JP2007173650A - 配線基板およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】実装パッドとフェライトとの界面の強度が高く、実装パッドに実装した半導体チップやチップ部品の実装信頼性が高い配線基板(例えばコイル内蔵基板)、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】表層がフェライト層20とされた絶縁性基体と、フェライト層20に表面に形成された1以上の実装パッド5と、を備えた配線基板1であって、実装パッド5を、外周部に2価の金属酸化物を含むものとした。好ましくは、実装パッド5は、金属材料を主成分とする第1導体部51と、前記金属材料および前記2価の金属酸化物を含む第2導体部52と、を有するものとする。
【選択図】図1

Description

本発明は、絶縁性基体の表面に、低抵抗金属からなる配線導体が同時焼成されて形成される配線基板およびその製造方法に関し、特に、絶縁性基板の内部にインダクタンス値を上げるための磁性フェライト層が設けられたコイル内蔵基板およびその製造方法に関するものである。
従来、携帯電話機を始めとする移動体通信機器等の電子機器には、多数の電子装置が組み込まれている。このような携帯電話等の通信機器は、近年、小型化が急激に進んでおり、通信機器に搭載される各種の電子装置に対しても小型化および薄型化が要求されている。このような通信機器に搭載される電子装置としては、たとえば、ガラスセラミック配線基板の内部にコイルが内蔵されたLCフィルタが知られている(たとえば特許文献1参照)。
このLCフィルタは、セラミック基板等の絶縁性基板の内部にコイルを内蔵することにより、従来のようにコイルをチップ部品として外付けしていたものを不要にし、小型化および薄型化が図られている。特に、100nHを超えるインダクタンスの大きなコイルはチップ部品として比較的大型であるために、この大きなコイルを絶縁性基板の内部に内蔵することができた場合には、LCフィルタをより効果的に小型化および薄型化させることができる。
しかしながら、コイルを内蔵したセラミック等の絶縁性基板は、基板自体が非磁性であるために、100nH程度の比較的大きなインダクタンスを得るためには、内蔵させるコイルの巻き数を多くすることが必要である。したがって、コイルの巻き数を多くするために、基板の面積を大きくしたり、あるいはコイル用導体が形成された絶縁体層の積層数を多くする必要がある。その結果、絶縁性基板の小型化、薄型化が阻害され、LCフィルタの小型化、薄型化が図れないという問題があった。
そこで、近年、LCフィルタにおいては、絶縁性基板に強磁性を有するフェライト層を用い、この磁性フェライト層内部にコイルを埋設させることにより、コイルの巻き数を増やさずに100nHを超えるインダクタンスを実現するとともに、効果的に絶縁基板の小型化、薄型化することが図られている(たとえば特許文献2および3参照)。
また、コイル以外の配線を磁性フェライト層からなる絶縁性基板上に形成した場合には、配線のインダクタンスが高いものとなるので、配線のインダクタンスを低減させるために、配線用の絶縁性基体として磁性を有さない非磁性フェライト層やセラミック層が用いられている(たとえば特許文献4参照)。さらにまた、配線の導体抵抗を小さくすることによって高周波信号を高速に伝播させるために、低抵抗の金属粉末と同時焼成可能な低温焼成フェライト層やガラスセラミック層が絶縁性基体として用いられている。
このようなコイル内蔵基板、たとえば携帯電話機に使用されるコイル内蔵基板は、複数の非磁性フェライト層が積層されてなる一対の絶縁層と、これらの絶縁層に挟まれて積層されるとともに内部にコイル用導体が埋設された第1の磁性フェライト層及び第2の磁性フェライト層とによって構成されている。そして、絶縁層の表面には、半導体チップやチップ部品を搭載したり、外部の配線基板に接続したりするための実装パッド等の表面配線導体が形成されている。
このようなコイル内蔵基板は、例えば以下のようにして作製される。
まず、非磁性フェライト粉末およびガラス粉末に適当な有機バインダ、可塑剤および有機溶剤等を混合することによってスラリーを得て、ドクターブレード法等を用いることによって、先のスラリーから非磁性フェライトグリーンシートを作製する。同様に、磁性フェライト粉末に適当な有機バインダ、可塑剤および有機溶剤等を混合することによって得られたスラリーから、磁性フェライトグリーンシートを作製する。次いで、Cu、Ag、Au、Ag合金等の金属粉末に適当な有機バインダおよび溶剤を混練して作製した金属導体ペーストを、非磁性フェライトグリーンシートの表面に実装パッド等の表面配線用導体パターンとして印刷する。その一方で、上述の金属導体ペーストを磁性フェライトグリーンシートの表面にコイル導体パターンとして印刷する。そして、少なくとも2枚の磁性フェライトグリーンシートの間にコイル導体を形成し、その外層に複数の非磁性フェライトグリーンシートを積層することにより積層体を形成した後に、この積層体を焼成することによって、コイル内蔵基板が製造される。
