル)、メチルメタクリレート90.0g(0.9モル)、アゾビスイソブチロニトリル5.2gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート182gからなる混合物を、滴下ロートを用いて2時間かけてフラスコに滴下し、滴下完了後さらに100℃で5時間撹拌を続けた。
攪拌終了後、ガス導入管を通じて空気がフラスコ内に導入され、フラスコ内雰囲気が空気に置換された後、グリシジルメタクリレート28.5g[0.2モル(本反応に用いたメタクリル酸に対してモル分率で、33モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール1.3gおよびハイドロキノン0.165gをフラスコ内に投入し、反応を110℃で6時間続け、固形分31.3%、酸価80mgKOH/gの樹脂B1を得た。
ここで、酸価は、カルボン酸などの酸基を有する重合体1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常、濃度既知の水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求められる。
得られたバインダー樹脂(B1)の、下記条件のGPC法により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は16,000であった。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG2000HXL
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0mL/min
被検液固形分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量;50μL
検出器;RI
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
合成例2
<バインダー樹脂(B2)の合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよびガス導入管を備えた1Lのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート333gを導入した。その後、ガス導入管を通じて窒素ガスをフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気を窒素ガスに置換した。その後、フラスコ内の溶液が100℃に昇温された後、ジシクロペンタニルメタクリレート(FA−513M;日立化成(株)製)22.0g(0.10モル)、ベンジルメタクリレート88.0g(0.50モル)、メタクリル酸34.5g(0.40モル)、アゾビスイソブチロニトリル3.3gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート164gからなる混合物を、滴下ロートを用いて2時間かけてフラスコに滴下し、滴下完了後さらに100℃で5時間撹拌が続けた。
攪拌終了後、ガス導入管を通じて空気をフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気が空気に置換された後、グリシジルメタクリレート21.5g[0.15モル(本反応に用いたメタクリル酸に対してモル分率で、27モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9gおよびハイドロキノン0.145gをフラスコ内に投入し、反応を110℃で6時間続け、固形分28.7%、酸価80mgKOH/gの樹脂B2を得た。
得られたバインダー樹脂(B2)の、上記と同じ条件のGPC法により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は25,000であった。
合成例3
<バインダー樹脂(B3)の合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよびガス導入管を備えた1Lのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート333gを導入した。その後、ガス導入管を通じて窒素ガスをフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気を窒素ガスに置換した。その後、フラスコ内の溶液を100℃に昇温した後、ジシクロペンタニルメタクリレート(FA−513M;日立化成(株)製)22.0g(0.10モル)、ベンジルメタクリレート79.5g(0.45モル)、メタクリル酸38.5g(0.45モル)、アゾビスイソブチロニトリル3.3gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート164gからなる混合物を、滴下ロートを用いて2時間かけてフラスコに滴下し、滴下完了後さらに100℃で5時間撹拌を続けた。
攪拌終了後、ガス導入管を通じて空気をフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気を空気にした後、グリシジルメタクリレート21.5g[0.15モル(本反応に用いたメタクリル酸に対してモル分率で、30モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9gおよびハイドロキノン0.145gをフラスコ内に投入し、反応を110℃で6時間続け、固形分28.6%、酸価105mgKOH/gの樹脂B3を得た。
得られたバインダー樹脂(B3)の、上記と同じ条件のGPC法により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は30,000であった。
本実施例で用いる成分は以下の通りであり、以下、省略して表示することがある。
(A−1)着色剤:式(3)で表される化合物(Orasol Red 3GL;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
Figure 0005481844
