JP5473561B2 - ガラスセラミック配線基板およびコイル内蔵ガラスセラミック配線基板ならびにガラスセラミック配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2・・・フェライト層
3・・・配線導体
4・・・コイル導体
Claims (4)
- ガラス相および第1結晶を含むガラスを有するガラスセラミックスからなり、遷移金属の酸化物または硫化物からなるスピネル構造の第2結晶を着色顔料として含む複数の絶縁層と、フェライト結晶を有する、前記複数の絶縁層の間に設けられた複数のフェライト層と、表面および内部に形成された配線導体とを備え、前記第1結晶と前記第2結晶と前記フェライト結晶とは同一の結晶構造で、前記第1結晶と前記第2結晶と前記フェライト結晶とは異なる格子定数であって、前記第1結晶と前記第2結晶との格子定数の差が前記第2結晶の格子定数の13.3%以内であるとともに、前記第2結晶と前記フェライト結晶との格子定数の差が前記第2結晶の格子定数の11.4%以内であることを特徴とするガラスセラミック配線基板。
- 前記第1結晶がMg2SiO4であり、前記フェライト結晶がFeFe2O4であるとともに、前記第2結晶がFeV2O4,CoCr2O4,MnCo2O4およびCoFe2O4のいずれか1つであることを特徴とする請求項1記載のガラスセラミック配線基板。
- 請求項1または請求項2に記載のガラスセラミック配線基板の前記複数のフェライト層の層間にコイル導体が形成されていることを特徴とするコイル内蔵ガラスセラミック配線基板。
- ガラス相および第1結晶を含むガラスを有するガラスセラミックスからなり、遷移金属の酸化物または硫化物からなるスピネル構造の第2結晶を着色顔料として含む複数の絶縁層と、フェライト結晶を有する、前記複数の絶縁層の間に設けられた複数のフェライト層と、表面および内部に形成された配線導体とを備え、前記第1結晶と前記第2結晶と前記フェライト結晶とは同一の結晶構造で、前記第1結晶と前記第2結晶と前記フェライト結晶とは異なる格子定数であって、前記第1結晶と前記第2結晶との格子定数の差が前記第2結晶の格子定数の13.3%以内であるとともに、前記第2結晶と前記フェライト結晶との格子定数の差が前記第2結晶の格子定数の11.4%以内となるガラスセラミック配線基板の製造方法であって、フォルステライトからなる10〜40質量%のフィラーと、SiO2を22〜52質量%、B2O3を2〜12質量%、Al2O3を9〜29質量%、ZnOを9〜29質量%、CaOを1〜9質量%およびMgOを7〜21質量%含み、かつ前記Al2O3に対する前記ZnOのモル比が0.8〜1.2である60〜90質量%のガラスと、FeV2O4,CoCr2O4,MnCo2O4およびCoFe2O4のいずれか1つからなる2〜8質量%の前記着色顔料とを有する複数のセラミックグリーンシートを準備する第1準備工程と、
FeFe2O4を有するフェライトグリーンシートを準備する第2準備工程と、
前記セラミックグリーンシートと前記フェライトグリーンシートとを、層間に配線導体となる導体パターンを形成するとともに積層してグリーンシート積層体を作製する積層体作製工程と、
前記グリーンシート積層体を焼成する焼成工程とを具備することを特徴とするガラスセラミック配線基板の製造方法。
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