特開平2−101714号公報 特開平6−20839号公報 特開平6−21264号公報 特開平6−333743号公報
しかしながら、従来のコイル内蔵基板の製造方法では、金属導体ペーストを焼成してなる表層配線導体は、導体抵抗を低くすることにより電気的な損失を防ぐために、金属成分のみからなるものとされている。しかしながら、金属成分は、焼成時においてもフェライトに拡散しないので、表層配線導体とフェライトとの結合力が強くなるものではなかった。その上、金属成分の焼成収縮量がフェライトの焼成収縮量に比べて大きいことから、焼成により表面配線導体の表面側が凹形状に反り、この反りによる応力が表面配線導体とフェライトの界面とに作用する。この応力は、表面配線導体の端部で大きくなるため、フェライトから表面配線導体が剥離してしまう場合もあった。表面配線導体の端部が剥離してしまうほどではなくても、実装パッドにおいて表面配線導体とフェライトとの接合強度が低下してしまうと、実装パッドに実装された半導体チップやチップ部品に外力が作用したり、実装された部品や接続された外部の配線基板との熱膨張差による応力が作用したりすると、実装パッドが剥離するなどして実装信頼性が低下するという問題点があった。
このような問題を解決するために、通常のセラミック配線基板と同様に、実装パッドにガラス組成物を添加することによって結合強度を高めることも考えられるが、その場合には焼成時に軟化温度の低いガラスが液層としてフェライト層内に拡散してしまう。そのため、フェライト層の焼結温度が下がってフェライト層の焼結が収縮を伴わない表面拡散が支配的なものとなり、焼結体の中にボイドが多く内在したものとなる。その結果、実装パッドとの界面付近のフェライトの磁器強度が低下し、ここに外力などが作用すると実装パッドの直下のフェライトが破壊し、コイル内蔵基板の実装パッドに実装した半導体チップやチップ部品が剥がれるという問題点があった。
本発明は以上のような従来の問題点を解決するために案出されたものであり、その目的は、実装パッドとフェライトとの界面の強度を高くすることで、実装パッドに実装した半導体チップやチップ部品の実装信頼性が高い配線基板、例えば、コイル内蔵基板等とその製造方法を提供することにある。
本発明の第1の側面において提供される配線基板は、表層がフェライト層とされた絶縁性基体と、前記フェライト層に表面に形成された1以上の実装パッドと、を備えた配線基板であって、前記実装パッドは、外周部に2価の金属酸化物を含まれていることを特徴としている。
実装パッドは、金属材料を主成分とする第1導体部と、第1導体部の外周縁における少なくとも一部を囲むように第1導体部に一体化され、かつ金属材料および2価の金属酸化物を含む第2導体部と、を有した構成であるのが好ましい。
金属材料としては、Cu、Ag、Au、Pt、Al、Ag−Pd合金およびAg−Pt合金のうちの少なくとも1種を使用するのが好ましく、2価の金属酸化物としては、CuOおよびZnOのうちの少なくとも1種を使用するのが好ましい。
第2導体部における2価の金属酸化物の含有量は、金属材料100質量部に対して、5〜15質量部であるのが好ましい。
第2導体部は、たとえば枠状に形成され、この場合の第2導体部の幅寸法は30μm以上に設定される。
本発明の第2の側面においては、複数のフェライトグリーンシートを準備する工程と、 前記複数のフェライトグリーンシートのうちの少なくとも1つフェライトグリーンシートの表面における所定の部位に、第1金属材料からなる金属粉末を主成分とする第1の金属導体ペーストを印刷する工程と、前記金属粉末を主成分とし、かつ2価の金属酸化物をさらに含んだ第2の金属導体ペーストを、前記第1の金属導体ペーストの外周縁に隣接させて印刷する工程と、上記第1および第2の金属導体ペーストが塗布されたフェライトグリーンシートが最表層に位置するように前記複数のフェライトグリーンシートを積層して積層体を形成する工程と、上記積層体を焼成する工程と、を有することを特徴とする、配線基板の製造方法が提供される。
本発明においては、金属粉末としては、Cu、Ag、Au、Pt、Al、Ag−Pd合金およびAg−Pt合金の中から選択される少なくとも1種の金属の粉末を使用するのが好ましく、2価の金属酸化物としては、CuOおよびZnOのうちの少なくとも1種を使用するのが好ましい。
第2金属導体ペーストとしては、金属粉末100質量部に対して、2価の金属酸化物を5〜15質量部含んだものを使用するのが好ましい。
第2金属導体ペーストは、たとえば幅寸法が30μm以上である枠状に、第1金属導体ペーストを囲むように印刷される。