(A−2)着色剤:式(4)で表される化合物(Orasol Red G;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
Figure 0005481844
(A−3)着色剤:式(5)で表される化合物(Valifast Red 3312;オリエント化学工業(株)製)
Figure 0005481844
(A−4)着色剤:式(6)で表される化合物(Valifast Red 3320;オリエント化学工業(株)製)
Figure 0005481844
(A−5)着色剤:式(7)で表される化合物(VALIFAST Red 1308;オリエント化学工業(株)製)
Figure 0005481844
(A−6)着色剤:式(8)で表される化合物(VALIFAST Red 1360、オリエント化学工業(株)製)
Figure 0005481844
(B−1)合成例1で得た樹脂B1
(B−2)合成例2で得た樹脂B2
(B−3)合成例3で得た樹脂B3
(C−1)光重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製)
(C−2)光重合性化合物:トリメチロールペンタントリアクリレート(日本化薬(株)製)
(D−1)光重合開始剤:2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン
(D−2)光重合開始剤:2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン
(D−3)光重合開始剤:OXE−01(オキシム系化合物;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
(G−1)光重合開始助剤:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(G−2)光重合開始助剤:2,4−ジエチルチオキサントン
(E−1)エポキシ化合物:スミエポキシESCN−195XL−80(住友化学(株)製)
(F−1)溶剤 :プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、PGMEAと略す。)
(F−2)溶剤 :プロピレングリコールモノメチルエーテル(以下、PGMEと略す。)
(F−3)溶剤 :乳酸エチル
(F−4)溶剤 :3−エトキシプロピオン酸エチル
(H−1)レベリング剤:メガファックF475(大日本インキ化学工業(株)製)
実施例1
〔着色感光性樹脂組成物1の調製〕
(A−1) 9.500質量部
(B−1) 3.189質量部
(C−1) 4.784質量部
(D−1) 0.718質量部
(D−2) 0.558質量部
(G−1) 0.239質量部
(F−1) 27.540質量部
(F−2) 53.460質量部
(H−1) 0.012質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物1を得た。
ガラス基板〔#1737;コーニング社製〕の上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物1をスピンコート法で塗布したのち、100℃で3分間乾燥して揮発分を揮発させて、着色感光性樹脂組成物層を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してi線〔波長365nm〕を照射して露光した。i線の光源としては、超高圧水銀ランプを用い、照射光量は150mJ/cm2とした。露光後、220℃で20分間加熱処理して、塗膜の形成されたガラス基板を得た。
〔評価〕
得られたガラス基板上の塗膜の色度を、測色機(OSP−SP−200;OLYMPUS社製)を用いて測定した。また、コントラスト計(色彩色差計BM−5A;トプコン社製)を用いて色特性としてのRxおよびコントラストを測定した。結果を表1及び表2に示す。
さらに得られたガラス基板上の塗膜を、該塗膜に対して大過剰量の23℃に保たれたPGMEA中に浸漬して30分間放置後、測色機を用いて色度を測定し、浸漬前の色度との色差を求めた。また、浸漬する液を、PGMEに代える以外は前記と同様にして、色差を求めた。これらの結果を、PGMEA耐性およびPGME耐性として、表1に示す。
色差が5以下の場合、塗膜の耐溶剤性は良好であり、5〜10の場合、塗膜の耐溶剤性は実用上問題のない程度であり、10を超える場合、塗膜の耐溶剤性は不良である。
実施例2
〔着色感光性樹脂組成物2の調製〕
(A−2) 9.500質量部
(B−1) 3.189質量部
(C−1) 4.784質量部
(D−1) 0.718質量部
(D−2) 0.558質量部
(G−1) 0.239質量部
(F−1) 27.540質量部
(F−2) 53.460質量部
(H−1) 0.012質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物2を得た。実施例1と同様にして評価を行った。結果を表1に示す。
実施例3
〔着色感光性樹脂組成物3の調製〕
(A−1) 9.500質量部
(B−1) 2.547質量部
(C−1) 3.821質量部
(E−1) 1.910質量部
(D−1) 0.573質量部
(D−2) 0.446質量部
(G−1) 0.191質量部
(F−1) 40.500質量部
(F−3) 40.500質量部
(H−1) 0.012質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物3を得た。実施例1と同様にして評価を行った。結果を表1に示す。
実施例4
〔着色感光性樹脂組成物4の調製〕
(A−2) 9.500質量部
(B−1) 2.547質量部
(C−1) 3.821質量部
(E−1) 1.910質量部
(D−1) 0.573質量部
(D−2) 0.446質量部
(G−1) 0.191質量部
(F−1) 40.500質量部
(F−3) 40.500質量部
(H−1) 0.012質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物4を得た。実施例1と同様にして評価を行った。結果を表1に示す。
実施例5
〔着色感光性樹脂組成物5の調製〕
(A−3) 9.500質量部