本発明では、実装パッドが2価の金属酸化物を含んだものとされている。このような実装パッドは、たとえば金属粉末を主成分とする第1の金属導体ペーストをフェライトグリーンシートの表面の所定の部位に印刷し、2価の金属酸化物が添加された第2の金属導体ペーストを第1の金属導体ペーストに隣接させて印刷して焼成することにより得ることができる。この場合には、実装パッドは、第1の金属導体ペーストにより形成される第1導体部に対して第2の金属導体ペーストにより形成される第2導体部が一体に焼結されたものとして得ることができる。その一方で、第2の金属導体ペーストには2価の金属酸化物が含まれていることから、第2導体部に絶縁性基体の表層を構成するフェライト層に対して強固に接合されたものとなる。
第2導体部がフェライト層に対して強固に接合されるメカニズムの詳細は明らかではないが、焼成の際に2価の金属酸化物がフェライトの表面と相互作用して、実装パッドとフェライト層との界面に機械的に強い反応層、例えばスピネル構造体からなる結合層などを形成するためであると考えられる。
このように、本発明では、実装パッドがフェライト層に強固に接合されるため、焼成時フェライト層と実装パッドとの間に応力が作用し、あるいは配線基板に実装されたチップ部品などの駆動時の熱収縮や外力によりフェライト層と実装パッドとの間に応力が作用したとしても、実装パッドの端部が剥離してしまうといった事態が生じることを回避することができる。その結果、本発明では、配線基板に実装されるチップ部品などの実装信頼性を高めることができる。
また、実装パッドの剥離を抑制し、実装信頼性を向上させることができれば、実装パッドに対してガラス組成物を含有させる必要はなくなる。これにより、焼成時に液相となったガラスがフェライト層内に拡散してフェライトの磁器強度が低下するといった事態が発生することもない。このため、ガラス組成物を含有させることにより生じる不具合、たとえば実装されたチップ部品などの駆動や外力により応力が作用したりしても、実装パッドが配線基板から剥離したり、実装パッド直下のフェライトが破壊するといった不具合を回避し、実装信頼性を高めることができる。
また、第1の金属導体ペーストとしてCu、Ag、Au、Pt、Al、Ag−Pd合金およびAg−Pt合金のうちの少なくとも1種の金属から成る金属粉末を主成分とするものを使用して実装パッドの第1導体部を形成するとともに、第2の金属導体ペーストとして第1の金属導体ペーストの主成分の金属粉末と同一の金属粉末を主成分とし、CuOまたはZnOの少なくとも一方が添加されたものを使用して実装パッドの第2導体部を形成した場合には、先に例示した金属が低抵抗なものであるため、第2導体部を含めた実装パッドの全体を低抵抗なものとして形成することができる。そのため、本発明の配線基板に対して、実装パッドに導通するように半導体チップやチップ部品を実装し、これらに駆動するために電流を負荷した場合には、実装パッドにおいて発生する熱を抑制することができる。また、実装パッドを低抵抗なものとすれば、本発明の配線基板を高周波用途などに用いることもできるようになる。また、金属粉末として先に例示したもの、金属酸化物として先に例示したものは、いずれも非磁性材料であることから、実装パッドに導通するように実装した半導体チップやチップ部品に対して電気的な影響を及ぼすことがなく回路が誤動作することを防止することができる。
さらに、第2の金属導体ペーストにおける金属酸化物(CuOまたはZnO)の含有量を5〜15質量部とした場合には、実装パッドの抵抗値が不当に大きくなることもなく、また実装パッドと配線基板(フェライト層)との間の結合力を確実に向上させることができる。その結果、先に説明した効果を、より顕著に享受することができるようになる。
また、第2の金属導体ペーストを第1の金属導体ペーストにおける周縁の少なくとも一部を囲むように印刷することにより、第1導体部の周縁に第2導体部が存在する実装パッドを形成することができる。たとえば、第2の金属導体ペーストを第1の金属導体ペーストにおける周縁の略全体を囲むように印刷すれば、第1導体部を取り囲む枠状に第2導体部が設けられた実装パッドが形成される。
このような実装パッドでは、接合強度を高めるための2価の酸化物が添加された部位、すなわち電気抵抗値が高い部位が実装パッドの外側に形成されており、電気信号は電気抵抗値の低い中央部において伝播させることができるので、半導体チップやチップ部品からの電気信号の遅延がない、電気特性の高い配線基板とすることができる。このような効果は、第2の金属ペースト(第2導体部)を、たとえば30μm以上の幅で形成した場合には、確実に享受することができる。
以下、本発明により提供される配線基板およびその製造方法について図面を参照しつつ説明する。
図1に示した配線基板1は、複数のフェライト層20,21,22,23,24に、電気回路網30,31,32、コイル4および実装パッド5を作り込んだものである。
複数のフェライト層20〜24は、非磁性のフェライト層20,21,22および強磁性のフェライト層23,24を含んでおり、強磁性フェライト層23,24の間に、コイル4が形成されている。
電気回路網30,31,32は、表面配線30、内部配線31および複数の貫通導体32を含むものであり、貫通導体32を介して実装パッド5に導通接続されている。もちろん、図示した電気回路網30,31,32は一例であり、表面配線30、内部配線31および複数の貫通導体32の数、位置などについては適宜設計されるものである。
実装パッド5は、配線基板1に実装される半導体チップやチップ部品(図示せず)を電気的に接続させるためのものであり、電気回路網30〜32に導通接続されている。この実装パッド5は、図1および図2から良くわかるように、非磁性フェライト層20の表面において平面視矩形状に形成されており、第1導体部51および第2導体部52からなっている。
第1導体部51は、実装パッド5の主要部をなすものであり、低抵抗の金属材料、たとえばCu、Ag、Au、Pt、Al、Ag−Pd合金およびAg−Pt合金のうちの少なくとも1種を主成分として形成されている。
第2導体部52は、非磁性フェライト層20に対する実装パッド5の接合強度を高めるためのものであり、第1導体部51の外周を囲むように矩形枠状に形成されている。この第2導体部52は、非磁性フェライト層20に対する実装パッド5の接合強度を確実に高めるために、たとえば幅寸法Wが30μm以上に形成されている。ただし、第2導体部52の幅寸法は、配線基板の小型化、高密度化の観点からは、500μm以下に形成するのが好ましい。
第2導体部52は、第1導体部51の主成分である低抵抗金属材料と同一の金属材料を主成分とするとともに、2価の金属酸化物をさらに添加したものとされている。この場合に添加する2価の金属酸化物としては、たとえばZnO、CuO、MgO、NiO、MnO、およびFeを挙げることができるが、その中でもCuOおよびZnOのうちの少なくとも1種を使用するのが好ましい。2価の金属酸化物としてCuOおよびZnOのうちの少なくとも1種を使用する場合には、第2導体部52における2価の金属酸化物の含有量は、たとえば5〜15質量部とされる。これは、2価の金属酸化物の含有量が少ない場合には、非磁性フェライト層20に対して強固に接合することができない一方で、2価の金属酸化物の含有量が多い場合には、第2導体部52(実装パッド4)の抵抗値が不当に大きくなるからである。
なお、実装パッド5は、その表面に接続される半導体チップあるいはチップ部品の実装パッド(図示せず)との接合を強固にするために、ニッケル層(図示せず)および金層(図示せず)を、めっき法などによって被着した構成としてもよい。
本発明に係る配線基板1は、上述した例には限定させず、種々に変更可能である。たとえば、実装パッド5は、図1および図2に示した形態に限らず、図3(a)に示したように、円形状の第1導体部51Aを囲むように円環状の第2導体部52Bが形成された構成であってもよいし、図3(b)に示したように第1導体部51Bが表面配線30に連続し、第1導体部51Bを選択的に囲むように第2導体部52Bが形成された構成であってもよいし、図3(c)に示したように第1導体部51Bが表面配線30に連続して形成された構成において、表面配線30にまで第2導体部52Cが形成された構成であってもよい。また、実装パッド5は、必ずしも第1導体部51の周りを第2導体部52によって一連に囲んだ形態とする必要はなく、第2導体部52の一部が分断された形態(複数の導体部が離散的に形成された形態)であってもよい。
次に、本発明の配線基板の製造方法について、図1および図2を参照して説明した配線基板1を例にとって、図4(a)〜図4(d)を参照しつつ、以下に詳細に説明する。
本発明の配線基板の製造方法は、図4(a)に示したようにフェライトグリーンシート60,61,62,63,64を準備する第1工程、図4(b)に示したようにフェライトグリーンシート60,61、63に実装パッド5および配線回路網30,31,32(図1参照)となるべきペースト部7,80,81,82を形成する第2工程、図4(c)に示したようにフェライトグリーンシート64の表面にコイル4(図1参照)となるべきペースト部83を形成する第3工程、図4(d)に示したようにフェライトグリーンシート60〜64を積層して積層体9を作製する第4工程、および積層体9を焼成する第5工程(図示略)を含んでいる。
図4(a)に示したように、第1工程においては、非磁性フェライトグリーンシート60〜62、および強磁性フェライトグリーンシート63,64を作製する。これらのフェライトグリーンシート60〜64は、フェライト組成の主成分第1酸化物成分、または、フェライト組成の主成分ならびに第1酸化物成分およびガラス、第2酸化物成分、さらに有機バインダ、可塑剤、有機溶剤等を混合してスラリーを得て、これからドクターブレード法、圧延法、カレンダーロール法等によって製作される。