(B−1) 3.189質量部
(C−1) 4.784質量部
(D−1) 0.718質量部
(D−2) 0.558質量部
(G−1) 0.239質量部
(F−1) 27.540質量部
(F−2) 53.460質量部
(H−1) 0.012質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物5を得た。コントラストのみを実施例1と同様にして評価を行った。結果を表2に示す。
実施例6
〔着色感光性樹脂組成物6の調製〕
(A−4) 9.500質量部
(B−1) 3.189質量部
(C−1) 4.784質量部
(D−1) 0.718質量部
(D−2) 0.558質量部
(G−1) 0.239質量部
(F−1) 27.540質量部
(F−2) 53.460質量部
(H−1) 0.012質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物6を得た。コントラストのみを実施例1と同様にして評価を行った。結果を表2に示す。
実施例7
〔着色感光性樹脂組成物7の調製〕
(A−3) 9.500質量部
(B−1) 3.189質量部
(C−1) 4.784質量部
(E−1) 1.910質量部
(D−1) 0.718質量部
(D−2) 0.558質量部
(G−1) 0.239質量部
(F−1) 27.540質量部
(F−2) 53.460質量部
(H−1) 0.012質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物7を得た。コントラストのみを実施例1と同様にして評価を行った。結果を表2に示す。
実施例8
〔着色感光性樹脂組成物8の調製〕
(A−4) 9.500質量部
(B−1) 3.189質量部
(C−1) 4.784質量部
(E−1) 1.910質量部
(D−1) 0.718質量部
(D−2) 0.558質量部
(G−1) 0.239質量部
(F−1) 27.540質量部
(F−2) 53.460質量部
(H−1) 0.012質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物8を得た。コントラストのみを実施例1と同様にして評価を行った。結果を表2に示す。
比較例1
〔比較着色感光性樹脂組成物1の調製〕
(A−5) 9.500質量部
(B−1) 2.547質量部
(C−1) 3.821質量部
(E−1) 1.910質量部
(D−1) 0.573質量部
(D−2) 0.446質量部
(E−1) 0.191質量部
(F−1) 40.500質量部
(F−3) 40.500質量部
(G−1) 0.012質量部
を混合して比較着色感光性樹脂組成物1を得た。コントラストのみを実施例1と同様にして評価を行った。結果を表2に示す。
比較例2
〔着色感光性樹脂組成物2の調製〕
(A−6) 9.500質量部
(B−1) 2.547質量部
(C−1) 3.821質量部
(E−1) 1.910質量部
(D−1) 0.573質量部
(D−2) 0.446質量部
(E−1) 0.191質量部
(F−1) 40.500質量部
(F−3) 40.500質量部
(G−1) 0.012質量部
を混合して比較着色感光性樹脂組成物2を得た。コントラストのみを実施例1と同様にして評価を行った。結果を表2に示す。
Figure 0005481844
Figure 0005481844
実施例1〜8、並びに比較例1および2では、CIE1931のxとして同じ値でのコントラストの測定結果を対比した。比較例2では、同じxの値になる膜を作製できなかったため、同じ膜厚(2.0μm)でのx値およびコントラスト値を示した。
表1及び表2から、実施例1〜8で用いた着色剤においてコントラストが良好であり、これらの着色剤を用いた場合、色特性が優れるカラーフィルタを作成することができる。
表1から、実施例3及び4での着色剤および架橋向上剤を含む着色感光性樹脂組成物を用いて形成したカラーフィルタにおいて、コントラスト、耐PGMEA性および耐PGME性が良好であり、本発明の着色感光性樹脂組成物の重ね塗りが可能であり、カラーフィルタ作成に有用であることが示された。

Claims (6)

  1. 着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)および溶剤(F)を含み、着色剤(A)が、式(A−I)で表される化合物を含んでなる着色剤である着色感光性樹脂組成物。
    Figure 0005481844
    [式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、炭素数1〜5の直鎖若しくは分岐のアルキル基、ニトロ基、フェニル基、−SONHR21または−COOR21を表す。
    21は、水素原子、炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基、シクロヘキシル基、アルキル部分の炭素数1〜4のアルキルシクロヘキシル基、炭素数2〜15のアルコキシアルキル基、−R31−CO−O−R32、−R31−O−CO−R32、または炭素数7〜10のアラルキル基を表す。
    31は、炭素数1〜8の2価の脂肪族炭化水素基を表し、R32は、炭素数1〜8の1価の脂肪族炭化水素基を表す。
    19およびR20は、それぞれ独立して、水素原子、メチル基、エチル基またはアミノ基を表す。
    Mは、CrまたはCoを表す。
    Dは、キサンテン骨格を有する化合物の1価のカチオンを表す。]
  2. バインダー樹脂(B)が、側鎖に重合性不飽和結合を有する樹脂である請求項1記載の着色感光性樹脂組成物。
  3. さらに、架橋向上剤(E)を含む請求項1又は2記載の着色感光性樹脂組成物。
  4. 架橋向上剤(E)がエポキシ基を含む化合物である請求項3記載の着色感光性樹脂組成物。
  5. 請求項1〜4のいずれか記載の着色感光性樹脂組成物から形成されるパターンを含んでなるカラーフィルタ。
  6. カラーフィルタを製造するための請求項1〜4のいずれか記載の着色感光性樹脂組成物の使用。
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