後述する第3工程においてコイル用のペースト部83(図4(c)参照)を形成する強磁性フェライトグリーンシート64と、その上面に積み重ねて積層する強磁性フェライトグリーンシート63とを形成するのに用いるフェライト粉末は、仮焼済みのフェライト粉末であり、平均粒径が0.1μm〜0.9μmの範囲で均一であり、球形状に近い粒が望ましい。これは、平均粒径が0.1μmより小さいと、強磁性フェライトグリーンシート63,64の製作においてフェライト粉末の均一な分散が困難であり、平均粒径が0.9μmより大きいと強磁性フェライトグリーンシート63,64の焼結温度が高くなりやすくなるからである。また、粒径が均一で球状に近いことにより均一な焼結状態を得ることができる。例えばフェライト粉末で部分的に小さい粒径が存在した場合は、その部分のみ結晶粒の成長が低下し、強磁性フェライトグリーンシート63,64を焼成してなるフェライト層の透磁率が安定しにくい傾向がある。
また、コイル用のペースト部83の上下面を覆う強磁性のフェライトグリーンシート63,64(図4(d)参照)は、磁束を安定させるという観点からは同一の組成であることが望ましく、その場合は主成分の組成を、焼結体としてFeを63〜73質量%、CuOを5〜10質量%、NiOを5〜12質量%、ZnOを10〜23質量%とすると、1000℃以下の低温で焼結密度5.0g/cm以上の高密度焼成が可能であり、かつ、高周波帯域で十分に高い透磁率を得ることができるので好ましい。
ここで、Feは、フェライトの基幹成分であり、そのフェライトの主成分をX−Fe(XはCu,Ni,Zn等)として示される逆スピネル構造の固溶体である場合、強磁性フェライトグリーンシート53,54のうちFeが63〜73質量%を構成していると良い。強磁性フェライトグリーンシート53,54におけるFeの割合が63質量%未満の場合には十分な透磁率が得られない傾向がある一方で、Feの割合が73質量%を超えて多い場合は焼結密度の低下により機械的強度が低下する傾向がある。
CuOは、強磁性フェライトグリーンシート63,64の主成分のうち5〜10質量%を構成していると良いのは、CuOが焼結温度の低温化に大きく寄与しており、CuOが低温で液層を形成することにより焼結を促進させる効果を用いて、磁気特性を損なわずに800〜1000℃の低温で焼成することができるためである。強磁性フェライトグリーンシート63,64におけるCuOの割合が5質量%未満であると、低抵抗金属を用いてペースト部80,81を形成する場合に、それらのペースト部80,81と同時に低温度域で焼成を行うと、焼結密度が不十分になって機械強度が不足する傾向がある。その一方で、CuOの割合が10質量%を超えて多い場合、磁気特性の低いCuFeの割合が多くなるため磁気特性を損ないやすくなる傾向がある。
NiOは、強磁性フェライトグリーンシート63,64を焼成してなる強磁性フェライト層23,24(図1参照)において、Feと固溶体(NiFe)を形成させることにより、高周波域における透磁率を確保するために含有させられるものである。NiFeは高周波域まで共振による透磁率の減衰を起さず、高周波域での透磁率を比較的高い値に維持することができるが、初期透磁率は低い特徴をもつため、5質量%未満であると、10MHz以上の高周波域での透磁率が低下する傾向がある。また、12質量%より多い場合、NiFeの割合が多くなり初期透磁率が低下する傾向にある。
ZnOは、強磁性フェライトグリーンシート63,64を焼成してなる強磁性フェライト層23,24(図1参照)の透磁率向上のために重要な要素である。強磁性フェライトグリーンシート63,64におけるZnOの割合を10〜23質量%の範囲とするのは、フェライト主成分のうち10質量%未満であると、透磁率が低くなる問題を生じる可能性があり、逆に23質量%より多くても磁気特性が悪くなる傾向があるからである。
図4(b)に示したように、第2工程においては、フェライトグリーンシート60,61,63にペースト部7(71,72),80,81,82が形成される。
ペースト部7は、実装パッド5となるべきものであり、第1導体部51となるべき第1ペースト部71と、第2導体部52となるべき第2導体部72とを含んでいる(図1参照)。
ペースト部7は、第1の金属ペーストを用いて第1ペースト部71を印刷により形成した後に、第2の金属ペーストを用いて、第1ペースト部71の周囲を囲む矩形枠状に第2ペースト部72を印刷により形成することにより作製される。
ここで、印刷方法としては、スクリーン印刷あるいはグラビア印刷を採用することができる。また、第2ペースト部72は、幅寸法が30μm以上、好ましくは30〜500μmに形成となるように形成される。これは、第2ペースト部72の幅寸法が30μm未満の場合には、実装パッド5と、非磁性フェライト層20とが強固に接合している領域が少なくなるために、実装パッド5を利用して配線基板1に実装した半導体チップやチップ部品に外力が働いたときに、実装パッド5の端部が剥離しやすい傾向があるからである。その一方で、配線基板1の小型化、高密度化の観点からは、第2ペースト部72の幅寸法を500μm以下とすることが望ましい。
また、第1金属ペーストとしては、金属粉末に適当な有機バインダ、溶剤を混練して作製したものが使用される。金属粉末としては、Cu、Ag、Au、Pt、Al、Ag−Pd合金およびAg−Pt合金のうちの少なくとも1種の金属からなるものを使用することができる。
一方、第2金属ペーストとしては、第1金属ペーストに、2価の金属酸化物の粉末をさらに加えたものである。第2の金属導体ペーストに添加される2価の金属酸化物としては、たとえばZnO、CuO、MgO、CoO、NiO、MnO、Feを挙げることができるが、その中でもCuOおよびZnOのうち少なくとも1種を使用するのが好ましい。すなわち、CuOおよびZnOは、それらを単独で使用しても、併用してもよい。これらの酸化金属の粉末は低抵抗であるため、実装パッド5の第2導体部52を構成する材料として用いた場合には、実装パッド5に電流を負荷した際に発生する熱を抑制することができるとともに、実装パッド5の第2導体部52と非磁性フェライト層20との界面に形成されるスピネル結合層が磁性を有さないものとなることから、表面配線30、あるいは配線基板1の上面や下面に実装した半導体チップやチップ部品や配線に対して、電気的に影響を及ぼすことがなく高周波用途などに用いることができるようになる(図1参照)。
第2金属導体ペーストに添加するCuOおよびZnOの総量は、それらが単独で使用される場合であっても、それらが併用される場合であっても、5〜15質量%とすることが好ましい。5質量%未満の場合、非磁性フェライト層20との接合強度が十分に得られない傾向がある一方で、15質量%を超えて多い場合は、焼成後に実装パッド5の第2導体部52を構成させたときに、第2導体部52ひいては実装パッド5の導体抵抗値が高くなりやすい傾向があるからである(図1参照)。
ペースト部80,81は、それぞれ表面配線30および内部配線31(図1参照)となるべきものであり、先の第1ペースト部71と同様なペースト(第1の金属ペースト)を用いた印刷により、同様な手法により形成することができる。
ペースト部82は、貫通導体32(図1参照)となるべきものであり、フェライトグリーンシート60,61,63に貫通孔を打ち抜き形成し、貫通孔に導体ペーストを充填することにより形成される。フェライトグリーンシート60,61,63に対する貫通孔の形成は、パンチング加工やレーザ加工等により行なうことができる。一方、貫通孔に対する導体ペーストの充填は、印刷やプレス充填により埋め込む等の手段によって行うことができる。貫通導体用の導電ペーストとしては、先の第1ペースト部71と同様なペースト(第1の金属ペースト)を用いることができる。
図4(c)に示すように、第3工程においては、磁性フェライトグリーンシート64の表面にコイル4となるべきペースト部83が形成される。このペースト部83は、導体ペーストを用いた印刷により形成することができる。この場合に使用することができる導体ペーストは、Cu、Ag、Au、Ag合金等の金属粉末に、適当な有機バインダ,溶剤を混練して作製したものである。印刷手法としては、スクリーン印刷法あるいはグラビア印刷法を採用することができる。
図4(d)に示すように、第4工程においては、フェライトグリーンシート60〜64を積層した積層体9が形成される。この積層体9は、非磁性フェライトグリーンシート62を最下層として、この非磁性フェライトグリーンシート62上に順次、コイル用のペースト部83が形成された強磁性フェライトグリーンシート64、内部配線用のペースト部82が形成された強磁性フェライトグリーンシート63、非磁性フェライトグリーンシート61を積層し、さらに、最上層として、実装パッド用および表面配線用のペースト部7,80が形成された強磁性フェライトグリーンシート60を積層することにより形成される。
そして、第5工程においては、積層体9を大気中または加湿窒素雰囲気中にて、800〜1000℃の温度で焼成することにより、図1および図2に示したコイル内蔵配線基板1が製造される。すなわち、図1および図4(d)から分かるように、第5工程における焼成により、ペースト部80,81,82はそれぞれ表面配線30、内部配線32および貫通導体32として一体となって電気回路網となり、ペースト部83はコイル4となる。
そして、ペースト部7(71,72)は、第1ペースト部71が第1導体部51、第2ペースト部72が第2導体部52として実装パッド5となるが焼成により第1および第2ペースト部71,72が焼結されて、第1および第2導体部52が一体に形成される。その一方で、第2ペースト部72には2価の金属酸化物が含まれていることから、第2導体部72は、2価の金属酸化物がフェライトの表面と相互作用して、実装パッドとフェライト層との界面に機械的に強い反応層、例えばスピネル構造体からなる結合層などを形成することにより、非磁性フェライト層20に対して強固に接合して焼結する。そのため、実装パッド5は、非磁性フェライト層20に強固に接合されたものとなる。
なお、実装パッド5あるいは表面配線30の表面には、配線基板1に実装される半導体チップやチップ部品の端子との接合を強固なものにするために、ニッケル層および金層をメッキ法等により順次被着するとよい。
本発明の配線基板の実施例を以下に説明する。
まず、非磁性フェライト層を形成するため、Fe粉末630質量部と、CuO粉末80質量部と、ZnO粉末290質量部に、4000cmの純水とともにジルコニア粉砕用ボールを使用した7000cmのボールミルにて24時間調合後、原料粉を分別乾燥し、ジルコニアるつぼにて730℃の仮焼を行い、非磁性フェライト仮焼粉末を作製した。作製した非磁性フェライト仮焼粉末100質量%に対し、ブチラール樹脂10質量%、高分子量のアルコールを希釈剤として45質量%添加し、ボールミル法により混合しスラリーとした。このスラリーを用いてドクターブレード法により厚さ100μmの非磁性フェライトグリーンシートを成型した。
この非磁性フェライトグリーンシートに金型による打ち抜き加工によって、直径150μmの貫通孔を形成した。この貫通孔に、貫通導体用ペーストをスクリーン印刷法によって充填し、70℃で30分乾燥して貫通導体となる貫通導体組成物を形成した。貫通導体用ペーストとしては、Ag粉末100質量部と、焼結助剤としてのガラス粉末10質量部に、アクリル樹脂12質量部と有機溶剤としてのα−テルピネオール2質量部とを加え、攪拌脱泡機により十分に混合した後に3本ロールにて十分に混練したものを用いた。
次に、この非磁性フェライトグリーンシートに第1の金属導体ペーストをスクリーン印刷法によって1mm×1mmのサイズで20μmの厚みに塗布し、70℃で30分乾燥した。次いで、第2の金属導体ペーストを、第1の金属導体ペーストを塗布した外周部に、表1に示す幅になるように、スクリーン印刷法によって形成した。なお、第2の金属導体ペーストのシート抵抗を測定できるように、150μmの幅の直線形状の独立パターンをスクリーン印刷によって形成しておいた。
第1の金属導体ペーストとしては、Ag粉末100質量部に、アクリル樹脂10質量部と有機溶剤としてのα−テルピネオール1質量部とを加え、攪拌脱泡機により十分に混合した後に3本ロールにて十分に混練したものを用いた。また、第2の金属導体ペーストとしては、Ag粉末100質量部に、表1に示す量のCuO、ZnO、MgO粉末を加えて、アクリル樹脂10質量部と有機溶剤としてのα−テルピネオール1質量部とを加え、攪拌脱泡機により十分に混合した後に3本ロールにて十分に混練したものを用いた。
次に、強磁性のフェライト層を形成するために、非磁性フェライト仮焼粉末と同様の作製方法でフェライト粉末を作製した。作製した仮焼粉末100質量%に対し、ブチラール樹脂10質量%、高分子量のアルコールを希釈剤として45質量%添加し、ボールミル法により混合しスラリーとした。このスラリーを用いてドクターブレード法により厚さ100μmのフェライトグリーンシートを成型した。
このフェライトグリーンシートに金型による打ち抜き加工によって、直径150μmの貫通孔を形成した。この貫通孔に、貫通導体用ペーストをスクリーン印刷法によって充填し、70℃で30分乾燥して貫通導体となる貫通導体組成物を形成した。貫通導体用ペーストとしては、Ag粉末100質量部と、焼結助剤としてのガラス粉末10質量部に、アクリル樹脂12質量部と有機溶剤としてのα−テルピネオール2質量部とを加え、攪拌脱泡機により十分に混合した後に3本ロールにて十分に混練したものを用いた。
このフェライトグリーンシートにコイル導体用ペーストをスクリーン印刷法によって30μmの厚みに塗布し、70℃で30分乾燥してコイル用導体となるパターンを形成した。コイル導体用ペーストとしては、Ag粉末100質量部に、アクリル樹脂10質量部と有機溶剤としてのα−テルピネオール1質量部とを加え、攪拌脱泡機により十分に混合した後に3本ロールにて十分に混練したものを用いた。
次に、フェライトグリーンシートと非磁性フェライトグリーンシートとを積み重ねて、20MPaの圧力と50℃の温度で加熱圧着してグリーンシートの積層体を作製した。
次に、この積層体を、空気雰囲気中で500℃、3時間の条件で焼成し有機分を除去して、空気雰囲気中で900℃、1時間の条件で焼成して、表面に実装パッドを有する配線基板を作製した。
次に、無電解メッキ法を用いて実装パッド上にNi/Auメッキ処理を施した。
次に、比較例として第2の金属導体ペーストを印刷塗布しないものとし、それ以外の構成は上記と同様にして配線基板を作製した。
得られた配線基板について、実装パッドにチップ部品を共晶半田を用いて245℃の温度で接合した。この配線基板を−55℃(30分)〜125℃(30分)の温度サイクル試験に投入した後、100サイクル後、500サイクル後、1000サイクル後のそれぞれの基板において、実装パッド部分の外周部を50倍の顕微鏡で外観状態を観察して、剥離の生じていない基板を○、剥離の発生している基板を×、剥離は発生していないがわずかに空隙のある基板を△として、表1に記載した。
また、実施例1〜15のサンプルおよび比較例1のサンプルについて、シート抵抗測定用のパターン部分の直流抵抗値、長さ、幅、厚みを測定して、厚さ15μmに換算したときのシート抵抗値(mΩ/□)を算出した。この結果も、表1に記載した。
Figure 2007173650
表1から、外周部に第2の金属導体ペーストを印刷して実装パッドを形成した基板は、温度サイクル試験に投入した後も、実装パッド部分の剥離の発生がないことがわかった。一方、外周部に第2の金属導体ペーストを印刷していない比較例1の基板は、実装パッド部分が剥離して、配線基板と電気的に断線していることがわかった。
また、2価の金属酸化物の添加量が3質量%の実施例1、6、11の基板と、2価の金属酸化物としてMgOを添加した実施例16、17の基板と、第2の金属導体ペーストを20μmの幅で形成した実施例21〜29の基板は、1000サイクル終了後わずかに空隙のあることがわかった。
また、2価の金属酸化物の添加量が15%を越えた実施例5、10、15の基板は第2の金属導体ペーストのシート抵抗が上昇していることがわかった。
本発明に係る配線基板の一例を示す断面図である。 図1に示した配線基板における実装パッド周りを拡大して示した要部斜視図である。 実装パッドの他の例を説明するための実装パッドの平面図である。 本発明の配線基板の製造方法の一例を説明するための断面図である。
符号の説明
1 配線基板
20,21,22 非磁性フェライト層
23,24 強磁性フェライト層
4 コイル
5 実装パッド
51,51A,51B (実装パッドの)第1導体部
52,52A,52B,52C (実装パッドの)第2導体部
60,61,62 非磁性フェライトグリーンシート
63,64 強磁性フェライトグリーンシート
7 (実装パッド用の)ペースト部
71 (実装パッドの第1導体部用の)ペースト部
72 (実装パッドの第2導体部用の)ペースト部
9 積層体

Claims (9)

  1. 表層がフェライト層とされた絶縁性基体と、
    前記フェライト層に表面に形成された実装パッドと、
    を備えた配線基板であって、
    前記実装パッドは、外周部に2価の金属酸化物を含む導体材料から成ることを特徴とする、配線基板。
  2. 前記実装パッドは、金属材料を主成分とする第1導体部と、前記第1導体部の外周縁における少なくとも一部を囲むように前記第1導体部に一体化され、かつ前記金属材料および前記2価の金属酸化物を含む第2導体部と、を有していることを特徴とする、請求項1に記載の配線基板。
  3. 前記金属材料は、Cu、Ag、Au、Pt、Al、Ag−Pd合金およびAg−Pt合金のうちの少なくとも1種であり、
    前記2価の金属酸化物は、CuOおよびZnOのうちの少なくとも1種であることを特徴とする、請求項2に記載の配線基板。
  4. 前記第2導体部における前記2価の金属酸化物の含有量は、前記金属材料100質量部に対して、5〜15質量部であることを特徴とする、請求項3に記載の配線基板。
  5. 前記第2導体部は、枠状に形成されており、かつ前記第1導体部に隣接して幅寸法が30μm以上に形成されていることを特徴とする、請求項2ないし4のいずれかに記載の配線基板。
  6. 複数のフェライトグリーンシートを準備する工程と、
    前記複数のフェライトグリーンシートのうちの少なくとも1つのフェライトグリーンシートの表面における実装パッドが形成される部位の中央領域に、金属粉末を主成分とする第1の金属導体ペーストを印刷する工程と、
    前記金属粉末を主成分とし、かつ2価の金属酸化物をさらに含んだ第2の金属導体ペーストを、前記実装パッドが形成される部位の外周領域に印刷する工程と、
    前記第1および第2金属の導体ペーストが塗布されたフェライトグリーンシートが最表層に位置するように前記複数のフェライトグリーンシートを積層して積層体を形成する工程と、
    前記積層体を焼成する工程と、
    を有することを特徴とする、配線基板の製造方法。
  7. 前記金属粉末は、Cu、Ag、Au、Pt、Al、Ag−Pd合金およびAg−Pt合金の中から選択される少なくとも1種の金属の粉末であり、
    前記2価の金属酸化物は、CuOおよびZnOのうちの少なくとも1種であることを特徴とする、請求項6に記載の配線基板の製造方法。
  8. 前記第2の金属導体ペーストは、前記金属粉末100質量部に対して、前記2価の金属酸化物を5〜15質量部含んでいることを特徴とする、請求項7に記載の配線基板の製造方法。
  9. 前記第2の金属導体ペーストは、幅寸法が30μm以上である枠状に印刷されることを特徴とする、請求項6ないし8のいずれかに記載の配線基板の製造方法。
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